JPH05109862A - 機械式インターフエース装置 - Google Patents
機械式インターフエース装置Info
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- JPH05109862A JPH05109862A JP26977691A JP26977691A JPH05109862A JP H05109862 A JPH05109862 A JP H05109862A JP 26977691 A JP26977691 A JP 26977691A JP 26977691 A JP26977691 A JP 26977691A JP H05109862 A JPH05109862 A JP H05109862A
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- Japan
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- pod
- pad
- port
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本体ケースのポートまわりにロック機構等を
設けることなく、簡便な手段で、ポッドと装置本体間の
シール性を確実に向上することができる機械式インター
フェース装置を提供することを目的とする。 【構成】 装置ケース１に設けられ被処理物の搬入・搬
出用ポート４を形成するポートプレート３上に載置され
て前記ポートを覆う開口フランジ１２付ポッド１０、こ
のポッドの開口１１を閉鎖可能なポッドドア２１、前記
本体ケース１内に昇降可能に支持され最上昇時に上記ポ
ートプレート３に係合して前記ポートを閉鎖するポート
ドア３１、および上記ポッドのフランジ１２を上記ポー
トプレート３に向けて付勢する手段とを備え、このポー
トドア３１が上記ポッドドア２１を上記ポッド内から本
体ケース１内へまたその逆へ搬送する機械式インターフ
ェース装置において、上記付勢する手段が、上記ポッド
の上面に下降駆動されて当該ポッドを押圧可能なパッド
５４と、このパッド５４を上下動させる昇降駆動機構か
らなることを特徴とする。
設けることなく、簡便な手段で、ポッドと装置本体間の
シール性を確実に向上することができる機械式インター
フェース装置を提供することを目的とする。 【構成】 装置ケース１に設けられ被処理物の搬入・搬
出用ポート４を形成するポートプレート３上に載置され
て前記ポートを覆う開口フランジ１２付ポッド１０、こ
のポッドの開口１１を閉鎖可能なポッドドア２１、前記
本体ケース１内に昇降可能に支持され最上昇時に上記ポ
ートプレート３に係合して前記ポートを閉鎖するポート
ドア３１、および上記ポッドのフランジ１２を上記ポー
トプレート３に向けて付勢する手段とを備え、このポー
トドア３１が上記ポッドドア２１を上記ポッド内から本
体ケース１内へまたその逆へ搬送する機械式インターフ
ェース装置において、上記付勢する手段が、上記ポッド
の上面に下降駆動されて当該ポッドを押圧可能なパッド
５４と、このパッド５４を上下動させる昇降駆動機構か
らなることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体の製造プロセス
で用いられる機械式インターフェース装置に関する。
で用いられる機械式インターフェース装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体の処理は、半導体のパーテ
ィクル汚染を防止するために、特別に設計したクリーン
ルーム内で行なわれていたが、その保守を含めて費用が
かかりすぎるという問題がある他、パーティクル汚染の
汚染レベルの低減には限界があるので、例えば特開昭６
０−１４３６２３号公報に開示されているような標準化
された機械的インターフェース装置が開発された。
ィクル汚染を防止するために、特別に設計したクリーン
ルーム内で行なわれていたが、その保守を含めて費用が
かかりすぎるという問題がある他、パーティクル汚染の
汚染レベルの低減には限界があるので、例えば特開昭６
０−１４３６２３号公報に開示されているような標準化
された機械的インターフェース装置が開発された。
【０００３】この装置は、例えば、図５に示すように、
ウエハ処理装置（図示しない）を収納し、清浄空気で満
たされている装置ケース１と、可搬式タイプのボックス
（以下、ポッドＰＯＤという）１０および搬送装置３０
を含んでいる。装置ケース１の天板２にはポートプレー
ト３によりポート（ウエハカセット２０の搬入・搬出
口）４が形成されており、把手１０Ｃを持つポッドＰＯ
Ｄ１０はこのポートプレート３上に載置される。
ウエハ処理装置（図示しない）を収納し、清浄空気で満
たされている装置ケース１と、可搬式タイプのボックス
（以下、ポッドＰＯＤという）１０および搬送装置３０
を含んでいる。装置ケース１の天板２にはポートプレー
ト３によりポート（ウエハカセット２０の搬入・搬出
口）４が形成されており、把手１０Ｃを持つポッドＰＯ
Ｄ１０はこのポートプレート３上に載置される。
【０００４】ポッドＰＯＤ１０はその開口１１の周囲に
環状部１２ａを持つフランジ１２を有する形状となって
いる。この例の搬送装置３０は昇降装置であって、昇降
軸３２に支持された昇降台３１にウエハカセット２０を
載せて昇降するが、この昇降台３１は、ポートドアとな
っており、最上昇時には、ポートプレート３に下から当
接もしくは嵌合してポート４を本体ケース１を外部に対
して密閉し、また、ポートドア３１上にあるウエハカセ
ット２０の台２１はポッドＰＯＤ１０の開口１１の周部
に当接して当該開口１１を密閉する。この台２１を、以
下、ポッドドアという。１３はシール材であって、ポッ
ドＰＯＤ１０の開口とポッドドア２１との間をシール
し、シール材１４はポッドＰＯＤ１０のフランジ１２と
ポートプレート３との間をシールし、シール材１５はポ
ートプレート３とポートドア３１との間をシールする。
４０はロック機構であって、図示しないギヤードモータ
により駆動されるロックレバー４１を有し、ポッドＰＯ
Ｄ１０のフランジ１２をポートプレート３上へ押し下げ
る働きをする。
環状部１２ａを持つフランジ１２を有する形状となって
いる。この例の搬送装置３０は昇降装置であって、昇降
軸３２に支持された昇降台３１にウエハカセット２０を
載せて昇降するが、この昇降台３１は、ポートドアとな
っており、最上昇時には、ポートプレート３に下から当
接もしくは嵌合してポート４を本体ケース１を外部に対
して密閉し、また、ポートドア３１上にあるウエハカセ
ット２０の台２１はポッドＰＯＤ１０の開口１１の周部
に当接して当該開口１１を密閉する。この台２１を、以
下、ポッドドアという。１３はシール材であって、ポッ
ドＰＯＤ１０の開口とポッドドア２１との間をシール
し、シール材１４はポッドＰＯＤ１０のフランジ１２と
ポートプレート３との間をシールし、シール材１５はポ
ートプレート３とポートドア３１との間をシールする。
４０はロック機構であって、図示しないギヤードモータ
により駆動されるロックレバー４１を有し、ポッドＰＯ
Ｄ１０のフランジ１２をポートプレート３上へ押し下げ
る働きをする。
【０００５】この例においては、処理前のウエハＷが図
示しない他の場所からポートドア３１上へ移載されたの
ち、ポッドＰＯＤ１０をポートプレート３上に載置し、
ロックレバー４１で固定する。ロックレバー４１で固定
したのち、ポッドＰＯＤ１０内に清浄空気を供給して、
ポッドＰＯＤ１０内を本体ケース１内と同様の清浄雰囲
気としたのち、ポートドア３１を移載位置まで下降す
る。ポートドア３１が移載位置まで下降すると、図示し
ない移載装置がポートドア３１上のウエハカセット２０
を処理機械へ搬送する。
示しない他の場所からポートドア３１上へ移載されたの
ち、ポッドＰＯＤ１０をポートプレート３上に載置し、
ロックレバー４１で固定する。ロックレバー４１で固定
したのち、ポッドＰＯＤ１０内に清浄空気を供給して、
ポッドＰＯＤ１０内を本体ケース１内と同様の清浄雰囲
気としたのち、ポートドア３１を移載位置まで下降す
る。ポートドア３１が移載位置まで下降すると、図示し
ない移載装置がポートドア３１上のウエハカセット２０
を処理機械へ搬送する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来は、ウ
エハＷのパーティクル汚染が問題になっていたが、半導
体集積回路の高密度化が進むに従い、空気中の酸素によ
るウエハ表面の自然酸化膜の影響が問題となり始め、こ
の自然酸化膜の成長を防止するため、ウエハの移動、搬
送等を不活性ガス（Ｎ2 ガス）雰囲気中で行なう必要が
生じ、現在では、Ｏ2 の濃度が１０ｐｐｍ以下、Ｈ2 Ｏ
の濃度が１００ｐｐｍ以下であるＮ2 ガス雰囲気が要求
されている。
エハＷのパーティクル汚染が問題になっていたが、半導
体集積回路の高密度化が進むに従い、空気中の酸素によ
るウエハ表面の自然酸化膜の影響が問題となり始め、こ
の自然酸化膜の成長を防止するため、ウエハの移動、搬
送等を不活性ガス（Ｎ2 ガス）雰囲気中で行なう必要が
生じ、現在では、Ｏ2 の濃度が１０ｐｐｍ以下、Ｈ2 Ｏ
の濃度が１００ｐｐｍ以下であるＮ2 ガス雰囲気が要求
されている。
【０００７】上記した装置を用いる場合には、本体ケー
ス１内の空気をＮ2ガスで置換してＮ2 ガス雰囲気と
し、ポッドＰＯＤ１０は、当該ポッドＰＯＤ１０が本体
ケース１の天板２上にセットされる都度、その内部をＮ
2 ガスで置換してＮ2 ガス雰囲気とすることになる。
ス１内の空気をＮ2ガスで置換してＮ2 ガス雰囲気と
し、ポッドＰＯＤ１０は、当該ポッドＰＯＤ１０が本体
ケース１の天板２上にセットされる都度、その内部をＮ
2 ガスで置換してＮ2 ガス雰囲気とすることになる。
【０００８】この場合、ポッドＰＯＤ１０とポートプレ
ート３間、ポッドＰＯＤ１０とポッドドア２１との間、
ポートドア２１とポートプレート３との間のシール性、
特に、ポッドＰＯＤ１０とポートプレート３間のシール
性の向上が要求されるが、シール材（Ｏーリング）は製
造上のバラツキがあり、巨視的に見た場合、きれいな平
面に対して波を打った形状のものもあるので、前記ロッ
クレバー４１を用いるような機械的手段でシール材（Ｏ
ーリング）を押圧する方法では、充分なシール性能を得
ることが難しく、この機械的手段でシール性能を向上す
るには、ポートプレート３の周方向に多数のロックレバ
ー４１を配設する必要がある上、ポッドＰＯＤ１０が大
きくなると所要の押圧力が大きくなるので、１つ１つの
ロック機構が大形化し、これに要する費用も高価になる
他、装置ケースのポートまわりが煩雑になり、ロック機
構のために大きなスペースを取るられるという問題があ
る。
ート３間、ポッドＰＯＤ１０とポッドドア２１との間、
ポートドア２１とポートプレート３との間のシール性、
特に、ポッドＰＯＤ１０とポートプレート３間のシール
性の向上が要求されるが、シール材（Ｏーリング）は製
造上のバラツキがあり、巨視的に見た場合、きれいな平
面に対して波を打った形状のものもあるので、前記ロッ
クレバー４１を用いるような機械的手段でシール材（Ｏ
ーリング）を押圧する方法では、充分なシール性能を得
ることが難しく、この機械的手段でシール性能を向上す
るには、ポートプレート３の周方向に多数のロックレバ
ー４１を配設する必要がある上、ポッドＰＯＤ１０が大
きくなると所要の押圧力が大きくなるので、１つ１つの
ロック機構が大形化し、これに要する費用も高価になる
他、装置ケースのポートまわりが煩雑になり、ロック機
構のために大きなスペースを取るられるという問題があ
る。
【０００９】本発明はこの問題を解消するためになされ
たもので、装置ケースのポートまわりにロック機構等を
設けることなく、簡便な手段で、ポッドと装置本体間の
シール性を確実に向上することができる機械式インター
フェース装置装置を提供することを目的とする。
たもので、装置ケースのポートまわりにロック機構等を
設けることなく、簡便な手段で、ポッドと装置本体間の
シール性を確実に向上することができる機械式インター
フェース装置装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、請求項１では、装置ケースに設けられ被処理
物の搬入・搬出用ポートを形成するポートプレート上に
載置されて前記ポートを覆う開口フランジ付ポッド、こ
のポッドの開口を閉鎖可能なポッドドア、前記本体ケー
ス内に昇降可能に支持され最上昇時に上記ポートプレー
トに係合して前記ポートを閉鎖するポートドア、および
上記ポッドを上記ポートプレートとに向けて付勢する手
段とを備え、このポートドアが上記ポッドドアを上記ポ
ッド内から本体ケースへまたその逆へ搬送する機械式イ
ンターフェース装置において、上記付勢する手段が、上
記ポッドの上面に下降駆動されて当該ポッドを押圧可能
なパッドと、このパッドを上下動させる昇降駆動機構か
らなる構成とした。
するため、請求項１では、装置ケースに設けられ被処理
物の搬入・搬出用ポートを形成するポートプレート上に
載置されて前記ポートを覆う開口フランジ付ポッド、こ
のポッドの開口を閉鎖可能なポッドドア、前記本体ケー
ス内に昇降可能に支持され最上昇時に上記ポートプレー
トに係合して前記ポートを閉鎖するポートドア、および
上記ポッドを上記ポートプレートとに向けて付勢する手
段とを備え、このポートドアが上記ポッドドアを上記ポ
ッド内から本体ケースへまたその逆へ搬送する機械式イ
ンターフェース装置において、上記付勢する手段が、上
記ポッドの上面に下降駆動されて当該ポッドを押圧可能
なパッドと、このパッドを上下動させる昇降駆動機構か
らなる構成とした。
【００１１】請求項２では、パッドは、可動アームに固
定支持された板状の押え部材と下端面が第１の緩衝材で
覆われいるパッド本体からなり、両者は第２の緩衝材を
介在して相対傾動可能に一点連結されている構成とし
た。
定支持された板状の押え部材と下端面が第１の緩衝材で
覆われいるパッド本体からなり、両者は第２の緩衝材を
介在して相対傾動可能に一点連結されている構成とし
た。
【００１２】請求項３では、昇降駆動機構の駆動源ユニ
ットはトルクリミッタを内蔵する構成とした。
ットはトルクリミッタを内蔵する構成とした。
【００１３】請求項４では、パッドは、そのパッド本体
内に、ポッドに設けられた把手に対して進退可能なポッ
ド保持機構を内蔵している。
内に、ポッドに設けられた把手に対して進退可能なポッ
ド保持機構を内蔵している。
【００１４】請求項５では、パッドは、そのパッド本体
内に、ポッドまでの距離を測定する距離センサを内蔵
し、パッド上面に当接後、測定値が許容範囲内にあると
ことを検知したことを条件として、ポッド押圧動作に移
行する構成とした。
内に、ポッドまでの距離を測定する距離センサを内蔵
し、パッド上面に当接後、測定値が許容範囲内にあると
ことを検知したことを条件として、ポッド押圧動作に移
行する構成とした。
【００１５】請求項６では、装置ケースは空ポッドを一
時的に収納可能な棚と、当該棚とポートプレート間ポッ
ド移載手段を有し、付勢する手段は、この移載手段の一
部を構成しているようにした。
時的に収納可能な棚と、当該棚とポートプレート間ポッ
ド移載手段を有し、付勢する手段は、この移載手段の一
部を構成しているようにした。
【００１６】
【作用】本発明では、ポッドがポートプレート上に載置
されると、パッドがポッドの上に下降して当該ポッドを
押圧し、ポッドとポートプレート３との間のシール材の
全周に挟圧力が作用する。
されると、パッドがポッドの上に下降して当該ポッドを
押圧し、ポッドとポートプレート３との間のシール材の
全周に挟圧力が作用する。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
【００１８】図１および図２において、１０Ａ、１０Ｂ
はポッドである。装置ケース１はウエハ処理装置（図示
しない）を収納しているケース本体部１Ａと、仕切り壁
２Ａで当該ケース本体部１Ａと区画されているウエハ搬
入・搬出部１Ｂおよびストッカー部１Ｃからなる。Ｄは
ウエハ搬入・搬出部１Ｂの出し入れ口である。上記仕切
り壁２Ａの、ケース本体部１Ａとポッド取り込み機構
（前記した昇降装置）を収納している空間部分Ｅとを仕
切る水平壁部２ａに、ポート４Ａと４Ｂをそれぞれ有す
るポートプレート３０Ａ、３０Ｂが設けられている。ウ
エハ搬入・搬出部１Ｂは２台の移載装置５０Ａ、５０Ｂ
を収納しており、ストッカー部１Ａは空ポッドＰＯＤ１
０を置くための複数個の棚７０を有している。この移載
装置５０Ａ、５０Ｂは水平駆動機構と垂直駆動機構を備
えるものであるが、本実施例では、垂直駆動機構（昇降
装置）のみを示している。この昇降装置は、例えば、ス
クリュー式の昇降装置であって、ガイド筒５１内の図示
しない回転ねじ軸に図示しない係合子を介して螺合した
可動アーム５２を有し、この可動アーム５２の先端部に
パッド５４が固定されている。５３上記回転ねじ軸を回
転駆動する駆動源ユニットであって、図示しないがトル
クリミッタを内蔵している。なお、本実施例では、昇降
装置５０Ａと５０ＢはポッドＰＯＤ１０Ａ、１０Ｂをそ
れぞれポート４Ａ、４Ｂに向かって昇降させるものであ
る。
はポッドである。装置ケース１はウエハ処理装置（図示
しない）を収納しているケース本体部１Ａと、仕切り壁
２Ａで当該ケース本体部１Ａと区画されているウエハ搬
入・搬出部１Ｂおよびストッカー部１Ｃからなる。Ｄは
ウエハ搬入・搬出部１Ｂの出し入れ口である。上記仕切
り壁２Ａの、ケース本体部１Ａとポッド取り込み機構
（前記した昇降装置）を収納している空間部分Ｅとを仕
切る水平壁部２ａに、ポート４Ａと４Ｂをそれぞれ有す
るポートプレート３０Ａ、３０Ｂが設けられている。ウ
エハ搬入・搬出部１Ｂは２台の移載装置５０Ａ、５０Ｂ
を収納しており、ストッカー部１Ａは空ポッドＰＯＤ１
０を置くための複数個の棚７０を有している。この移載
装置５０Ａ、５０Ｂは水平駆動機構と垂直駆動機構を備
えるものであるが、本実施例では、垂直駆動機構（昇降
装置）のみを示している。この昇降装置は、例えば、ス
クリュー式の昇降装置であって、ガイド筒５１内の図示
しない回転ねじ軸に図示しない係合子を介して螺合した
可動アーム５２を有し、この可動アーム５２の先端部に
パッド５４が固定されている。５３上記回転ねじ軸を回
転駆動する駆動源ユニットであって、図示しないがトル
クリミッタを内蔵している。なお、本実施例では、昇降
装置５０Ａと５０ＢはポッドＰＯＤ１０Ａ、１０Ｂをそ
れぞれポート４Ａ、４Ｂに向かって昇降させるものであ
る。
【００１９】パッド５４は、図３に示すように、可動ア
ーム５２に固定された板状の押え部材５５と上底を有す
る筒状のパッド本体５６からなるキャップ状をしてお
り、両者は、中心部に設けられたボールジョイント５７
で、微小角度だけ相対的に傾動可能に一点連結されてお
り、押え部材５５の下面の周部とパッド本体５６の周部
との間には、押え部材５５もしくはパッド本体５６に取
着されたゴム等の緩衝材５８Ａが介在している。パッド
５４のパッド本体５６は、図４に示すように、ポッドＰ
ＯＤ１０の上面の周部に当接可能な内向きの開口周部
（フランジ部）５６Ａを有し、この開口周部５６Ａの下
面はゴム等の緩衝材５８Ｂで覆われている。また、パッ
ド５４は、その内部に、ポッド保持機構５９と４箇の非
接触式距離センサ６０を収納している。このポッド保持
機構５９はポッドＰＯＤ１０の把手１０Ｃに対して進退
する水平杆５９Ａとこの水平杆５９Ａを進退駆動する駆
動装置５９Ｂからなる。４箇の距離センサ６０はパッド
本体５６Ｂの開口周部５６Ａの四隅の上面にセンサ中心
を透孔５６ａに向けて配設されている。
ーム５２に固定された板状の押え部材５５と上底を有す
る筒状のパッド本体５６からなるキャップ状をしてお
り、両者は、中心部に設けられたボールジョイント５７
で、微小角度だけ相対的に傾動可能に一点連結されてお
り、押え部材５５の下面の周部とパッド本体５６の周部
との間には、押え部材５５もしくはパッド本体５６に取
着されたゴム等の緩衝材５８Ａが介在している。パッド
５４のパッド本体５６は、図４に示すように、ポッドＰ
ＯＤ１０の上面の周部に当接可能な内向きの開口周部
（フランジ部）５６Ａを有し、この開口周部５６Ａの下
面はゴム等の緩衝材５８Ｂで覆われている。また、パッ
ド５４は、その内部に、ポッド保持機構５９と４箇の非
接触式距離センサ６０を収納している。このポッド保持
機構５９はポッドＰＯＤ１０の把手１０Ｃに対して進退
する水平杆５９Ａとこの水平杆５９Ａを進退駆動する駆
動装置５９Ｂからなる。４箇の距離センサ６０はパッド
本体５６Ｂの開口周部５６Ａの四隅の上面にセンサ中心
を透孔５６ａに向けて配設されている。
【００２０】ポッドＰＯＤ１０Ａとポートプレート３Ａ
は、例えば、図３に示すような構造を有している。１３
はポッドＰＯＤ１０Ａの開口とポッドドア２１Ａとの間
をシールするシール材（Ｏーリング）、１４はポッドＰ
ＯＤ１０のフランジ１２の下面に取着されたシール材
（Ｏーリング）、１５はポートプレート３Ａの下面とポ
ートドア３１Ａのフランジ３１ａとの間をシールするシ
ール材（Ｏーリング）である。３Ｉと３Ｏはポートプレ
ート３に形成されたガス給気孔とガス排気孔であって、
一端はポート４Ａおよび４Ｂの内周面に開口し、ガス給
気孔３Ｉの他端は配管を通して図示しないＮ2 ガスボン
ベに接続され、ガス排気孔３Ｏの他端は配管を通して装
置外へ連絡されている。ポッドＰＯＤ１０Ｂとポートプ
レート３Ｂについても同様である。なお、図２の３１Ａ
はポート４Ａに対するポートドア、３１Ｂはポート４Ｂ
に対するポートドア、３０Ａ、３０Ｂは昇降装置であ
る。
は、例えば、図３に示すような構造を有している。１３
はポッドＰＯＤ１０Ａの開口とポッドドア２１Ａとの間
をシールするシール材（Ｏーリング）、１４はポッドＰ
ＯＤ１０のフランジ１２の下面に取着されたシール材
（Ｏーリング）、１５はポートプレート３Ａの下面とポ
ートドア３１Ａのフランジ３１ａとの間をシールするシ
ール材（Ｏーリング）である。３Ｉと３Ｏはポートプレ
ート３に形成されたガス給気孔とガス排気孔であって、
一端はポート４Ａおよび４Ｂの内周面に開口し、ガス給
気孔３Ｉの他端は配管を通して図示しないＮ2 ガスボン
ベに接続され、ガス排気孔３Ｏの他端は配管を通して装
置外へ連絡されている。ポッドＰＯＤ１０Ｂとポートプ
レート３Ｂについても同様である。なお、図２の３１Ａ
はポート４Ａに対するポートドア、３１Ｂはポート４Ｂ
に対するポートドア、３０Ａ、３０Ｂは昇降装置であ
る。
【００２１】なお、ケース本体部１Ａ内は、Ｎ2 ガス雰
囲気にあり、常時、２０リットル／分のＮ2 ガス注入に
より与圧されている。
囲気にあり、常時、２０リットル／分のＮ2 ガス注入に
より与圧されている。
【００２２】本実施例においては、４箇のウエハカセッ
ト（図５に示す）２０が順次ケース本体部１Ａ内に送り
込まれて、図示しない成膜処理用の反応炉等で一括処理
されたのち、順次、ケース本体部１Ａからポート４Ａ、
４Ｂを経てウエハ搬入・搬出部１Ｂへ取り出されるもの
とする。
ト（図５に示す）２０が順次ケース本体部１Ａ内に送り
込まれて、図示しない成膜処理用の反応炉等で一括処理
されたのち、順次、ケース本体部１Ａからポート４Ａ、
４Ｂを経てウエハ搬入・搬出部１Ｂへ取り出されるもの
とする。
【００２３】今、第１のポッドＰＯＤ１０Ａが装置外か
ら図示しない移載ロボットによりポートプレート３Ａ上
に載置されたものとする。
ら図示しない移載ロボットによりポートプレート３Ａ上
に載置されたものとする。
【００２４】（Ａ）第１のポッドＰＯＤ１０Ａがこのポ
ートプレート３Ａ上に載置されると、昇降装置３０Ａ側
の可動アーム５２が下方移動し、パッド５４が上方から
この第１のポッドＰＯＤ１０Ａ上へ、緩衝材５８Ｂがポ
ッドＰＯＤ１０Ａ上面に軽く接触する位置まで下降す
る。
ートプレート３Ａ上に載置されると、昇降装置３０Ａ側
の可動アーム５２が下方移動し、パッド５４が上方から
この第１のポッドＰＯＤ１０Ａ上へ、緩衝材５８Ｂがポ
ッドＰＯＤ１０Ａ上面に軽く接触する位置まで下降す
る。
【００２５】（Ｂ）各距離センサ６０が動作して、ポッ
ドＰＯＤ１０Ａ上面までの距離を測定する。各距離セン
サ６０の測定値が予め設定した許容範囲内の値であれ
ば、ポッド保持機構５９が駆動されて水平杆５９Ａが把
手１０ａ内へ伸びる。
ドＰＯＤ１０Ａ上面までの距離を測定する。各距離セン
サ６０の測定値が予め設定した許容範囲内の値であれ
ば、ポッド保持機構５９が駆動されて水平杆５９Ａが把
手１０ａ内へ伸びる。
【００２６】（Ｃ）水平杆５９Ａが把手１０ａ内へ伸び
てポッド保持可能状態になると、可動アーム５２が予め
設定した距離だけ更に下降し、パッド５４が緩衝材５８
Ｂを介してポッドＰＯＤ１０Ａに下向きの押圧力を作用
する。
てポッド保持可能状態になると、可動アーム５２が予め
設定した距離だけ更に下降し、パッド５４が緩衝材５８
Ｂを介してポッドＰＯＤ１０Ａに下向きの押圧力を作用
する。
【００２７】この押圧力が所定値まで増加すると、前記
したトルクリミッタが働いて駆動源ユニット６１Ｂは可
動軸６１Ａの下降を停止させる。
したトルクリミッタが働いて駆動源ユニット６１Ｂは可
動軸６１Ａの下降を停止させる。
【００２８】従って、シール材（Ｏーリング）１４はポ
ッドＰＯＤ１０Ａとポートプレート３Ａとで挟圧される
ことになる。この時、パッド本体５６と押え部材５５と
がボールジョイント５７で、微小角度だけ相対的に傾動
可能に一点連結されている上、両者間に緩衝材５８Ａが
あるので、この緩衝材５８Ａは、パッド本体５６の上面
と押え部材５５の下面とが平行していなくても、パッド
本体５６がその全周にわたって均等な押力を受けるよう
に変形し、また、パッド本体５６の下面の緩衝材５８Ｂ
は、ポッドＰＯＤ１０Ａの上部に作用する押圧力が局部
的に強くなるのを防止するように変形する。
ッドＰＯＤ１０Ａとポートプレート３Ａとで挟圧される
ことになる。この時、パッド本体５６と押え部材５５と
がボールジョイント５７で、微小角度だけ相対的に傾動
可能に一点連結されている上、両者間に緩衝材５８Ａが
あるので、この緩衝材５８Ａは、パッド本体５６の上面
と押え部材５５の下面とが平行していなくても、パッド
本体５６がその全周にわたって均等な押力を受けるよう
に変形し、また、パッド本体５６の下面の緩衝材５８Ｂ
は、ポッドＰＯＤ１０Ａの上部に作用する押圧力が局部
的に強くなるのを防止するように変形する。
【００２９】このため、前記したように、シール材（Ｏ
ーリング）１４に製造上のバラツキがあり、巨視的に見
た場合、きれいな平面に対して波を打った形状であって
も、シール材１４はポートプレート３Ａにその全周で圧
接し、ポートプレート３ＡとポッドＰＯＤ１０Ａのフラ
ンジ１２との間を充分気密にシールし、ポッドＰＯＤ１
０Ａ内を確実に外気に対して遮断して遮断する。
ーリング）１４に製造上のバラツキがあり、巨視的に見
た場合、きれいな平面に対して波を打った形状であって
も、シール材１４はポートプレート３Ａにその全周で圧
接し、ポートプレート３ＡとポッドＰＯＤ１０Ａのフラ
ンジ１２との間を充分気密にシールし、ポッドＰＯＤ１
０Ａ内を確実に外気に対して遮断して遮断する。
【００３０】（Ｄ）次いで、ガス供給口３ａおよびガス
排気口３ｂを利用して、ポッドＰＯＤ１０Ａ内をＮ2 ガ
スで置換し、このＮ2 ガス置換が終了すると、 （Ｅ）ポッド保持機構５９が水平杆５９Ａを把手１０ａ
外へ退避駆動させる。
排気口３ｂを利用して、ポッドＰＯＤ１０Ａ内をＮ2 ガ
スで置換し、このＮ2 ガス置換が終了すると、 （Ｅ）ポッド保持機構５９が水平杆５９Ａを把手１０ａ
外へ退避駆動させる。
【００３１】（Ｆ）水平杆５９Ａが把手１０ａ外へ退避
駆動すると、ポートドア３１Ａを下降させて、前記した
ウエハカセット２０をケース本体部１Ａ内に取込ませ
る。ケース本体部１Ａ内に取込まれたウエハカセット２
０はポートドア３１Ａ上から図示しない上記反応炉側へ
搬送され、ポートドア３１Ａは上昇してポート４Ａを閉
鎖する。
駆動すると、ポートドア３１Ａを下降させて、前記した
ウエハカセット２０をケース本体部１Ａ内に取込ませ
る。ケース本体部１Ａ内に取込まれたウエハカセット２
０はポートドア３１Ａ上から図示しない上記反応炉側へ
搬送され、ポートドア３１Ａは上昇してポート４Ａを閉
鎖する。
【００３２】（Ｇ）この間に、空になったポッドＰＯＤ
１０Ａは、可動アーム５２で、ポートプレート３Ａから
所定高さ上方へ（図１に点線で示す位置）まで吊り上げ
られたのち、図１に実線で示す水平方向右方へ搬送さ
れ、更に、下方へ搬送されて棚７０上に載置される。
１０Ａは、可動アーム５２で、ポートプレート３Ａから
所定高さ上方へ（図１に点線で示す位置）まで吊り上げ
られたのち、図１に実線で示す水平方向右方へ搬送さ
れ、更に、下方へ搬送されて棚７０上に載置される。
【００３３】（Ｈ）第２のポッドＰＯＤ１０Ｂも、同様
にして、ポートプレート３Ｂ上でパッド５４からの押圧
力を受けて固定され、ポートプレート３Ｂとの間にシー
ル材（Ｏーリング）１４を挟圧する。続いて、上記
（Ｄ）〜（Ｇ）のステップがシーケンシャルに実行され
る。図示しない第３および第４のポッドＰＯＤについて
も同様である。
にして、ポートプレート３Ｂ上でパッド５４からの押圧
力を受けて固定され、ポートプレート３Ｂとの間にシー
ル材（Ｏーリング）１４を挟圧する。続いて、上記
（Ｄ）〜（Ｇ）のステップがシーケンシャルに実行され
る。図示しない第３および第４のポッドＰＯＤについて
も同様である。
【００３４】本実施例のＳＭＩＦ装置は、このようにし
て、ポッドＰＯＤ内を確実に外気に対して遮断して状態
で、ガス供給口３Ｉおよびガス排気口３Ｏを利用して、
ポッドＰＯＤ内をＮ2 ガスで置換する。このＮ2 ガスで
置換のためには、例えば、ポートプレート３Ａ、３Ｂの
下に、当該各ポートプレート下面に気密に係合し、ポー
トドア３１Ａ、３１Ｂが所定距離だけ昇降可能な内部空
間を区画するスカートを各ポートプレート３Ａ、３Ｂと
は別体に設けて、所定距離だけ下降したポートドア３
１、３１Ｂがスカートの上記内部空間の下端を気密に閉
鎖するようにし、開口したポッドＰＯＤ内へガス供給口
３ａからＮ2 ガスを送り込む。
て、ポッドＰＯＤ内を確実に外気に対して遮断して状態
で、ガス供給口３Ｉおよびガス排気口３Ｏを利用して、
ポッドＰＯＤ内をＮ2 ガスで置換する。このＮ2 ガスで
置換のためには、例えば、ポートプレート３Ａ、３Ｂの
下に、当該各ポートプレート下面に気密に係合し、ポー
トドア３１Ａ、３１Ｂが所定距離だけ昇降可能な内部空
間を区画するスカートを各ポートプレート３Ａ、３Ｂと
は別体に設けて、所定距離だけ下降したポートドア３
１、３１Ｂがスカートの上記内部空間の下端を気密に閉
鎖するようにし、開口したポッドＰＯＤ内へガス供給口
３ａからＮ2 ガスを送り込む。
【００３５】
【発明の効果】本発明は以上説明した通り、ポッドをポ
ートプレートに向けて付勢する手段として、ポッドの上
面周部へ下降駆動されて、周部全周に押圧力を作用する
パッドを用いる構成としたことにより、シール材をその
全周で確実に所望の圧接力で圧接させることができるの
で、気体に対するシール性を向上することができ、信頼
性を向上することができる。
ートプレートに向けて付勢する手段として、ポッドの上
面周部へ下降駆動されて、周部全周に押圧力を作用する
パッドを用いる構成としたことにより、シール材をその
全周で確実に所望の圧接力で圧接させることができるの
で、気体に対するシール性を向上することができ、信頼
性を向上することができる。
【００３６】また、装置ケースのポートまわりに部材を
配設する必要がないので、前記ロック機構等を設ける場
合に比して、ポートまわりを簡素化することができる利
点がある他、空ポッドを一時的に装置ケース内に保管す
る機構がある場合には、ポッドを保管場所へ移載するた
めの移載機構にパッドを取りつければよいので、パッド
を上下動させるための昇降装置などを新たに設ける必要
がなく、極めて簡便に所望のシール効果を得ることがで
きる。
配設する必要がないので、前記ロック機構等を設ける場
合に比して、ポートまわりを簡素化することができる利
点がある他、空ポッドを一時的に装置ケース内に保管す
る機構がある場合には、ポッドを保管場所へ移載するた
めの移載機構にパッドを取りつければよいので、パッド
を上下動させるための昇降装置などを新たに設ける必要
がなく、極めて簡便に所望のシール効果を得ることがで
きる。
【図１】本発明の実施例を示す一部破談側面図である。
【図２】上記実施例の正面図である。
【図３】上記実施例の要部拡大図である。
【図４】上記実施例におけるパッドのパッド本体の一部
破断側面図である。
破断側面図である。
【図５】従来のＳＭＩＦ装置の概略を示す図である。
１ 本装置ース ３Ａ、３Ｂ ポートプレート ３Ｉ ガス給気口 ３Ｏ ガス排気口 ４Ａ、４Ｂ ポート １０Ａ、１０Ｂ ポッドＰＯＤ １１ ポッドＰＯＤの開口 １２ ポッドＰＯＤのフランジ １３、１４ シール材 ２０ ウエハカセット ２１ ポッドドア ３０Ａ、３０Ｂ 昇降装置 ３１Ａ、３１Ｂ ポートドア ３２ 昇降軸 ５０Ａ、５０Ｂ 移載装置（昇降装置） ５２ 可動アーム ５３ 駆動源ユニット ５４ パッド ５５ 押え板部 ５６ パッド本体 ５７ ボールジョイント ５８Ａ、５８Ｂ 緩衝材 ５９ ポッド保持機構 ５９Ａ 水平杆 ５９Ｂ 駆動装置 ６０ 距離センサ ７０ 棚
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 林 満弘 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 山下 哲平 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 村田 正直 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 田中 幹 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 森田 日也 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内
Claims (6)
- 【請求項１】 装置ケースに設けられ被処理物の搬入・
搬出用ポートを形成するポートプレート上に載置されて
前記ポートを覆う開口フランジ付ポッド、このポッドの
開口を閉鎖可能なポッドドア、前記本体ケース内に昇降
可能に支持され最上昇時に上記ポートプレートに係合し
て前記ポートを閉鎖するポートドア、および上記ポッド
を上記ポートプレートに向けて付勢する手段とを備え、
このポートドアが上記ポッドドアを上記ポッド内から本
体ケースへまたその逆へ搬送する機械式インターフェー
ス装置において、 上記付勢する手段が、上記ポッドの上面に下降駆動され
て当該ポッドを押圧可能なパッドと、このパッドを上下
動させる昇降駆動機構からなることを特徴とする機械式
インターフェース装置。 - 【請求項２】 パッドは、可動アームに固定支持された
板状の押え部材と下端面が第１の緩衝材で覆われいるパ
ッド本体からなり、両者は第２の緩衝材を介在して相対
傾動可能に一点連結されていることを特徴とする請求項
１記載の機械式インターフェース装置。 - 【請求項３】 昇降駆動機構の駆動源ユニットはトルク
リミッタを内蔵していることを特徴とする請求項１また
は２記載の機械式インターフェース装置。 - 【請求項４】 パッドは、そのパッド本体内に、ポッド
に設けられた把手に対して進退可能なポッド保持機構を
内蔵していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか
に記載の機械式インターフェース装置。 - 【請求項５】 パッドは、そのパッド本体内に、ポッド
までの距離を測定する距離センサを内蔵し、パッド上面
に当接後、測定値が許容範囲内にあるとことを検知した
ことを条件として、ポッド押圧動作に移行することを特
徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の機械式インタ
ーフェース装置。 - 【請求項６】 装置ケースは空ポッドを一時的に収納可
能な棚と、当該棚とポートプレート間ポッド移載手段を
有し、付勢する手段は、この移載手段の一部を構成して
いることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の
機械式インターフェース装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26977691A JP3175231B2 (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | 機械式インターフェース装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26977691A JP3175231B2 (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | 機械式インターフェース装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05109862A true JPH05109862A (ja) | 1993-04-30 |
| JP3175231B2 JP3175231B2 (ja) | 2001-06-11 |
Family
ID=17476999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26977691A Expired - Fee Related JP3175231B2 (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | 機械式インターフェース装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3175231B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008135377A1 (fr) * | 2007-05-04 | 2008-11-13 | Alcatel Lucent | Interface d'enceinte de transport |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6789328B2 (en) * | 2001-04-17 | 2004-09-14 | Brooks Automation, Inc. | Semiconductor load port alignment device |
-
1991
- 1991-10-17 JP JP26977691A patent/JP3175231B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008135377A1 (fr) * | 2007-05-04 | 2008-11-13 | Alcatel Lucent | Interface d'enceinte de transport |
| JP2010526428A (ja) * | 2007-05-04 | 2010-07-29 | アルカテル−ルーセント | トランスポートポッドインターフェース |
| US8276432B2 (en) | 2007-05-04 | 2012-10-02 | Alcatel Lucent | Transport pod interface |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3175231B2 (ja) | 2001-06-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |