JPH0479571A - ディジタル画像縮小拡大装置 - Google Patents
ディジタル画像縮小拡大装置Info
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- JPH0479571A JPH0479571A JP2192216A JP19221690A JPH0479571A JP H0479571 A JPH0479571 A JP H0479571A JP 2192216 A JP2192216 A JP 2192216A JP 19221690 A JP19221690 A JP 19221690A JP H0479571 A JPH0479571 A JP H0479571A
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims description 6
- 238000009499 grossing Methods 0.000 abstract description 6
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- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T3/00—Geometric image transformations in the plane of the image
- G06T3/40—Scaling of whole images or parts thereof, e.g. expanding or contracting
- G06T3/4007—Scaling of whole images or parts thereof, e.g. expanding or contracting based on interpolation, e.g. bilinear interpolation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野1
本発明は、ティジタル複写機、図形表示装置などに組み
込まれる画像データの縮小および拡大装置に関する。
込まれる画像データの縮小および拡大装置に関する。
[従来の技術]
従来から、ティジタル複写機、図形表示装置等に組込ま
れるディジタル画像信号の処理装置にあって、ディジタ
ル情報処理技術を用いて、画像のアナ冒り信号をディジ
タル化し、このディジタル化された画像データに対して
様々な画像処理を施すことにより、画像の分割、モザイ
ク画像、画像の一次元袖間、輪郭線強調、画像の平滑化
等の画像処理を行っていた。特に、画像の拡大や縮小処
理を行うためには、ディジタル化した大量の画像データ
を大容量の画像工Cメモリに記憶させ、該画像TCメモ
リの論理回路に対しディジタル情報処理することにより
実現していた。
れるディジタル画像信号の処理装置にあって、ディジタ
ル情報処理技術を用いて、画像のアナ冒り信号をディジ
タル化し、このディジタル化された画像データに対して
様々な画像処理を施すことにより、画像の分割、モザイ
ク画像、画像の一次元袖間、輪郭線強調、画像の平滑化
等の画像処理を行っていた。特に、画像の拡大や縮小処
理を行うためには、ディジタル化した大量の画像データ
を大容量の画像工Cメモリに記憶させ、該画像TCメモ
リの論理回路に対しディジタル情報処理することにより
実現していた。
1発明が解決しようとする課題]
しかしながら、上記のような構成のディジタル画像信号
処理装置では、全てのデータをディジタルデータのまま
て処理しているために、非常に複雑で、かつ、大規模な
論理回路が必要となり、特に、画像を縮小・拡大する場
合は、補間データ発生回路、ディジタル差分解析回路等
の回路ブロックを設ける2丑かあり、このために、任意
の縮小率または拡大率で、高速かつ滑らかに変倍するこ
とは、困難てあった。さらに、処理するデータのピッI
・数か増加するに従つ”ζ、使用される論T!4!素子
の数も増え、装置のコスト高や占有する容積の増大をも
たらし、さらに、装置の消費′電力を増加させることに
もなっていた。
処理装置では、全てのデータをディジタルデータのまま
て処理しているために、非常に複雑で、かつ、大規模な
論理回路が必要となり、特に、画像を縮小・拡大する場
合は、補間データ発生回路、ディジタル差分解析回路等
の回路ブロックを設ける2丑かあり、このために、任意
の縮小率または拡大率で、高速かつ滑らかに変倍するこ
とは、困難てあった。さらに、処理するデータのピッI
・数か増加するに従つ”ζ、使用される論T!4!素子
の数も増え、装置のコスト高や占有する容積の増大をも
たらし、さらに、装置の消費′電力を増加させることに
もなっていた。
本発明は」1記の問題点を解決するためになされたもの
てあつ、1ライン毎に入力されるディジタル画像データ
を、−旦アナロク信号に変換して処理することにより、
比較的簡単な回路構成により、任意の変倍率で滑らかな
画像に縮小・拡大するとともに、画像データに対する一
次元補間、輪郭線強調、平滑化等の信号処理をも同時に
高速に行うことができるディジタル画像の縮小拡大装置
を提供することを目的とする。
てあつ、1ライン毎に入力されるディジタル画像データ
を、−旦アナロク信号に変換して処理することにより、
比較的簡単な回路構成により、任意の変倍率で滑らかな
画像に縮小・拡大するとともに、画像データに対する一
次元補間、輪郭線強調、平滑化等の信号処理をも同時に
高速に行うことができるディジタル画像の縮小拡大装置
を提供することを目的とする。
「課題を解決するための手段]
」1記の目的を達成するために本発明は、ディジタル化
した画像データの画像1ラインに対して線順次に処理し
て、画像の拡大・縮小等の画像処理を行うディジタル画
像縮小拡大装置において、画像1ラインのディジタル画
像データをアナログ信号に変換するD/A変換手段と、
この変換されたアナログ信−づに対して所望の波形整形
を施すアナログ信号整形手段と、この波形整形処理され
たアナログ信号をディジタル信号に変換するA/D変換
手段と、この変換されたディジタル信号を記憶する記憶
手段と、拡大・縮小処理に応じてタイミングクロックを
発生ずる可変周期クロック発生手段とを備え、この可変
周期クロック発生手段のタイミングクロックを変えるこ
とにより前記A/D変換手段のサンプリング周期を変更
するようにしたものである。
した画像データの画像1ラインに対して線順次に処理し
て、画像の拡大・縮小等の画像処理を行うディジタル画
像縮小拡大装置において、画像1ラインのディジタル画
像データをアナログ信号に変換するD/A変換手段と、
この変換されたアナログ信−づに対して所望の波形整形
を施すアナログ信号整形手段と、この波形整形処理され
たアナログ信号をディジタル信号に変換するA/D変換
手段と、この変換されたディジタル信号を記憶する記憶
手段と、拡大・縮小処理に応じてタイミングクロックを
発生ずる可変周期クロック発生手段とを備え、この可変
周期クロック発生手段のタイミングクロックを変えるこ
とにより前記A/D変換手段のサンプリング周期を変更
するようにしたものである。
「作用コ
」1記構成によれば、入力されるディジタル化した画像
データは、D 、/ A変換手段によりアナログ信号に
変換され、アナログ信号整形手段により一次元補間、輪
郭線強調、平滑化等の信号処理か施される。ここまでの
信号処理は、実時間処理てあつ、得られたアナログ信号
の時間軸方向の倍率は、入力された画像データの周期に
比例しなものである。
データは、D 、/ A変換手段によりアナログ信号に
変換され、アナログ信号整形手段により一次元補間、輪
郭線強調、平滑化等の信号処理か施される。ここまでの
信号処理は、実時間処理てあつ、得られたアナログ信号
の時間軸方向の倍率は、入力された画像データの周期に
比例しなものである。
その後、信号処理されたアナログデータ信号は、A/D
変換手段により、再び、デジタル信号に変換される。こ
の変換時に、アナ’j:?グ信号をサンプノングする周
期として、A/D変換手段に入力される画像データの周
期とは異なった周期を用いると、単位時間内にサンプル
されるデータの数が変化する。したがって、入力された
画像データに対応し、かつ、上記D/A変換手段に入力
されたデータの個数とは異なった数のディジタルデータ
が、同一単位時間内に得られることになり、A 、/
D変換手段に線順次に転送された1ラインの画1イ;デ
ータは、画像のライン方向についての拡大ないしは縮小
が行われる。
変換手段により、再び、デジタル信号に変換される。こ
の変換時に、アナ’j:?グ信号をサンプノングする周
期として、A/D変換手段に入力される画像データの周
期とは異なった周期を用いると、単位時間内にサンプル
されるデータの数が変化する。したがって、入力された
画像データに対応し、かつ、上記D/A変換手段に入力
されたデータの個数とは異なった数のディジタルデータ
が、同一単位時間内に得られることになり、A 、/
D変換手段に線順次に転送された1ラインの画1イ;デ
ータは、画像のライン方向についての拡大ないしは縮小
が行われる。
ここで、上記サンプリング周期に関わるタイミングクロ
ックを発生する可変周期クロック発生手段が、任意の周
期を発生することにより、任意の連続的な変倍率て、画
像のライン方向についての拡大ないしは縮小が実現され
る。
ックを発生する可変周期クロック発生手段が、任意の周
期を発生することにより、任意の連続的な変倍率て、画
像のライン方向についての拡大ないしは縮小が実現され
る。
[実施例]
以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。第1図は本実施例によるディジタル画像縮小拡大装
置のブロック構成を示す。
る。第1図は本実施例によるディジタル画像縮小拡大装
置のブロック構成を示す。
このディジタル画像縮小拡大装置(以下、本装置という
)は、不図示のディジタル複写機に組込まれており、同
複写機の原稿読取り部から、所定の周期毎に1ライン分
のディジタル画像データAが、制御信号Bに同期して連
続的に本装置に入力され、複写機の画像形成部からのデ
ータ要求信号りに同期して、1ライン分の画像データC
を出力するものである。
)は、不図示のディジタル複写機に組込まれており、同
複写機の原稿読取り部から、所定の周期毎に1ライン分
のディジタル画像データAが、制御信号Bに同期して連
続的に本装置に入力され、複写機の画像形成部からのデ
ータ要求信号りに同期して、1ライン分の画像データC
を出力するものである。
本装置は、1ライン分の連続して送られてくるディジタ
ル画像データAをアナログ信号に変換するD/Aコンバ
ータ1と、入力データの制御信号Bに同期してD/Aコ
ンバータ1にデータ変換用制御信号を1ノ1給するタイ
ミング制御回F42と、D/Aコンパ−タコによつアナ
ログ1言号Asに変換された画像データか入力される3
種類のフィルタ3a、3b、3cと、これらフィルター
3a3b、3cにより波形整形されたアナログ信号Af
を入力してティジタル信号に変換するA/Dコンバータ
4と、ディジタル画像の拡大・縮小の変倍率に応じたサ
ンプリング信号を発生ずる可変周波数発生器5と、この
サンプリング信号に応じて変倍タイミング信号ScをA
/Dコンバータ4に出力する変倍制御信号発生四R6と
、この変倍タイミング信号ScによりA/Dコンバータ
4が入力データAの周期とは異なった周期でアナログ信
号Afをサンプリングした画像データDsを記憶するF
iFOメモリ7とから構成さ1−1ている。
ル画像データAをアナログ信号に変換するD/Aコンバ
ータ1と、入力データの制御信号Bに同期してD/Aコ
ンバータ1にデータ変換用制御信号を1ノ1給するタイ
ミング制御回F42と、D/Aコンパ−タコによつアナ
ログ1言号Asに変換された画像データか入力される3
種類のフィルタ3a、3b、3cと、これらフィルター
3a3b、3cにより波形整形されたアナログ信号Af
を入力してティジタル信号に変換するA/Dコンバータ
4と、ディジタル画像の拡大・縮小の変倍率に応じたサ
ンプリング信号を発生ずる可変周波数発生器5と、この
サンプリング信号に応じて変倍タイミング信号ScをA
/Dコンバータ4に出力する変倍制御信号発生四R6と
、この変倍タイミング信号ScによりA/Dコンバータ
4が入力データAの周期とは異なった周期でアナログ信
号Afをサンプリングした画像データDsを記憶するF
iFOメモリ7とから構成さ1−1ている。
FIFOメモリ7の容量は、拡大後の1ライン分の画像
データを格納することができる大きさであり、変倍制御
信号発生回路6は、FIFOメモリ7へのサンプリング
データ書込み信号Wcと、データ要求信号りによりFI
F○メモリ7からデータを読み出す制御信号Rcをも出
力している。
データを格納することができる大きさであり、変倍制御
信号発生回路6は、FIFOメモリ7へのサンプリング
データ書込み信号Wcと、データ要求信号りによりFI
F○メモリ7からデータを読み出す制御信号Rcをも出
力している。
また、タイミング制御回路2は、入力データの制御信号
Bよりデータが有効であるか否かを示す判別信号も発生
し、同信号を変倍制御信号発生回路6に出力している。
Bよりデータが有効であるか否かを示す判別信号も発生
し、同信号を変倍制御信号発生回路6に出力している。
フィルター3a、3b、3cは、特性の異なった3種却
のフィルターか実装されており、信号の波形を異なった
形に整形・補間して、種々の画像処理効果を行えるよう
にしている。例えば、フィルター3aは、入力画像デー
タAの周期T’i(詳細は後述)に対応した周波数を通
過し、それ、[′J、」二の周波数成分の信号に対して
は適当な割合で減衰するような特性のフィルターであり
、データの自然な補間を行う。フィルター3bは、入力
画像データAの周期Tiに対応した周波数の近辺の特性
を増加させるような特性のフィルターであり、輪郭部分
の強調を行う。また、フィルター3cは、入力画像デー
タAの周期1゛iに対応した周波数より低い周波数成分
の信号に対しても減衰させるような特性のフィルターで
あり、平滑化を行う。なお、変倍制御信号発生回路6で
は、フィルター3a、3b、3cの特性の違いによるデ
ータの時間的遅れを補償するような制御信号を発生ずる
機構も含んでいる。
のフィルターか実装されており、信号の波形を異なった
形に整形・補間して、種々の画像処理効果を行えるよう
にしている。例えば、フィルター3aは、入力画像デー
タAの周期T’i(詳細は後述)に対応した周波数を通
過し、それ、[′J、」二の周波数成分の信号に対して
は適当な割合で減衰するような特性のフィルターであり
、データの自然な補間を行う。フィルター3bは、入力
画像データAの周期Tiに対応した周波数の近辺の特性
を増加させるような特性のフィルターであり、輪郭部分
の強調を行う。また、フィルター3cは、入力画像デー
タAの周期1゛iに対応した周波数より低い周波数成分
の信号に対しても減衰させるような特性のフィルターで
あり、平滑化を行う。なお、変倍制御信号発生回路6で
は、フィルター3a、3b、3cの特性の違いによるデ
ータの時間的遅れを補償するような制御信号を発生ずる
機構も含んでいる。
次に、上記のように構成されたディジタル画像縮小拡大
装置の動作を、第2図、第3図、第4図を用いて説明す
る。
装置の動作を、第2図、第3図、第4図を用いて説明す
る。
制御信号Bは、入力画像データAがD/Aコンバータ1
に入力される繰返し周期を決めるもので、第2図に示す
ように、ある決まった一定の間隔丁゛iの周期を持つ。
に入力される繰返し周期を決めるもので、第2図に示す
ように、ある決まった一定の間隔丁゛iの周期を持つ。
そして、この間隔Tiに同期して、D/Aコンバータ1
は、第3図に示すように、信号Asを出力する。D 、
/ Aコンバータ1の出力レベルは、ノイズの影響を受
は錐くするために高いレベルに設定されている。信号A
sは、フィルター3a、3b、3cに入力されて波形整
形処理が行なわれ、フィルター3a、3b、3cの出力
は、第4図に示されるように、用途に応じていずれかの
1言−号Afか選才尺され、A/Dコンバータ4に入力
される。ここで、再びデジタル信号に変換される。
は、第3図に示すように、信号Asを出力する。D 、
/ Aコンバータ1の出力レベルは、ノイズの影響を受
は錐くするために高いレベルに設定されている。信号A
sは、フィルター3a、3b、3cに入力されて波形整
形処理が行なわれ、フィルター3a、3b、3cの出力
は、第4図に示されるように、用途に応じていずれかの
1言−号Afか選才尺され、A/Dコンバータ4に入力
される。ここで、再びデジタル信号に変換される。
A/Dコンバータ4は変倍制御信号発生回路6からの変
倍タイミング信号Scに従って、入力データへの周期と
は異なった周期でフィルター3a3b、3cからの出力
信号Afをサンプリングすることにより、A/Dコンバ
ータ4の出力には縮小または拡大された1ライン分のデ
ータDsが得られる。
倍タイミング信号Scに従って、入力データへの周期と
は異なった周期でフィルター3a3b、3cからの出力
信号Afをサンプリングすることにより、A/Dコンバ
ータ4の出力には縮小または拡大された1ライン分のデ
ータDsが得られる。
上記のように縮小または拡大されたサンプリングデータ
Dsは、変倍率に応じた周期てA/Dコンバータ4より
得られが、このままでは変倍率が変わると得られるデー
タの周期も変化するので実用上都合か悪い。そこて、外
部より要求される適当な周期でデータが出力されるよう
にするため、得られたデータは一部FIFOメモリ7に
蓄えられ、出力のデータ転送速度との整合がとられる。
Dsは、変倍率に応じた周期てA/Dコンバータ4より
得られが、このままでは変倍率が変わると得られるデー
タの周期も変化するので実用上都合か悪い。そこて、外
部より要求される適当な周期でデータが出力されるよう
にするため、得られたデータは一部FIFOメモリ7に
蓄えられ、出力のデータ転送速度との整合がとられる。
F I FO7に蓄えられた縮小または拡大された1ラ
イン分のデータは、外部よりのデータ要求信号りに同期
して画像データCとして出力される9、この時のF”
I F○メモリ7の読み出し動作は、次のラインのデー
タが入力されるまでに行われなければならないか、この
時間的制約はFIFOメモリ7の容量を増やすことによ
り緩和することが可能である。
イン分のデータは、外部よりのデータ要求信号りに同期
して画像データCとして出力される9、この時のF”
I F○メモリ7の読み出し動作は、次のラインのデー
タが入力されるまでに行われなければならないか、この
時間的制約はFIFOメモリ7の容量を増やすことによ
り緩和することが可能である。
以下、変倍率を変更した場合の拡大および縮小動作につ
いて、第5図(a)(b)、第6図< a、 >(b)
を用いて説明する。
いて、第5図(a)(b)、第6図< a、 >(b)
を用いて説明する。
可変周波数発生器5が、設定されプご変倍率Kに基いた
周波数のサンプリング信−りを発生ずる。この周波数F
v(tlz)は、入力データAの周期をTitS)、変
倍率をKとすると、 Fv= K/T’ によつ決定される。ここで、1り〉1の時は、第5図(
a、’)に示すように、信号Afを1/Fvの周期でサ
ンプリングし、第5図(1つ)に示されるように、周期
′r○でデータCを出力して、■ラインの画1象データ
を拡大する。また、K<1の時には、第6図(a)に示
したl 、/ F vの周期でサンプリングを行い2第
6図(b)に示した周期T’oでデータCを出力して、
縮小動作を行う。なお、出力データCの周期であるTO
は、第2図に示した入力データの周期′Fjと同一・で
ある必要はない。
周波数のサンプリング信−りを発生ずる。この周波数F
v(tlz)は、入力データAの周期をTitS)、変
倍率をKとすると、 Fv= K/T’ によつ決定される。ここで、1り〉1の時は、第5図(
a、’)に示すように、信号Afを1/Fvの周期でサ
ンプリングし、第5図(1つ)に示されるように、周期
′r○でデータCを出力して、■ラインの画1象データ
を拡大する。また、K<1の時には、第6図(a)に示
したl 、/ F vの周期でサンプリングを行い2第
6図(b)に示した周期T’oでデータCを出力して、
縮小動作を行う。なお、出力データCの周期であるTO
は、第2図に示した入力データの周期′Fjと同一・で
ある必要はない。
かくして、変倍率Kを変更することにより、入力された
ディジタル画1象データAの1ラインを拡大または縮小
した画像データCか出力される。
ディジタル画1象データAの1ラインを拡大または縮小
した画像データCか出力される。
なお、本発明は、」1記実施例に限られるものてはなく
、種々の変更が可能である。例えば、上記実施例では3
種類のフィルターを用いたが、これは任意の数のフィル
ターを使用しても構わない。
、種々の変更が可能である。例えば、上記実施例では3
種類のフィルターを用いたが、これは任意の数のフィル
ターを使用しても構わない。
また、−時的データ記憶手段としてPI卜゛0メモリを
使用したか、これは一般のメモリーを用いても実現可能
である。
使用したか、これは一般のメモリーを用いても実現可能
である。
[発明の効果]
以上のように本発明によれは、安価で、比教的簡単な凹
l¥8Wj成により、任意の変倍率で滑らかな画像デー
タの縮小または拡大を行うことができるので、従来のよ
うに、大容量の画1象メモリを必要とせす、ディジタル
画1象処理装置のコストを削減することがてきると共に
、画像データに対する一次元補間、輪郭線強調、平滑化
等の信号処理の高速化をも図ることができる。
l¥8Wj成により、任意の変倍率で滑らかな画像デー
タの縮小または拡大を行うことができるので、従来のよ
うに、大容量の画1象メモリを必要とせす、ディジタル
画1象処理装置のコストを削減することがてきると共に
、画像データに対する一次元補間、輪郭線強調、平滑化
等の信号処理の高速化をも図ることができる。
第1図は本発明の一実施例によるディジタル画像縮小拡
大装置を示すブロック構成図、第2図は同装置における
入力画像データのタイミングを示す図、第3図は同装置
のD 、/ Aコンバータの出力を示す図、第4図はフ
ィルターの出力の一例を示す図、第5図(a)(b)、
第6図(a)(b)はそれぞれ前記装置による画像デー
タの拡大および縮小動作を説明する図である。。 1・・・D/Aコンバータ、2・・・タイミング制御回
路、3a、、3b、3c=−・フィルター、4−A/D
コンバータ、5・・・可変周波数発生器、6・・・変倍
制御信号発生回路、7・・・FIFOメモリ。 出願人 ブラザー工業株式会壮代理人
弁理士 板 谷 康 火第 図 (a) (b) 時間 11′0 1 / F v 第 図 (b) 1/Fv’ 間 〈−m−〉1 ′F0 時間
大装置を示すブロック構成図、第2図は同装置における
入力画像データのタイミングを示す図、第3図は同装置
のD 、/ Aコンバータの出力を示す図、第4図はフ
ィルターの出力の一例を示す図、第5図(a)(b)、
第6図(a)(b)はそれぞれ前記装置による画像デー
タの拡大および縮小動作を説明する図である。。 1・・・D/Aコンバータ、2・・・タイミング制御回
路、3a、、3b、3c=−・フィルター、4−A/D
コンバータ、5・・・可変周波数発生器、6・・・変倍
制御信号発生回路、7・・・FIFOメモリ。 出願人 ブラザー工業株式会壮代理人
弁理士 板 谷 康 火第 図 (a) (b) 時間 11′0 1 / F v 第 図 (b) 1/Fv’ 間 〈−m−〉1 ′F0 時間
Claims (1)
- (1)ディジタル化した画像データの画像1ラインに対
して線順次に処理して、画像の拡大・縮小等の画像処理
を行うディジタル画像縮小拡大装置において、 画像1ラインのディジタル画像データをアナログ信号に
変換するD/A変換手段と、 この変換されたアナログ信号に対して所望の波形整形を
施すアナログ信号整形手段と、 この波形整形処理されたアナログ信号をディジタル信号
に変換するA/D変換手段と、 この変換されたディジタル信号を記憶する記憶手段と、 拡大・縮小処理に応じてタイミングクロックを発生する
可変周期クロック発生手段とを備え、この可変周期クロ
ック発生手段のタイミングクロックを変えることにより
前記A/D変換手段のサンプリング周期を変更するよう
にしたことを特徴とするディジタル画像縮小拡大装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2192216A JPH0479571A (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | ディジタル画像縮小拡大装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2192216A JPH0479571A (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | ディジタル画像縮小拡大装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0479571A true JPH0479571A (ja) | 1992-03-12 |
Family
ID=16287595
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2192216A Pending JPH0479571A (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | ディジタル画像縮小拡大装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0479571A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1150249A1 (en) * | 1998-07-22 | 2001-10-31 | Nikon Corporation | Mark detecting method, exposure method, device manufacturing method, mark detector, exposure apparatus, and device |
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1990
- 1990-07-19 JP JP2192216A patent/JPH0479571A/ja active Pending
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