JPH05100174A - レーザ・ビーム走査装置 - Google Patents

レーザ・ビーム走査装置

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JPH05100174A
JPH05100174A JP3101390A JP10139091A JPH05100174A JP H05100174 A JPH05100174 A JP H05100174A JP 3101390 A JP3101390 A JP 3101390A JP 10139091 A JP10139091 A JP 10139091A JP H05100174 A JPH05100174 A JP H05100174A
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scanning
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scanning device
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Dov Berman
ドヴ・バーマン
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Scitex Corp Ltd
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SAITETSUKUSU CORP Ltd
Scitex Corp Ltd
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 ポリゴンミラーを用いた光走査装置におい
て、基準ビームの位置を常に検出制御してこれと平行に
移動する走査ビームの位置を正確に制御して精密な走査
を可能にする。 【構成】 レーザヘッド１４からのレーザビームを２分
割し、一方はＡ／Ｏ変調器２４を通して変調した走査用
とし、他方はビーム位置検出用の基準ビームとして、そ
れぞれ単一モード光ファイバ２０Ｃ，２０ｂを通し、そ
の出力端を圧電アクチュエータ３０で支持し、レンズ３
４を介してポリゴンミラー３６に投射する。基準ビーム
は走査方向に長く並んだ基準ビーム位置検出器４２によ
りその位置を検出し、その信号を利用してビーム位置制
御装置５２、駆動器５４を介して圧電アクチュエータ３
０を駆動してポリゴンミラー３６へ入射されるレーザビ
ームの位置を絶えず調節して、基準ビームと常に一定間
隔で平行移動する走査ビームの位置を精密に制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、一般にレーザ・ビー
ム走査装置に関するもので、特に、オプテイカルファイ
バを用いたレーザ・ビーム走査装置に関する。走査とい
う用語は、走査されるべきイメージからの−タ読み込み
とデータを書き出してイメージを作ることの両方を意味
する。
【０００２】
【従来の技術】レーザ・ビームを測定し精確に位置決め
するために、種々の技術が存在する。以下の公知の刊行
物は従来の技術の一般的な状態を表す。
【０００３】Ｓ．ブースキ及びＴ．テイープル著「空間
誤りを補償したレーザ記録性能」ＳＰＩＥ，Ｖｏｌ．５
３，１９７３年。この論文では、交差走査誤りを決定す
るための基準線とともに、ポリゴン転向装置が採用され
ている。ビーム位置に対し２次元の補正がなされ、これ
が差動的に測定される。
【０００４】Ｄ．Ｐ．ジャブロノースキ及びＪ．ラーモ
ット著「高精度、高精密度でのビーム偏向折」ＳＰＩ
Ｅ、Ｖｏｌ．８４，１９７６年。この論文は、２次元位
置の情報を測定するために交差格子を用いて、ガルバノ
メータ駆動型の鏡又はポリゴンを使うＸ−Ｙ偏向を記述
している。基準ビームを位置測定のために偏向させ、書
き込み期間に２次元でビーム位置を測定するのに用い
る。
【０００５】Ｍ．Ｒ．スミス、Ｒ．Ｈ．バーンズ及び
Ｒ．Ｃ．ツアイ著「超高解像度端末」ＳＰＩＥ、Ｖｏ
ｌ．２００，１９７９年。この論文は、液晶ゲートをア
ドレスするためにレーザを使用する高解像度表示装置を
記述している。偏向はガルバノメータに駆動される鏡に
よってなされる。基準ビームは交差型ロンチ回折格子を
打ち、その結果の情報を用いて、ビームの２次元座標を
瞬時に決定する。
【０００６】高品質のレーザ・ビーム走査で出会う主な
問題の１つは、例えばベステンハイマ等のＪｏｕｒｎａ
ｌ ｏｆ Ａｐｐｌ．ｐｈｐｔ．Ｅｎｇ．Ｖｏｌ．２
（１９７６年）の論文に認められるように、レーザで発
生されたドットの隣接するドットに対する精確な位置決
めに関連する。人間の目はビームのライン間分離での周
期的な誤りに対して極めて鋭い感度を有する。強度の変
化に起因する周期的な誤り即ち位置の変動は高可視度の
束縛に通じる。受動的及び能動的な方法を用いてこれら
の誤りを最小に抑えてきた。
【０００７】当該分野では、種々のレーザ走査装置が公
知であり、典型的には、レーザ光源と、該レーザ光源に
よって発生されたレーザ光を走査媒体へ伝える光学素子
とを備える。
【０００８】デイースラ等の米国特許第４、７４６、１
８０号は、少なくとも１つの多重モード・オプテイカル
ファイバ光ガイドと該オプテイカルファイバ光ガイドの
ための１つのガイド素子とから成るレーザ走査装置を開
示する。当該分野では知られているように、多重モード
・オプテイカルファイバ光ガイドは、典型的には光ガイ
ドの一部での運動により、曲率の変化する面における出
口面上で不均質な光分配を生成する。そこで、米国特許
第４、７４６、１８０号の装置は、多重モード・オプテ
イカルファイバ光ガイドの曲率が光ガイドの出口面の運
動期間も維持されるのを保証するために、固い光ガイド
を利用する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、出
口面において一定の光分配を維持しながら自由に運動す
ることができるオプテイカルファイバ光ガイドを使用す
ることである。この発明は、シングルモード・オプテイ
カルファイバを用いるレーザ・ビーム走査装置を提供す
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】したがって、本発明の好
ましい実施例によれば、走査ビームと基準ビームとを生
成するための静止したレーザ光源手段と、前記走査ビー
ムを被走査面へ伝達するためのビーム伝達手段と、前記
基準ビームの位置を感知することによって前記走査ビー
ムの位置を測定するためのビーム位置検出器手段と、前
記基準ビーム及び前記走査ビームを前記レーザ光源手段
から前記ビーム伝達手段へ伝達するためのオプテイカル
ファイバ手段とを具備するレーザ走査装置が提供され
る。
【００１１】更に、本発明の好ましい実施例によれば、
前記オプテイカルファイバ手段は少なくとも１つのモー
ドのオプテイカルファイバ光ガイドを含む。
【００１２】また、本発明の好ましい実施例によれば、
レーザ走査装置は、前記オプテイカルファイバ手段の出
力端に取り付けられたアクチュエータ手段と、前記ビー
ム検出器手段によって生成された測定値に応答して前記
アクチュエータ手段を制御するための閉ループ制御手段
とを更に備える。前記アクチュエータ手段は圧電アクチ
ュエータ手段である。
【００１３】また、本発明の好ましい実施例によれば、
前記ビーム伝達手段はその移動のためのモータ手段を含
む。
【００１４】更に、本発明の好ましい実施例によれば、
前記閉ループ制御手段は、前記ビーム伝達手段での公知
の初期変動を中和するための予備位置決め手段を備え
る。
【００１５】また、本発明の好ましい実施例によれば、
レーザ走査装置は、走査ビームの強度をその走査軸に沿
う相対位置の函数として調節するための手段を更に備
え、データの流れを前記走査ビームの位置と同期させる
ための手段をも備えている。
【００１６】また、本発明の代換の実施例によれば、レ
ーザ・ビームを生成するための静止したレーザ光源手段
と、 前記レーザ・ビームを被走査面へ伝達するための
ビーム伝達手段と、少なくとも１つの出力端を持ち、前
記レーザ・ビームを前記レーザ光源手段から前記ビーム
伝達手段へ伝達するためのオプテイカルファイバ手段
と、前記オプテイカルファイバ手段の前記少なくとも１
つの出力端に取り付けられ、所定量だけ前記少なくとも
１つの出力端を移動させるためのアクチュエータ手段と
を具備するレーザ走査装置が提供される。
【００１７】最後に、本発明の代換の実施例によれば、
走査ビームを生成するための静止したレーザ光源手段
と、前記走査ビームを被走査面へ伝達するためのビーム
伝達手段と、前記走査ビームの位置を測定するためのビ
ーム位置検出器手段と、前記走査ビームを前記レーザ光
源手段から前記ビーム伝達手段へ伝達するためのオプテ
イカルファイバ手段とを具備するレーザ走査装置が提供
される。
【００１８】
【実施例】以下、本発明を添付の図面を参照して詳細に
説明する。
【００１９】図１Ａ及び図１Ｂには、この発明のレーザ
・ビーム走査装置の２つの実施例が示されている。該走
査装置は、露光ビームと基準ビームとの２つのビームを
生成するための典型的には静止した光源装置１０と、こ
れら２つのビームを作用位置へ伝えるためのビーム伝達
装置１２とを備えている。
【００２０】光源装置１０は、Ｈｅ−Ｎｅレーザ、アル
ゴン・レーザ等の適宜なレーザ光源であってレーザ・ビ
ームを生成するレーザ光源１４と、レーザ光が不要のと
きにレーザ・ビームがビーム伝達装置１２を通るのを阻
止するための光シャッタ１６と、レーザ・ビームを基準
ビームと露光ビームとの２つのビームへ分離するための
ビーム・スプリッタ１８とを備える。後に詳述するよう
に、露光ビームはプロットされるべきイメージの画素を
生成するか、走査されるべきイメージの画素を読むのに
使用され、基準ビームは走査線のＸ軸及びＹ軸での露光
ビームの位置を追尾するために使用される。
【００２１】露光ビーム及び基準ビームはそれぞれ、当
該分野で公知のように、ファイバ結合器２２を介してシ
ングルモード・オプテイカルファイバ光ガイド２０ａ，
２０ｂへ伝送される。米国バージニア州スプリングフィ
ールドのイソメット社により製造されるような音響／光
変調器２４が典型的には光ガイド２０ａの端部に位置
し、露光ビームの露光強度を変調するように動作する。
光ガイド２０ａの先端から発出されるレーザ・ビーム
は、ボール・マイクロレンズ又はＧＲＩＮロッド・レン
ズのような第１のレンズによって音響／光変調器２４に
収束又はコリメートされる。音響／光変調器２４を通過
してから、変調された光は、第１のレンズと同様の第２
のレンズによって光ガイド２０ｃの入力に再び収束され
る。
【００２２】プロッタ装置においては、音響／光変調器
２４は、ホスト・コンピュータ１００から受信されたデ
ータ信号に従って露光ビームの伝送をオン、オフするよ
うに動作する。
【００２３】オプテイカルファイバ光ガイド２０ｂ、２
０ｃは、図１Ａのような移動型装置又は図１Ｂのような
静止型装置であるビーム伝達装置１２へレーザ・ビーム
を伝える。オプテイカルファイバ光ガイド２０を使用す
ることにより、ビーム伝達装置１２で受信されるレーザ
・ビームの強度及び品質をさほど低下させることなく、
静止した光源装置１０をビーム伝達装置１２から任意の
距離に位置させることができる。また、シングルモード
・オプテイカルファイバ光ガイド２０は単一の伝搬モー
ドの光を運ぶので、出力ビームの品質は光ガイド２０が
曲げられても変化しない。
【００２４】ビーム伝達装置１２は、西ドイツのフィジ
ックス・インスツルメンツ社によって製造されるような
圧電アクチュエータ３０を備え、これに光ガイド２０
ｂ，２０ｃの出力端が適宜の方法で固着されて、これら
光ガイドの端部が同時に所望の位置へ移動するようにな
されている。
【００２５】基準ビーム及び露光ビームは結合されたビ
ーム３２として光ガイド２０から送出される。この結合
されたビームの結合状態は、図１Ｂの実施例に示されて
いるように可動の台４１又は図１Ａの実施例に示されて
いるように静止した台４３に配置された走査媒体４０で
反射されるまで維持される。
【００２６】結合されたビーム３２は最初に照準レンズ
３４に入る。結合されたビーム３２は平行にされた後、
回転鏡３６へ偏向される。その結果、回転鏡３６は結合
されたビーム３２を偏向し、ｆシータ・レンズ３８を介
して投影する。
【００２７】ｆシータ・レンズ３８は結合されたビーム
３２のビーム焦点距離を円弧の端の方へ延ばすので、円
弧の大部分を直線へ伸ばす。線の末端での最終的な調整
は、後に詳述するように、ビーム強度を増すことにより
電子的に達成される。こうして、ｆシータ・レンズ３８
は前走査線に沿って走査媒体４０への露光ビームの、及
び、ビーム位置検出器（ＢＰＤ）４２への基準ビームの
鋭い収束を保証し、広角歪みを除去する。
【００２８】ＢＰＤ４２は走査線のｘ軸及びｙ軸に沿っ
て基準ビームの位置を測定するように動作する。次い
で、位置データは露光ビームを走査線の正しい位置に維
持するために閉フィードバック・ループにおいて利用さ
れる。適切なＢＰＤ４２については、本出願人の所有す
るヨーロッパ特許出願第０、２６３、７７４号（１９８
８年４月１３日公開）に記述されており、本出願におい
て援用する。なお、米国特許出願第０７／３９６、８０
５号はこのヨーロッパ特許に対応する。
【００２９】図１Ａの実施例では、両方のビームはｆシ
ータ・レンズ３８から鏡４６を介して走査媒体４０へ投
影される。鏡４６から、露光ビームは直接に走査媒体４
０に投影され、基準ビームは鏡４８からＢＰＤ４２へ反
射される。
【００３０】図１Ｂの実施例では、基準ビームはｆシー
タ・レンズ３８からＢＰＤ４２へ直接に投影され、露光
ビームは鏡４４から走査媒体４０へ投影される。
【００３１】それぞれの走査線に沿って線形の走査が行
われなければならず、走査線ではデータ調節はビーム位
置と同期する。隣接する点の中心の間の距離及び点の濃
度は走査線に沿って均一でなければならない。これを達
成するには、ＢＰＤ４２は走査媒体４０のｘ軸及びｙ軸
に沿って基準ビームを追尾し、位置情報を後述する電気
−光電子制御装置（Ｅｌ−Ｏｐ）へ供給する。
【００３２】ｙ軸に沿う追尾とその後のビーム調節は線
形走査を保証する。ｙ軸での基準ビームの位置は、空気
の擾乱や構造上の限界に起因する変動を調節する閉ルー
プへ供給される。最大の変動は回転鏡３６によって生じ
る。これは、それぞれの面の物理的特性が互いに相違す
るからである。他の要因としては、鏡の振動、変動、タ
イイング誤り及び装置の熱的変動が含まれる。以下、閉
ループについて説明する。
【００３３】ｘ軸に沿う露光ビームの位置は、露光ビー
ムの位置とのデータ調節の同期のために、及び、均一な
点濃度を保証するのに必要な、走査線に沿うビーム強度
調節のために常に追尾される。ｘ軸上の露光ビームの位
置はＥｌ−Ｏｐ装置へ供給される。Ｅｌ−Ｏｐ装置はデ
ータ調節を実行し、走査線でのそれぞれの点の強度値を
再生して供給する。
【００３４】ＢＰＤ４２での基準ビームの位置は、走査
媒体４０での露光ビームの位置に対応する。こうして、
基準ビームの追尾は、走査媒体４０での露光ビームの位
置を決めるのに必要であり、また十分である。換言すれ
ば、全部の必要な情報は基準ビームの追尾から供給され
る。露光ビームそのものは追尾されない。走査線に沿う
基準ビーム及び露光ビームの位置は、圧電アクチュエー
タ３０の位置調節によって一緒に調節される。
【００３５】閉フィードバック・ループは、ＢＰＤ４２
から受信される信号を増幅するためのＢＰＤ増幅器５０
と、ＢＰＤ４２の出力に応答して且つＢＰＤ４２のｙ軸
の中心での基準ビームの位置を維持する方向に圧電アク
チュエータ３０に対する制御信号を生成するための閉ル
ープ実時間サーボ制御装置５２と、制御信号に従って圧
電アクチュエータ３０を駆動するための圧電アクチュエ
ータ駆動器５４とを備えている。典型的には、サーボ制
御装置５２は、制御信号に応答して圧電アクチュエータ
３０の適切に平滑で迅速な応答を保証するように設計さ
れる。
【００３６】この発明の特徴は、圧電アクチュエータ３
０の運動によりオプテイカルファイバ光ガイド２０の出
力端の位置を変え、それによって基準ビームと露光ビー
ムとの位置を同時に変えることである。駆動器５４は正
の中心電圧（例えば５０Ｖ）に関して圧電アクチュエー
タ３０を作動させる。
【００３７】当該分野で公知のように、回転鏡３６のそ
れぞれの面は真の面からの変動を有する。それぞれの面
の変動は、面が走査線に対して使用されているときに上
記の閉ループ装置により補正される（走査線の始点で
は、結果として生じる誤り信号は大きい）。閉ループ装
置は誤り信号をゼロにするように動作する。しかし、新
たな面が使用されると、誤り信号は再び大きくなる。こ
れは、１つの面に対する補正が他の面に対しては必ずし
も適切ではないからである。
【００３８】それぞれの面での誤り信号の跳躍を低減す
るために、任意にホスト・コンピュータ１００又はマイ
クロプロセッサ８６（図３）から予備位置決め信号を送
出し、各走査線の開始時にビームを現在の面に対する公
称位置に位置決めする。予備位置決め信号は、この発明
の装置を開ループで動作させることにより、また、ＢＰ
Ｄ４２の中心に関して基準ビームが作る誤りをそれぞれ
の面について測定することにより計算される。それぞれ
の面の予備位置決め信号は、該当する面に対して測定さ
れた誤りを中和する信号である。
【００３９】図２Ａ及び図２Ｂには、図１Ａ及び図１Ｂ
の実施例に対するこの発明の装置をそれぞれ機械的に示
している。静止した光源装置１０はビーム伝達装置１２
の側に位置し、２つの装置は光ガイド２０により接続さ
れる。図２Ａにおいて、圧電アクチュエータ３０、照準
レンズ３４、回転鏡３６、ｆシータ・レンズ３８、鏡４
６は移動ハウジング７０の上端に配置される。移動ハウ
ジング７０は、親ねじを介して移動ハウジング７０に接
続される回転モータ又は線形モータのような適宜のモー
タ手段であり得るモータ手段（図示せず）により台４３
に沿って移動する。ＢＰＤ４２及び鏡４８は台４３側で
ハウジング７０の内側に位置する。
【００４０】図２Ｂでは、ビーム伝達装置の素子は、静
止した面７２の１つの面上に配置され、面７２の下側を
台４１が移動する。この実施例では、台４１は上記の適
宜なモータ手段でよいモータ手段（図示せず）によって
左右に動かされる。
【００４１】図２Ａ及び図２Ｂには、図１Ｂ及び図１Ａ
の実施例の光路がそれぞれ示されている。既に記述した
ように、結合されたビーム３２は圧電アクチュエータ３
０のところでオプテイカルファイバ２０を離れ、照準レ
ンズ３４によって平行にされる。平行にされたビームは
回転鏡３６によってｆシータ・レンズ３８へ偏向され
る。
【００４２】図２Ａにおいて、結合されたビームは鏡４
６によって偏向される。鏡４６は基準ビーム７４を下向
きに鏡４８に向けて偏向し、露光ビーム７６を下向きに
走査媒体４０（図路せず）に向けて偏向する。鏡４８は
基準ビーム７４をＢＰＤ４２の方へ偏向させる。図２Ｂ
では、結合されたビームは鏡４４へ偏向され、この鏡に
よって基準ビームと露光ビームとに分離される。基準ビ
ーム７４はＢＰＤ４２を打ち、露光ビーム７６は走査媒
体４０を打つ。
【００４３】ここで図３を参照すると、そこには、ブロ
ックダイアグラムの形式で、プロッタの実施例における
本発明の装置の電気的、光学的素子とそれを動作させる
に必要なＥｌ−Ｏｐ装置とが示されている。
【００４４】Ｅｌ−Ｏｐ装置において、ＢＰＤ増幅器５
０はＢＰＤ４２の２つのセンサ（前記ヨーロッパ出願第
０、２６３、７４４号参照）からの電圧信号を受信して
それらを加算する。ビーム強度に比例する結果の電圧は
クロック（ＣＬＫ）パルスへ変換される。電圧信号は所
定の数のミクロン毎に発生される。こうして、所定のパ
ルス幅を持つＣＬＫパルス周波数が与えられる。
【００４５】ストローブＰＬＬボード８０はＣＬＫ周波
数をＥＸＰ ＣＬＫ信号のパルス列へ増大させる。それ
ぞれのＥＸＰ ＣＬＫ信号はデータ・サブシステム（図
路せず）へ送られ、そこからビーム制御ボードへ送られ
る。それぞれのＥＸＰ ＣＬＫ信号は１個の露光点のデ
ータをビーム制御ボードへ送出するようにデータ・サブ
システムに対して指示する。
【００４６】ビーム制御ボードはデータ調整を行うもの
で、伝送される光の角度に起因する公知の鏡変動及びｆ
シータ・レンズ３８の透過度の公知の変動を補正するの
に必要な、走査線に沿う強度値を蓄積する補正ＬＵＴ１
２０を含む。ＬＵＴ１２０によって提供される補正は走
査媒体４０に均一な光強度を作るのを助ける。データ・
バス１０２を介して受信されたビーム位置検出器パルス
は、適正なレーザ強度が線全体に沿って加えられるよう
にＬＵＴアドレスを進める。
【００４７】プロッタ装置では、ビーム制御ボードは、
プロットされるべきデータをホスト・コンピュータ１０
０から受け取る、スクリーン・プロセッサのようなデー
タ・ボード１１２を備える。データ・ボード１１２から
データはデータ露光ボード１１０へ送られ、そのボード
でデイジタル・データ信号の同期を取り且つ調整してこ
れを適切な強度レベルへ変形する。
【００４８】ＬＵＴ１２０とデータ露光ボード１１０か
らのデータは変調器ドライバ１１４へ送られ、ここで、
データ露光ボード１１０及びＬＵＴ１２０から受信され
る信号に従って発振器１１６からの高周波数信号（典型
的には１１０ＭＨｚ）が変調される。データ露光ボード
１１０は露光ビーム７６の所要のオン、オフ状態を指示
し、ＬＵＴ１２０は露光ビーム７６の強度の程度を指示
する。
【００４９】変調器ドライバ１１４によって作られた信
号は増幅器１１８によって増幅され、増幅された信号は
露光ビームの変調のために音響／光変調器２４に加えら
れる。
【００５０】露光ビームの光強度を測定するために、Ｐ
ＩＮダイオードのような光検出器６０が図１Ａの実施例
における鏡４６の近くに、又は図１Ｂの実施例における
鏡４４の近くに配置される。簡単にするために、図１Ａ
及図１Ｂには光検出器６０は示されていない。
【００５１】光検出器６０は鏡４４又は４６から受信し
た光の強度に比例した信号を出力する。その結果の信号
は、Ｄ／Ａ変換器、ドライバ及びクロック回路を含み露
光ビーム７６の光強度を制御する光制御装置８４に入力
される。
【００５２】システム・マイクロプロセッサ８６は予備
位置決め信号のために使用される値を蓄積し、データ・
バス１０２を介して本発明の装置とのインターフェース
を行う。
【００５３】要するに、レーザ・ビームの光路に存在す
る光素子は、適正な強度の変調された露光ビームの光路
を走査媒体４０へ向かわせるように動作する。これらの
素子はＥｌ−Ｏｐ装置によって制御され、ビーム位置を
調節し、ビームを変調し、ビーム強度を調節する。
【００５４】本発明は、オプテイカルファイバ光ガイド
を用いる単一の露光ビームを作るレーザ走査装置に適用
することができる。単一のオプテイカルファイバ光ガイ
ドはビーム位置検出器を打つ基準ビームの結果として受
信されるフィードバック信号によるのではなく、上記の
ように、予備位置信号によって制御される圧電アクチュ
エータにより動かされる。本発明のこの代換の実施例
は、固定された台を持つレーザ・ビーム走査装置の図４
に示されている。
【００５５】更に、本発明は、基準ビームと露光ビーム
とを単一のビームに結合して単一のオプテイカルファイ
バ光ガイドによって伝達することができるレーザ走査装
置に適用することができる。
【００５６】本発明がここに特に図示し記述したものに
よって限定されないことを当業者は理解すべきである。
本発明の範囲は、特許請求の範囲によってのみ定義され
るものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１Ａは、本発明の好ましい実施例に従って構
成されたレーザ走査装置を概略的に示す図であり、オプ
テイカルファイバ素子が使用され、走査素子は固定され
た台に沿って移動する。図１Ｂは、図１Ａのレーザ走査
装置の別の実施例を概略的に示す図であり、走査素子は
移動台に対して静止している。
【図２】図２Ａは、図１Ａの装置の素子及び光が装置を
伝わるときの光路を示す機構図である。図２Ｂは、図１
Ｂの装置の素子及び光が装置を伝わるときの光路を示す
機構図である。
【図３】図１Ａ及び図１Ｂの装置に有用な電子素子のブ
ロック図である。
【図４】走査素子が固定された台に沿って移動する、本
発明の別の実施例の機構図である。
【符号の説明】
１０：レーザ・ビーム光源、１２：ビーム伝達装置。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年９月１８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】
【図１】
【図２】
【図３】

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 走査ビームと基準ビームとを生成するた
    めの静止したレーザ光源手段と、 前記走査ビームを被走査面へ伝達するためのビーム伝達
    手段と、 前記基準ビームの位置を感知することによって前記走査
    ビームの位置を測定するためのビーム位置検出器手段
    と、 前記基準ビーム及び前記走査ビームを前記レーザ光源手
    段から前記ビーム伝達手段へ伝達するためのオプテイカ
    ルファイバ手段とを具備するレーザ走査装置。
  2. 【請求項２】 前記オプテイカルファイバ手段が少なく
    とも１つのモードのオプテイカルファイバ光ガイドであ
    る請求項１記載のレーザ走査装置。
  3. 【請求項３】 前記オプテイカルファイバ手段の出力端
    に取り付けられたアクチュエータ手段と、前記ビーム検
    出器手段によって生成された測定値に応答して前記アク
    チュエータ手段を制御するための閉ループ制御手段とを
    更に備える請求項１又は２記載のレーザ走査装置。
  4. 【請求項４】 前記アクチュエータ手段が圧電アクチュ
    エータ手段である請求項３記載のレーザ走査装置。
  5. 【請求項５】 前記ビーム伝達手段がその移動のための
    モータ手段を含む請求項１−４のいづれかに記載のレー
    ザ走査装置。
  6. 【請求項６】 前記閉ループ制御手段が、前記ビーム伝
    達手段での公知の初期変動を中和するための予備位置決
    め手段を備える請求項３記載のレーザ走査装置。
  7. 【請求項７】 走査ビームの強度をその走査軸に沿う相
    対位置の函数として調節するための手段を更に備える請
    求項１−６のいづれかに記載のレーザ走査装置。
  8. 【請求項８】 データの流れを前記走査ビームの位置と
    同期させるための手段を更に備える請求項１−７のいづ
    れかに記載のレーザ走査装置。
  9. 【請求項９】 レーザ・ビームを生成するための静止し
    たレーザ光源手段と、 前記レーザ・ビームを被走査面
    へ伝達するためのビーム伝達手段と、 少なくとも１つの出力端を持ち、前記レーザ・ビームを
    前記レーザ光源手段から前記ビーム伝達手段へ伝達する
    ためのオプテイカルファイバ手段と前記オプテイカルフ
    ァイバ手段の前記少なくとも１つの出力端に取り付けら
    れ、所定量だけ前記少なくとも１つの出力端を移動させ
    るためのアクチュエータ手段とを具備するレーザ走査装
    置。
  10. 【請求項１０】 前記オプテイカルファイバ手段が少な
    くとも１つのモードのオプテイカルファイバ光ガイドを
    含む請求項９記載のレーザ走査装置。
  11. 【請求項１１】 前記アクチュエータ手段が圧電アクチ
    ュエータ手段である請求項９記載のレーザ走査装置。
  12. 【請求項１２】 走査ビームを生成するための静止した
    レーザ光源手段と、 前記走査ビームを被走査面へ伝達するためのビーム伝達
    手段と、前記走査ビームの位置を測定するためのビーム
    位置検出器手段と、 前記走査ビームを前記レーザ光源手段から前記ビーム伝
    達手段へ伝達するためのオプテイカルファイバ手段とを
    具備するレーザ走査装置。
JP3101390A 1990-05-07 1991-05-07 レーザ・ビーム走査装置 Pending JPH05100174A (ja)

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