JPH05125457A - 真空蒸発回収方法およびその装置 - Google Patents
真空蒸発回収方法およびその装置Info
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- JPH05125457A JPH05125457A JP18323291A JP18323291A JPH05125457A JP H05125457 A JPH05125457 A JP H05125457A JP 18323291 A JP18323291 A JP 18323291A JP 18323291 A JP18323291 A JP 18323291A JP H05125457 A JPH05125457 A JP H05125457A
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- JP
- Japan
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- vacuum
- furnace
- inert gas
- heated
- processed
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/20—Recycling
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被処理物を短時間に昇温し真空蒸発回収処理
能力を向上すること。 【構成】 真空状態にある炉７にプレヒータ８で過熱し
た高温の不活性ガスを送風機９にて循環し、炉７内を不
活性ガスで置換しながら、炉７内にある被処理物を不活
性ガスの対流により過熱昇温する。これにより被処理物
は短時間に昇温される。被処理物を昇温した後に炉７内
を真空にし、被処理物に付着している不純物を真空蒸発
させる。このようにして被処理物の昇温時間を短縮し、
次に炉７を真空にするので、真空蒸発を速やかに行うこ
とができる。
能力を向上すること。 【構成】 真空状態にある炉７にプレヒータ８で過熱し
た高温の不活性ガスを送風機９にて循環し、炉７内を不
活性ガスで置換しながら、炉７内にある被処理物を不活
性ガスの対流により過熱昇温する。これにより被処理物
は短時間に昇温される。被処理物を昇温した後に炉７内
を真空にし、被処理物に付着している不純物を真空蒸発
させる。このようにして被処理物の昇温時間を短縮し、
次に炉７を真空にするので、真空蒸発を速やかに行うこ
とができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、製品の表面に付着した
被処理物を効率良く真空雰囲気中で蒸発（以下真空蒸発
という）するようにした真空蒸発回収方法およびその装
置に関するものである。
被処理物を効率良く真空雰囲気中で蒸発（以下真空蒸発
という）するようにした真空蒸発回収方法およびその装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、自動車などのスクラップを再利
用する場合に、スクラップの表面にメッキされた亜鉛と
か、スクラップの表面に付着している油とかその他の不
純物を除去する必要がある。この亜鉛などの不純物の除
去手段として今日行われている手段は亜鉛メッキされた
スクラップを真空炉内に搬入して過熱し、スクラップの
表面に付着している亜鉛を真空蒸発させる。このように
して亜鉛などの不純物を真空蒸発させることにより、ス
クラップ自体の酸化が防止されて、不純物が除去された
スクラップは材料としてそのままの状態で有効利用する
ことが可能になるとともに、真空蒸発した亜鉛などの不
純物は純度の高い製品として回収され、この回収された
不純物の再利用も可能になる。
用する場合に、スクラップの表面にメッキされた亜鉛と
か、スクラップの表面に付着している油とかその他の不
純物を除去する必要がある。この亜鉛などの不純物の除
去手段として今日行われている手段は亜鉛メッキされた
スクラップを真空炉内に搬入して過熱し、スクラップの
表面に付着している亜鉛を真空蒸発させる。このように
して亜鉛などの不純物を真空蒸発させることにより、ス
クラップ自体の酸化が防止されて、不純物が除去された
スクラップは材料としてそのままの状態で有効利用する
ことが可能になるとともに、真空蒸発した亜鉛などの不
純物は純度の高い製品として回収され、この回収された
不純物の再利用も可能になる。
【０００３】上記従来の真空蒸発回収手段において、真
空炉内でのスクラップの過熱は図６に示すように真空ポ
ンプ１にて真空炉２、３、４内を真空にし、この真空炉
内にスクラップを搬入してそれぞれヒータ５の輻射熱に
より搬入されたスクラップを過熱するようにしていた。
例えば真空炉２内に搬入されたスクラップを摂氏 400度
に過熱して、先ずスクラップの表面に付着している油を
真空蒸発により除去して油を回収し、次にこのスクラッ
プを次の真空炉３に導いて摂氏 800度に過熱してスクラ
ップにメッキされている亜鉛を真空蒸発して亜鉛を回収
し、更にこのスクラップを次の真空炉４に導いて摂氏 9
00度に過熱して銅を真空蒸発して回収し、このよにして
不純物が回収除去されたスクラップは常温まで冷却され
て製品として取り出される。
空炉内でのスクラップの過熱は図６に示すように真空ポ
ンプ１にて真空炉２、３、４内を真空にし、この真空炉
内にスクラップを搬入してそれぞれヒータ５の輻射熱に
より搬入されたスクラップを過熱するようにしていた。
例えば真空炉２内に搬入されたスクラップを摂氏 400度
に過熱して、先ずスクラップの表面に付着している油を
真空蒸発により除去して油を回収し、次にこのスクラッ
プを次の真空炉３に導いて摂氏 800度に過熱してスクラ
ップにメッキされている亜鉛を真空蒸発して亜鉛を回収
し、更にこのスクラップを次の真空炉４に導いて摂氏 9
00度に過熱して銅を真空蒸発して回収し、このよにして
不純物が回収除去されたスクラップは常温まで冷却され
て製品として取り出される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例において、
真空炉内でのスクラップ（以下被処理物という）の過熱
はヒータの輻射熱を利用して行うようにしていたので次
のような問題がある。すなわち、図７に示すように真空
炉内に搬入されてくる被処理物W1,W2,W3には大小さまざ
まなものがあり、真空炉内にはこれら被処理物がランダ
ムに搬入されてくる。これにより、ヒータ５からの輻射
熱の影になる部分６はヒータ５の輻射熱による直接的な
過熱はされず、大きな被処理物の影の部分は被処理物の
内部の熱伝導により昇温されることになる。また、図７
に示すように大きな被処理物W1,W3の間の影の部分６に
小さな被処理物W2が位置しているような場合に、被処理
物W2はヒータ５の輻射熱にて直接に過熱されることはな
い。また、真空雰囲気では空気密度が小さいので、真空
炉内の雰囲気温度による熱伝導はなく、かつ、真空炉内
の空気は静止しているので熱伝達もない。
真空炉内でのスクラップ（以下被処理物という）の過熱
はヒータの輻射熱を利用して行うようにしていたので次
のような問題がある。すなわち、図７に示すように真空
炉内に搬入されてくる被処理物W1,W2,W3には大小さまざ
まなものがあり、真空炉内にはこれら被処理物がランダ
ムに搬入されてくる。これにより、ヒータ５からの輻射
熱の影になる部分６はヒータ５の輻射熱による直接的な
過熱はされず、大きな被処理物の影の部分は被処理物の
内部の熱伝導により昇温されることになる。また、図７
に示すように大きな被処理物W1,W3の間の影の部分６に
小さな被処理物W2が位置しているような場合に、被処理
物W2はヒータ５の輻射熱にて直接に過熱されることはな
い。また、真空雰囲気では空気密度が小さいので、真空
炉内の雰囲気温度による熱伝導はなく、かつ、真空炉内
の空気は静止しているので熱伝達もない。
【０００５】このような理由により、真空炉内での被処
理物の過熱昇温には長時間を必要とし、場合によっては
輻射熱の影の部分に位置している小さな被処理物は十分
に昇温されず完全な不純物の除去ができないという問題
がある。また、被処理物を連続的に真空炉内に搬入して
処理する場合に、真空炉内での被処理物の過熱昇温に長
時間を必要とし、特に輻射熱の影の部分に位置している
小さな被処理物を所定の温度まで過熱昇温するのに更に
長時間を要するので、この被処理物の過熱昇温は連続処
理プラント全体の処理能力に大きな影響を及ぼすことに
なり、連続処理プラントの処理能力を低下させる第一の
原因になっているという問題がある。
理物の過熱昇温には長時間を必要とし、場合によっては
輻射熱の影の部分に位置している小さな被処理物は十分
に昇温されず完全な不純物の除去ができないという問題
がある。また、被処理物を連続的に真空炉内に搬入して
処理する場合に、真空炉内での被処理物の過熱昇温に長
時間を必要とし、特に輻射熱の影の部分に位置している
小さな被処理物を所定の温度まで過熱昇温するのに更に
長時間を要するので、この被処理物の過熱昇温は連続処
理プラント全体の処理能力に大きな影響を及ぼすことに
なり、連続処理プラントの処理能力を低下させる第一の
原因になっているという問題がある。
【０００６】本発明は真空炉内での被処理物の過熱昇温
を被処理物の大小にかかわらず被処理物の全体を短時間
で均一に過熱昇温するようにして連続処理プラントの処
理能力を向上するようにした真空蒸発回収方法およびそ
の装置を提供するものである。
を被処理物の大小にかかわらず被処理物の全体を短時間
で均一に過熱昇温するようにして連続処理プラントの処
理能力を向上するようにした真空蒸発回収方法およびそ
の装置を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明に係る手段は、被処理物を投入した炉内を真空
にし、次に所定の温度に昇温した不活性ガスを前記炉内
に供給して被処理物を不活性ガスの対流により加熱昇温
し、次に前記不活性ガスの供給を中止して炉内を真空に
し昇温されている被処理物の表面に付着している不純物
を真空蒸発させて除去し、次に不純物が除去された被処
理物を冷却することを特徴とする真空蒸発回収方法であ
り、
の本発明に係る手段は、被処理物を投入した炉内を真空
にし、次に所定の温度に昇温した不活性ガスを前記炉内
に供給して被処理物を不活性ガスの対流により加熱昇温
し、次に前記不活性ガスの供給を中止して炉内を真空に
し昇温されている被処理物の表面に付着している不純物
を真空蒸発させて除去し、次に不純物が除去された被処
理物を冷却することを特徴とする真空蒸発回収方法であ
り、
【０００８】この方法を実施するための装置として、真
空炉に不活性ガス入口ノズルと出口ノズルとを設け、プ
レヒータで昇温した不活性ガスを真空炉に導き真空炉を
出た不活性ガスを再びプレヒータに導くようにして不活
性ガスの閉循環回路を形成し、一方前記真空炉に真空ポ
ンプを接続して真空回路を形成したことを特徴とするも
のである。
空炉に不活性ガス入口ノズルと出口ノズルとを設け、プ
レヒータで昇温した不活性ガスを真空炉に導き真空炉を
出た不活性ガスを再びプレヒータに導くようにして不活
性ガスの閉循環回路を形成し、一方前記真空炉に真空ポ
ンプを接続して真空回路を形成したことを特徴とするも
のである。
【０００９】
【作用】本発明はこのように構成したので、被処理物を
投入した炉内を真空ポンプにより真空にする。次にこの
ようにして真空にした炉内に、プレヒータにて所定の温
度に昇温した不活性ガスを閉循環回路を通して前記炉内
に供給し、被処理物を不活性ガスの対流により加熱昇温
する。このように、高温の不活性ガスを炉内で対流させ
ることにより、被処理物は短時間に被処理物の全体が昇
温される。次に前記不活性ガスの供給を中止して炉内を
真空にし昇温されている被処理物の表面に付着している
不純物を真空蒸発させて除去する。次に不純物が除去さ
れた被処理物を冷却する。
投入した炉内を真空ポンプにより真空にする。次にこの
ようにして真空にした炉内に、プレヒータにて所定の温
度に昇温した不活性ガスを閉循環回路を通して前記炉内
に供給し、被処理物を不活性ガスの対流により加熱昇温
する。このように、高温の不活性ガスを炉内で対流させ
ることにより、被処理物は短時間に被処理物の全体が昇
温される。次に前記不活性ガスの供給を中止して炉内を
真空にし昇温されている被処理物の表面に付着している
不純物を真空蒸発させて除去する。次に不純物が除去さ
れた被処理物を冷却する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図に基づいて説明
する。先ず、図１ないし図４を用いて方法を実施するた
めの装置について説明する。炉本体７には不活性ガス入
口ノズル11と不活性ガス出口ノズル10が設けられてい
る。プレヒータ８の入口側には駆動装置14にて駆動され
る送風機９が接続されている。そして、プレヒータ８の
不活性ガス出口側と炉７の不活性ガス入口ノズル11とを
管路13にて接続し、炉７の不活性ガス出口ノズル10と送
風機９の空気吸引側とを管路12にて接続して、プレヒー
タ８、管路13、炉７、管路12、送風機９、プレヒータ８
で構成される不活性ガス閉循環回路を形成している。符
号16、17、18はバルブである。
する。先ず、図１ないし図４を用いて方法を実施するた
めの装置について説明する。炉本体７には不活性ガス入
口ノズル11と不活性ガス出口ノズル10が設けられてい
る。プレヒータ８の入口側には駆動装置14にて駆動され
る送風機９が接続されている。そして、プレヒータ８の
不活性ガス出口側と炉７の不活性ガス入口ノズル11とを
管路13にて接続し、炉７の不活性ガス出口ノズル10と送
風機９の空気吸引側とを管路12にて接続して、プレヒー
タ８、管路13、炉７、管路12、送風機９、プレヒータ８
で構成される不活性ガス閉循環回路を形成している。符
号16、17、18はバルブである。
【００１１】一方、炉７には真空ノズル19が設けられ、
第一フィルタ20および第二フィルタ21を備えたダクト22
を介して拡散ポンプ23が接続されている。また、ダクト
22の第二フィルタ21の下流側に分岐管24を接続しメカニ
カルブースタポンプ25が接続され、このメカニカルブー
スタポンプ25には管路26を介してロータリポンプ27が直
列に接続されている。ホールディングポンプ28は管路29
を介して拡散ポンプ23のサクション側に接続されてい
る。
第一フィルタ20および第二フィルタ21を備えたダクト22
を介して拡散ポンプ23が接続されている。また、ダクト
22の第二フィルタ21の下流側に分岐管24を接続しメカニ
カルブースタポンプ25が接続され、このメカニカルブー
スタポンプ25には管路26を介してロータリポンプ27が直
列に接続されている。ホールディングポンプ28は管路29
を介して拡散ポンプ23のサクション側に接続されてい
る。
【００１２】このように構成した装置を使用して被処理
物の昇温を行う方法について次に説明する。先ず、炉７
の蓋30を開いて被処理物を投入し蓋30を密閉する。この
ようにして被処理物を投入した炉７内を拡散ポンプ23、
メカニカルブースタポンプ25、ロータリポンプ27および
ホールディングポンプ28の各真空ポンプにより真空に
し、所定の真空圧に達した時にこれら真空ポンプを停止
する。
物の昇温を行う方法について次に説明する。先ず、炉７
の蓋30を開いて被処理物を投入し蓋30を密閉する。この
ようにして被処理物を投入した炉７内を拡散ポンプ23、
メカニカルブースタポンプ25、ロータリポンプ27および
ホールディングポンプ28の各真空ポンプにより真空に
し、所定の真空圧に達した時にこれら真空ポンプを停止
する。
【００１３】次にこのようにして真空にした炉７内に、
プレヒータ８にて所定の温度に昇温した不活性ガスを閉
循環回路を通して前記炉７内に供給し、炉７内を不活性
ガスに置換しながら被処理物を不活性ガスの対流により
加熱昇温する。このように、高温の不活性ガスを炉内で
対流させることにより、被処理物は短時間に被処理物の
全体が昇温される。
プレヒータ８にて所定の温度に昇温した不活性ガスを閉
循環回路を通して前記炉７内に供給し、炉７内を不活性
ガスに置換しながら被処理物を不活性ガスの対流により
加熱昇温する。このように、高温の不活性ガスを炉内で
対流させることにより、被処理物は短時間に被処理物の
全体が昇温される。
【００１４】上記不活性ガスの対流による被処理物の過
熱昇温時間についてより具体的に示すために実験した結
果図５に示す通りの結果を得ることができた。この実験
において使用した被処理物は平均して一個当たりの重量
が 300グラムのスクラップを10個炉７内に投入し、 120
キロワットのプレヒータを使用して行った。図５におい
て、曲線Ａは比較するために、同じ実験炉を用いて不活
性ガスの対流による過熱昇温を行わない従来の輻射熱に
よる方法により行った実験結果である。この時の真空圧
力は５／1000Ｔｏｒｒである。この実験から明らかな通
り被処理物の温度を摂氏 900度まで昇温するのに略７時
間を要している。
熱昇温時間についてより具体的に示すために実験した結
果図５に示す通りの結果を得ることができた。この実験
において使用した被処理物は平均して一個当たりの重量
が 300グラムのスクラップを10個炉７内に投入し、 120
キロワットのプレヒータを使用して行った。図５におい
て、曲線Ａは比較するために、同じ実験炉を用いて不活
性ガスの対流による過熱昇温を行わない従来の輻射熱に
よる方法により行った実験結果である。この時の真空圧
力は５／1000Ｔｏｒｒである。この実験から明らかな通
り被処理物の温度を摂氏 900度まで昇温するのに略７時
間を要している。
【００１５】これに対して曲線Ｂは炉７内の圧力を 760
Ｔｏｒｒ（１気圧）にして不活性ガスを対流させたもの
である。この実験によれば４時間で被処理物全体の温度
が摂氏 900に達した。また、炉７内の圧力を 380Ｔｏｒ
ｒ（曲線Ｃ）、 500Ｔｏｒｒ（曲線Ｄ）とした場合に被
処理物の昇温速度は更に短縮されることが実験により明
らかになった。そして、過熱媒体として不活性ガスを使
用しているので被処理物の酸化は起こらない。
Ｔｏｒｒ（１気圧）にして不活性ガスを対流させたもの
である。この実験によれば４時間で被処理物全体の温度
が摂氏 900に達した。また、炉７内の圧力を 380Ｔｏｒ
ｒ（曲線Ｃ）、 500Ｔｏｒｒ（曲線Ｄ）とした場合に被
処理物の昇温速度は更に短縮されることが実験により明
らかになった。そして、過熱媒体として不活性ガスを使
用しているので被処理物の酸化は起こらない。
【００１６】このようにして被処理物を所定の温度まで
昇温した時点で次に前記不活性ガスの供給を中止し、炉
７内を真空にし昇温されている被処理物の表面に付着し
ている不純物を真空蒸発させて除去する。この時の炉７
内における被処理物の過熱昇温維持にヒータによる輻射
熱を併用してもよい。次に不純物が除去された被処理物
を常温まで冷却し製品として取り出される。
昇温した時点で次に前記不活性ガスの供給を中止し、炉
７内を真空にし昇温されている被処理物の表面に付着し
ている不純物を真空蒸発させて除去する。この時の炉７
内における被処理物の過熱昇温維持にヒータによる輻射
熱を併用してもよい。次に不純物が除去された被処理物
を常温まで冷却し製品として取り出される。
【００１７】
【発明の効果】以上詳述した通り本発明によれば、真空
にした炉内を高温の不活性ガスで置換しながら被処理物
を過熱昇温し、次に炉内を真空にして被処理物に付着し
ている不純物を真空蒸発するようにしたので、被処理物
は短時間に昇温されて不純物の真空蒸発を速やかに行う
ことができる。これにより真空蒸発回収の処理能力を大
幅に向上することができる。
にした炉内を高温の不活性ガスで置換しながら被処理物
を過熱昇温し、次に炉内を真空にして被処理物に付着し
ている不純物を真空蒸発するようにしたので、被処理物
は短時間に昇温されて不純物の真空蒸発を速やかに行う
ことができる。これにより真空蒸発回収の処理能力を大
幅に向上することができる。
【図１】本発明の一実施例の平面図である。
【図２】図１の正面図である。
【図３】図２の右側面図である。
【図４】図３の右側面図である。
【図５】被処理物の昇温時間の実験結果を示す線図であ
る。
る。
【図６】従来の真空蒸発炉の模式図である。
【図７】輻射熱による過熱の状況を模式図で示した説明
用図である。
用図である。
７ 炉 ８ プレヒータ ９ 送風機 10 不活性ガス出口ノズル 11 不活性が図入口ノズル 23 拡散ポンプ 25 メカニカルブースタポンプ 27 ロータリポンプ 28 ホールディングポンプ
Claims (2)
- 【請求項１】 被処理物を投入した炉内を真空にし、次
に所定の温度に昇温した不活性ガスを前記炉内に供給し
て被処理物を不活性ガスの対流により加熱昇温し、次に
前記不活性ガスの供給を中止して炉内を真空にし昇温さ
れている被処理物の表面に付着している不純物を真空蒸
発させて除去し、次に不純物が除去された被処理物を冷
却することを特徴とする真空蒸発回収方法。 - 【請求項２】 真空炉に不活性ガス入口ノズルと出口ノ
ズルとを設け、プレヒータで昇温した不活性ガスを真空
炉に導き真空炉を出た不活性ガスを再びプレヒータに導
くようにして不活性ガスの閉循環回路を形成し、一方前
記真空炉に真空ポンプを接続して真空回路を形成したこ
とを特徴とする真空蒸発回収装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18323291A JPH05125457A (ja) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | 真空蒸発回収方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18323291A JPH05125457A (ja) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | 真空蒸発回収方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05125457A true JPH05125457A (ja) | 1993-05-21 |
Family
ID=16132095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18323291A Pending JPH05125457A (ja) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | 真空蒸発回収方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05125457A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0694623A3 (en) * | 1994-07-29 | 1996-04-17 | Teruhisa Ogihara | Method for the treatment of metalliferous waste |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6033186A (ja) * | 1983-08-01 | 1985-02-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 船尾整流構造 |
| JPS6033188A (ja) * | 1983-08-01 | 1985-02-20 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 船底部の改造工法 |
| JPS6425834A (en) * | 1987-03-23 | 1989-01-27 | Olympus Optical Co | Videoscope system |
| JPH02182842A (ja) * | 1989-01-06 | 1990-07-17 | Nippon Steel Corp | 鉄スクラップからの錫の分離、回収方法 |
-
1991
- 1991-06-27 JP JP18323291A patent/JPH05125457A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6033186A (ja) * | 1983-08-01 | 1985-02-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 船尾整流構造 |
| JPS6033188A (ja) * | 1983-08-01 | 1985-02-20 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 船底部の改造工法 |
| JPS6425834A (en) * | 1987-03-23 | 1989-01-27 | Olympus Optical Co | Videoscope system |
| JPH02182842A (ja) * | 1989-01-06 | 1990-07-17 | Nippon Steel Corp | 鉄スクラップからの錫の分離、回収方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0694623A3 (en) * | 1994-07-29 | 1996-04-17 | Teruhisa Ogihara | Method for the treatment of metalliferous waste |
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