JPH05121263A - コンデンサ - Google Patents

コンデンサ

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JPH05121263A
JPH05121263A JP28440791A JP28440791A JPH05121263A JP H05121263 A JPH05121263 A JP H05121263A JP 28440791 A JP28440791 A JP 28440791A JP 28440791 A JP28440791 A JP 28440791A JP H05121263 A JPH05121263 A JP H05121263A
Authority
JP
Japan
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capacitor
film
monomolecular film
chlorosilane
counter electrode
Prior art date
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Pending
Application number
JP28440791A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuyo Teranishi
加寿代 寺西
Yukio Kinuta
幸生 絹田
Sanemori Soga
真守 曽我
Kazufumi Ogawa
小川  一文
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP28440791A priority Critical patent/JPH05121263A/ja
Publication of JPH05121263A publication Critical patent/JPH05121263A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y10/00Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • Physics & Mathematics (AREA)
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  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電気、電子機器に用いられるコンデンサにお
いて、誘電体酸化皮膜に亀裂が入りやすい、または実装
時に正負の方向を間違えやすいという課題を解決し、小
形,大容量で、高周波特性の優れた無極性のコンデンサ
を提供する。 【構成】 多孔質化した導電体の表面上に、シロキサン
系単分子膜を介してクロロシラン系界面活性剤よりなる
化学吸着単分子膜または化学吸着単分子累積膜を誘電体
層として形成し、さらに対極となる導電体層を形成す
る。 【効果】 均一で欠陥部の無い高耐電圧の単分子膜を誘
電体として効率良く形成でき、さらに対極となる導電体
層を備えることにより、小形,大容量で、高周波特性の
優れた無極性のコンデンサが得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電気・電子機器等の電
子回路などに使用するコンデンサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】電気・電子機器等の小形・軽量化、高集
積回路の採用に伴い、電子部品に対する小形化,高性能
化の要望がますます強くなっている。その中にあって、
コンデンサも同様に小形で高周波特性の優れた大容量コ
ンデンサを開発する試みが種々行われている。
【0003】高周波特性の優れたコンデンサとして、フ
ィルム,マイカ,セラミック等を誘電体としたコンデン
サがあるが、大容量を得ようとすると形状が大きくな
り、価格も高くなるため、実用上不向きである。
【0004】大容量コンデンサとして知られているアル
ミ電解コンデンサは高周波特性が劣るため、最近、固体
電解質に導電性高分子を用いたアルミ固体電解コンデン
サが出現してきている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら固体電解
質に導電性高分子を用いたアルミ固体電解コンデンサ
は、小形で大容量のコンデンサを得るために巻回すると
その応力により誘電体酸化皮膜に亀裂が入りやすいとい
う問題や、電解コンデンサ特有の有極性のため実装時に
正負の方向を違えてはならないという問題を有してい
た。
【0006】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、小形,大容量で高周波特性の優れた無極性のコンデ
ンサを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のコンデンサは、多孔質化した導電体の表面上
に、シロキサン系単分子膜を介してクロロシラン系界面
活性剤よりなる化学吸着単分子膜または化学吸着単分子
累積膜を誘電体層として形成し、さらに対極となる導電
体層を形成している。
【0008】
【作用】したがって本発明によれば、シロキサン系単分
子膜を形成しシロール基を発生させることにより、水酸
基の少ない金属電極の表面にでも効率良くかつ完全な化
学吸着単分子膜を形成することが可能となる。したがっ
て、多孔質化した導電体の表面上に、均一で欠陥部の無
い高耐電圧の単分子膜を誘電体として形成することがで
きる。また、フッ化炭素を含むクロロシラン系界面活性
剤を用いることにより、高耐熱性が得られる。 さら
に、対極となる導電体層を形成することにより、小形,
大容量で高周波特性の優れた無極性のコンデンサを提供
することができる。
【0009】
【実施例】以下本発明の実施例について説明する。
【0010】(実施例1)約50倍に粗面化したアルミ
エッチング箔を5mm×5mmに切断した後、超音波溶接付
けによりアルミリードを接合して金属電極を得た。
【0011】一方、クロロシリル基含有物質としてSi
Cl4 を用い、1重量%の濃度でクロロホルムに溶解し
た溶液を調整し、上記金属電極を1時間浸漬した。 こ
のとき金属電極の表面で脱塩酸反応が起こり、(化1)
に示されるように、分子がシロキサン結合を介して金属
電極の表面に固定される。
【0012】
【化1】
【0013】その後、クロロホルムで洗浄し、さらに純
水で洗浄すると、(化2)のようにシロール基を含んだ
シロキサン系単分子膜が形成される。
【0014】
【化2】
【0015】次に、クロロシラン系界面活性剤としてフ
ッ素を含んだCF3(CF27(CH22SiCl3を用
い、1重量%の濃度で、n−ヘキサデカン、四塩化炭素
およびクロロホルムの重量比80:12:8の混合溶液
に溶解した溶液を調整し、シロキサン系単分子膜を形成
した金属電極を1時間浸漬した後、クロロホルムで洗浄
し、続いて純水で洗浄すると、(化3)に示されるよう
な化学吸着単分子膜が形成され、これを素子とした。
【0016】
【化3】
【0017】この素子を20wt%の硝酸マンガン水溶液
に5分間浸漬した後、200℃で30分間熱分解し、表
面に二酸化マンガンを形成した。次に、この素子をピロ
ールモノマー1mol/lおよび支持電解質としてブチルナ
フタレンスルホン酸ナトリウム1mol/lを含む溶液中に
浸漬し、二酸化マンガンを陽極として、外部電極との間
に定電流電解重合(1mA/cm2,30分)を行い、ポリ
ピロール膜を形成した。続いてこの素子をコロイダルカ
ーボンに浸漬し、銀ペーストを塗布して導電性塗膜を形
成し、その一部から対極を取り出し、エポキシ樹脂を外
装してコンデンサを完成させた。
【0018】(実施例2)実施例1において、クロロシ
ラン系界面活性剤としてCl3 Si(CH22(C
26(CH22SiCl3を用いると、(化4)に示
されるような化学吸着単分子膜が形成される。
【0019】
【化4】
【0020】さらにこの化学吸着工程を繰り返し、最終
層形成時にのみCF3(CF27(CH22SiCl3
用いて化学吸着を行い、金属電極の表面上に10層の化
学吸着単分子累積膜を形成して素子を得た。 この素子
に、実施例1に準じて導電体層を形成し、コンデンサを
完成させた。
【0021】(比較例1)実施例1において、シロキサ
ン系単分子膜を形成する工程を省いた以外は、実施例1
に準じてコンデンサを完成させた。
【0022】(比較例2)実施例2において、シロキサ
ン系単分子膜を形成する工程を省いた以外は、実施例2
に準じてコンデンサを完成させた。
【0023】上記実施例1,2および比較例1,2にお
いて得られたコンデンサの特性を(表1)に示す。
【0024】
【表1】
【0025】この(表1)から明らかなように、本実施
例において得られるコンデンサは、誘電正接,漏れ電
流,耐電圧の点で、比較例において得られるコンデンサ
よりも優れている。
【0026】なお、上記実施例において、クロロシリル
基含有物質としてSiCl4を用いたが、SiHCl3
SiH2Cl2,Cl(SiCl2O)nSiCl3(但し
nは整数)を用いた場合にも同様の効果が得られた。
【0027】また、上記実施例および比較例において、
クロロシラン系界面活性剤としてCF3(CF27(C
22SiCl3およびCl3Si(CH22(CF26
(CH22SiCl3を用いたが、CF3(CF2m(C
22SiCl3(但しmは整数、m=8〜22)およ
びCl3Si(CH 22(CF2p(CH22SiC
3(但しpは整数、p=7〜21)を用いた場合に
も、材料の組合せ如何にかかわらず同じ結果が得られ
た。
【0028】
【発明の効果】以上のように本発明は、多孔質化した導
電体の表面上にシロキサン系単分子膜を形成することに
より、均一で欠陥部の無い高耐電圧の単分子膜を誘電体
として効率良く形成することが可能となり、さらに対極
となる導電体層を形成することにより、小形,大容量で
高周波特性の優れた無極性のコンデンサを実現できるも
のである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小川 一文 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】多孔質化した導電体の表面上に、シロキサ
    ン系単分子膜を介してクロロシラン系界面活性剤よりな
    る化学吸着単分子膜または化学吸着単分子累積膜を誘電
    体層として形成し、さらに対極となる導電体層を形成し
    たコンデンサ。
  2. 【請求項2】シロキサン系単分子膜の原料として、Si
    Cl4,SiHCl3,SiH2Cl2,Cl(SiCl2
    O)nSiCl3(但しnは整数)のいずれかを用いてな
    る請求項1記載のコンデンサ。
  3. 【請求項3】クロロシラン系界面活性剤が、炭素数10
    〜25の直鎖状の炭素鎖を有する請求項1記載のコンデ
    ンサ。
  4. 【請求項4】クロロシラン系界面活性剤の炭化水素の一
    部が、少なくともフッ化炭素で置換されている請求項3
    記載のコンデンサ。
  5. 【請求項5】クロロシラン系界面活性剤が、一端もしく
    は両端にクロロシリル基を有する請求項1記載のコンデ
    ンサ。
  6. 【請求項6】対極となる導電体層が、導電性高分子膜を
    形成したものである請求項1記載のコンデンサ。
JP28440791A 1991-10-30 1991-10-30 コンデンサ Pending JPH05121263A (ja)

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