JPH05119193A - 工業用x線検査装置 - Google Patents
工業用x線検査装置Info
- Publication number
- JPH05119193A JPH05119193A JP22947491A JP22947491A JPH05119193A JP H05119193 A JPH05119193 A JP H05119193A JP 22947491 A JP22947491 A JP 22947491A JP 22947491 A JP22947491 A JP 22947491A JP H05119193 A JPH05119193 A JP H05119193A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- movable
- irradiation tube
- industrial
- inspected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 小形でしかも操作性がよく、かつ安価な工業
用X線検査装置を提供する。 【構成】 照射筒40を固定照射筒41及び可動照射筒
42で構成する。可動照射筒42は昇降手段70によっ
て上下動し、可動照射筒42が上昇しているときに被検
査物の装脱を行なう。可動照射筒42の下面にはゴム弾
性を有する防X線部材50が取付けられており、段差が
生じる場合であってもX線の漏洩を完全に防止する。ま
た、上面テーブル32と可動照射筒42は昇降手段70
を介していっしょに水平移動するように構成してあるの
で、防X線をしたまま、基板等の位置合わせを行なうこ
とができる。 【効果】 必要な部位だけ防X線を行なうので、装置全
体をシールドボックスで囲う必要がない。
用X線検査装置を提供する。 【構成】 照射筒40を固定照射筒41及び可動照射筒
42で構成する。可動照射筒42は昇降手段70によっ
て上下動し、可動照射筒42が上昇しているときに被検
査物の装脱を行なう。可動照射筒42の下面にはゴム弾
性を有する防X線部材50が取付けられており、段差が
生じる場合であってもX線の漏洩を完全に防止する。ま
た、上面テーブル32と可動照射筒42は昇降手段70
を介していっしょに水平移動するように構成してあるの
で、防X線をしたまま、基板等の位置合わせを行なうこ
とができる。 【効果】 必要な部位だけ防X線を行なうので、装置全
体をシールドボックスで囲う必要がない。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、工業用のX線検査装置
に関し、特に多層基板の位置決めマーク検査,集積回路
の欠陥検査等に適したX線検査装置に関する。
に関し、特に多層基板の位置決めマーク検査,集積回路
の欠陥検査等に適したX線検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、X線を利用した検査装置は、X線
の外部漏洩を防止するため、被検査対象となる製品の全
体をシールドボックスの内部に収納し、その中でX線を
照射して検査を行なっていた。
の外部漏洩を防止するため、被検査対象となる製品の全
体をシールドボックスの内部に収納し、その中でX線を
照射して検査を行なっていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の工業用X線検査装置は、被検査対象となる製品の全体
をシールドボックス内に収納した状態で検査を行なって
いるため、幅の広い製品を対象とした検査、例えば、積
層された基板の隅部に形成してある位置決めマークの一
致状態を検査する多層基板位置決めマーク検査において
は、図8に示すように、多層基板100の面積のほぼ四
倍近い広さを有するシールドボックス90を用意しなけ
ればならなかった。このため、検査装置の床面積が広く
なって装置が大型化するとともに、シールドボックス9
0の開閉扉91も重厚なものが必要となり操作性が悪
く、装置の高価格化をまねいていた。本発明は上記の問
題点にかんがみてなされたものであり、小型でしかも操
作性のよい工業用X線検査装置の提供を目的とする。
の工業用X線検査装置は、被検査対象となる製品の全体
をシールドボックス内に収納した状態で検査を行なって
いるため、幅の広い製品を対象とした検査、例えば、積
層された基板の隅部に形成してある位置決めマークの一
致状態を検査する多層基板位置決めマーク検査において
は、図8に示すように、多層基板100の面積のほぼ四
倍近い広さを有するシールドボックス90を用意しなけ
ればならなかった。このため、検査装置の床面積が広く
なって装置が大型化するとともに、シールドボックス9
0の開閉扉91も重厚なものが必要となり操作性が悪
く、装置の高価格化をまねいていた。本発明は上記の問
題点にかんがみてなされたものであり、小型でしかも操
作性のよい工業用X線検査装置の提供を目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の工業用X線検査装置は、X線発生器と、X線カ
メラと、X線発生器とX線カメラの間に位置し被検査物
を載置するテーブルと、X線発生器の下部に設けられ被
検査物を部分的に覆う照射筒と、照射筒の下部にリング
状に取り付けられた含鉛ゴムからなる防X線部材とを具
備した構成としてあり、好ましくは照射筒を固定照射筒
と可動照射筒で形成し、可動照射筒を上下動可能に構成
し、またテーブルを水平方向に移動可能とするととも
に、このテーブルに可動筒の駆動手段を固定した構成と
してある。さらに、必要に応じテーブルを、水平の一方
向に移動する中間テーブルと、この中間テーブル上に載
置され中間テーブルの移動方向と直交する方向に移動す
る上面テーブルとで構成するとともに、中間テーブルに
原点復帰手段を設けた構成とし、また上面テーブルに固
定手段を設けた構成としてある。
本発明の工業用X線検査装置は、X線発生器と、X線カ
メラと、X線発生器とX線カメラの間に位置し被検査物
を載置するテーブルと、X線発生器の下部に設けられ被
検査物を部分的に覆う照射筒と、照射筒の下部にリング
状に取り付けられた含鉛ゴムからなる防X線部材とを具
備した構成としてあり、好ましくは照射筒を固定照射筒
と可動照射筒で形成し、可動照射筒を上下動可能に構成
し、またテーブルを水平方向に移動可能とするととも
に、このテーブルに可動筒の駆動手段を固定した構成と
してある。さらに、必要に応じテーブルを、水平の一方
向に移動する中間テーブルと、この中間テーブル上に載
置され中間テーブルの移動方向と直交する方向に移動す
る上面テーブルとで構成するとともに、中間テーブルに
原点復帰手段を設けた構成とし、また上面テーブルに固
定手段を設けた構成としてある。
【0005】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
1は本発明の一実施例に係る工業用X線装置正面図、図
2は同じく要部構成図、図3は同じく平面図である。こ
れらの図面において、本発明の工業用X線装置1は、X
線発生器10、X線カメラ20、X−Yテーブル30、
照射筒40、防X線部材50等で構成されている。X線
発生器10は、X線管11と制御部及び冷却装置等で構
成されている。X線管11は、X線を発生させるための
真空管であり、装置上部に固定されている。X線管11
は、高電圧(例えば6万ボルト)を加えるとX線を発生
し、被検査物及びX線カメラに向けてX線を照射する。
1は本発明の一実施例に係る工業用X線装置正面図、図
2は同じく要部構成図、図3は同じく平面図である。こ
れらの図面において、本発明の工業用X線装置1は、X
線発生器10、X線カメラ20、X−Yテーブル30、
照射筒40、防X線部材50等で構成されている。X線
発生器10は、X線管11と制御部及び冷却装置等で構
成されている。X線管11は、X線を発生させるための
真空管であり、装置上部に固定されている。X線管11
は、高電圧(例えば6万ボルト)を加えるとX線を発生
し、被検査物及びX線カメラに向けてX線を照射する。
【0006】制御部は、図示していないが、高電圧発生
回路及び出力安定回路などからなるX線制御部と、ブレ
ーカー、ヒューズ及び制御用DCレギュレーターなどか
らなる入力電源部で構成されている。
回路及び出力安定回路などからなるX線制御部と、ブレ
ーカー、ヒューズ及び制御用DCレギュレーターなどか
らなる入力電源部で構成されている。
【0007】X線カメラ20は、X線を受けてX線を電
気信号に変換する映像管と、そのための制御部とで構成
されている。X線カメラ20は装置の底部であって、X
線が照射される位置に、X線管11と同軸に固定されて
いる。
気信号に変換する映像管と、そのための制御部とで構成
されている。X線カメラ20は装置の底部であって、X
線が照射される位置に、X線管11と同軸に固定されて
いる。
【0008】X−Yテーブル(X−Yステージ)30
は、被検査物を載置する試料台であり、X線発生器10
とX線カメラ20の間に配設されている。X−Yテーブ
ル30の表面材質としては、被検査物に傷やダメージを
与えにくいベークライトを使用し、さらに基板等の薄い
被検査物の取扱いを容易にするため表面に溝を形成する
ことが好ましい。X−Yテーブル30は、中間テーブル
31と上面テーブル32とで構成されている。中間テー
ブル31は、装置底部に敷設されたレール33上をロー
ラ34を介して水平の一方向にスムーズに移動する。上
面テーブル32は、中間テーブル31上に載置されてお
り、中間テーブル31の上面に敷設されたレール35上
をローラ36を介してスムーズに移動する。上面テーブ
ル32の移動方向は、中間テーブル31の移動方向と直
交する方向としてある。このX−Yテーブル30を採用
することによって、被検査物の水平面内の位置を自由に
調整して位置合わせを行なうことができる。
は、被検査物を載置する試料台であり、X線発生器10
とX線カメラ20の間に配設されている。X−Yテーブ
ル30の表面材質としては、被検査物に傷やダメージを
与えにくいベークライトを使用し、さらに基板等の薄い
被検査物の取扱いを容易にするため表面に溝を形成する
ことが好ましい。X−Yテーブル30は、中間テーブル
31と上面テーブル32とで構成されている。中間テー
ブル31は、装置底部に敷設されたレール33上をロー
ラ34を介して水平の一方向にスムーズに移動する。上
面テーブル32は、中間テーブル31上に載置されてお
り、中間テーブル31の上面に敷設されたレール35上
をローラ36を介してスムーズに移動する。上面テーブ
ル32の移動方向は、中間テーブル31の移動方向と直
交する方向としてある。このX−Yテーブル30を採用
することによって、被検査物の水平面内の位置を自由に
調整して位置合わせを行なうことができる。
【0009】なお、被検査物の位置合わせを行なった
後、X線検査を行なうに際しては、ステージが微動する
ことなく確実に固定されることが必要である。このた
め、例えば、図4に示すような電磁ロックを用いてテー
ブルを固定することが好ましい。電磁ロックは、装置基
台部に固定されたアルミケーシング61内を摺動する電
磁石62に通電することによって、上面テーブル32の
下面にアルミベース63を介して取付けられたスチール
プレート64に、電磁石62が引き寄せられて密着す
る。電磁石62はアルミケージング61に一定のクリア
ランスをもってホールドされているので上面テーブル3
2は動けなくなり、固定される。電磁石62への通電を
切ると電磁石62はスチールプレート64から離れ、固
定が解除されてテーブルは自由に動けるようになる。な
お、電磁ロックを構成する電磁石62及びスチールプレ
ート64以外の部材は、磁力の影響を避けるため非磁性
金属(アルミニウム等)で形成してある。
後、X線検査を行なうに際しては、ステージが微動する
ことなく確実に固定されることが必要である。このた
め、例えば、図4に示すような電磁ロックを用いてテー
ブルを固定することが好ましい。電磁ロックは、装置基
台部に固定されたアルミケーシング61内を摺動する電
磁石62に通電することによって、上面テーブル32の
下面にアルミベース63を介して取付けられたスチール
プレート64に、電磁石62が引き寄せられて密着す
る。電磁石62はアルミケージング61に一定のクリア
ランスをもってホールドされているので上面テーブル3
2は動けなくなり、固定される。電磁石62への通電を
切ると電磁石62はスチールプレート64から離れ、固
定が解除されてテーブルは自由に動けるようになる。な
お、電磁ロックを構成する電磁石62及びスチールプレ
ート64以外の部材は、磁力の影響を避けるため非磁性
金属(アルミニウム等)で形成してある。
【0010】X−Yテーブル30は、X線検査終了後
は、次の検査に備えるため、及び後述する可動照射筒の
上昇時の引っ掛かりを防止するために、速やかに原点
(センター位置)に戻る必要がある。したがって、図5
に示すように、中間テーブル31の可動方向Hに向かい
合わせて二つの小形のエアシリンダ37a及び37bを
対置させ、押圧部材38a及び38bで中間テーブル3
1の基部31aを両側から押圧して中間テーブル31を
強制的に原点復帰させる。上面テーブルに関しても同様
である。原点位置の確認はフォトセンサースイッチ39
で行なう。このような構成とすると、迅速かつ確実に原
点復帰が行なえるのみならず、位置合わせ時にテーブル
に不必要な力が加わることがないため、位置合わせをス
ムーズに行なうことができ、作業能力が向上する。
は、次の検査に備えるため、及び後述する可動照射筒の
上昇時の引っ掛かりを防止するために、速やかに原点
(センター位置)に戻る必要がある。したがって、図5
に示すように、中間テーブル31の可動方向Hに向かい
合わせて二つの小形のエアシリンダ37a及び37bを
対置させ、押圧部材38a及び38bで中間テーブル3
1の基部31aを両側から押圧して中間テーブル31を
強制的に原点復帰させる。上面テーブルに関しても同様
である。原点位置の確認はフォトセンサースイッチ39
で行なう。このような構成とすると、迅速かつ確実に原
点復帰が行なえるのみならず、位置合わせ時にテーブル
に不必要な力が加わることがないため、位置合わせをス
ムーズに行なうことができ、作業能力が向上する。
【0011】照射筒40は、X線発生器10の下部に設
けられており、X線が外部に漏れるのを防ぐためのX線
遮蔽部である。照射筒40は固定照射筒41と可動照射
筒42で構成されている。固定照射筒41は、X線発生
器の下部に位置するようX線装置の基部(フレーム)に
固定されている。可動照射筒42は、固定照射筒41の
下部に固定照射筒41の先端を取囲むように形成されて
いる。可動照射筒42は上下動可能に構成してあり、被
検査物の装脱が容易に行なえるようにしてある。
けられており、X線が外部に漏れるのを防ぐためのX線
遮蔽部である。照射筒40は固定照射筒41と可動照射
筒42で構成されている。固定照射筒41は、X線発生
器の下部に位置するようX線装置の基部(フレーム)に
固定されている。可動照射筒42は、固定照射筒41の
下部に固定照射筒41の先端を取囲むように形成されて
いる。可動照射筒42は上下動可能に構成してあり、被
検査物の装脱が容易に行なえるようにしてある。
【0012】可動照射筒42の下部には含鉛ゴムからな
る防X線部材50がリング状に取り付けられており、可
動照射筒42の下部と、基板等の被検査物または上面テ
ーブル32との隙間からX線が漏洩するのを防止してい
る。例えば、図3及び6に示すように、被検査基板10
0が可動照射筒42の内部に納まらない場合、上面テー
ブル32と基板100との間に段差(隙間)を生ずる
が、防X線部材50がゴム弾性によって変形して隙間を
塞ぎ、X線の外部への漏洩を完全に防止する。基板の表
面に凹凸がある場合にも同様に漏洩を防止できる。防X
線部材50としては発泡ウレタンゴムに鉛の粒子を混入
した物であって、表面がビニールコーティングされたも
のが最適である。防X線部材の長さは特に制限されない
が、例えば4〜5mm程度とされる。
る防X線部材50がリング状に取り付けられており、可
動照射筒42の下部と、基板等の被検査物または上面テ
ーブル32との隙間からX線が漏洩するのを防止してい
る。例えば、図3及び6に示すように、被検査基板10
0が可動照射筒42の内部に納まらない場合、上面テー
ブル32と基板100との間に段差(隙間)を生ずる
が、防X線部材50がゴム弾性によって変形して隙間を
塞ぎ、X線の外部への漏洩を完全に防止する。基板の表
面に凹凸がある場合にも同様に漏洩を防止できる。防X
線部材50としては発泡ウレタンゴムに鉛の粒子を混入
した物であって、表面がビニールコーティングされたも
のが最適である。防X線部材の長さは特に制限されない
が、例えば4〜5mm程度とされる。
【0013】上記のように、本発明装置においては、上
下に可動する可動照射筒32及び防X線部材50によっ
て、被検査物の検査部位の周辺を部分的に遮蔽する構成
としてあるので、従来のように大型のシールドボックス
を必要としない。したがって、検査装置の小形化及び設
置面積の縮小(従来の1/3〜1/4)を図ることがで
きる。可動照射筒42と固定照射筒41の間の遮蔽は、
可動照射筒42が下端位置にきたときに、固定照射筒4
1に固定された遮蔽部材51と、可動照射筒42とが密
着して、X線の漏洩を防止している。遮蔽部材51とし
ては、上記防X線部材50と同様の材料で形成できる。
下に可動する可動照射筒32及び防X線部材50によっ
て、被検査物の検査部位の周辺を部分的に遮蔽する構成
としてあるので、従来のように大型のシールドボックス
を必要としない。したがって、検査装置の小形化及び設
置面積の縮小(従来の1/3〜1/4)を図ることがで
きる。可動照射筒42と固定照射筒41の間の遮蔽は、
可動照射筒42が下端位置にきたときに、固定照射筒4
1に固定された遮蔽部材51と、可動照射筒42とが密
着して、X線の漏洩を防止している。遮蔽部材51とし
ては、上記防X線部材50と同様の材料で形成できる。
【0014】可動照射筒42の昇降はシリンダ71等で
構成される昇降手段70によって行なう。この場合、上
下用エアーシリンダを用いると、被検査基板等の厚さに
関係なく動作端(最大端)まで可動照射筒42が下降し
てしまい、基板や機構部にダメージを与える可能性が大
きい。そこで、図2及び図7に示すように、スライドレ
ール72上を動くスライダ73をばね74で下方向に付
勢して、可動照射筒42の下降をアーム75を介してば
ね74によって行なうようにする。このようにすると、
被検査基板の厚さが異なっても常に一定の圧力で基板を
押えることができ、機構部に無理がかかることもない。
また、万一、可動照射筒42と上面テーブル32または
基板100との間に指が挟まれた場合であっても、ばね
74によって一定の圧力しかかからないので安全であ
る。ばね74による押圧力の調整は、圧力調整ナット7
6によって行なうことができる。
構成される昇降手段70によって行なう。この場合、上
下用エアーシリンダを用いると、被検査基板等の厚さに
関係なく動作端(最大端)まで可動照射筒42が下降し
てしまい、基板や機構部にダメージを与える可能性が大
きい。そこで、図2及び図7に示すように、スライドレ
ール72上を動くスライダ73をばね74で下方向に付
勢して、可動照射筒42の下降をアーム75を介してば
ね74によって行なうようにする。このようにすると、
被検査基板の厚さが異なっても常に一定の圧力で基板を
押えることができ、機構部に無理がかかることもない。
また、万一、可動照射筒42と上面テーブル32または
基板100との間に指が挟まれた場合であっても、ばね
74によって一定の圧力しかかからないので安全であ
る。ばね74による押圧力の調整は、圧力調整ナット7
6によって行なうことができる。
【0015】昇降手段70は上面テーブル32に固定さ
れており、したがって、可動照射筒42が上面テーブル
32とともに水平移動できるように構成されている。こ
れは、レーザースポット80によって基板のおおよその
位置合わせは行なえるのであるが、最終的な位置合わせ
は、X線を照射しつつ、X線テレビシステムを用いて行
なわれるため、防X線をした状態でX−Yテーブル30
を動かす必要があるからである。例えば、テーブル上で
2mmの誤差があると、X線TVシステムの拡大率が1
5倍であるときは、モニター画面上では30mmの誤差
が生じ、被検査部位が画面から外れてしまうことがあ
る。この場合、モニターを見ながら被検査部位の位置合
わせを行なう必要があるわけであるが、可動照射筒32
を下降した状態でテーブル(基板)を動かして位置合わ
せを行なうと、基板とテーブルの間あるいは基板と可動
照射筒(防X線部材)との間に擦れが生じ被検査物にダ
メージを与える恐れがあり、防X線も不完全になり易
い。そこで、可動照射筒42と上面テーブル32が固定
されたままいっしょに移動できるようにしているのであ
る。これにより、確実にX線の漏洩を防止しつつ、位置
合わせをスムーズに行なうことができ、上述した電磁ロ
ック機構とあいまって位置合わせを素早く確実に行なう
ことができる。可動照射筒が水平方向に移動する場合、
可動照射筒42と固定照射筒41との間の遮蔽は上述し
た遮蔽部材51によって行なわれる。
れており、したがって、可動照射筒42が上面テーブル
32とともに水平移動できるように構成されている。こ
れは、レーザースポット80によって基板のおおよその
位置合わせは行なえるのであるが、最終的な位置合わせ
は、X線を照射しつつ、X線テレビシステムを用いて行
なわれるため、防X線をした状態でX−Yテーブル30
を動かす必要があるからである。例えば、テーブル上で
2mmの誤差があると、X線TVシステムの拡大率が1
5倍であるときは、モニター画面上では30mmの誤差
が生じ、被検査部位が画面から外れてしまうことがあ
る。この場合、モニターを見ながら被検査部位の位置合
わせを行なう必要があるわけであるが、可動照射筒32
を下降した状態でテーブル(基板)を動かして位置合わ
せを行なうと、基板とテーブルの間あるいは基板と可動
照射筒(防X線部材)との間に擦れが生じ被検査物にダ
メージを与える恐れがあり、防X線も不完全になり易
い。そこで、可動照射筒42と上面テーブル32が固定
されたままいっしょに移動できるようにしているのであ
る。これにより、確実にX線の漏洩を防止しつつ、位置
合わせをスムーズに行なうことができ、上述した電磁ロ
ック機構とあいまって位置合わせを素早く確実に行なう
ことができる。可動照射筒が水平方向に移動する場合、
可動照射筒42と固定照射筒41との間の遮蔽は上述し
た遮蔽部材51によって行なわれる。
【0016】なお、本発明装置にあっては、作業者の手
が可動照射筒に挟まれて、X線を浴びる危険性がある。
そこで、図6に示すように、リミットスイッチ52を設
け、可動照射筒42と上面テーブル32との間が一定距
離(例えば、指の厚さ程度(約5mm))以下にならな
いとX線が照射されないようにすることが好ましい。
が可動照射筒に挟まれて、X線を浴びる危険性がある。
そこで、図6に示すように、リミットスイッチ52を設
け、可動照射筒42と上面テーブル32との間が一定距
離(例えば、指の厚さ程度(約5mm))以下にならな
いとX線が照射されないようにすることが好ましい。
【0017】次に、上記構成からなる本発明装置の作用
について説明する。まず、レーザースポット80で照ら
された位置に基板の被検査部位を合わせる。可動照射筒
42を下降し、可動照射筒42及び防X線部材50でX
線を遮蔽可能な状態とする。その後、X線を照射し、X
線カメラ20で撮られた画像を画像コントローラー及び
画像処理装置(図示せず)によって、積分処理等を行な
い見易い画像に変換し、TVモニターに映し出す。エア
ーシリンダ33及び34を解除した後、X−Yテーブル
を駆動して被検査部位の位置合わせの微調整をTVモニ
ターを見ながら行ない、X−Yテーブルを電磁ロックし
た後被検査部位の検査(透視像の観察)を行なう。この
際、X線カメラコントローラ(図示せず)で感度やピン
トを調節し、画像コントローラで画像改善を行ない、必
要に応じ画面のコピー(印刷)を行なう。検査後、電磁
ロックを解除し、エアシリンダ33及び34でX−Yテ
ーブルの原点復帰を行なう。X線をOFFにした後、可
動照射筒を上昇させて、基板を外し、検査を終了する。
について説明する。まず、レーザースポット80で照ら
された位置に基板の被検査部位を合わせる。可動照射筒
42を下降し、可動照射筒42及び防X線部材50でX
線を遮蔽可能な状態とする。その後、X線を照射し、X
線カメラ20で撮られた画像を画像コントローラー及び
画像処理装置(図示せず)によって、積分処理等を行な
い見易い画像に変換し、TVモニターに映し出す。エア
ーシリンダ33及び34を解除した後、X−Yテーブル
を駆動して被検査部位の位置合わせの微調整をTVモニ
ターを見ながら行ない、X−Yテーブルを電磁ロックし
た後被検査部位の検査(透視像の観察)を行なう。この
際、X線カメラコントローラ(図示せず)で感度やピン
トを調節し、画像コントローラで画像改善を行ない、必
要に応じ画面のコピー(印刷)を行なう。検査後、電磁
ロックを解除し、エアシリンダ33及び34でX−Yテ
ーブルの原点復帰を行なう。X線をOFFにした後、可
動照射筒を上昇させて、基板を外し、検査を終了する。
【0018】なお、本発明は上記実施例に限定されず、
本発明の要旨の範囲内で適宜変形して実施できる。例え
ば、可動照射筒の昇降をフットスイッチによって行なえ
るようにすると、作業性が向上する。また、基板の隅部
を観察する場合には、X線の散乱を防ぐため、基板と同
じ厚さのスチール製のスコヤーを基板隅部に当接し、観
察を行なってもよい。
本発明の要旨の範囲内で適宜変形して実施できる。例え
ば、可動照射筒の昇降をフットスイッチによって行なえ
るようにすると、作業性が向上する。また、基板の隅部
を観察する場合には、X線の散乱を防ぐため、基板と同
じ厚さのスチール製のスコヤーを基板隅部に当接し、観
察を行なってもよい。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように本発明の工業用X線
検査装置は、小型でしかも操作性がよく、かつ安価であ
る。
検査装置は、小型でしかも操作性がよく、かつ安価であ
る。
【図1】本発明の一実施例に係る工業用X線装置の正面
図である。
図である。
【図2】本発明の一実施例に係る工業用X線装置の要部
構成図である。
構成図である。
【図3】本発明の一実施例に係る工業用X線装置の平面
図である。
図である。
【図4】電磁ロック機構を示す部分截断図である。
【図5】急速原点復帰を行なうためのエアーシリンダを
示す正面図である。
示す正面図である。
【図6】防X線部材のゴム弾性変形の様子を示す断面図
である。
である。
【図7】昇降手段における下方向付勢ばねを示す部分拡
大図である。
大図である。
【図8】従来のX線検査装置を示す断面図である。
1…X線照射装置 10…X線発生器 20…X線カメラ 30…X−Yテーブル 31…上面テーブル 32…中間テーブル 40…照射筒 41…固定照射筒 42…可動照射筒 50…防X線部材 70…昇降手段
Claims (5)
- 【請求項1】 X線発生器と、X線カメラと、X線発生
器とX線カメラの間に位置し被検査物を載置するテーブ
ルと、X線発生器の下部に設けられ被検査物を部分的に
覆う照射筒と、照射筒の下部にリング状に取り付けられ
た含鉛ゴムからなる防X線部材とを具備したことを特徴
とする工業用X線検査装置。 - 【請求項2】 照射筒を固定照射筒と可動照射筒とで形
成し、可動照射筒を上下動可能に構成した請求項1記載
の工業用X線検査装置。 - 【請求項3】 テーブルを水平方向に移動可能とすると
ともに、このテーブルに可動筒の駆動手段を固定した請
求項2記載の工業用X線検査装置。 - 【請求項4】 テーブルを、水平の一方向に移動する中
間テーブルと、この中間テーブル上に載置され中間テー
ブルの移動方向と直交する方向に移動する上面テーブル
とで構成するとともに、中間テーブルに原点復帰手段を
設けた請求項3記載の工業用X線検査装置。 - 【請求項5】 上面テーブルに固定手段を設けた請求項
4記載の工業用X線検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22947491A JPH05119193A (ja) | 1991-08-15 | 1991-08-15 | 工業用x線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22947491A JPH05119193A (ja) | 1991-08-15 | 1991-08-15 | 工業用x線検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05119193A true JPH05119193A (ja) | 1993-05-18 |
Family
ID=16892746
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22947491A Pending JPH05119193A (ja) | 1991-08-15 | 1991-08-15 | 工業用x線検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05119193A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07132442A (ja) * | 1993-11-09 | 1995-05-23 | Seikosha Co Ltd | X線撮像装置及びこれを使用した加工装置 |
CN110213993A (zh) * | 2017-01-18 | 2019-09-06 | 株式会社岛津制作所 | 巡诊用x射线装置 |
US10571410B2 (en) | 2014-08-13 | 2020-02-25 | Nikon Metrology Nv | X-ray apparatus |
-
1991
- 1991-08-15 JP JP22947491A patent/JPH05119193A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07132442A (ja) * | 1993-11-09 | 1995-05-23 | Seikosha Co Ltd | X線撮像装置及びこれを使用した加工装置 |
US10571410B2 (en) | 2014-08-13 | 2020-02-25 | Nikon Metrology Nv | X-ray apparatus |
US10571409B2 (en) | 2014-08-13 | 2020-02-25 | Nikon Metrology Nv | X-ray apparatus |
CN110213993A (zh) * | 2017-01-18 | 2019-09-06 | 株式会社岛津制作所 | 巡诊用x射线装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7071713B2 (en) | Probe navigation method and device and defect inspection device | |
JP2007105346A (ja) | 放射線撮影装置及び該装置用撮影台 | |
JPH05119193A (ja) | 工業用x線検査装置 | |
CN214334700U (zh) | 一种高效导电粒子检测装置 | |
KR20110111237A (ko) | 리페어 장치 | |
JPH10300676A (ja) | 微細欠陥検査装置 | |
JP4675615B2 (ja) | 不良検査装置並びにプローブ位置決め方法およびプローブ移動方法 | |
CN101810486B (zh) | 放射线成像设备及用于该设备的处理方法 | |
KR19990063453A (ko) | 노광장치에 있어서의 마스크 지지장치 | |
TW584708B (en) | Method and apparatus for measuring a line width | |
JPH0949759A (ja) | 赤外線カメラの対物レンズ交換機構 | |
JP4135283B2 (ja) | 検査装置 | |
JP2863374B2 (ja) | 半導体素子不良解析装置 | |
JP4154816B2 (ja) | 検査装置 | |
JP2003161707A (ja) | X線透視検査装置 | |
JPH0224949A (ja) | 集束イオンビームによるデバイス加工位置合せ装置 | |
JPH0311571A (ja) | フレキシブルプリント配線板と透明基板の回路接続部の位置合せ装置 | |
JP2001201464A (ja) | エックス線可変斜視角透視装置 | |
JPH06201784A (ja) | プローブコンタクト用ステージ装置 | |
CN210834685U (zh) | 一种混料视觉检测设备 | |
JPH0782075B2 (ja) | 被検査体の装着位置及びプローブコンタクト位置への移動装置 | |
KR200169673Y1 (ko) | 반도체 제품 검사장치 | |
JP4172124B2 (ja) | 検査装置 | |
JP2006040761A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
KR20230067199A (ko) | 메탈 마스크 검사기 |