JPH05111235A - リニアモータ装置 - Google Patents
リニアモータ装置Info
- Publication number
- JPH05111235A JPH05111235A JP26171691A JP26171691A JPH05111235A JP H05111235 A JPH05111235 A JP H05111235A JP 26171691 A JP26171691 A JP 26171691A JP 26171691 A JP26171691 A JP 26171691A JP H05111235 A JPH05111235 A JP H05111235A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- guide block
- magnet
- gap
- standing wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 コイル部の発熱にともなうスライダの熱膨張
により、空気軸受のギャップに狂いが生じるのを防止す
る手段を提供する。 【構成】 ガイドブロック１の一方の側部の接合面１ｂ
に対向するスライダ３の一方の側部の接合面３ｂにエア
吹出部５ａを設けて空気軸受とするとともに、ガイドブ
ロック１の他方の側部に立壁１３を設け、且つスライダ
３の他方の側部に、この立壁１３と間隔Ｇ２をおいてこ
の立壁１３に対向するマグネット１２を装着し、このマ
グネット１２の磁気力により、空気軸受の反力に対抗さ
せるようにした。
により、空気軸受のギャップに狂いが生じるのを防止す
る手段を提供する。 【構成】 ガイドブロック１の一方の側部の接合面１ｂ
に対向するスライダ３の一方の側部の接合面３ｂにエア
吹出部５ａを設けて空気軸受とするとともに、ガイドブ
ロック１の他方の側部に立壁１３を設け、且つスライダ
３の他方の側部に、この立壁１３と間隔Ｇ２をおいてこ
の立壁１３に対向するマグネット１２を装着し、このマ
グネット１２の磁気力により、空気軸受の反力に対抗さ
せるようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はリニアモータ装置に係
り、詳しくは、コイル部の発熱にともなうスライダの熱
膨張により、スライダとガイドブロックの間のギャップ
に狂いが生じるのを防止するようにしたリニアモータ装
置の構造に関する。
り、詳しくは、コイル部の発熱にともなうスライダの熱
膨張により、スライダとガイドブロックの間のギャップ
に狂いが生じるのを防止するようにしたリニアモータ装
置の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の電極と基板の電極をワイヤで接
続するワイヤボンディング手段において、ワイヤボンダ
を高速度でＸＹ方向にスライドさせる手段として、空気
軸受式リニアモータ装置が多用されている。
続するワイヤボンディング手段において、ワイヤボンダ
を高速度でＸＹ方向にスライドさせる手段として、空気
軸受式リニアモータ装置が多用されている。
【０００３】図３は、従来のリニアモータ装置を示すも
のであって、図中、１はガイドブロックであり、コイル
部２を有している。３はガイドブロック１上にスライド
自在に載置されたスライダであり、コイル部２に対向す
る位置にマグネット４が装着されている。スライダ３に
穿孔されたエア吹出部５から吹き出される空気の空気圧
により、ガイドブロック１の接合面１ａ，１ｂと、スラ
イダ３の接合面３ａ，３ｂは、僅かなギャップＧをおい
て近接した状態を保持し、コイル部２に通電すると、そ
の磁気力により、スライダ３はガイドブロック１上をス
ライドするようになっている。
のであって、図中、１はガイドブロックであり、コイル
部２を有している。３はガイドブロック１上にスライド
自在に載置されたスライダであり、コイル部２に対向す
る位置にマグネット４が装着されている。スライダ３に
穿孔されたエア吹出部５から吹き出される空気の空気圧
により、ガイドブロック１の接合面１ａ，１ｂと、スラ
イダ３の接合面３ａ，３ｂは、僅かなギャップＧをおい
て近接した状態を保持し、コイル部２に通電すると、そ
の磁気力により、スライダ３はガイドブロック１上をス
ライドするようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところがコイル部２に
通電している間にコイル部２は次第に発熱し、その熱に
よりスライダ３が熱膨張して伸長する結果、ギャップＧ
は次第に小さくなり、このため磁気力に狂いを生じるだ
けでなく、場合によっては接合面１ｂと接合面３ｂが摺
接し、スライダ３がスムーズにスライドできなくなる問
題点があった。
通電している間にコイル部２は次第に発熱し、その熱に
よりスライダ３が熱膨張して伸長する結果、ギャップＧ
は次第に小さくなり、このため磁気力に狂いを生じるだ
けでなく、場合によっては接合面１ｂと接合面３ｂが摺
接し、スライダ３がスムーズにスライドできなくなる問
題点があった。
【０００５】そこで本発明は、コイル部の発熱にともな
う上記問題点を解消できるリニアモータ装置を提供する
ことを目的とする。
う上記問題点を解消できるリニアモータ装置を提供する
ことを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、ガ
イドブロックの一方の側部の接合面に対向するスライダ
の一方の側部の接合面にエア吹出部を設けて空気軸受と
するとともに、上記ガイドブロックの他方の側部に立壁
を設け、且つ上記スライダの他方の側部に、この立壁と
間隔をおいてこの立壁に対向するマグネットを装着した
のものである。
イドブロックの一方の側部の接合面に対向するスライダ
の一方の側部の接合面にエア吹出部を設けて空気軸受と
するとともに、上記ガイドブロックの他方の側部に立壁
を設け、且つ上記スライダの他方の側部に、この立壁と
間隔をおいてこの立壁に対向するマグネットを装着した
のものである。
【０００７】
【作用】上記構成によれば、空気軸受のエア吹出しにと
もなう横方向の反力には、マグネットの磁気力で対抗で
きる。そしてガイドブロックの立壁と、スライダのマグ
ネットとのギャップは、空気軸受のギャップよりも大き
くとれるので、熱膨張によるスライダの伸長はこのギャ
ップにより吸収され、空気軸受のギャップは適正に保持
できる。
もなう横方向の反力には、マグネットの磁気力で対抗で
きる。そしてガイドブロックの立壁と、スライダのマグ
ネットとのギャップは、空気軸受のギャップよりも大き
くとれるので、熱膨張によるスライダの伸長はこのギャ
ップにより吸収され、空気軸受のギャップは適正に保持
できる。
【０００８】
【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。
説明する。
【０００９】図１はリニアモータ装置の斜視図、図２は
断面図である。１はガイドブロックであって、その中央
部にはコイル部２が設けられている。このガイドブロッ
ク１の断面は溝形であって、その両側部にはガイド壁部
６と立壁１３が設けられており、ガイド壁６は水平、垂
直なスライド用接合面１ａ，１ｂを有している。
断面図である。１はガイドブロックであって、その中央
部にはコイル部２が設けられている。このガイドブロッ
ク１の断面は溝形であって、その両側部にはガイド壁部
６と立壁１３が設けられており、ガイド壁６は水平、垂
直なスライド用接合面１ａ，１ｂを有している。
【００１０】スライダ３はプレート状であって、その中
央部の上記コイル部２と対向する位置には、マグネット
４が装着されており、またその両側部は、上記接合面１
ａ，１ｂにわずかなギャップＧ１をおいて接合する接合
面３ａ，３ｂとなっている。このギャップＧ１はきわめ
て小さい。図２において、スライダ３の左方の側部には
空気軸受を構成するエア吹出部５ａ，５ｂが水平方向と
垂直方向に穿孔されており、このエア吹出部５ａ，５ｂ
から吹き出される空気の反力により、このスライダ３は
ガイドブロック１上にわずかに浮上する。
央部の上記コイル部２と対向する位置には、マグネット
４が装着されており、またその両側部は、上記接合面１
ａ，１ｂにわずかなギャップＧ１をおいて接合する接合
面３ａ，３ｂとなっている。このギャップＧ１はきわめ
て小さい。図２において、スライダ３の左方の側部には
空気軸受を構成するエア吹出部５ａ，５ｂが水平方向と
垂直方向に穿孔されており、このエア吹出部５ａ，５ｂ
から吹き出される空気の反力により、このスライダ３は
ガイドブロック１上にわずかに浮上する。
【００１１】スライダ３の右方の側部には、垂直方向の
みにエア吹出部５ｃが設けられており、ガイドブロック
１の水平な接合面１ｃにエアを吹き出してわずかに浮上
する。またスライダ３の右側部にはカギ形に屈折するブ
ラケット１１が取り付けられており、このブラケット１
１の垂直面にはマグネット１２が装着されている。Ｇ２
は上記立壁１３とマグネット１２のギャップであり、そ
の大きさは例えば１００〜５００μｍであり、上記左側
の空気軸受のギャップＧ１よりもはるかに大きくとるこ
とができる。このマグネット１２の磁気力により、スラ
イダ３の左側の水平なエア吹出部５ａからのエアの吹出
しによる横方向の反力に対抗し、空気軸受と同様の作用
を得るものである。
みにエア吹出部５ｃが設けられており、ガイドブロック
１の水平な接合面１ｃにエアを吹き出してわずかに浮上
する。またスライダ３の右側部にはカギ形に屈折するブ
ラケット１１が取り付けられており、このブラケット１
１の垂直面にはマグネット１２が装着されている。Ｇ２
は上記立壁１３とマグネット１２のギャップであり、そ
の大きさは例えば１００〜５００μｍであり、上記左側
の空気軸受のギャップＧ１よりもはるかに大きくとるこ
とができる。このマグネット１２の磁気力により、スラ
イダ３の左側の水平なエア吹出部５ａからのエアの吹出
しによる横方向の反力に対抗し、空気軸受と同様の作用
を得るものである。
【００１２】このブラケット１１の外側には、ガイドブ
ロック１の右側に設けられたガイド壁部６に相当するも
のは存在せず、したがってブラケット１１は外方Ｎに自
由に伸長することができる。
ロック１の右側に設けられたガイド壁部６に相当するも
のは存在せず、したがってブラケット１１は外方Ｎに自
由に伸長することができる。
【００１３】図１において、２１はワイヤボンダであっ
て、駆動部２２と、この駆動部２２から延出するホーン
２３と、このホーン２３の先端部に保持された押圧ツー
ルとしてのキャピラリツール２４から成っており、スラ
イダ３上に設置される。上記コイル部２に通電すると、
マグネット４との間に生じる磁気力により、スライダ３
はスライドし、キャピラリツール２４に挿通されたワイ
ヤ２５により、ワイヤボンディングが行われる。
て、駆動部２２と、この駆動部２２から延出するホーン
２３と、このホーン２３の先端部に保持された押圧ツー
ルとしてのキャピラリツール２４から成っており、スラ
イダ３上に設置される。上記コイル部２に通電すると、
マグネット４との間に生じる磁気力により、スライダ３
はスライドし、キャピラリツール２４に挿通されたワイ
ヤ２５により、ワイヤボンディングが行われる。
【００１４】上記構成において、コイル部２に通電する
と、コイル部２とマグネット４の間に発生する磁気力に
より、スライダ３はガイドブロック１上をスライドす
る。長時間運転する間に、コイル部２は次第に発熱し、
その熱によりスライダ３は幅方向Ｎに熱膨張するが、こ
の膨張は上記ギャップＧ２側に吸収される。したがって
左側のギャップＧ１は適正に保持され、接合面１ｂ，３
ｂが摺接して不要な摩擦が発生することもなく、スライ
ダ３は高速度でスムーズにスライドできる。なお本装置
を２個直交させて組み合わせることにより、上記ワイヤ
ボンダ２１をＸＹ方向にスライドさせるＸＹテーブルと
なる。
と、コイル部２とマグネット４の間に発生する磁気力に
より、スライダ３はガイドブロック１上をスライドす
る。長時間運転する間に、コイル部２は次第に発熱し、
その熱によりスライダ３は幅方向Ｎに熱膨張するが、こ
の膨張は上記ギャップＧ２側に吸収される。したがって
左側のギャップＧ１は適正に保持され、接合面１ｂ，３
ｂが摺接して不要な摩擦が発生することもなく、スライ
ダ３は高速度でスムーズにスライドできる。なお本装置
を２個直交させて組み合わせることにより、上記ワイヤ
ボンダ２１をＸＹ方向にスライドさせるＸＹテーブルと
なる。
【００１５】なお本装置は、フィルムキャリヤのリード
を半導体チップの電極にボンディングするインナーリー
ドボンディング手段、フリップチップの電極にワイヤに
よりバンプを形成するバンプ形成手段等のボンディング
手段にも適用できる。
を半導体チップの電極にボンディングするインナーリー
ドボンディング手段、フリップチップの電極にワイヤに
よりバンプを形成するバンプ形成手段等のボンディング
手段にも適用できる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ガイドブ
ロックの一方の側部の接合面に対向するスライダの一方
の側部の接合面にエア吹出部を設けて空気軸受とすると
ともに、上記ガイドブロックの他方の側部に立壁を設
け、且つ上記スライダの他方の側部に、この立壁と間隔
をおいてこの立壁に対向するマグネットを装着している
ので、エア軸受のギャップを適正に保持して、スライダ
を高速度でスライドさせることができ、殊にワイヤボン
ディングやインナーリードボンディング等において、押
圧ツールをＸＹ方向に高速移動させるＸＹテーブルとし
てきわめて有用である。
ロックの一方の側部の接合面に対向するスライダの一方
の側部の接合面にエア吹出部を設けて空気軸受とすると
ともに、上記ガイドブロックの他方の側部に立壁を設
け、且つ上記スライダの他方の側部に、この立壁と間隔
をおいてこの立壁に対向するマグネットを装着している
ので、エア軸受のギャップを適正に保持して、スライダ
を高速度でスライドさせることができ、殊にワイヤボン
ディングやインナーリードボンディング等において、押
圧ツールをＸＹ方向に高速移動させるＸＹテーブルとし
てきわめて有用である。
【図１】本発明に係るリニアモータ装置の斜視図
【図２】同断面図
【図３】従来のリニアモータ装置の断面図
１ ガイドブロック １ｂ 接合面 ２ コイル部 ３ スライダ ３ｂ 接合面 ４ マグネット ５ａ エア吹出部 １２ マグネット １３ 立壁
Claims (1)
- 【請求項１】ガイドブロックと、このガイドブロック上
にスライド自在に載置されたスライダと、ガイドブロッ
クの中央部に設けられたコイル部と、このコイル部に対
向する上記スライダの中央部に設けられたマグネットと
を備え、上記ガイドブロックの一方の側部の接合面に対
向する上記スライダの一方の側部の接合面にエア吹出部
を設けて空気軸受とするとともに、上記ガイドブロック
の他方の側部に立壁を設け、且つ上記スライダの他方の
側部に、この立壁と間隔をおいてこの立壁に対向するマ
グネットを装着したことを特徴とするリニアモータ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26171691A JP2932788B2 (ja) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | リニアモータ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26171691A JP2932788B2 (ja) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | リニアモータ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05111235A true JPH05111235A (ja) | 1993-04-30 |
| JP2932788B2 JP2932788B2 (ja) | 1999-08-09 |
Family
ID=17365716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26171691A Expired - Fee Related JP2932788B2 (ja) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | リニアモータ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2932788B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100655144B1 (ko) * | 2004-11-04 | 2006-12-08 | 테크리카오엘이디 주식회사 | 진공 장비용 이송장치에 부가된 부하감소장치 |
-
1991
- 1991-10-09 JP JP26171691A patent/JP2932788B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100655144B1 (ko) * | 2004-11-04 | 2006-12-08 | 테크리카오엘이디 주식회사 | 진공 장비용 이송장치에 부가된 부하감소장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2932788B2 (ja) | 1999-08-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3005789B2 (ja) | ワイヤボンデイング装置 | |
| US6786392B2 (en) | Wire bonding device and wire bonding method | |
| USRE37323E1 (en) | Method for sticking an insulating film to a lead frame | |
| JP2008177314A (ja) | モータ制御装置 | |
| JPH05259311A (ja) | 半導体装置 | |
| JP2932788B2 (ja) | リニアモータ装置 | |
| JP3156283B2 (ja) | リニアモータ装置 | |
| JP2015032765A (ja) | 半導体装置 | |
| US6992410B2 (en) | Cooling system for motors | |
| JP3492706B2 (ja) | 空気軸受式リニアモータ装置 | |
| JP3021949B2 (ja) | ボンダの空気軸受装置 | |
| US8256658B2 (en) | Wire bonding apparatus comprising rotary positioning stage | |
| JP4369401B2 (ja) | ワイヤボンディング方法 | |
| JP4847843B2 (ja) | 基板実装装置及び基板実装方法 | |
| TWI223483B (en) | Semiconductor laser apparatus | |
| TWI511214B (zh) | Oxidation prevention gas blowing unit | |
| JP4316122B2 (ja) | Ｉｃチップ規正装置 | |
| JP2005252151A (ja) | 冷却装置 | |
| JPH08153748A (ja) | シングルポイントボンディング方法 | |
| JP4367331B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JPH0574841A (ja) | ボンダのｘｙテーブル装置 | |
| JPH04246876A (ja) | 半導体レーザ素子 | |
| JP2017076732A (ja) | パワーモジュールの製造方法 | |
| JPS6094748A (ja) | 半導体冷却装置 | |
| JPH1116935A (ja) | ワイヤボンディング装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |