JPH0510362Y2 - - Google Patents
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- JPH0510362Y2 JPH0510362Y2 JP1988123135U JP12313588U JPH0510362Y2 JP H0510362 Y2 JPH0510362 Y2 JP H0510362Y2 JP 1988123135 U JP1988123135 U JP 1988123135U JP 12313588 U JP12313588 U JP 12313588U JP H0510362 Y2 JPH0510362 Y2 JP H0510362Y2
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- H01L2224/783—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
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- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、例えば電力用ハイブリツトICのよ
うに少なくとも2つの電子素子を含み、電子素子
が相互に電気的に接続されている電子部品に関す
る。
うに少なくとも2つの電子素子を含み、電子素子
が相互に電気的に接続されている電子部品に関す
る。
第6図に示す従来の電力用ハイブリツトICに
おいて、基板1上のモノリシツクICチツプ2と
パワートランジスタチツプ3とを電気的に接続す
る場合には、中継部材4を設け、ICチツプ2の
電極5と中継部材4の導体層6とを第1のリード
細線7で接続し、トランジスタチツプ3の電極8
と中継部材4の導体層6とを第2のリード細線9
で接続した。
おいて、基板1上のモノリシツクICチツプ2と
パワートランジスタチツプ3とを電気的に接続す
る場合には、中継部材4を設け、ICチツプ2の
電極5と中継部材4の導体層6とを第1のリード
細線7で接続し、トランジスタチツプ3の電極8
と中継部材4の導体層6とを第2のリード細線9
で接続した。
このため、中継部材4が必要になるのみでな
く、2本のリード細線7,9が必要になり、更に
ボンデイング回数も多くなり、必然的にコストア
ツプを招き、また小型化を図る上でも不利になつ
た。
く、2本のリード細線7,9が必要になり、更に
ボンデイング回数も多くなり、必然的にコストア
ツプを招き、また小型化を図る上でも不利になつ
た。
ICチツプ2とトランジスタチツプ3とを1本
のリード細線で直接に接続することも考えられる
が、ワイヤボンデイング法で接続する場合に、
ICチツプ2の電極5とトランジスタチツプ3の
電極8とが共にアルミニウムを主成分とする電極
であり、且つリード細線が金(Au)を主成分と
する細線である場合には、信頼性の高いステツチ
ボンデイング部分を得ることが困難であつた。即
ち、アルミニウム電極に対して金リード細線をス
テツチボンデイングすると、Au−Al合金層が形
成され、半導体装置の製造工程における種々の熱
処理によつてAu−Al合金層が成長し、このAu−
Al合金層がステツチボンデイング部の上方まで
成長すると、Au−Al合金層が成長した領域と成
長していない領域との界面にクラツクが生じ、こ
こからリード細線の破断が生じることを本考案者
等は確認した。なお、ステツチボンデイングされ
るAl電極の厚さを薄くすれば、Au−Al合金層の
成長を抑制することができる。しかしながら、電
極が薄くなるとワイヤボンデイング時のキヤピラ
リの押圧力を電極によつて緩和する作用が低下
し、半導体チツプの割れが生じる。
のリード細線で直接に接続することも考えられる
が、ワイヤボンデイング法で接続する場合に、
ICチツプ2の電極5とトランジスタチツプ3の
電極8とが共にアルミニウムを主成分とする電極
であり、且つリード細線が金(Au)を主成分と
する細線である場合には、信頼性の高いステツチ
ボンデイング部分を得ることが困難であつた。即
ち、アルミニウム電極に対して金リード細線をス
テツチボンデイングすると、Au−Al合金層が形
成され、半導体装置の製造工程における種々の熱
処理によつてAu−Al合金層が成長し、このAu−
Al合金層がステツチボンデイング部の上方まで
成長すると、Au−Al合金層が成長した領域と成
長していない領域との界面にクラツクが生じ、こ
こからリード細線の破断が生じることを本考案者
等は確認した。なお、ステツチボンデイングされ
るAl電極の厚さを薄くすれば、Au−Al合金層の
成長を抑制することができる。しかしながら、電
極が薄くなるとワイヤボンデイング時のキヤピラ
リの押圧力を電極によつて緩和する作用が低下
し、半導体チツプの割れが生じる。
通常のワイヤボンデイング法では、リード細線
の一端がネールヘツドボンデイングされ、他端が
ステツチボンデイングされる。ステツチボンデイ
ング部分には上述のような問題が生じるが、ネー
ルヘツドボンデイング部分には、接続部分の肉厚
が厚いためにAu−Al合金層がさほど問題になら
ない。
の一端がネールヘツドボンデイングされ、他端が
ステツチボンデイングされる。ステツチボンデイ
ング部分には上述のような問題が生じるが、ネー
ルヘツドボンデイング部分には、接続部分の肉厚
が厚いためにAu−Al合金層がさほど問題になら
ない。
そこで、本考案の目的は、第1及び第2の電子
素子間を1本のリード細線で信頼性高く接続する
ことができる構造を提供することにある。
素子間を1本のリード細線で信頼性高く接続する
ことができる構造を提供することにある。
上記目的を達成するための本考案は、第1の電
子素子と第2の電子素子とを含み、前記第1の電
子素子の第1の電極と前記第2の電子素子の第2
の電極とが電気的に接続されている電子部品にお
いて、前記第1の電極がアルミニウムを主成分と
する電極であり、前記第2の電極が銅を主成分と
する電極であり、前記第1の電極と前記第2の電
極とが金を主成分とするリード細線で直接に接続
されており、前記リード細線の一端は前記第1の
電極にネールヘツドボンデイング部分で接続さ
れ、前記リード細線の他端は前記第2の電極にス
テツチボンデイング部分で接続されていることを
特徴とするリード細線を有する電子部品に係わる
ものである。
子素子と第2の電子素子とを含み、前記第1の電
子素子の第1の電極と前記第2の電子素子の第2
の電極とが電気的に接続されている電子部品にお
いて、前記第1の電極がアルミニウムを主成分と
する電極であり、前記第2の電極が銅を主成分と
する電極であり、前記第1の電極と前記第2の電
極とが金を主成分とするリード細線で直接に接続
されており、前記リード細線の一端は前記第1の
電極にネールヘツドボンデイング部分で接続さ
れ、前記リード細線の他端は前記第2の電極にス
テツチボンデイング部分で接続されていることを
特徴とするリード細線を有する電子部品に係わる
ものである。
本考案におけるアルミニウムを主成分とする第
1の電極に対してはリード細線がネールヘツドボ
ンデイング(ボールボンデイング)されている。
従つて、接続部分の肉厚が大きくなり、Au−Al
合金層の問題が実質的に発生しない。第2の電極
は銅を主成分としているので、Au−Al合金層の
問題が生じない。また、リード細線の金(Au)
と第2の電極の銅(Cu)との合金はAu−Al合金
よりも生じ難い。従つて、第2の電極に対するリ
ード細線のステツチボンデイングの信頼性を高め
ることができる。また、第2の電極の厚さを薄く
する必要がないので、第2の電極によつてステツ
チボンデイング時の押圧力を緩和することがで
き、電子素子の割れを防ぐことができる。
1の電極に対してはリード細線がネールヘツドボ
ンデイング(ボールボンデイング)されている。
従つて、接続部分の肉厚が大きくなり、Au−Al
合金層の問題が実質的に発生しない。第2の電極
は銅を主成分としているので、Au−Al合金層の
問題が生じない。また、リード細線の金(Au)
と第2の電極の銅(Cu)との合金はAu−Al合金
よりも生じ難い。従つて、第2の電極に対するリ
ード細線のステツチボンデイングの信頼性を高め
ることができる。また、第2の電極の厚さを薄く
する必要がないので、第2の電極によつてステツ
チボンデイング時の押圧力を緩和することがで
き、電子素子の割れを防ぐことができる。
〔実施例〕
次に、第1図〜第5図を参照して本考案の一実
施例に係わる電力用ハイブリツドICを説明する。
施例に係わる電力用ハイブリツドICを説明する。
この電力用ハイブリツドICは、第5図に示す
ように、加熱作用を有する金属製支持板10の上
に第1の電子素子としてモノリシツクICチツプ
11が固着されていると共に、第2の電子素子と
してパワートランジスタチツプ12が固着されて
いる。ICチツプ11には第1の電極としてAl(ア
ルミニウム)電極13が設けられ、トランジスタ
チツプ12には第2の電極としてCu(銅)電極1
4が設けられ、これ等の間がリード細線15で接
続されている。ICチツプ11の別のAl電極と外
部リード16との間もリード細線15で接続され
ている。支持板10、チツプ11,12、リード
細線15、外部リード16の一部は点線で示す合
成樹脂封止体17で被覆される。
ように、加熱作用を有する金属製支持板10の上
に第1の電子素子としてモノリシツクICチツプ
11が固着されていると共に、第2の電子素子と
してパワートランジスタチツプ12が固着されて
いる。ICチツプ11には第1の電極としてAl(ア
ルミニウム)電極13が設けられ、トランジスタ
チツプ12には第2の電極としてCu(銅)電極1
4が設けられ、これ等の間がリード細線15で接
続されている。ICチツプ11の別のAl電極と外
部リード16との間もリード細線15で接続され
ている。支持板10、チツプ11,12、リード
細線15、外部リード16の一部は点線で示す合
成樹脂封止体17で被覆される。
第5図の一部を拡大して示す第1図から明らか
なように、金(Au)から成るリード細線15の
一端はAl電極13に対してネールヘツドボンデ
イング部分18によつて接続され、他端はCu電
極14に対してステツチボンデイング部分19に
よつて接続されている。
なように、金(Au)から成るリード細線15の
一端はAl電極13に対してネールヘツドボンデ
イング部分18によつて接続され、他端はCu電
極14に対してステツチボンデイング部分19に
よつて接続されている。
なお、Al電極13の層厚は約3μmであり、Cu
電極14の層厚は約1〜3μmであり、共に周知の
真空蒸着法で形成されている。また、リード細線
15は直径約38μmの金細線から成る。
電極14の層厚は約1〜3μmであり、共に周知の
真空蒸着法で形成されている。また、リード細線
15は直径約38μmの金細線から成る。
ネールヘツドボンデイング部分18は第2図に
示すように釘頭形状に形成され、ステツチボンデ
イング部分19は第3図に示すように線径方向に
偏平化された形状に形成されている。なお、ネー
ルヘツドボンデイング部分18の肉厚t1は約33〜
35μmであり、ステツチボンデイング部分19の
ほぼ中央部の肉厚t2は約20μmである。
示すように釘頭形状に形成され、ステツチボンデ
イング部分19は第3図に示すように線径方向に
偏平化された形状に形成されている。なお、ネー
ルヘツドボンデイング部分18の肉厚t1は約33〜
35μmであり、ステツチボンデイング部分19の
ほぼ中央部の肉厚t2は約20μmである。
第4図はワイヤボンデイング方法を模式的に示
す。まず、第4図Aに示すようにキヤピラリ20
からリード細線15を繰り出し、その先端部分に
電気スパーク等でボール21を形成する。続い
て、第4図Bに示すようにモノリシツクICチツ
プ11のAl電極13にこのボール21をキヤピ
ラリ20で押圧し、Al電極13にネールヘツド
ボンデイング部分18を形成する。これにより、
リード細線15の一端がAl電極13に電気的か
つ機械的に接続される。ネールヘツドボンデイン
グ部分18の形成を終えたらキヤピラリ20を第
4図Cに示すように上昇させて大きく引き回すよ
うにしてから、パワートランジスタチツプ12上
のCu電極14の上方へとキヤピラリ20を移動
させる。続いて、キヤピラリ20を下降させて第
4図Dに示すようにリード細線15を線径方向に
キヤピラリ20で押圧し、Cu電極14にステツ
チボンデイング部分19を形成する。これによ
り、リード細線15の他端がCu電極14に電気
的かつ機械的に接続される。ステツチボンデイン
グ部分19を形成した後は、リード細線15を繰
り出しながらキヤピラリ20を所定の間隔だけ上
昇し、その後、リード細線15を繰り出さないよ
うにしてからさらにキヤピラリ20を上昇させ
て、リード細線15をステツチボンデイング部分
19の先端側で破断する。なお、ボールボンデイ
ング部分18及びステツチボンデイング部分19
の肉厚は全体的に均一になつているわけではな
い。従つて、本実施例での肉厚t1,t2は平均的な
肉厚である。
す。まず、第4図Aに示すようにキヤピラリ20
からリード細線15を繰り出し、その先端部分に
電気スパーク等でボール21を形成する。続い
て、第4図Bに示すようにモノリシツクICチツ
プ11のAl電極13にこのボール21をキヤピ
ラリ20で押圧し、Al電極13にネールヘツド
ボンデイング部分18を形成する。これにより、
リード細線15の一端がAl電極13に電気的か
つ機械的に接続される。ネールヘツドボンデイン
グ部分18の形成を終えたらキヤピラリ20を第
4図Cに示すように上昇させて大きく引き回すよ
うにしてから、パワートランジスタチツプ12上
のCu電極14の上方へとキヤピラリ20を移動
させる。続いて、キヤピラリ20を下降させて第
4図Dに示すようにリード細線15を線径方向に
キヤピラリ20で押圧し、Cu電極14にステツ
チボンデイング部分19を形成する。これによ
り、リード細線15の他端がCu電極14に電気
的かつ機械的に接続される。ステツチボンデイン
グ部分19を形成した後は、リード細線15を繰
り出しながらキヤピラリ20を所定の間隔だけ上
昇し、その後、リード細線15を繰り出さないよ
うにしてからさらにキヤピラリ20を上昇させ
て、リード細線15をステツチボンデイング部分
19の先端側で破断する。なお、ボールボンデイ
ング部分18及びステツチボンデイング部分19
の肉厚は全体的に均一になつているわけではな
い。従つて、本実施例での肉厚t1,t2は平均的な
肉厚である。
本実施例は次の作用効果を有する。
(1) リード細線15の一端は、真空蒸着で容易に
形成することができ且つボンデイング不良の原
因となる酸化の発生のし難いAl電極13に、
肉厚の大きいネールヘツドボンデイング部分1
8で接続されているので、従来と同様に高い信
頼性を有している。リード細線15の他端は、
比較的肉薄のステツチボンデイング部分19に
よつてCu電極12に接続されている。しかし、
ボンデイング不良の原因となる合金層が形成さ
れ難いので、リード細線15の破断が生じ難
い。従つて、1本のリード細線15による信頼
性の高い電気的接続を容易に達成することがで
きる。なお、Cu電極14はAl電極13に比べ
て表面が酸化し易い等の点で劣つているが、酸
化はワイヤボンデイング時の雰囲気を非酸化性
にすること等によつて防止することができる。
形成することができ且つボンデイング不良の原
因となる酸化の発生のし難いAl電極13に、
肉厚の大きいネールヘツドボンデイング部分1
8で接続されているので、従来と同様に高い信
頼性を有している。リード細線15の他端は、
比較的肉薄のステツチボンデイング部分19に
よつてCu電極12に接続されている。しかし、
ボンデイング不良の原因となる合金層が形成さ
れ難いので、リード細線15の破断が生じ難
い。従つて、1本のリード細線15による信頼
性の高い電気的接続を容易に達成することがで
きる。なお、Cu電極14はAl電極13に比べ
て表面が酸化し易い等の点で劣つているが、酸
化はワイヤボンデイング時の雰囲気を非酸化性
にすること等によつて防止することができる。
(2) 2つのチツプ11,12間が1本のリード細
線のみで電気的に接続できるため、中継部材が
不要となるし、ワイヤボンデイングの回数も減
少する。従つて、低コスト化及び小型化が可能
であり、生産性も向上する。
線のみで電気的に接続できるため、中継部材が
不要となるし、ワイヤボンデイングの回数も減
少する。従つて、低コスト化及び小型化が可能
であり、生産性も向上する。
(3) リード細線15がネールヘツドボンデイング
とステツチボンデイングとから成るワイヤボン
デイング法により接続できるので、リード細線
15の接続方向に制約を受けず、配線の自由度
が大きい。
とステツチボンデイングとから成るワイヤボン
デイング法により接続できるので、リード細線
15の接続方向に制約を受けず、配線の自由度
が大きい。
(4) ステツチボンデイング部分19が形成される
Cu電極14が十分な肉厚に形成されているの
で、チツプ割れを確実に防止できる。
Cu電極14が十分な肉厚に形成されているの
で、チツプ割れを確実に防止できる。
本考案は上述の実施例に限定されるものでな
く、変形が可能なものである。例えば、リード細
線15は完全に金のみから成る細線でなくてもよ
い。即ち、金を主成分とすればよい。同様に、
Al電極13及びCu電極14はそれぞれAlを主成
分とする電極及びCuを主成分とする電極とする
ことができる。
く、変形が可能なものである。例えば、リード細
線15は完全に金のみから成る細線でなくてもよ
い。即ち、金を主成分とすればよい。同様に、
Al電極13及びCu電極14はそれぞれAlを主成
分とする電極及びCuを主成分とする電極とする
ことができる。
上述のように、本考案によれば、第1の電子素
子に形成された第1の電極と第2の電子素子に形
成された第2の電極との間をリード細線によつて
直接に信頼性高く接続することができるため、電
子部品の低コスト化、生産性の向上及び小型化が
可能になる。
子に形成された第1の電極と第2の電子素子に形
成された第2の電極との間をリード細線によつて
直接に信頼性高く接続することができるため、電
子部品の低コスト化、生産性の向上及び小型化が
可能になる。
第1図は本考案の一実施例に係わる電力用ハイ
ブリツトICの一部を示す断面図、第2図は第1
図のネールヘツドボンデイング部分を示す拡大斜
視図、第3図は第1図のステツチボンデイング部
分を示す拡大斜視図、第4図A,B,C,Dはワ
イヤボンデイングの各段階を模式的に示す断面
図、第5図は電力用ハイブリツトICを示す平面
図、第6図は従来の電力用ハイブリツトICの一
部を示す断面図である。 11……ICチツプ、12……トランジスタチ
ツプ、13……Al電極、14……Cu電極、15
……リード細線、18……ネールヘツドボンデイ
ング部分、19……ステツチボンデイング部分。
ブリツトICの一部を示す断面図、第2図は第1
図のネールヘツドボンデイング部分を示す拡大斜
視図、第3図は第1図のステツチボンデイング部
分を示す拡大斜視図、第4図A,B,C,Dはワ
イヤボンデイングの各段階を模式的に示す断面
図、第5図は電力用ハイブリツトICを示す平面
図、第6図は従来の電力用ハイブリツトICの一
部を示す断面図である。 11……ICチツプ、12……トランジスタチ
ツプ、13……Al電極、14……Cu電極、15
……リード細線、18……ネールヘツドボンデイ
ング部分、19……ステツチボンデイング部分。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 第1の電子素子と第2の電子素子とを含み、前
記第1の電子素子の第1の電極と前記第2の電子
素子の第2の電極とが電気的に接続されている電
子部品において、 前記第1の電極がアルミニウムを主成分とする
電極であり、 前記第2の電極が銅を主成分とする電極であ
り、前記第1の電極と前記第2の電極とが金を主
成分とするリード細線で直接に接続されており、 前記リード細線の一端は前記第1の電極にネー
ルヘツドボンデイング部分で接続され、 前記リード細線の他端は前記第2の電極にステ
ツチボンデイング部分で接続されていることを特
徴とするリード細線を有する電子部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988123135U JPH0510362Y2 (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988123135U JPH0510362Y2 (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0244331U JPH0244331U (ja) | 1990-03-27 |
JPH0510362Y2 true JPH0510362Y2 (ja) | 1993-03-15 |
Family
ID=31371709
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1988123135U Expired - Lifetime JPH0510362Y2 (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0510362Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-09-19 JP JP1988123135U patent/JPH0510362Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0244331U (ja) | 1990-03-27 |
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