JPH0472619A - アンプルの封止構造およびその封止方法 - Google Patents
アンプルの封止構造およびその封止方法Info
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- JPH0472619A JPH0472619A JP18622590A JP18622590A JPH0472619A JP H0472619 A JPH0472619 A JP H0472619A JP 18622590 A JP18622590 A JP 18622590A JP 18622590 A JP18622590 A JP 18622590A JP H0472619 A JPH0472619 A JP H0472619A
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims abstract description 110
- 239000003708 ampul Substances 0.000 title claims abstract description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 8
- 239000010453 quartz Substances 0.000 abstract description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 4
- NPNPZTNLOVBDOC-UHFFFAOYSA-N 1,1-difluoroethane Chemical compound CC(F)F NPNPZTNLOVBDOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 13
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 5
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 4
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 125000000816 ethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 2
- XUCNUKMRBVNAPB-UHFFFAOYSA-N fluoroethene Chemical group FC=C XUCNUKMRBVNAPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
封管内で液相成長する際に用いるアンプルの封止方法に
関し、 アンプルを加熱溶融しないで封止したり、或いはアンプ
ルを破損せずに内部の被封止物が取り出せるようなアン
プルの封止構造、およびその封止方法を目的とし、 管軸方向に沿って所定の間隔を隔てて管の内部側、およ
び管の外部側に向かって管壁が突出するリング状の凸部
を備えた一端が開放で有底の外管と、 該外管の内部側に突出するリング状の凸部の側面に接触
する第１封止用リングと、 該外管の外部側に突出するリング状の凸部内面に嵌合す
る第２封止用リングと、 前記第１封止用リングに嵌挿可能な封止用球状部材と、 該封止用球状部材が嵌挿する開口部を備え、第２封止用
リング側に設け、前記外管の管軸方向に沿って移動可能
な有底の内管とより成り、被封止物が封止される外管の
被封止物収容部の圧力より前記内管の圧力を高圧とし、
前記封止用球状部材を第１封止用リングを押圧して被封
止物を外管内に封止することで構成する。
関し、 アンプルを加熱溶融しないで封止したり、或いはアンプ
ルを破損せずに内部の被封止物が取り出せるようなアン
プルの封止構造、およびその封止方法を目的とし、 管軸方向に沿って所定の間隔を隔てて管の内部側、およ
び管の外部側に向かって管壁が突出するリング状の凸部
を備えた一端が開放で有底の外管と、 該外管の内部側に突出するリング状の凸部の側面に接触
する第１封止用リングと、 該外管の外部側に突出するリング状の凸部内面に嵌合す
る第２封止用リングと、 前記第１封止用リングに嵌挿可能な封止用球状部材と、 該封止用球状部材が嵌挿する開口部を備え、第２封止用
リング側に設け、前記外管の管軸方向に沿って移動可能
な有底の内管とより成り、被封止物が封止される外管の
被封止物収容部の圧力より前記内管の圧力を高圧とし、
前記封止用球状部材を第１封止用リングを押圧して被封
止物を外管内に封止することで構成する。
本発明は封管液相成長方法に用いるアンプルの封止構造
およびその封止方法に関する。
およびその封止方法に関する。
赤外線検知素子の形成材料として、水銀を含む化合物半
導体結晶が用いられており、この易蒸発性の水銀を用い
て液相成長する場合、エピタキシャル成長用基板とエピ
タキシャル成長用ソースとをアンプル内に封入した状態
で液相エピタキシャル成長をしている。
導体結晶が用いられており、この易蒸発性の水銀を用い
て液相成長する場合、エピタキシャル成長用基板とエピ
タキシャル成長用ソースとをアンプル内に封入した状態
で液相エピタキシャル成長をしている。
従来、このような封止したアンプルを用いて液相エピタ
キシャル成長する場合、第３図に示すようにカドミウム
テルル（ＣｄＴｅ）のようなエピタキシャル成長用基板
ｌを基板支持具２に設置するとともに、該基板と対向す
る位置に水銀、カドミウム、テルルを所定量混合溶融し
たエピタキシャル成長用メルト３とをアンプル４内に挿
入する。
キシャル成長する場合、第３図に示すようにカドミウム
テルル（ＣｄＴｅ）のようなエピタキシャル成長用基板
ｌを基板支持具２に設置するとともに、該基板と対向す
る位置に水銀、カドミウム、テルルを所定量混合溶融し
たエピタキシャル成長用メルト３とをアンプル４内に挿
入する。
そして該アンプル４内を排気した後、該アンプルの一端
部を加熱溶融して封止する。そしてこの封止したアンプ
ルを加熱炉内に挿入して該加熱炉を加熱してアンプル内
のエピタキシャル成長用メルトを加熱溶融した後、該加
熱溶融したメルトに基板を接触させてメルトの温度を降
下させながら基板上にエピタキシャル結晶を形成してい
る。
部を加熱溶融して封止する。そしてこの封止したアンプ
ルを加熱炉内に挿入して該加熱炉を加熱してアンプル内
のエピタキシャル成長用メルトを加熱溶融した後、該加
熱溶融したメルトに基板を接触させてメルトの温度を降
下させながら基板上にエピタキシャル結晶を形成してい
る。
その後、基板上にエピタキシャル成長した基板を取り出
す際、封止したアンプルを破壊して基板を取り出してい
る。
す際、封止したアンプルを破壊して基板を取り出してい
る。
然し、この方法ではアンプルをエピタキシャル成長が終
了する時点でその都度破損して基板を取り出しており、
エピタキシャル成長の都度、毎回高価な石英製のアンプ
ルを消費する問題があり、形成されるエピタキシャル結
晶の製造コストが大となる問題がある。
了する時点でその都度破損して基板を取り出しており、
エピタキシャル成長の都度、毎回高価な石英製のアンプ
ルを消費する問題があり、形成されるエピタキシャル結
晶の製造コストが大となる問題がある。
またアンプルを封止するのに手間が掛かる欠点がある。
本発明は上記した欠点を除去し、アンプルを加熱溶融し
ないで封止でき、またアンプルを破損しないで内部の基
板を取り出すことのできるアンプルの封止構造および該
アンプルの封止方法の提供を目的とする。
ないで封止でき、またアンプルを破損しないで内部の基
板を取り出すことのできるアンプルの封止構造および該
アンプルの封止方法の提供を目的とする。
上記目的を達成する本発明のアンプルの封止構造は、管
軸方向に沿って所定の間隔を隔てて管の内部側、および
管の外部側に向かって管壁が突出するリング状の凸部を
備えた一端が開放で有底の外管と、 該外管の内部側に突出するリング状の凸部の側面に接触
する第１封止用リングと、 該外管の外部側に突出するリング状の凸部内面に嵌合す
る第２封止用リングと、 前記第１封止用リングに嵌挿可能な封止用球状部材と、 該封止用球状部材が嵌挿する開口部を備え、第２封止用
リング側に設け、前記外管の管軸方向に沿って移動可能
な有底の内管とより成り、被封止物が封止される外管の
被封止物収容部の圧力より前記内管の圧力を高圧とし、
前記封止用球状部材を第１封止用リングを押圧して被封
止物を外管内に封止することを特徴とする。
軸方向に沿って所定の間隔を隔てて管の内部側、および
管の外部側に向かって管壁が突出するリング状の凸部を
備えた一端が開放で有底の外管と、 該外管の内部側に突出するリング状の凸部の側面に接触
する第１封止用リングと、 該外管の外部側に突出するリング状の凸部内面に嵌合す
る第２封止用リングと、 前記第１封止用リングに嵌挿可能な封止用球状部材と、 該封止用球状部材が嵌挿する開口部を備え、第２封止用
リング側に設け、前記外管の管軸方向に沿って移動可能
な有底の内管とより成り、被封止物が封止される外管の
被封止物収容部の圧力より前記内管の圧力を高圧とし、
前記封止用球状部材を第１封止用リングを押圧して被封
止物を外管内に封止することを特徴とする。
また該アンプルの封止方法は、前記外管内に被封止物を
設置するとともに、該外管内を排気し、前記内管を管軸
方向に押圧して前記封止用球状部材を第１封止用リング
に押圧接触させた後、前記被封止物が挿入されていない
領域の外管排気部と、内管内部とが等圧となるように外
管内部よりガスを前記封止用球状部材を介して内管内部
に導入することで、該内管内部の圧力が前記被封止物が
挿入されている被封止物収容部の圧力より高圧と成るよ
うにして前記封止用球状部材が第１封止用リングを押圧
するようにした後、前記外管、或いは内管を管軸方向に
移動させて外管の大気と接触し、かつ該大気圧と等しい
圧力の外管排気部を、前記第２封止用リングと内管とで
隔離して被封止物を封止する。
設置するとともに、該外管内を排気し、前記内管を管軸
方向に押圧して前記封止用球状部材を第１封止用リング
に押圧接触させた後、前記被封止物が挿入されていない
領域の外管排気部と、内管内部とが等圧となるように外
管内部よりガスを前記封止用球状部材を介して内管内部
に導入することで、該内管内部の圧力が前記被封止物が
挿入されている被封止物収容部の圧力より高圧と成るよ
うにして前記封止用球状部材が第１封止用リングを押圧
するようにした後、前記外管、或いは内管を管軸方向に
移動させて外管の大気と接触し、かつ該大気圧と等しい
圧力の外管排気部を、前記第２封止用リングと内管とで
隔離して被封止物を封止する。
本発明のアンプルの封止構造は、管軸方向に沿って移動
可能で一端が開放で被封止物が封止される有底の外管に
設けた第１封止用リングと、第２封止用リングとを設け
、この第１封止用リングに封止可能な封止用球状部材と
を設け、この封止用球状部材が嵌挿する開口部を備え、
かつ第２封止用リング側に設け、前記外管の管軸方向に
沿って移動可能な有底の内管を設ける。
可能で一端が開放で被封止物が封止される有底の外管に
設けた第１封止用リングと、第２封止用リングとを設け
、この第１封止用リングに封止可能な封止用球状部材と
を設け、この封止用球状部材が嵌挿する開口部を備え、
かつ第２封止用リング側に設け、前記外管の管軸方向に
沿って移動可能な有底の内管を設ける。
そして前記被封止物が封止される領域の外管内部の圧力
より前記内管の圧力を高圧とし、前記封止用球状部材で
第１封止用リングを押圧して被封止物を外管内に封止す
る。
より前記内管の圧力を高圧とし、前記封止用球状部材で
第１封止用リングを押圧して被封止物を外管内に封止す
る。
また被封止物をアンプルより取り出すには、第２図（ｆ
）に示すように内管を矢印Ｅの方向に押圧しながら、内
管内に空気を流入しながら内管を中心より捩じって外管
より外し、前記封止用球状部材に設けた鍵状の突起２３
に引き出し棒を引っ掛けて引っ張るようにして取り出す
。
）に示すように内管を矢印Ｅの方向に押圧しながら、内
管内に空気を流入しながら内管を中心より捩じって外管
より外し、前記封止用球状部材に設けた鍵状の突起２３
に引き出し棒を引っ掛けて引っ張るようにして取り出す
。
このようにすると、アンプルを加熱溶融して封止する必
要が無くなり、またアンプルを破壊しなくとも内部の被
封止物を外部へ取り出すことができる。
要が無くなり、またアンプルを破壊しなくとも内部の被
封止物を外部へ取り出すことができる。
以下、図面を用いて本発明の実施例につき詳細に説明す
る。
る。
本発明のアンプルの封止構造は第１図に示すように、管
軸１１方向に沿って所定の間隔を隔てて管の内部側、お
よび管の外部側に向かって突出するリング状の凸部１２
Ａ、 １２Ｂを設け、一端が開放で例えば熱処理しよう
とするＨｇ＋−８Ｃｄ＋＋ Ｔｅ基板のような被封止物
１３を挿入し、前記した管軸１１の方向に沿って移動可
能な有底の石英製の外管１４を設ける。
軸１１方向に沿って所定の間隔を隔てて管の内部側、お
よび管の外部側に向かって突出するリング状の凸部１２
Ａ、 １２Ｂを設け、一端が開放で例えば熱処理しよう
とするＨｇ＋−８Ｃｄ＋＋ Ｔｅ基板のような被封止物
１３を挿入し、前記した管軸１１の方向に沿って移動可
能な有底の石英製の外管１４を設ける。
また前記外管の内部側に突出するリング状の凸部１２Ａ
の側面に接触する弗化エチレン製の第１封止用リング１
５と、該外管の外部側に突出するリング状の凸部１２Ｂ
の内面に嵌合する弗化エチレン製の第２封止用リング１
６と、前記第１封止用リング１５に嵌挿可能な石英製の
封止用球状部材１７とを設ける。
の側面に接触する弗化エチレン製の第１封止用リング１
５と、該外管の外部側に突出するリング状の凸部１２Ｂ
の内面に嵌合する弗化エチレン製の第２封止用リング１
６と、前記第１封止用リング１５に嵌挿可能な石英製の
封止用球状部材１７とを設ける。
更に前記封止用球状部材１７が嵌挿する開口部１８を備
え、かつ第２封止用リング１６側に設け、前記外管１４
の管軸１１方向に沿って移動可能な有底の石英製の内管
１９とを設ける。
え、かつ第２封止用リング１６側に設け、前記外管１４
の管軸１１方向に沿って移動可能な有底の石英製の内管
１９とを設ける。
そして前記した被封止物１３が封止される外管１４の内
部の圧力より、前記内管１９の内部の圧力を高圧とし、
前記封止用球状部材１７で第１封止用リング１５を押圧
して被封止物１３を外管内に封止する。
部の圧力より、前記内管１９の内部の圧力を高圧とし、
前記封止用球状部材１７で第１封止用リング１５を押圧
して被封止物１３を外管内に封止する。
このような本発明のアンプルに於ける被封止物の封止方
法に付いて説明する。
法に付いて説明する。
また該アンプルの封止方法は第２図（ａ）に示すように
、前記アンプルの前記外管１４内に、治具に設置したＨ
ｇ＋−ｘ ｃａ、 Ｔｅ基板のような被封止物１３を設
置する。
、前記アンプルの前記外管１４内に、治具に設置したＨ
ｇ＋−ｘ ｃａ、 Ｔｅ基板のような被封止物１３を設
置する。
そして第２図（ｂ）に示すように、前記外管１４を封止
装置のリング状の封止治具２１にＯリング２２を用いて
固定する。
装置のリング状の封止治具２１にＯリング２２を用いて
固定する。
そして外管１４および内管１９内部を矢印Ａに示すよう
に排気するとともに、前記内管１９を矢印Ｂに示すよう
に管軸方向に押圧して第２図（Ｃ）に示すように、前記
内管を封止治具２１に固定させる。
に排気するとともに、前記内管１９を矢印Ｂに示すよう
に管軸方向に押圧して第２図（Ｃ）に示すように、前記
内管を封止治具２１に固定させる。
次いで前記外管１４を矢印Ｃ方向に移動し、第２図（ロ
）に示すように封止用球状部材１７を第１封止用リング
１５に押圧接触させる。このようにすると外管の被封止
物収容部１４Ａと内管１９の内部は真空に排気され、該
内管１９の周囲の外管の外管排気部１４Ｂは大気圧とな
って矢印りに示すように封止用球状部材１７を第１封止
用リング１５に押圧している。
）に示すように封止用球状部材１７を第１封止用リング
１５に押圧接触させる。このようにすると外管の被封止
物収容部１４Ａと内管１９の内部は真空に排気され、該
内管１９の周囲の外管の外管排気部１４Ｂは大気圧とな
って矢印りに示すように封止用球状部材１７を第１封止
用リング１５に押圧している。
次いで第２図（ｅ）に示すように、前記被封止物が挿入
されていない領域の外管排気部１４Ｂ内部と、内管１９
の内部・とが等圧となるように外管排気部１４Ｂより高
圧ガスを前記封止用球状部材１７を介して内管１９の内
部に導入することで、該内管内部の圧力が外管の被封止
物収容部１４Ａの圧力より高圧と成るようにして前記封
止用球状部材１７が第１封止用リング１５を押圧する。
されていない領域の外管排気部１４Ｂ内部と、内管１９
の内部・とが等圧となるように外管排気部１４Ｂより高
圧ガスを前記封止用球状部材１７を介して内管１９の内
部に導入することで、該内管内部の圧力が外管の被封止
物収容部１４Ａの圧力より高圧と成るようにして前記封
止用球状部材１７が第１封止用リング１５を押圧する。
次いで第２図げ）に示すように、前記外管１４、或いは
内管１９を管軸１１の方向に移動させて外管外のの大気
と接触し、かつ該大気圧と等しい圧力の外管排気部１４
Ｂを、前記第２封止リング１６と内管１９とで隔離して
被封止物１３を封止するようにする。
内管１９を管軸１１の方向に移動させて外管外のの大気
と接触し、かつ該大気圧と等しい圧力の外管排気部１４
Ｂを、前記第２封止リング１６と内管１９とで隔離して
被封止物１３を封止するようにする。
そして上記外管と内管よりなるアンプルを封止治具より
取り外し、熱処理等の基板の加熱処理を行う。
取り外し、熱処理等の基板の加熱処理を行う。
上記封止用球状部材を弗化エチレンで形成している場合
には、該樹脂の耐熱温度が２８０°Ｃであるため、この
封止用球状部材の温度が２８０°Ｃ以上に上がらないよ
うにする。
には、該樹脂の耐熱温度が２８０°Ｃであるため、この
封止用球状部材の温度が２８０°Ｃ以上に上がらないよ
うにする。
そして前記被封止物１３を処理した後、該被封止物を外
管内より外部に取り出す場合には、第２図げ）に示すよ
うに外管排気部１４Ｂより矢印Ｅ方向に沿って内管１９
を押圧して、第２封止用リング１６と内管の開口部１８
の間をリークさせ、内管内部を大気圧として、内管を中
心より多少捻るようにして外管より取り外す。そして封
止用球状部材１７に設置している鐘状の突起２３に図示
しないが引き出し棒の先端を引っ掛けて外部へ引き出す
ようにすると良い。
管内より外部に取り出す場合には、第２図げ）に示すよ
うに外管排気部１４Ｂより矢印Ｅ方向に沿って内管１９
を押圧して、第２封止用リング１６と内管の開口部１８
の間をリークさせ、内管内部を大気圧として、内管を中
心より多少捻るようにして外管より取り外す。そして封
止用球状部材１７に設置している鐘状の突起２３に図示
しないが引き出し棒の先端を引っ掛けて外部へ引き出す
ようにすると良い。
このような装置を用いて被封止物をＨｇ＋−ｘ Ｃｄｘ
Ｔｅ基板とＨｇのソースとし、該被封止物を外管内に挿
入してＨｇ＋−ヨＣｄ、 Ｔｅ結晶を水銀雰囲気内で熱
処理する場合、上記被封止物を外管内に挿入する。
Ｔｅ基板とＨｇのソースとし、該被封止物を外管内に挿
入してＨｇ＋−ヨＣｄ、 Ｔｅ結晶を水銀雰囲気内で熱
処理する場合、上記被封止物を外管内に挿入する。
そして前記外管内の被封止物収容部１４Ａと内管内部の
圧力を１０−”ｔｏｒｒの圧力に成る迄排気した後、外
管排気部１４Ｂより３．４気圧のアルゴン（＾ｒ）ガス
を導入して第１封止用リング１５と封止用球状部材１７
とで外管の被封止物収容部を封止する。
圧力を１０−”ｔｏｒｒの圧力に成る迄排気した後、外
管排気部１４Ｂより３．４気圧のアルゴン（＾ｒ）ガス
を導入して第１封止用リング１５と封止用球状部材１７
とで外管の被封止物収容部を封止する。
そしてこのアンプルを２７０℃の温度で２４時間保持し
て基板を加熱処理した。このようにすると、被封止物収
容部１４Ａ内に於ける水銀の蒸気圧は、０．１６気圧、
内管内部の圧力は３．４−０．１，６−約３゜３気圧と
なり、この時の封止用球状部材１７の内径を２ ｃｒａ
とするとこの封止用球状部材１７は約１０ｋｇの圧力で
第１封止用リングに加圧されることになり、従来のよう
に加熱溶融してアンプルを封止した場合と同様の熱処理
を実施することができる。
て基板を加熱処理した。このようにすると、被封止物収
容部１４Ａ内に於ける水銀の蒸気圧は、０．１６気圧、
内管内部の圧力は３．４−０．１，６−約３゜３気圧と
なり、この時の封止用球状部材１７の内径を２ ｃｒａ
とするとこの封止用球状部材１７は約１０ｋｇの圧力で
第１封止用リングに加圧されることになり、従来のよう
に加熱溶融してアンプルを封止した場合と同様の熱処理
を実施することができる。
なお、本実施例では封止用球状部材として石英を用いた
が弗化エチレン樹脂を用いてもよく、この場合は封止用
リングを省略することができる。
が弗化エチレン樹脂を用いてもよく、この場合は封止用
リングを省略することができる。
以上の説明から明らかなように本発明のアンプルの封止
構造およびその封止方法によれば、アンプルを破壊する
ことなく、封止および開封することができ、高価なアン
プルの損傷が無くなるために結晶の製造コストが低減で
きる効果がある。。
構造およびその封止方法によれば、アンプルを破壊する
ことなく、封止および開封することができ、高価なアン
プルの損傷が無くなるために結晶の製造コストが低減で
きる効果がある。。
第１図は本発明のアンプルの封止構造を示す説明図、
第２図（ａ）より第２図（ｆ）迄は本発明のアンプルの
封止方法の手順を示す説明図、 第３図は従来のアンプルの封止方法の説明図である。 図において、 １１は管軸、１２Ａ、１２Ｂは凸部、１３は被封止物、
１４は外管、１４Ａは被封止物収容部、１４Ｂは外管排
気部、１５は第１封止用リング、１６は第２封止用リン
グ、１７は封止用球状部材、１８は開口部、１９は内管
、２１は封止治具、２２は０リング、２３は突起を示す
。 藤 園 （惜ｒ＋Ｔン
封止方法の手順を示す説明図、 第３図は従来のアンプルの封止方法の説明図である。 図において、 １１は管軸、１２Ａ、１２Ｂは凸部、１３は被封止物、
１４は外管、１４Ａは被封止物収容部、１４Ｂは外管排
気部、１５は第１封止用リング、１６は第２封止用リン
グ、１７は封止用球状部材、１８は開口部、１９は内管
、２１は封止治具、２２は０リング、２３は突起を示す
。 藤 園 （惜ｒ＋Ｔン
Claims (2)
- （１）管軸（１１）方向に沿って所定の間隔を隔てて管
の内部側、および管の外部側に向かって管壁が突出する
リング状の凸部（１２Ａ、１２Ｂ）を備えた一端が開放
で有底の外管（１４）と、 該外管（１４）の内部側に突出するリング状の凸部（１
２Ａ）の側面に接触する第１封止用リング（１５）と、
該外管の外部側に突出するリング状の凸部内面に嵌合す
る第２封止用リング（１６）と、 前記第１封止用リング（１５）に封止可能な封止用球状
部材（１７）と、 該封止用球状部材（１７）が嵌挿する開口部（１８）を
備え、第２封止用リング（１６）側に設け、前記外管（
１４）の管軸（１１）方向に沿って移動可能な有底の内
管（１９）とより成り、 被封止物（１３）が封止される外管の被封止物収容部（
１４Ａ）の圧力より前記内管（１９）の圧力を高圧とし
、前記封止用球状部材（１７）を第１封止用リング（１
５）を押圧して被封止物を外管内に封止することを特徴
とするアンプルの封止構造。 - （２）請求項（１）記載のアンプルの前記外管（１４）
内に被封止物（１３）を設置するとともに、該外管内を
排気し、前記内管（１９）を管軸（１１）方向に押圧し
て前記封止用球状部材（１７）を第１封止用リング（１
５）に押圧接触させた後、 前記被封止物（１３）が挿入されていない領域の外管排
気部（１４Ｂ）と、内管（１９）内部とが等圧となるよ
うに外管（１４）内部よりガスを前記封止用球状部材（
１７）を介して内管（１９）内部に導入することで、該
内管内部の圧力が前記被封止物が挿入されている被封止
物収容部（１４Ａ）の圧力より高圧と成るようにして前
記封止用球状部材（１７）が第１封止用リング（１５）
を押圧するようにした後、 前記外管（１４）、或いは内管（１９）を管軸（１１）
方向に移動させて外管の大気と接触し、かつ該大気圧と
等しい圧力の外管排気部（１４Ｂ）を、前記第２封止用
リング（１６）と内管（１９）とで隔離して被封止物（
１３）を封止するようにしたことを特徴とするアンプル
の封止方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18622590A JPH0472619A (ja) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | アンプルの封止構造およびその封止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18622590A JPH0472619A (ja) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | アンプルの封止構造およびその封止方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0472619A true JPH0472619A (ja) | 1992-03-06 |
Family
ID=16184552
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18622590A Pending JPH0472619A (ja) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | アンプルの封止構造およびその封止方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0472619A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8006528B2 (en) | 2007-01-16 | 2011-08-30 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Method for producing duplex stainless steel pipe, method for straightening, method for regulating strength, and method for operating straightener |
| US8783085B2 (en) | 2010-03-29 | 2014-07-22 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Method for straightening tube and straightening roll |
-
1990
- 1990-07-12 JP JP18622590A patent/JPH0472619A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8006528B2 (en) | 2007-01-16 | 2011-08-30 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Method for producing duplex stainless steel pipe, method for straightening, method for regulating strength, and method for operating straightener |
| US8783085B2 (en) | 2010-03-29 | 2014-07-22 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Method for straightening tube and straightening roll |
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