JPH0497497A - 文字の自動認識装置 - Google Patents
文字の自動認識装置Info
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- JPH0497497A JPH0497497A JP2216087A JP21608790A JPH0497497A JP H0497497 A JPH0497497 A JP H0497497A JP 2216087 A JP2216087 A JP 2216087A JP 21608790 A JP21608790 A JP 21608790A JP H0497497 A JPH0497497 A JP H0497497A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
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- Character Input (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、文字の自動認識装置に関し、特に、半導体ウ
ェーハ上に刻印された文字を自動で認識する文字の自動
認識装置に関する。
ェーハ上に刻印された文字を自動で認識する文字の自動
認識装置に関する。
第３図は従来の一例を示す文字の自動認識装置の模式図
である。従来、この種の文字の自動認識装置は、第３図
に示したように、対物レンスにより導びかれな平行光を
発生する光源ユニット４と、この対物レンズユニット４
により拡大された文字５を撮像する撮像器３と、この撮
像器３の信号により文字を映像するモニタＴＶ２と、撮
像器３の信号により文字であることを認識する自動認識
部１とで構成されていた。このような文字の自動認識装
置を用いて、従来は、ウェーハ上に刻印であるいは印刷
された文字を認識し、文字が刻印あるいは印刷されてい
るか否か、基準の文字であるか否かを検査していた。
である。従来、この種の文字の自動認識装置は、第３図
に示したように、対物レンスにより導びかれな平行光を
発生する光源ユニット４と、この対物レンズユニット４
により拡大された文字５を撮像する撮像器３と、この撮
像器３の信号により文字を映像するモニタＴＶ２と、撮
像器３の信号により文字であることを認識する自動認識
部１とで構成されていた。このような文字の自動認識装
置を用いて、従来は、ウェーハ上に刻印であるいは印刷
された文字を認識し、文字が刻印あるいは印刷されてい
るか否か、基準の文字であるか否かを検査していた。
上述した従来の文字の自動認識装置では、文字か平滑な
半導体ウェーハ上に、ある程度のコントラストをもち刻
印されている場合には、正確に文字を自動認識できるが
、ＬＳＩパターン上に刻印されている場合で、特に文字
の彫りが浅く、表面から反射する光が強く、ハレーショ
ンを起し、コントラストがとれない場合は、自動認識で
きないことがあるという欠点がある。
半導体ウェーハ上に、ある程度のコントラストをもち刻
印されている場合には、正確に文字を自動認識できるが
、ＬＳＩパターン上に刻印されている場合で、特に文字
の彫りが浅く、表面から反射する光が強く、ハレーショ
ンを起し、コントラストがとれない場合は、自動認識で
きないことがあるという欠点がある。
本発明は目的は、かかる欠点を解消する文字の自動認識
装置を提供することである。
装置を提供することである。
本発明の文字の自動認識は、半導体ウェーハ上に刻印さ
れた文字を真上から対物レンズを介して撮像する撮像器
と、前記文字の領域を照射する光源ユニットと、この光
源ユニットを保持するとともに前記対物レンチの光軸と
をなす角度を調節する第１のレールと、この第１のレー
ルの一端を結合するとともに前記第１のレールを前記文
字の周囲を回転摺動する第２のレールとを備えることを
特徴としている。
れた文字を真上から対物レンズを介して撮像する撮像器
と、前記文字の領域を照射する光源ユニットと、この光
源ユニットを保持するとともに前記対物レンチの光軸と
をなす角度を調節する第１のレールと、この第１のレー
ルの一端を結合するとともに前記第１のレールを前記文
字の周囲を回転摺動する第２のレールとを備えることを
特徴としている。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す文字の自動認識装置の
模式図である。この文字の自動認識装置は、同図に示す
ように、文字５に光を斜めから照射する光源ユニット６
と、この光源ユニット６の照射モニタ角度を調節するレ
ール７と、このレール７を文字５を中心に円状に移動さ
せるレール８とを設けたことである。このことにより、
文字５からの反射光の強度を柔らげることが出来、しか
も、彫りの浅い文字でも、コントラストがとり易くなっ
ている。
模式図である。この文字の自動認識装置は、同図に示す
ように、文字５に光を斜めから照射する光源ユニット６
と、この光源ユニット６の照射モニタ角度を調節するレ
ール７と、このレール７を文字５を中心に円状に移動さ
せるレール８とを設けたことである。このことにより、
文字５からの反射光の強度を柔らげることが出来、しか
も、彫りの浅い文字でも、コントラストがとり易くなっ
ている。
例えば、ウェーハ１０上のＬＳＩパターン上に彫りの浅
い文字が刻印されている場合、すなわち、文字のコント
ラストがとりにくい場合は、ｔず、光源ユニット６をガ
イドレール７・８に治って動かし、ＬＳＩパターンであ
る文字５からの信号が最も小さくなるように、また、文
字のコントラストが最大になるように、モニタＴＶ２を
みなから、位置・角度と調節する。引き続いて、文字を
撮像器３にとりこみ、自動認識する。
い文字が刻印されている場合、すなわち、文字のコント
ラストがとりにくい場合は、ｔず、光源ユニット６をガ
イドレール７・８に治って動かし、ＬＳＩパターンであ
る文字５からの信号が最も小さくなるように、また、文
字のコントラストが最大になるように、モニタＴＶ２を
みなから、位置・角度と調節する。引き続いて、文字を
撮像器３にとりこみ、自動認識する。
第２図は本発明の他の実施例を示す文字の自動認識装置
の模式図である。この文字の自動認識装置は、同図に示
すように、前述の実施例に加えて、光源ユニット６の光
源の明るさを調節する調光器９を設けたことである。そ
れ以外は、前述の実施例と同しである。この文字自動認
識装置は、この調光器９により照射する光源の強度を調
節することによって、より文字５からの反射光の強度差
がとり易くなり、彫りの浅い文字でも用意にコントラス
トを取ることが出来る。
の模式図である。この文字の自動認識装置は、同図に示
すように、前述の実施例に加えて、光源ユニット６の光
源の明るさを調節する調光器９を設けたことである。そ
れ以外は、前述の実施例と同しである。この文字自動認
識装置は、この調光器９により照射する光源の強度を調
節することによって、より文字５からの反射光の強度差
がとり易くなり、彫りの浅い文字でも用意にコントラス
トを取ることが出来る。
以上説明したように本発明は、半導体ウェーハ上に彫り
が浅く、光沢のある素地で分形成された文字を証明する
光源の照射する角度及び強度を調整する手段を設けるこ
とによって、必要以上反射する。反射光強度を減じ、文
字のコントラストを容易にとることが出来、彫りの浅い
文字でも確実に認識出来る文字の自動認識装置が傑れて
いる。
が浅く、光沢のある素地で分形成された文字を証明する
光源の照射する角度及び強度を調整する手段を設けるこ
とによって、必要以上反射する。反射光強度を減じ、文
字のコントラストを容易にとることが出来、彫りの浅い
文字でも確実に認識出来る文字の自動認識装置が傑れて
いる。
例を示す文字の認識装置の模式図である。
１・・・自動認識部、２・・・モニタＴＶ、３・・・撮
像器、４・・・対物レンズユニット、５・・・文字、６
・・・光源ユニット、７・８・・・ガイドレール、９・
・・調光器。
像器、４・・・対物レンズユニット、５・・・文字、６
・・・光源ユニット、７・８・・・ガイドレール、９・
・・調光器。
Claims (1)
- 半導体ウェーハ上に刻印された文字を真上から対物レン
ズを介して撮像する撮像器と、前記文字の領域を照射す
る光源ユニットと、この光源ユニットを保持するととも
に前記対物レンザの光軸とをなす角度を調節する第１の
レールと、この第１のレールの一端を結合するとともに
前記第１のレールを前記文字の周囲を回転摺動する第２
のレールとを備えることを特徴とする文字の自動認識装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2216087A JP2723662B2 (ja) | 1990-08-16 | 1990-08-16 | 文字の自動認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2216087A JP2723662B2 (ja) | 1990-08-16 | 1990-08-16 | 文字の自動認識装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0497497A true JPH0497497A (ja) | 1992-03-30 |
| JP2723662B2 JP2723662B2 (ja) | 1998-03-09 |
Family
ID=16683045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2216087A Expired - Fee Related JP2723662B2 (ja) | 1990-08-16 | 1990-08-16 | 文字の自動認識装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2723662B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6199806A (ja) * | 1984-10-22 | 1986-05-17 | Hitachi Ltd | 溝の深さ測定装置 |
| JPS61128221A (ja) * | 1984-11-27 | 1986-06-16 | Toshiba Corp | 半導体検査用顕微鏡装置 |
| JPS6375603A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-06 | Hitachi Ltd | アライメント方式 |
-
1990
- 1990-08-16 JP JP2216087A patent/JP2723662B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6199806A (ja) * | 1984-10-22 | 1986-05-17 | Hitachi Ltd | 溝の深さ測定装置 |
| JPS61128221A (ja) * | 1984-11-27 | 1986-06-16 | Toshiba Corp | 半導体検査用顕微鏡装置 |
| JPS6375603A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-06 | Hitachi Ltd | アライメント方式 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2723662B2 (ja) | 1998-03-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |