JPH0481213B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は圧力感応制御装置、詳しくいえば予
め定められた感知圧力に応答する較正されたスナ
ツプ（飛移り）作動ダイヤフラムを使用した圧力
感応制御装置に関する。

（従来の技術） スイツチ又はこれに類するものを作動させる、
スナツプ作動ダイヤフラムを使用した流体圧感応
制御装置は、各種の圧力感応制御機能に広く用い
られている。例えば、この種の圧力感応制御装置
は、冷凍装置において、感知したその装置の冷媒
の圧力に応答して冷媒圧縮機の運転を制御するた
めに用いられている。この種の装置は、市場を獲
得するためには、小形で、安価で、正確で、かつ
信頼性の高いものでなければならない。

この種の圧力感応制御装置は、しばしば制御さ
れる装置の運転の停止および再開を行うのに用い
られ、予め設定した高圧水準に達したり、予め設
定した低圧水準に達した際に応答するものであ
る。例えば、感知した冷媒圧縮機の圧力に従つて
空調装置を制御するときには、圧力感応制御装置
は凝縮器内の冷媒圧力が予め設定した高圧になつ
たことを感知して作動して冷媒圧縮機の運転を停
止する。感知した凝縮器冷媒圧力が所定の低圧水
準に達したときには、圧力感応制御装置はこれに
対応して作動して、再び圧縮機を運転する。

典型的な圧力感応スナツプ作動ダイヤフラム
は、中央部に皿状部を有する、内部的に応力を与
えた薄板ばね円盤である。十分に大きな圧力差が
皿状ダイヤフラムを平らにする方向にダイヤフラ
ムに加えられると、皿状部は突然スナツプ作動を
して、ダイヤフラムの中心平面の反対側の第二位
置へ飛移り、その中央部は反対側に皿状になる。
圧力差が十分に低い水準まで下がると、皿状部は
中心平面の反対側のはじめの位置にスナツプ作動
で復帰する。ダイヤフラムの動きは、典型的には
機械的にスイツチ又は弁に伝えられる。

ダイヤフラムに動きを生ぜしめる高圧の水準
は、ダイヤフラムの皿状部の形状を変えることに
よつて調節することができる。皿状部を深くすれ
ばする程ダイヤフラムを動かすに要する圧力差は
増大する。皿状部を平らにすると、比較的小さい
圧力差でダイヤフラムを応答させることができ
る。

ダイヤフラムが元の位置に戻る低圧水準は、皿
状部が中心平面の反対側へ動く範囲を制限するこ
とにより制御される。皿状部が中心平面の反対側
へ十分に動いた場合、ダイヤフラムがはじめの位
置に戻るには、比較的高い差圧が必要であるが、
皿状部がわずかに中心平面の反対側に動いた場合
は、比較的小さい差圧があればよい。

所定の高圧水準及び低圧水準に正確に応答する
ようにするため、圧力感応制御装置は製造中に
個々に較正する。その方法は、圧力感応制御装置
を組み立て、それに作動圧力を加えて、さらにダ
イヤフラムが所望の圧力水準を加えたときに動く
まで、制御された方法で各組立体を機械的に変形
するのである。

上述のごとき圧力感応制御装置の典型的なもの
では、制御すべき圧力源と連通するチヤンバーを
形成するケーシングと、このチヤンバーを密封す
るダイヤフラムと、ケーシングに対して固定され
ているスイツチと、ダイヤフラムとスイツチ間の
運動伝達素子とを使用している。ダイヤフラムは
通常その周囲を直接ケーシング又はダイヤフラム
支持体に溶接するが、ある例では、ダイヤフラム
の周囲を溶接によつて拘束することなしに、ダイ
ヤフラムを所定の位置に単にシールしてあるもの
もある。

調整ねじ、バイアススプリング、その他これに
類する比較的複雑な設計を用いて高圧、低圧の作
動を製造中に較正できるようにした構造の圧力感
応制御装置も提案されている。これらの提案は、
広く使うには、特にそれ程高度の精度を必要とし
ない用途には、装置が高価すぎるという結果とな
つた。米国特許第4220836号は、高圧水準、低圧
水準の較正を製造中に行うことを可能にする構造
の圧力感応制御装置の例を開示している。

圧力感応制御装置を組立て、しかる後較正を行
うために機械的変形を加える簡単な設計も提案さ
れている。ある提案においては、ケーシング内に
導入した流体によりきわめて大きい過圧力を加え
るものであつた。この過圧力状態により生じた力
が、ダイヤフラム又はその支持体を所望の形状に
なるように降伏点を超えて変形するものであつ
た。

他の提案は、圧力感応制御装置を較正するた
め、機械的方法によつてダイヤフラム又はその支
持体を永久変形して曲げることができる構造の圧
力感応制御装置であつた。この種の提案により圧
力感応制御装置の構造を簡単にすることはできた
が、較正工程が不正確であつたために生産歩留り
が悪くなりがちであつた。ある例においては、ダ
イヤフラム及び支持体に応力がかかり過ぎ降伏過
大で、所望の圧力水準に応答しなかつた。多くの
設計において、一度び過大応力が発生すると、そ
の圧力感応制御装置の再較正は不可能であつた。
他の例においては、高圧水準を調整するのに必要
な変形を加えると、その圧力感応制御装置が応答
する低圧水準にも変化をきたした。またその逆も
起こつた。圧力感応制御装置を較正することがで
きなかつた場合には、圧力感応制御装置全体をス
クラツプにするか再生しなければならなかつた。

（発明が解決しようとする課題） この発明の目的は、圧力感応制御装置に組込ま
れる圧力感応モジユールを、該圧力感応制御装置
に組込む前に製作、組立て、較正を行うことによ
り、所要の圧力水準に正確に応答する圧力感応制
御装置の構造を簡単とし、かつ較正問題に因る低
生産歩留りを実質的に解決することのできる圧力
感応モジユールを提供することにある。

（課題を解決するための手段および作用） この発明の重要な特徴は、スナツプ作動ダイヤ
フラムと、ダイヤフラムを気密に取り付けるダイ
ヤフラム制御板と、該制御板を圧力感応装置のケ
ースに結合する支持部材とを含む圧力感応モジユ
ールの構造にある。ダイヤフラム制御板は、ダイ
ヤフラムをその中心平面にしつかりと支持するた
めの支持領域と、支持領域を囲みそれにダイヤフ
ラムが気密に結合される第一のダイヤフラム制御
領域とを含んでいる。支持領域と第一制御領域と
の間でダイヤフラム制御板は、第一制御領域を支
持領域に対して調節可能に位置決めするよう永久
変形することができ、それにより圧力感応制御装
置が応答する高圧水準の較正を可能ならしめる。

前記支持領域で囲まれ、永久変形をさせた部分
によつて該支持領域に接続された第二制御領域を
備え、ダイヤフラムが応答する低圧水準を決定す
るように前記支持領域に対し相対的に第二制御領
域の位置を調節することができる。

ダイヤフラム支持領域をダイヤフラムの圧力応
答を調節するように変形した後、モジユールはモ
ジユール支持部材を介して圧力感応制御装置に気
密に結合される。モジユール支持部材は、該支持
部材をケーシングに結合することにより発生する
応力がダイヤフラム及び制御板に及ばないような
構造及び配置となつている。

ダイヤフラム制御板は支持部材に気密に結合さ
れている。支持部材は、ダイヤフラム中心平面に
おいて支持領域を堅固に支持する。制御板の永久
変形を起こさせることができる板部は、較正中に
制御領域の位置を支持領域に対して調節すること
ができるが、各変形可能板部は較正中に支持領域
及び離れている制御領域にほとんど影響を及ぼさ
ないようになつている。このため、高圧水準及び
低圧水準の較正は、実質的にはお互いに独立に行
うことができる。

（実施例） この発明を実施した圧力感応制御装置１０を第
１図に示す。図示の圧力感応制御装置１０は、例
えば冷凍装置において、この装置の凝縮器内の冷
媒圧力水準を感知しこれに応答して電動モータ駆
動の冷媒圧縮機を制御するためのものである。制
御装置１０は凝縮器内の冷媒と連通しており、冷
媒圧力が予め設定した高い方の圧力水準に達する
と、制御装置１０はこの圧力水準を感知して圧縮
機の運転を停止する。感知した冷媒圧力が予め設
定した低圧水準に達すると、制御装置１０はこれ
に応答して圧縮機の運転を再開させる。

制御装置１０は、冷凍装置の冷媒と連通する構
造となつている圧力ハウジング組立体１２と、圧
縮機モータ制御回路と電気的に接続している制御
スイツチ組立体１４と、ハウジング組立体１２と
スイツチ組立体１４との間の圧力変換器となる圧
力感応モジユール１６とを具備している。

ハウジング組立体１２は、内部圧力チヤンバー
２４を形成するコツプ状ケーシング２２に気密に
取り付けられた適当な管継手２０を有している。
管継手２０は適当なものであれば何でもよく、普
通の構造のものでもよい。図示のものは本体の端
部の突出部３０を貫通する圧力伝達ポート２８ま
でめねじを切つた通路２６を有する本体で形成さ
れているものである。冷媒圧力伝達金属管（図示
してない）は、冷凍装置からの冷媒圧力を制御装
置１０に伝達するため、管継手２０内にねじ込
み、シールする。

ケーシング２２は引き抜きステンレス鋼から成
形したコツプ状で、基部３２と、基部から延びる
円筒状側壁３４と、基部の反対側のコツプ側壁端
に外方にフレアを出した取付フランジ３６とを有
するものが望ましい。基部３２には、管継手突出
部３０が貫通して延びる開口を有している。突出
部３０は、そこでコツプ基部３２に据え込みかし
め止めされている。管続手とケージンとの結合が
気密になるように、管継手はその突出部のまわり
をケーシング２２にろう付けされている。

制御スイツチ組立体１４は成型プラスチツクの
コツプ状スイツチケース４０を備え、その内部に
スイツチ組立体４２を支持している。プラスチツ
クカバー部材４４はスイツチケースの開口端にあ
つて、そこを絶縁材料で成形したスイツチ作動ピ
ン４６が貫通する中央開口部を形成する。作動ピ
ン４６は、スイツチ作動運動を圧力感応モジユー
ル１６とスイツチ組立体４２との間に伝達する。

スイツチ組立体４２は、スイツチケースに固定
された端子バー５０，５２により形成されてい
る。端子バー５０にはスイツチの固定接点５４が
付いており、端子バー５２は導電性の片持梁式弾
力性ブレード５８の張り出し端に設けられたスイ
ツチの可動接点５６を支持している。

好適の制御装置においては、端子５０，５２は
スイツチケース４２の閉鎖端の開口部を貫通して
延びケースに対して所定の位置にかしめられてい
る。端子バー５０，５２はケース４２（図示して
ない）の閉鎖端から突出しており、冷媒圧縮機の
制御付勢用回路に結線されている。第１図に示す
ようにスイツチ接点が接触すると、スイツチ組立
体４２は導通して冷媒圧縮機を運転させる。ブレ
ード５８が圧力感応モジユール１６から遠ざかる
方向にたわむと、スイツチ接点は開き、圧縮機制
御回路は遮断される。

圧力感応モジユール１６は気密にチヤンバー２
４を閉じており、チヤンバー内の冷媒圧力を感知
してこれに応答して制御スイツチ組立体４２を作
動する機能を有する。図示の好適な実施例におい
ては、圧力感応モジユールは、ダイヤフラム６０
と、ダイヤフラムに気密に結合されているダイヤ
フラム制御板６２と、制御板を支持し制御板を気
密にケーシング２２に結合する支持部材６４とを
具備している。大気圧と等しいかそれに近い圧力
がスイツチケース４０内にあるので、モジユール
は冷媒装置の冷媒圧力の変動に伴い変化する差圧
を受ける。

ダイヤフラム６０は薄い金属製のばね板で、中
央のドーム部６８のまわりははじめは平らな環状
部６６となつている。ダイヤフラムは、ダイヤフ
ラムの両側に圧力差がなければ、ドーム部６８は
第１図に示す位置に張り出すように内部応力がか
かつている。ダイヤフラムの両側にドーム部を平
らにする方向に圧力差が加えられると（すなわ
ち、チヤンバー２４内の圧力が周囲の大気圧より
も増加すると）、予め定めた差圧水準に達するま
ではドーム部は大体じつとしているが、それから
ドーム部は急激にスナツプ作動をして、環状部６
６の面の反対側へ動き、ドーム部の曲率が逆にな
る第二位置をとる。ドーム部６８はダイヤフラム
の両側の圧力差が予め定めた低圧水準に低下する
までは第二位置に留つているが、それからドーム
部はスナツプ運動してはじめの位置に戻る。

ドーム部６８が動くチヤンバー内の圧力水準
は、ダイヤフラム内の内部応力によつて決まり、
この応力はダイヤフラム制御板６２の形状によつ
て支配される。制御板６２には、ダイヤフラム６
０を中心平面に止めて支持する支持領域７０と、
支持領域７０を囲む第一ダイヤフラム制御領域７
４と、支持領域７０で囲まれた第二ダイヤフラム
制御領域７６とがある。ダイヤフラムを制御板６
２に組立てた後、制御板６２は、ダイヤフラムが
その両位置間を動く差圧を支配するように両制御
領域の位置を調節するため、変形される。

第一制御領域７４は制御板の環状外周部により
形成され、ダイヤフラム６０の外周部に連続して
気密に溶接される。第一制御領域７４は変形する
ことができるように弱くした板部８０につながつ
ており、較正中に、大きな変形や、支持領域７０
や第二制御領域７６の位置に変化を生ずることな
しに、第一制御領域７４と支持領域７０との相対
位置を調節することができる。好適な実施例にお
いては、強度を弱くした板部８０は、支持領域７
０を囲む円周状の溝か切り込みによつて形成され
る。

第一制御領域７４とその上に支持されているダ
イヤフラム部は、該支持領域の外方に、全面的に
圧力チヤンバー２４内に突出している。この特徴
により、高圧のチヤンバー内流体は第一制御領域
７４とダイヤフラムの周縁部を完全に取り囲み、
このため不平衡圧力が第一制御領域７４に加えら
れることはない。よつて、この制御装置１０を使
用中に、チヤンバー２４内の高圧流体により第一
制御領域７４が較正した位置からずれて永久変形
をする傾向はない。

第二制御領域７６は、板の中央開口部８４を囲
む、ドームに当接可能な面８２で形成されてい
る。面８２は開口部８４のまわりでドーム部に当
接してダイヤフラムドーム部の第一位置からのス
ナツプ運動を制限し、ドーム部の第二位置を決め
る。第二制御領域７６は、強度を弱められていて
永久変形をさせることができる板部８６に接続し
ている。この板部８６により、較正中に支持領域
７０や第一制御領域７４に大きな変形や位置の変
化を来すことなしに、支持領域７０に対して第二
制御領域７６の位置を調節することができる。

好適な制御装置においては、この強度を弱めら
れた変形可能な板部８６は、支持領域７０と面８
２との間に延びるスポーク９２によつて形成され
る。スポーク９２は片持梁式に面８２を支持し、
面８２の位置を調節するために変形させることが
できる。図示のスポークは、支持領域７０の半径
方向内側で板を貫通する等間隔の穴９４で形成さ
れている。このスポークは、較正中に板部８６を
支持領域７０に対してその面を変形することがで
きる程度に弱めるが、この制御装置中に経験する
作動圧力の結果の変形には十分耐えるだけの強度
は持つている。

強度を弱くした板部の可変形性を増したけれ
ば、円周状の浅い溝又は切り込みを、支持領域７
０と第二制御領域７６との接続部に沿つてこの制
御領域に設けることもできる。

強度を弱くした板部８０，８６が、それぞれに
連通する制御領域７４，７６が中心平面７２から
十分に離れるように変形したところを第１図に示
す。図解の都合上、変形は幾分誇張してある。

支持領域７０は、中心平面において全面的に接
触してダイヤフラムの環状部６６の大部分をしつ
かりと支持する。チヤンバー２４と制御装置のま
わりの大気との間の圧力差は、制御装置の通常の
運転中はダイヤフラムを支持領域７０の面に当接
させ、ダイヤフラムの位置を安定させる。

支持部材６４は、コツプ状の板金製で制御板６
２に気密に結合し、制御装置１０を組み立てたと
きにはケーシング２２に気密に取り付くような構
造、配置であることが望ましい。支持部材６４
は、板部７０に気密に取り付きこれを堅固に支持
する第一本体部分１００と、ケーシング２２に取
り付ける構造となつている第二本体部分１０２
と、部分１００と部分１０２とをつなぐ穴のあい
ていないほぼ円筒状の側壁１０４とを備えてい
る。

本体部分１００は側壁１０４から内方へ半径方
向に突出する環状フランジにより形成されること
が望ましい。このフランジは、支持領域７０と当
接してこれを支持するため支持領域７０に対面す
る面１０６を形成する。好適の実施例において
は、支持領域７０は面１０６により十分に支持さ
れるように、面１０６は寸法においても形状にお
いても支持領域７０に対応している。面１０６と
支持領域７０は、支持領域７０の概ね中央部にお
いて、連続して円周上にある気密溶接により結合
されている。溶接結合１０８は抵抗溶接により形
成することが望ましいが、その他の適当な溶接技
術によつて形成することもできよう。

本体部分１０２は側壁１０４から外方に半径方
向に突出する取付フランジを形成して平らで堅固
なスイツチ組立体取付面１０９を形成し、外側周
縁部１１０はケーシングフランジ３６に対面して
これに当接する。フランジ３６と本体１０２の周
縁部１１０は連続円周溶接（プラズマ溶接が望ま
しい）によつて気密に結合される。チヤンバー２
４内の冷媒圧力を受けるから、フランジ３６と周
縁部１１０との間の溶接結合は高度の破壊強度を
持つものでなければならない。したがつて、これ
らの部品の間には、比較的大きい、高強度の溶接
結合を施さなければならない。

図示の実施例においては、スイツチ取付リング
１１２をフランジ周縁部１１０に溶接し、スイツ
チケーシング上に折り曲げて制御装置１０を完成
する。スイツチ組立体１４とモジユール１６との
間の結合は気密にシールしてはなく、したがつて
チヤンバー２４を除いては周囲の大気圧にさらさ
れる。好ましい制御装置にはしばしばポツテイン
グが施される。すなわち、スイツチケーシング及
び関係部品を適当なコンパウンドで被覆し、それ
が制御装置の内部を周囲からシールすることにな
る。制御装置内の大気の空気はポツテイング剤に
よつて封じ込められ、それによりこの制御装置を
使用するたいていの状況においては制御スイツチ
ケーシングの内部は大気圧又は大体大気圧に維持
される。

この発明の重要点はモジユール１６の構造にあ
り、それによりモジユールをケーシング２２に組
み立てる前に較正を行うことができるのである。
モジユール１６は、先づダイヤフラム６０を制御
板６２に溶接し、次に制御板６２を支持部材６４
に溶接して製作する。支持領域７０と第一制御領
域７４はこの結合個所で平坦で共面であることが
望ましいが、第二制御領域７６ははじめに支持領
域７０の平面からダイヤフラムから離れる方向に
変形されている。

次に、組み立てたモジユールを較正圧力室にい
れ本体フランジ部分で周囲の大気圧から較正圧力
室シールして、制御された圧力差をダイヤフラム
に掛ける。較正圧力室の圧力を、ダイヤフラムが
スナツプ移動して面８２に当接する高圧水準まで
上げる。この圧力を、スイツチの接点を開きたい
所定圧力と比較する。

成形ダイをダイヤフラムと制御領域に押しつ
け、強度を弱くした制御板部８０に永久変形を生
ぜしめ、制御領域７４の支持領域７０に対する相
対的位置を調節する。制御板を除々に永久変形さ
せて、制御領域７４が僅かに円錐形をなすように
する。こうしてダイヤフラムの動きに抵抗する内
部のばねバイアス力を減少するようにダイヤフラ
ムの応力を調節する。再び較正圧力室に圧力を加
えて、ダイヤフラムがスナツプ運動して面８２に
当たる新しい圧力水準を測る。ダイヤフラムが所
望の較正圧力水準よりも高い圧力水準で動いた
ら、この変形の手順を繰り返して第一制御領域７
４をさらに変形する。この装置が所望の較正圧力
水準で応答するようになるまでこの工程を繰り返
す。

低圧作動水準を較正するには、較正圧力室の圧
力をダイヤフラムがスナツプ運動して面８２から
離れるまで下げる。この圧力を、ダイヤフラムが
面８２から離れるべき圧力水準と比較する。圧力
水準が低すぎた場合には、別の成形ダイを第二制
御領域７６に押し付け板部８６をダイヤフラムの
方向に永久変形させる。

次に較正圧力室の圧力をダイヤフラムが再び面
８２に当接するまで上げて、それからダイヤフラ
ムが再びスナツプ運動して面８２から離れるまで
圧力を下げる。ドーム部が所望の較正圧力水準で
スナツプ運動して面８２から離れるように第二制
御領域７６の支持領域に対する相対位置が変わる
まで、必要なだけこの加圧−変形手順を反復す
る。

次にこの較正を確認するため、較正圧力室の圧
力を較正高圧力水準と較正低圧力水準との間での
サイクルを反復する。もしダイヤフラムが所望の
較正圧力水準で応答しなかつた場合には、片方の
成型ダイ又は両方の成形ダイを再びダイヤフラム
制御板に押し当てることによりダイヤフラムが較
正圧力水準で応答するように調節することができ
る。

ダイヤフラムが応答する低圧力水準が所望の圧
力水準よも高過ぎる場合には、モジユール１６に
較正圧力室内で十分に高い圧力を加えて、ダイラ
ヤフラムを第二制御領域７６に当接し、該制御領
域を中心平面から遠ざかるように変形することが
できる。このように変形するとダイヤフラムが応
答する低圧力水準は下がる。

強度を弱くしたダイヤフラム制御板部は、制御
領域７４，７６の変形が支持領域７０に及ばない
ようにするのに役立つ。もしそうでなければ、ど
ちらかの制御領域の変形は支持領域７０及び他方
の制御領域の捩れや皿状変形を伴うので、このこ
とは特に重要である。

較正完了後、モジユール１６を較正圧力室から
取り出し、生産に必要となるまで貯蔵品として保
管しておく。完全に組み立てられ、較正された圧
力感応モジユール１６は必要な時点でケーシング
フランジ３６に円周上で気密に溶接結合される。

溶接結合は極めて強くなればならないので、溶
接には比較的大きな熱を十分に加える必要があ
る。ダイヤフラムと制御板の熱膨張、収縮の差は
較正に悪影響を及ぼすで、較正後はモジユールを
圧力ケーシングのフランジに溶接する間、ダイヤ
フラムと制御板に過度の熱が及ばないようにする
必要がある。したがつて、支持部材６４は、比較
的熱伝導率の低い、比較的薄いステンレス鋼を打
ち抜いて作られる。さらに、支持部材取付フラン
ジ３６と同筒状側壁１０４は溶接結合部ととダイ
ヤフラム支持領域との間の熱流路を比較的長くす
るのに役立つており、これがさらにダイヤフラム
と制御板の加熱を抑制する。

（発明の効果） 本発明の圧力感応モジユールは上述の構成を有
するので、モジユールを圧力感応制御装置のケー
シングに組込む前に較正をすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明を実施した圧力感応制御装
置の立面図で、一部を切り取、部品は断面を示し
てある。第２図は、大体第１図の線２−２で示し
た面から視た図である。 図中番号、１０……圧力感応制御装置、１２…
…ハウジング組立体、１６……圧力感応モジユー
ル、２２……ケーシグ、２４……圧力チヤンバ
ー、６０……ダイヤフラム、６２……ダイヤフラ
ム制御板、６６……環状部、６８……ドーム部、
７０……支持領域、７４……第一ダイヤフラム制
御領域、７６……第二ダイヤフラム制御領域。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ダイヤフラムの中心平面において支持された
   ダイヤフラム６０と、該ダイヤフラムを支持する
   制御板６２と、該制御板と前記ダイヤフラムとを
   圧力感応制御装置１０のケーシング２２に接続す
   る支持部材６４とを具備する、圧力感応制御装置
   のケーシングに気密に接続するための構造を有す
   る較正された圧力感応モジユール１６であつて、 イ 前記ダイヤフラム６０は、前記の制御板６２
   に気密に結合された周縁部６６と、ダイヤフラ
   ムに加えられた第一の予め定めた圧力差に応答
   して前記の中心平面の片側の第一位置から前記
   の中心平面の反対側の第二位置に可動で、前記
   のダイヤフラムに加えられた第二の予め定めた
   圧力差に応答して前記の第二位置から前記の第
   一位置にスナツプ移動可能な中央ドーム部６８
   とを具備してること、 ロ 前記制御板６２は、 前記の中心平面において前記のドーム部を
   堅固に支持する支持領域７０と、 前記のダイヤフラムの周縁部に気密に接着
   されて前記の支持領域を囲み、上記のドーム
   部が上記の第一の予め定めた圧力差において
   上記の第一位置から動くように、上記の支持
   領域に対して位置を移動して上記のダイヤフ
   ラムに応力を生ぜしめるように上記の支持領
   域との間で上記制御板を永久変形させた第一
   ダイヤフラム制御領域７４と、 上記の支持領域で囲まれ、上記のダイヤフ
   ラムドーム部が上記の第二位置において当接
   するダイヤフラム当接面を形成し、上記のド
   ーム部が上記の第二の予め定めた圧力差にお
   いて上記の第二位置からスナツプ作動的に動
   くことできるように上記のダイヤフラムの当
   接面の位置を定めるために、上記の支持領域
   に対して位置を移動するように上記の支持領
   域との間で上記制御板を永久変形させた第二
   ダイヤフラム制御領域７６とを具備している
   こと、および、 ハ 上記の支持部材６４は、 上記の支持領域を上記のダイヤフラム中心面
   に対して固定的に位置決めするために気密に上
   記の支持領域に接着した第一本体部１００と、
   制御装置ケーシング２２に気密に取り付ける構
   造の上記の第一本体部から離れた位置にある第
   二本体部１０２と、上記の第一本体部と第二本
   体部との間の穴のあいてない本体側壁１０４と
   を具備していること、 を特徴とする圧力感応モジユール。 ２ 上記のダイヤグラム周縁部６６と上記の第一
   制御領域７４は上記の支持領域７０及び上記の第
   一本体部１００から外方に張り出しており、その
   ため圧力差は上記の第一制御領域にかからないよ
   うになつている特許請求の範囲第１項に記載の圧
   力感応モジユール。 ３ 上記の支持領域７０と上記の第一制御領域７
   ４との間に強度を弱くした永久変形可能な板部８
   ０を備え、上記の弱くした板部は、上記の支持領
   域は上記の第一本体部１００により堅固に支持さ
   れ上記の第一制御領域７４の位置移動の影響を受
   けないままで、上記の第一制御領域の永久変形に
   よる位置移動を可能にする特許請求の範囲第１項
   に記載の圧力感応モジユール。 ４ 上記の制御板６２は上記の支持領域７０と上
   記の第二制御領域７６との間にもう一つの永久変
   形可能の板部８６を有し、この変形可能な板部は
   上記の支持領域が上記の第二の制御領域の位置移
   動の影響を受けないようにする特許請求の範囲第
   ３項に記載の圧力感応モジユール。