JPH05113B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 (a) 発明の技術分野 この発明は、CCD（チヤージ・カツルド・デバ
イス）などのように、段差のある部品の表面をク
リーニングする機構についてのものである。

(b) 従来技術と問題点 次に、段差のある部品を第１０図と第１１図を
参照して説明する。

第１０図の２１はCCDなどの段差のある部品、
２２は表面、２３は段差である。

CCDは、像を明暗信号として取り出す撮像素
子であり、撮像素子部分の表面２２をガラス面に
している。

この表面２２に、ごみなどが付着すると、ごみ
の像がデータとして検出されてしまうので、
CCD性能測定をする場合や、CCDを使用する場
合は、表面２２からごみなどを取り除かなければ
ならない。

第１０図の表面２１は、段差２３の分だけ他の
部分より引き込んだ形になつている。

第１１図の３１は第１０図の２１と同じよう
に、CCDなどの段差のある部品、３２は表面、
３３は段差である。第１１図の表面３２は、段差
３３の分だけ他の部分よりとび出した形になつて
いる。

部品２１，３１を使用する場合、簡単な方法と
しては、表面２２や表面３２を綿棒などで拭き、
ごみ等が付いていないかを確認してから部品２
１，３１を測定している。このような方法では、
クリーニングの度合いにばらつきが出てくるとい
う問題がある。

また、半導体素子のマスク基板やデスク面をク
リーニングする装置として、特開昭61−203643号
公報、実開昭62−81543号公報などがあるが、こ
れらは、回転軸に洗浄対象物を取り付け、洗浄剤
を圧接させ、洗浄対象物を回転させることによ
り、クリーニングをしている。このため、CCD
などのガラス面をクリーニングする場合、ガラス
面以外のごみなどが逆にガラス面に付着したり、
ガラス面と表面の段差により、洗浄剤の切れ端が
逆にガラス面に付着してしまうという問題があ
る。

(c) 発明の目的 この発明は、CCDなどのように、段差のある
部品の表面をクリーニングする場合、この部品を
複数配列して移動し、この部品の表面に順次エア
を吹き付け、この部品の表面にアルコールを落と
し、クリーニング紙で段差のある表面だけを拭き
取るクリーニング機構により、この部品の表面か
ら確実にごみを取り除くことを目的とする。

(d) 発明の実施例 次に、この発明による実施例の構成図を第１図
に示す。

第１図の１〜４はレール、５は部品、６はクリ
ーニング紙、７と８はローラ、９はアルコールノ
ズル、１０はエアーノズル、１１と１２はリール
である。

クリーニング紙６の一端は、リール１１に巻か
れており、ローラ８，７を通つて、クリーニング
紙６の他端は、リール１２に巻かれている。クリ
ーニングをしていくと、クリーニング紙６は、図
示を省略した駆動機構により、リール１１側から
リール１２側に巻かれていく。

部品５は、部品５のリードなどを利用して、レ
ール１〜４にそれぞれ載せられており、レール１
〜４は図示を省略した駆動機構により第１図の左
側から右側に移動していく。

次に、ローラ７の部分の構成図を第２図〜第５
図を参照にして説明する。

ローラ８の部分についても、同じ構成である。

第２図はレール２が移動する前の部品５とロー
ラ７との関係状態図であり、第３図はレール２が
移動した後の部品５とローラ７との関係状態図で
ある。

第４図は、第２図または第３図の側面図であ
り、 第５図は、第２図から第３図になる中間の状態
の断面図であり、ローラ７は、第５図のように、
部品５の表面５１だけ圧接できる構造となつてい
る。

そのために、ローラ７は図示を省略したばねな
どで一定の圧力を部品５の表面５１に加えてい
る。次に、第２図と第３図の拡大説明図を第６図
に示す。

第６図は、ローラ７の移動範囲と部品５の表面
５１の関係を示している。

ローラ７が部品５の表面５１と接触する範囲
は、部品５の端部５２から距離L1だけ中央寄り
の位置と、部品５の端部５３から距離L2だけ中
央寄りの位置との間である。第６図の範囲で、ロ
ーラ７が部品５の表面５１に接すれば、クリーニ
ング紙６が部品５の端部５２，５３には接触しな
いで移動していくことができる。

次に、部品５の移動機構説明図を第７図に示
す。

レール１は、ガイド棒１３とガイド棒１４に固
定されており、ガイド棒１３，１４を図示を省略
した駆動機構により、同時に第７図の左右に移動
させる。これにより、第７図のレール１を左側か
ら右側に移動させたり、部品５の表面５１にだけ
ローラ７，８が接するように、レール２，３を移
動させたりする。

ガイド棒１３，１４の移動につれて、部品５を
次々にレールに載せていけば、部品５をレール１
からレール４の方へ順に送つていくことができ
る。

次に、第１図の使用方法を説明する。

(ア) レール１上の部品５の表面５１にエアノズル
１０からエアを吹き付け、比較的大きいごみを
吹き飛ばす。

(イ) 部品５の表面５１にアルコールノズル９から
アルコールを落とす。

(ウ) 部品５をレール２に移動する。

(エ) ローラ７を下げ、クリーニング紙６を部品５
の表面５１に密着させる。

(オ) ローラ７の下で、レール２を表面５１の範囲
だけ数回、移動させ、表面５１をアルコールに
よりクリーニングする。

(カ) レール２から部品をレール３に移動する。

(キ) ローラ８の下で、レール３を表面５１の範囲
だけ数回、移動させ、表面５１クリーニング紙
でから拭きする。

(ク) レール３の部品５をレール４へ移動する。

(ア)から(ク)により、部品５の表面５１はクリーニ
ングされるが、(オ)により、粘着物など比較的汚れ
のひどいごみが落とされ、(キ)により、アルコール
と微少なごみが落とされる。

また、部品５をレール１からレール４へ連続的
に載るようにし、ローラ７の下でレール２を動か
すとともに、ローラ８の下でレール３を動かすよ
うにする。これにより、ローラ７によるクリーニ
ングとローラ８によるクリーニングを同時に進行
させることができる。

次に、ローラ７，８とクリーニング紙６との関
係図を第８図と第９図に示す。

ローラ７とローラ８の定寸送り距離をｘ、ロー
ラ７とローラ８の距離をｙとし、クリーニング紙
６のローラ７とローラ８間の距離をＡ〜Ｅとす
る。

クリーニングが終るごとに、クリーニング紙６
を移動させれば、ローラ７，８へは、常に新しい
クリーニング紙６を供給することができる。

(e) 発明の効果 この発明によれば、次のような効果がある。

(ア) ローラ形状のクリーニング紙を段差のある部
品の表面にだけ圧接させることができる。

しかも、部品をクリーニングするときに、移
動させるレールが部品の表面の範囲の長さ分だ
け移動するため、確実に表面だけを拭き取るこ
とができる。

(イ) 同じクリーニング紙上に、ローラを２箇所で
接触させ、アルコールによるクリーニングと、
から拭きをするため、クリーニング紙を２個必
要としないので、装置を小型にすることができ
る。

(ウ) エアーの拭き付けで比較的大きいごみを取
り、アルコールによるクリーニングで粘着物な
ど汚れのひどいごみを取り、さらに、から拭き
で、アルコールと微少ごみを取るので、大きい
ごみ、粘着物、微小ごみなどを順序よく、確実
に取り除くことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による実施例の構成図、第２
図〜第５図はローラ７の部分の構成図、第６図は
第２図と第３図の拡大説明図、第７図は部品５の
移動機構説明図、第８図と第９図はローラ７，８
とクリーニング紙６との関係図、第１０図と第１
１図は段差のある部品の説明図である。 １〜４……レール、５……部品、６……クリー
ニング紙、７，８……ローラ、９……エアノズ
ル、１０……アルコールノズル、１１，１２……
リール、１３，１４……ガイド棒、５１……表
面。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ エアノズル１０とアルコールノズル９を配置
   した第１のレール１と、 第１のローラ７の下に配置される第２のレール
   ２と、 第２のローラ８の下に配置される第３のレール
   ３と、 第１のレール１、第２のレール２、第３のレー
   ル３を同時に移動させるガイド棒１３，１４と、 一端を第１のリール１１に接続され、第２のロ
   ーラ８から第１のローラ７をとおり、他端を第２
   のリール１２に接続され、第１のリール１１から
   第２のリール１２に送られるクリーニング紙６と
   を備え、 段差のある部品５を第１のレール１に載せ、エ
   アノズル１０からのエアで部品５の表面５１を吹
   き、アルコールノズル９からアルコールを部品５
   の表面５１に落とし、第２のレール２を前後動さ
   せ、第１のローラ７でクリーニング紙６を部品５
   の表面５１に接触させ、第３のレール３を前後動
   させ、第２のローラ８でクリーニング紙６を部品
   ５の表面５１に接触させることを特徴とする段差
   のある部品の表面クリーニング機構。