JPH05105471A - 光フアイバ母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ母材の製造方法Info
- Publication number
- JPH05105471A JPH05105471A JP29229891A JP29229891A JPH05105471A JP H05105471 A JPH05105471 A JP H05105471A JP 29229891 A JP29229891 A JP 29229891A JP 29229891 A JP29229891 A JP 29229891A JP H05105471 A JPH05105471 A JP H05105471A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- burner
- raw material
- optical fiber
- nozzle
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/06—Concentric circular ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/46—Comprising performance enhancing means, e.g. electrostatic charge or built-in heater
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、一般に外付け法と呼ばれる光ファ
イバ母材の製造方法において、バーナノズル内での原料
ガスの液化現象を効果的に防止する方法を提供すること
を目的とする。 【構成】 かゝる目的を達成する本発明は、バーナ１３
の火炎内にガラス原料を供給してガラス微粒子を生成し
ながら、該バーナ１３を、回転するターゲット部材の軸
方向に複数回トラバースさせてガラス微粒子堆積体を得
る光ファイバ母材の製造方法であって、前記バーナ１３
のノズル１３ａ〜ｄにおいて、原料ガスの外周を流れる
ガスを保温して、原料ガスの液化現象を防止する方法で
ある。
イバ母材の製造方法において、バーナノズル内での原料
ガスの液化現象を効果的に防止する方法を提供すること
を目的とする。 【構成】 かゝる目的を達成する本発明は、バーナ１３
の火炎内にガラス原料を供給してガラス微粒子を生成し
ながら、該バーナ１３を、回転するターゲット部材の軸
方向に複数回トラバースさせてガラス微粒子堆積体を得
る光ファイバ母材の製造方法であって、前記バーナ１３
のノズル１３ａ〜ｄにおいて、原料ガスの外周を流れる
ガスを保温して、原料ガスの液化現象を防止する方法で
ある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、一般に外付け法と呼ば
れる光ファイバ母材の製造方法に関し、特に、バーナノ
ズル内での原料ガスの液化現象を効果的に防止する方法
に関するものである。
れる光ファイバ母材の製造方法に関し、特に、バーナノ
ズル内での原料ガスの液化現象を効果的に防止する方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に外付け法と呼ばれる光ファイバ母
材の製造方法には、例えば図５に示した如き方法があ
る。この方法では、ターゲット部材１の両端をガラス旋
盤などのチャック２，２で保持して回転させ、この周囲
にバーナ（ガラス微粒子合成用燃焼バーナ）３を対峙さ
せつつトラバースさせて、このバーナ３の火炎４中で生
成されたガラス微粒子（ＳｉＯ2 など）を堆積させる。
材の製造方法には、例えば図５に示した如き方法があ
る。この方法では、ターゲット部材１の両端をガラス旋
盤などのチャック２，２で保持して回転させ、この周囲
にバーナ（ガラス微粒子合成用燃焼バーナ）３を対峙さ
せつつトラバースさせて、このバーナ３の火炎４中で生
成されたガラス微粒子（ＳｉＯ2 など）を堆積させる。
【０００３】このガラス微粒子の生成は、原料ガスであ
るガラス原料（ＳｉＣｌ4 、ＧｅＣｌ4 など）を燃焼ガ
ス（Ｈ2 など）、助燃ガス（Ｏ2 など）、不活性ガス
（Ａｒ、Ｎ2 など）などと共にバーナ３の火炎４中に導
入し、この中での加水分解反応により行われる。このよ
うにして生成されたガラス微粒子の堆積は、上記バーナ
３を何度もトラバースさせて一層ずつガラス微粒子堆積
層５として成長させていくわけであるが、このトラバー
スにおいて、堆積体の端部に達したときには、形状を整
えるために、原料ガスを一時止めたり、あるいは減量し
たりした後、反転して平行部に戻り、再び原料ガスの量
を元の量に上げる方法がとられている。
るガラス原料（ＳｉＣｌ4 、ＧｅＣｌ4 など）を燃焼ガ
ス（Ｈ2 など）、助燃ガス（Ｏ2 など）、不活性ガス
（Ａｒ、Ｎ2 など）などと共にバーナ３の火炎４中に導
入し、この中での加水分解反応により行われる。このよ
うにして生成されたガラス微粒子の堆積は、上記バーナ
３を何度もトラバースさせて一層ずつガラス微粒子堆積
層５として成長させていくわけであるが、このトラバー
スにおいて、堆積体の端部に達したときには、形状を整
えるために、原料ガスを一時止めたり、あるいは減量し
たりした後、反転して平行部に戻り、再び原料ガスの量
を元の量に上げる方法がとられている。
【０００４】ところが、上記方法に用いられるＳｉＣｌ
4 などの原料ガスは、その沸点が５０℃以上で、室温に
おいては液体であるため、上記バーナ３によるガラス微
粒子の堆積にあたっては、気化させた状態で用いる必要
がある。このため、バーナ３までの配管部分には、ヒー
タなどによる保温手段を施し、常時沸点以上になるよう
にして、原料ガスの液化現象を防止している。
4 などの原料ガスは、その沸点が５０℃以上で、室温に
おいては液体であるため、上記バーナ３によるガラス微
粒子の堆積にあたっては、気化させた状態で用いる必要
がある。このため、バーナ３までの配管部分には、ヒー
タなどによる保温手段を施し、常時沸点以上になるよう
にして、原料ガスの液化現象を防止している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
バーナ３部分にあっては、このような配慮がなかったた
め、原料ガスがバーナ３のノズル内を通っているとき
に、その外周部を流れる他のガスなどによって冷却さ
れ、液化してしまうことがあった。特に、バーナ３のト
ラバースが反転して再び原料ガスの流量を上げるときに
は、冷却されたノズル中を原料ガスが流れることにな
り、液化現象が起き易い。このようにして、原料ガスが
一旦液化してしまうと、バーナ３からの原料液の飛散が
起こり、完成した光ファイバ母材の品質の低下を招く。
また、液化によってバーナノズル先端が劣化し、バーナ
寿命が短縮されるという問題もある。
バーナ３部分にあっては、このような配慮がなかったた
め、原料ガスがバーナ３のノズル内を通っているとき
に、その外周部を流れる他のガスなどによって冷却さ
れ、液化してしまうことがあった。特に、バーナ３のト
ラバースが反転して再び原料ガスの流量を上げるときに
は、冷却されたノズル中を原料ガスが流れることにな
り、液化現象が起き易い。このようにして、原料ガスが
一旦液化してしまうと、バーナ３からの原料液の飛散が
起こり、完成した光ファイバ母材の品質の低下を招く。
また、液化によってバーナノズル先端が劣化し、バーナ
寿命が短縮されるという問題もある。
【０００６】本発明は、このような従来の実情に鑑みて
なされたものである。
なされたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】かゝる本発明の特徴とす
る点は、バーナの火炎内にガラス原料を供給してガラス
微粒子を生成しながら、該バーナを、回転するターゲッ
ト部材の軸方向に複数回トラバースさせてガラス微粒子
堆積体を得る光ファイバ母材の製造方法であって、前記
バーナのノズルにおいて、原料ガスの外周を流れるガス
を保温する光ファイバ母材の製造方法にある。
る点は、バーナの火炎内にガラス原料を供給してガラス
微粒子を生成しながら、該バーナを、回転するターゲッ
ト部材の軸方向に複数回トラバースさせてガラス微粒子
堆積体を得る光ファイバ母材の製造方法であって、前記
バーナのノズルにおいて、原料ガスの外周を流れるガス
を保温する光ファイバ母材の製造方法にある。
【０００８】
【作用】この原料ガスの外周を流れるガスの保温（原料
ガスの沸点以上の温度での保温）により、原料ガスの液
化現象は効果的に防止される。
ガスの沸点以上の温度での保温）により、原料ガスの液
化現象は効果的に防止される。
【０００９】
【実施例】図１〜図４は本発明に係る光ファイバ母材の
製造方法を実施するための各バーナを示したものであ
る。図１〜図２のバーナ１３は、４重管型のガラス微粒
子合成用燃焼バーナであって、中心から、原料ガスであ
るガラス原料を供給する原料ガス用ノズル１３ａ、燃焼
ガス用ノズル１３ｂ、不活性ガス用ノズル１３ｃ、助燃
ガス用ノズル１３ｄが順次同心円状に構成され、各ノズ
ル１３ａ〜ｄには、対応した供給管路１１３ａ〜ｄが接
続されてなる。一方、図３〜図４のバーナ２３は、マル
チノズル型のガラス微粒子合成用燃焼バーナであって、
中心から、原料ガスであるガラス原料を供給する原料ガ
ス用ノズル２３ａ、不活性ガス用ノズル２３ｂ、複数の
環状に配置された助燃ガス用ノズル２３ｃ・・・、燃焼
ガス用ノズル１３ｄが順次同心円状に構成され、各ノズ
ル２３ａ〜ｄには、対応した供給管路１２３ａ〜ｄが接
続されてなる。
製造方法を実施するための各バーナを示したものであ
る。図１〜図２のバーナ１３は、４重管型のガラス微粒
子合成用燃焼バーナであって、中心から、原料ガスであ
るガラス原料を供給する原料ガス用ノズル１３ａ、燃焼
ガス用ノズル１３ｂ、不活性ガス用ノズル１３ｃ、助燃
ガス用ノズル１３ｄが順次同心円状に構成され、各ノズ
ル１３ａ〜ｄには、対応した供給管路１１３ａ〜ｄが接
続されてなる。一方、図３〜図４のバーナ２３は、マル
チノズル型のガラス微粒子合成用燃焼バーナであって、
中心から、原料ガスであるガラス原料を供給する原料ガ
ス用ノズル２３ａ、不活性ガス用ノズル２３ｂ、複数の
環状に配置された助燃ガス用ノズル２３ｃ・・・、燃焼
ガス用ノズル１３ｄが順次同心円状に構成され、各ノズ
ル２３ａ〜ｄには、対応した供給管路１２３ａ〜ｄが接
続されてなる。
【００１０】このような各バーナ１３、２３を用いて、
本発明方法を実施する場合には、いずれのバーナ１３、
２３にあっても、好ましくは原料ガス用ノズル１３ａ、
２３ａの直ぐ外側に位置する燃焼ガス用ノズル１３ｂ、
または不活性ガス用ノズル２３ｂに供給される各ガスの
温度を、少なくとも原料ガスの沸点より高く保温した状
態で供給する。このガスの保温にあたっては、例えば燃
焼ガス用ノズル１３ｂ、または不活性ガス用ノズル２３
ｂに接続された各管路１１３ｂ、１２３ｂ部分の保温に
より行う。具体的には、管路の外周に電熱ヒータを施し
たり、あるいは２重管路構造として高温蒸気や温水など
を通して行えばよい。
本発明方法を実施する場合には、いずれのバーナ１３、
２３にあっても、好ましくは原料ガス用ノズル１３ａ、
２３ａの直ぐ外側に位置する燃焼ガス用ノズル１３ｂ、
または不活性ガス用ノズル２３ｂに供給される各ガスの
温度を、少なくとも原料ガスの沸点より高く保温した状
態で供給する。このガスの保温にあたっては、例えば燃
焼ガス用ノズル１３ｂ、または不活性ガス用ノズル２３
ｂに接続された各管路１１３ｂ、１２３ｂ部分の保温に
より行う。具体的には、管路の外周に電熱ヒータを施し
たり、あるいは２重管路構造として高温蒸気や温水など
を通して行えばよい。
【００１１】このように本発明の方法では、原料ガス
が、その供給用配管部分ではもちろんのこと、バーナ１
３、２３内にあっても、少なくとも直ぐ外側を流れる他
のガスにより保温されることとなるため、バーナ１３、
２３内で冷却されることがなくなる。この結果、温度低
下により生じる液化現象は効果的に防止される。
が、その供給用配管部分ではもちろんのこと、バーナ１
３、２３内にあっても、少なくとも直ぐ外側を流れる他
のガスにより保温されることとなるため、バーナ１３、
２３内で冷却されることがなくなる。この結果、温度低
下により生じる液化現象は効果的に防止される。
【００１２】なお、上記実施例では、直ぐ外側を流れる
ガスの保温により、原料ガスを保温する方法であった
が、本発明は、これに限定されず、より外側のガスによ
る場合でもよく、とにかく原料ガス以外のガスの保温に
より原料ガスが液化されないバーナ構造であれば、すべ
て包含される。
ガスの保温により、原料ガスを保温する方法であった
が、本発明は、これに限定されず、より外側のガスによ
る場合でもよく、とにかく原料ガス以外のガスの保温に
より原料ガスが液化されないバーナ構造であれば、すべ
て包含される。
【００１３】
【発明の効果】このように本発明に係る光ファイバ母材
の製造方法によれば、バーナのノズル内において、原料
ガスの外周を流れるガスを保温するものであるため、原
料ガスの液化現象が効果的に防止される。この結果、バ
ーナからの原料液の飛散はなくなり、高品質の光ファイ
バ母材が得られると同時に、液化によってバーナノズル
先端が劣化することもなく、バーナ寿命の延長を図るこ
とができる。
の製造方法によれば、バーナのノズル内において、原料
ガスの外周を流れるガスを保温するものであるため、原
料ガスの液化現象が効果的に防止される。この結果、バ
ーナからの原料液の飛散はなくなり、高品質の光ファイ
バ母材が得られると同時に、液化によってバーナノズル
先端が劣化することもなく、バーナ寿命の延長を図るこ
とができる。
【図１】本発明に係る光ファイバ母材の製造方法を実施
するにおいて用いられる多重管型のバーナを示した部分
縦断側面図である。
するにおいて用いられる多重管型のバーナを示した部分
縦断側面図である。
【図２】図１のバーナの吹出口側を示した端面図であ
る。
る。
【図３】本発明に係る光ファイバ母材の製造方法を実施
するにおいて用いられるマルチノズル型のバーナを示し
た部分縦断側面図である。
するにおいて用いられるマルチノズル型のバーナを示し
た部分縦断側面図である。
【図４】図３のバーナの吹出口側を示した端面図であ
る。
る。
【図５】外付け法による光ファイバ母材の製造方法の一
般的な方法を示した概略説明図である。
般的な方法を示した概略説明図である。
１３ バーナ １３ａ〜ｄ ノズル ２３ バーナ ２３ａ〜ｄ ノズル
Claims (1)
- 【請求項１】 バーナの火炎内にガラス原料を供給して
ガラス微粒子を生成しながら、該バーナを、回転するタ
ーゲット部材の軸方向に複数回トラバースさせてガラス
微粒子堆積体を得る光ファイバ母材の製造方法であっ
て、前記バーナのノズルにおいて、原料ガスの外周を流
れるガスを保温することを特徴とする光ファイバ母材の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29229891A JPH05105471A (ja) | 1991-10-11 | 1991-10-11 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29229891A JPH05105471A (ja) | 1991-10-11 | 1991-10-11 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05105471A true JPH05105471A (ja) | 1993-04-27 |
Family
ID=17779950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29229891A Pending JPH05105471A (ja) | 1991-10-11 | 1991-10-11 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05105471A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007100019A1 (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-07 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 石英ガラス製バーナ |
| US7624596B2 (en) | 2002-06-28 | 2009-12-01 | Liekki Oy | Method for the preparation of doped oxide material |
-
1991
- 1991-10-11 JP JP29229891A patent/JPH05105471A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7624596B2 (en) | 2002-06-28 | 2009-12-01 | Liekki Oy | Method for the preparation of doped oxide material |
| WO2007100019A1 (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-07 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 石英ガラス製バーナ |
| JP2007230813A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 石英ガラス製バーナ |
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