JP4367331B2 - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4367331B2 JP4367331B2 JP2004365305A JP2004365305A JP4367331B2 JP 4367331 B2 JP4367331 B2 JP 4367331B2 JP 2004365305 A JP2004365305 A JP 2004365305A JP 2004365305 A JP2004365305 A JP 2004365305A JP 4367331 B2 JP4367331 B2 JP 4367331B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow path
- plate
- semiconductor device
- diffusion plate
- heat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
図1は本発明の実施の形態1による半導体装置を示す側断面図である。半導体モジュールの熱拡散板101に素子102が固着され、電極端子103と配線104とによって電気的に結合されている。これらの構成部材が樹脂の筐体150で囲まれており、パワーモジュール(半導体モジュール)105を形成する。なお、熱拡散板101は基板、ベース板等と称されるもので、半導体である素子102を支持し、熱がよく伝わってくる板状のものである。半導体モジュールの中でも、発熱量の大きいパワーモジュールが特に本発明には適している。
また、流路板201をパワーモジュール105に固定する場合、図7に示すように、固定ねじ204を用いて取り付けても良い。この場合、固定ねじ204は図6に示す流路板201の通し穴241を通して固定する。
また、流路板201の一面とヒートシンク211の流路202の内壁面との間に、図8に示すよう弾性材205を挟み込んで、その反発力を利用して流路板201を熱拡散板101に押し当ててもよい。
また、弾性材205の代わりに図9に示す板ばね208を用いてもよい。この構成によれば、パワーモジュール105の変形量が大きい場合にも、ばねのストロークの大きいものを挟み込むことで変形に追従できる。
また、流路板201の下面とそれに対向するヒートシンク211の内壁面に図10に示すように磁性体207aおよび207bを埋め込んだ。図10では、例えば、対向する位置に固着された磁性体207a、207bを3組示しているが、3組とも互いに反発するように埋め込むことができる。
また、流路板201に遮蔽体208が取り付けられ、図11に示すように、ヒートシンク211の流路202の内壁面に設けられた溝にはめられている。この遮蔽体208は流路板201と一体部品であっても良い。また、流路板201の方に溝をヒートシンク211の方に突起を設けても良い。
Claims (6)
- 半導体素子を内蔵した半導体モジュールの熱拡散板をヒートシンクの冷媒の流路を構成する面とした半導体装置であって、前記流路の中にその一部が支持部を介して前記熱拡散板に固着され、該熱拡散板から所定の距離を離して対向する流路板を設けたことを特徴とする半導体装置。
- 流路板は流路中の冷媒の流れに沿って熱拡散板に対向するように設けられたことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 熱拡散板に対向する流路板の面は、微少な凹凸を備えた面としたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
- 熱拡散板に対向する側の流路壁面と流路板との間に反発部材を備えたことを特徴する請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 熱拡散板に対向する側の流路壁面と流路板とで磁力を用いて反発させたことを特徴する請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 熱拡散板に対向する側の流路壁面と流路板とで互いに嵌りあう凹凸形状を設けたことを特徴する請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004365305A JP4367331B2 (ja) | 2004-12-17 | 2004-12-17 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004365305A JP4367331B2 (ja) | 2004-12-17 | 2004-12-17 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006173420A JP2006173420A (ja) | 2006-06-29 |
JP4367331B2 true JP4367331B2 (ja) | 2009-11-18 |
Family
ID=36673823
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004365305A Active JP4367331B2 (ja) | 2004-12-17 | 2004-12-17 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4367331B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4640183B2 (ja) * | 2006-01-16 | 2011-03-02 | 三菱電機株式会社 | 熱交換器 |
JP5125242B2 (ja) * | 2007-06-14 | 2013-01-23 | 株式会社トッパンNecサーキットソリューションズ | 半導体素子の実装構造、印刷配線板及びその製造方法 |
JP5707972B2 (ja) * | 2011-01-26 | 2015-04-30 | トヨタ自動車株式会社 | 熱交換器 |
JP2012168216A (ja) * | 2011-02-10 | 2012-09-06 | Ricoh Co Ltd | 熱交換装置及び画像形成装置 |
WO2023181944A1 (ja) * | 2022-03-22 | 2023-09-28 | ローム株式会社 | 冷却器および半導体モジュール |
-
2004
- 2004-12-17 JP JP2004365305A patent/JP4367331B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006173420A (ja) | 2006-06-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7019395B2 (en) | Double-sided cooling type semiconductor module | |
US20070000642A1 (en) | Thermally conductive member and cooling system using the same | |
US7654311B2 (en) | Thermal management of systems having localized regions of elevated heat flux | |
US7215549B2 (en) | Plasma display device | |
JP4908733B2 (ja) | 集積回路装置の活性区域から熱を除去する方法及びシステム | |
US6892796B1 (en) | Apparatus and method for mounting a power module | |
KR20040072808A (ko) | 반도체 모듈로부터 발생되는 열을 소산시키는 집게형 장치 | |
JPS60126853A (ja) | 半導体デバイス冷却装置 | |
JP5069876B2 (ja) | 半導体モジュールおよび放熱板 | |
JP4367331B2 (ja) | 半導体装置 | |
TWI809220B (zh) | 調溫裝置 | |
JP4367376B2 (ja) | 電力半導体装置 | |
TWI666748B (zh) | 半導體模組 | |
JP2001284513A (ja) | パワー半導体装置 | |
JP4922903B2 (ja) | 電子機器用の冷却装置 | |
US20230422451A1 (en) | Heat dissipating device and controller assembly | |
JPH02166755A (ja) | 伝熱シート | |
JP2007258291A (ja) | 半導体装置 | |
WO1999016128A1 (en) | Semiconductor module | |
JP6468095B2 (ja) | 半導体装置 | |
JPH10270617A (ja) | 半導体素子用冷却装置 | |
JP7237434B1 (ja) | 半導体装置 | |
JP7328664B2 (ja) | 熱電変換装置 | |
JP3953211B2 (ja) | 電子素子の放熱構造 | |
JPH11274383A (ja) | 放熱部材取り付け構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090318 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090407 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090527 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090603 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090804 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090817 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4367331 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120904 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130904 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |