JPH0470516A - 半導体流量センサ - Google Patents
半導体流量センサInfo
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- JPH0470516A JPH0470516A JP18274390A JP18274390A JPH0470516A JP H0470516 A JPH0470516 A JP H0470516A JP 18274390 A JP18274390 A JP 18274390A JP 18274390 A JP18274390 A JP 18274390A JP H0470516 A JPH0470516 A JP H0470516A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- pressure receiving
- receiving plate
- flow rate
- resistance element
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 19
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 16
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 14
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は半導体流量センサに係り、特に配管の内部を流
れる流体の流量を測定するための半導体流量センサに関
する。
れる流体の流量を測定するための半導体流量センサに関
する。
一般に、配管の内部を流れる流体の流量を測定するため
の流量センサが多く用いられている。
の流量センサが多く用いられている。
第５図はこのような従来の流量センサを示したもので、
所定の配管１の内部に受圧体２を配設し、この受圧体２
の上方には、上方に延在するカンチレバー３が一体に固
着されている。このカンチレバー３の上端部には、上記
カンチレバー３の歪みを測定する歪みゲージ４が取り付
けられており、この歪みゲージ４には、図示しない演算
回路に接続されるリード線５が接続されている。
所定の配管１の内部に受圧体２を配設し、この受圧体２
の上方には、上方に延在するカンチレバー３が一体に固
着されている。このカンチレバー３の上端部には、上記
カンチレバー３の歪みを測定する歪みゲージ４が取り付
けられており、この歪みゲージ４には、図示しない演算
回路に接続されるリード線５が接続されている。
このような従来の流量センサにおいては、上記配管１の
内部を流れる流体が上記受圧体２に当たって、上記受圧
体２をその流体の流れ方向に押圧し、この押圧力により
、カンチサハ−３に加わる歪み量を上記歪みゲージ４に
より測定する。そして、この歪み量の測定値を上記リー
ド線５を介して上記演算回路に出力し、上記演算回路に
より所定の計算式から、所定の配管１内の流量を算出す
るようになっている。
内部を流れる流体が上記受圧体２に当たって、上記受圧
体２をその流体の流れ方向に押圧し、この押圧力により
、カンチサハ−３に加わる歪み量を上記歪みゲージ４に
より測定する。そして、この歪み量の測定値を上記リー
ド線５を介して上記演算回路に出力し、上記演算回路に
より所定の計算式から、所定の配管１内の流量を算出す
るようになっている。
しかし、上記従来の流量センサにおいては、受圧体２及
びカンチレバー３を機械的に取り付け、このカンチレバ
ー３部分に歪みゲージ４等の接続を行なう構造であるた
め、部品点数が極めて多く、構造が複雑となり、製造が
困難で、装置が大型化してしまうという問題があった。
びカンチレバー３を機械的に取り付け、このカンチレバ
ー３部分に歪みゲージ４等の接続を行なう構造であるた
め、部品点数が極めて多く、構造が複雑となり、製造が
困難で、装置が大型化してしまうという問題があった。
そのため、従来から特開昭５７−３７２１４号公報に開
示されているような半導体式の流量センサが開発されて
いる。
示されているような半導体式の流量センサが開発されて
いる。
第６図はこのような半導体流量をセンサを示したもので
、配管１の内部に中央部に開口６を有する絞り機構７を
配設し、この開口６部分には、流体の流れにより変位す
る図示しない半導体薄膜片及びこの半導体薄膜片の変位
を測定する歪みゲージが取り付けられたシリコン半導体
基板８が取り付けられている。さらに、上記シリコン半
導体基板８には、上記歪みゲージによる歪み量測定値を
配管１の外部に配設された図示しない演算回路に出力す
るリード線５が接続されている。
、配管１の内部に中央部に開口６を有する絞り機構７を
配設し、この開口６部分には、流体の流れにより変位す
る図示しない半導体薄膜片及びこの半導体薄膜片の変位
を測定する歪みゲージが取り付けられたシリコン半導体
基板８が取り付けられている。さらに、上記シリコン半
導体基板８には、上記歪みゲージによる歪み量測定値を
配管１の外部に配設された図示しない演算回路に出力す
るリード線５が接続されている。
上記半導体流量センサにおいては、上記絞り機構７の開
口６を通過する流体が、シリコン半導体基板８部分を通
過することにより、上記半導体薄膜片が変位され、この
変位を上記歪みゲージで測定する。そして、この測定値
を上記リード線５を介して上記演算回路に出力し、この
演算回路により、所定の計算式に従って、上記配管１内
の流量を算出するようになされている。
口６を通過する流体が、シリコン半導体基板８部分を通
過することにより、上記半導体薄膜片が変位され、この
変位を上記歪みゲージで測定する。そして、この測定値
を上記リード線５を介して上記演算回路に出力し、この
演算回路により、所定の計算式に従って、上記配管１内
の流量を算出するようになされている。
〔発明が解決しようとする課題］
しかし、上記従来の半導体流量センサにおいては、配管
１の内部に絞り機構７を設け、この絞り機構７の開口６
を通過する流体により、シリコン半導体基板８の半導体
薄膜片を変位させて流量を測定するものであるため、シ
リコン半導体基板８部分により液体圧力を適正に受ける
ことが困難であり、配管１内の液体の流速が遅い場合に
、流量の検出感度が極めて低下してしまうという問題を
有している。しかも、絞り機構７が必要であるため、構
成部材の増加を招き、構造が複雑となり、容易に製造す
ることができないという問題を有している。
１の内部に絞り機構７を設け、この絞り機構７の開口６
を通過する流体により、シリコン半導体基板８の半導体
薄膜片を変位させて流量を測定するものであるため、シ
リコン半導体基板８部分により液体圧力を適正に受ける
ことが困難であり、配管１内の液体の流速が遅い場合に
、流量の検出感度が極めて低下してしまうという問題を
有している。しかも、絞り機構７が必要であるため、構
成部材の増加を招き、構造が複雑となり、容易に製造す
ることができないという問題を有している。
本発明は上記した点に鑑みてなされたもので、検出感度
を著しく高めることができ、しかも、容易に製造するこ
とのできる半導体流量センサを提供することを目的とす
るものである。
を著しく高めることができ、しかも、容易に製造するこ
とのできる半導体流量センサを提供することを目的とす
るものである。
上記目的を達成するため本発明に係る半導体流量センサ
は、配管の内部を流れる流体の流量を測定するための半
導体流量センサにおいて、所定の回路が一体に形成され
たシリコンからなるセンサ本体を設け、このセンサ本体
の端部に歪みゲージが一体に形成された薄肉のカンチレ
バーを介して上記配管の内部に位置する円形状の受圧板
を一体に取り付けたことをその特徴とするものである。
は、配管の内部を流れる流体の流量を測定するための半
導体流量センサにおいて、所定の回路が一体に形成され
たシリコンからなるセンサ本体を設け、このセンサ本体
の端部に歪みゲージが一体に形成された薄肉のカンチレ
バーを介して上記配管の内部に位置する円形状の受圧板
を一体に取り付けたことをその特徴とするものである。
本発明によれば、シリコン基板の表面に歪みゲージ及び
所定の回路を所定の位置に作成した後、異方性エツチン
グによりシリコン基板の３次元加工を行なうことにより
、所定の回路が形成されたセンサ本体、歪みゲージが形
成されたカンチレノ＼−及び受圧板を一体に形成するも
のであるため、極めて容易に製造することができ、しか
も、上記受圧板を配管内に配置してこの受圧板により直
接流体の流量を測定するものであるため、流体の流量が
少ない場合でも、検出感度を著しく向上させることがで
きるものである。
所定の回路を所定の位置に作成した後、異方性エツチン
グによりシリコン基板の３次元加工を行なうことにより
、所定の回路が形成されたセンサ本体、歪みゲージが形
成されたカンチレノ＼−及び受圧板を一体に形成するも
のであるため、極めて容易に製造することができ、しか
も、上記受圧板を配管内に配置してこの受圧板により直
接流体の流量を測定するものであるため、流体の流量が
少ない場合でも、検出感度を著しく向上させることがで
きるものである。
（実施例］
以下、本発明の実施を第１図乃至第４図を参照して説明
し、従来と同一部分には同一符号を付す。
し、従来と同一部分には同一符号を付す。
第１図は本発明に係る半導体流量センサの一実施例を示
したもので、四角形状を有するソリコンからなるセンサ
本体９を設け、このセンサ本体９の下端中央部には、下
方に延在する薄肉のカンチレバー３を介して円形状の受
圧板１０が一体に形成されている。上記センサ本体９と
カンチレバー３との連結部分の上記カンチレバー３の両
側部及び後面部は、第４図に示すように、円弧状に形成
されており、これにより、上記カンチレバー３の基部に
対する応力集中を除去するようになされている。
したもので、四角形状を有するソリコンからなるセンサ
本体９を設け、このセンサ本体９の下端中央部には、下
方に延在する薄肉のカンチレバー３を介して円形状の受
圧板１０が一体に形成されている。上記センサ本体９と
カンチレバー３との連結部分の上記カンチレバー３の両
側部及び後面部は、第４図に示すように、円弧状に形成
されており、これにより、上記カンチレバー３の基部に
対する応力集中を除去するようになされている。
また、上記カンチレバー３の一面側には、歪みゲージと
して機能するピエゾ抵抗素子１１が配設されており、上
記センサ本体９の一面側には、温度補償用抵抗素子１２
が配設されている。さらに、上記センサ本体９の一面側
には上記ピエゾ抵抗素子１１及びこの温度補償用抵抗素
子１２からの信号を入力して所定の演算処理を行なう演
算回路等のその他の周辺回路１３が配設されている。
して機能するピエゾ抵抗素子１１が配設されており、上
記センサ本体９の一面側には、温度補償用抵抗素子１２
が配設されている。さらに、上記センサ本体９の一面側
には上記ピエゾ抵抗素子１１及びこの温度補償用抵抗素
子１２からの信号を入力して所定の演算処理を行なう演
算回路等のその他の周辺回路１３が配設されている。
そして、第２図に示すように、上記構成の流量センサは
、上記受圧板１０が配管１の内部はぼ中央部に位置する
ように配置されるものであり、この受圧板１０の配管１
の下流側近傍には、上記受圧板１０の下流側への変位を
制限するストッパ１４が立設されている。
、上記受圧板１０が配管１の内部はぼ中央部に位置する
ように配置されるものであり、この受圧板１０の配管１
の下流側近傍には、上記受圧板１０の下流側への変位を
制限するストッパ１４が立設されている。
なお、第３図に示すように、上記流量センサを配管１か
ら分岐されたバイパス管１５の内部に配設するようにし
てもよい。
ら分岐されたバイパス管１５の内部に配設するようにし
てもよい。
また、上記流量センサを作成する場合は、まず、シリコ
ン基板の表面にピエゾ抵抗素子１１、温度補償用抵抗素
子１２及びその他の周辺回路１３を所定の位置に作成し
、その後、上記シリコン基板の表面に保護膜を形成した
後、ＫＯＨ等を用いた異方性エツチングによりシリコン
基板の３次元加工を行なう。これにより、温度補償用抵
抗素子１２及び周辺回路１３が形成されたセンサ本体９
、ピエゾ抵抗素子１１が形成されたカンチレバー３及び
受圧板１０を一体に形成するようになされている。
ン基板の表面にピエゾ抵抗素子１１、温度補償用抵抗素
子１２及びその他の周辺回路１３を所定の位置に作成し
、その後、上記シリコン基板の表面に保護膜を形成した
後、ＫＯＨ等を用いた異方性エツチングによりシリコン
基板の３次元加工を行なう。これにより、温度補償用抵
抗素子１２及び周辺回路１３が形成されたセンサ本体９
、ピエゾ抵抗素子１１が形成されたカンチレバー３及び
受圧板１０を一体に形成するようになされている。
次に、本実施例の動作について説明する。
本実施例においては、上記配管ｌの内部を流れる流体が
上記受圧板１０に当たることにより、上記受圧板１０が
流体の下流側に移動される。この受圧板１０の移動によ
り、上記カンチレバー３に生しる歪み量を上記ピエゾ抵
抗素子１１により測定し、上記周辺回路１３に出力する
。そして、この周辺回路１３により、所定の計算式に基
づいて演算することにより、上記配管１内の流量を算出
するようになっている。なお、この流量は、流体の温度
によりその値が変化するため、本実施例においては、上
記温度補償用抵抗素子１２から出力される温度測定値に
応じて流量算出値の温度補正が行なわれる。
上記受圧板１０に当たることにより、上記受圧板１０が
流体の下流側に移動される。この受圧板１０の移動によ
り、上記カンチレバー３に生しる歪み量を上記ピエゾ抵
抗素子１１により測定し、上記周辺回路１３に出力する
。そして、この周辺回路１３により、所定の計算式に基
づいて演算することにより、上記配管１内の流量を算出
するようになっている。なお、この流量は、流体の温度
によりその値が変化するため、本実施例においては、上
記温度補償用抵抗素子１２から出力される温度測定値に
応じて流量算出値の温度補正が行なわれる。
このとき、配管１内の流量が多く受圧板１０に大きな圧
力が加わった場合に、ストッパ１４により受圧板１０の
移動量を制限することができ、しかも、上記カンチレバ
ー３のセンサ本体９への連結部分を円弧状に形成して応
力集中を除去するようにしているので、受圧板１０及び
カンチレバー３を損傷してしまうことを確実に防止する
ことができる。
力が加わった場合に、ストッパ１４により受圧板１０の
移動量を制限することができ、しかも、上記カンチレバ
ー３のセンサ本体９への連結部分を円弧状に形成して応
力集中を除去するようにしているので、受圧板１０及び
カンチレバー３を損傷してしまうことを確実に防止する
ことができる。
また、上記第３図に示すように、バイパス管１５の内部
にセンサ本体９を配置した場合は、配管１とバイパス管
１５との流量の関係式をあらかしめ定めておくことによ
り、バイパス管１５の内部流量を測定することにより、
上記配管１の流量を容易に算出することが可能となる。
にセンサ本体９を配置した場合は、配管１とバイパス管
１５との流量の関係式をあらかしめ定めておくことによ
り、バイパス管１５の内部流量を測定することにより、
上記配管１の流量を容易に算出することが可能となる。
従って、本実施例においては、ピエゾ抵抗素子１１、周
辺回路１３等が形成されたシリコン基板を異方性エツチ
ングにより３次元加工することにより、所定の回路が形
成されたセンサ本体９、カンチレバー３及び受圧板１０
を一体に形成するものであるため、構造が簡単で、装置
の小型化を図ることができ、極めて容易に製造すること
ができる。しかも、上記受圧板１０を配管１内に配置し
てこの受圧板１０により直接流体の流量を測定するもの
であるため、流体の流量が少ない場合でも、検出感度を
著しく向上させることが可能となる。
辺回路１３等が形成されたシリコン基板を異方性エツチ
ングにより３次元加工することにより、所定の回路が形
成されたセンサ本体９、カンチレバー３及び受圧板１０
を一体に形成するものであるため、構造が簡単で、装置
の小型化を図ることができ、極めて容易に製造すること
ができる。しかも、上記受圧板１０を配管１内に配置し
てこの受圧板１０により直接流体の流量を測定するもの
であるため、流体の流量が少ない場合でも、検出感度を
著しく向上させることが可能となる。
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
必要に応して種々変更することができるものである。
必要に応して種々変更することができるものである。
〔発明の効果］
以上述べたように本発明に係る半導体流量センサは、所
定の回路が形成されたセンサ本体、カンチレバー及び受
圧板を一体に形成するものであるため、構造が簡単で、
装置の小型化を図ることができ、極めて容易に製造する
ことができる。しかも、受圧板を配管内に配置してこの
受圧板により直接流体の流量を測定するものであるため
、流体の流量が少ない場合でも、検出感度を著しく向上
させることができる等の効果を奏する。
定の回路が形成されたセンサ本体、カンチレバー及び受
圧板を一体に形成するものであるため、構造が簡単で、
装置の小型化を図ることができ、極めて容易に製造する
ことができる。しかも、受圧板を配管内に配置してこの
受圧板により直接流体の流量を測定するものであるため
、流体の流量が少ない場合でも、検出感度を著しく向上
させることができる等の効果を奏する。
第１図は本発明に係る半導体流量センサの一実施例を示
す斜視図、 第２図（ａ）は第１図の流量センサを配管内に配置した
状態を示す正面断面図、 第２図（ｂ）は第２図（ａ）の側面断面図、第３図は第
１図の流量センサをバイパス管に配置した状態を示す説
明図、 第４図（ａ）及び（ｂ）はカンチレバーとセンサ本体と
の連結部の両側部及び後面部を示す一部の拡大図、 第５図は従来の流量センサを示す一部を断面とした側面
図、 第６図は従来の他の流量センサを示す側面断面図である
。 １・・・配管、３・・・カンチレバ−１９・・・センサ
本体、１０・・・受圧板、１１・・・ピエゾ抵抗素子、
１２・・・温度補償用抵抗素子、１３・・・周辺回路、
工４・・・ストッパ、１５・・・バイパス管。 （ｂ） 第 図 スｌ−１八〇 ｐＦ＝
す斜視図、 第２図（ａ）は第１図の流量センサを配管内に配置した
状態を示す正面断面図、 第２図（ｂ）は第２図（ａ）の側面断面図、第３図は第
１図の流量センサをバイパス管に配置した状態を示す説
明図、 第４図（ａ）及び（ｂ）はカンチレバーとセンサ本体と
の連結部の両側部及び後面部を示す一部の拡大図、 第５図は従来の流量センサを示す一部を断面とした側面
図、 第６図は従来の他の流量センサを示す側面断面図である
。 １・・・配管、３・・・カンチレバ−１９・・・センサ
本体、１０・・・受圧板、１１・・・ピエゾ抵抗素子、
１２・・・温度補償用抵抗素子、１３・・・周辺回路、
工４・・・ストッパ、１５・・・バイパス管。 （ｂ） 第 図 スｌ−１八〇 ｐＦ＝
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 配管の内部を流れる流体の流量を測定するための半導
体流量センサにおいて、 所定の回路が一体に形成されたシリコンからなるセンサ
本体を設け、このセンサ本体の端部に歪みゲージが一体
に形成された薄肉のカンチレバーを介して上記配管の内
部に位置する円形状の受圧板を一体に取り付けたことを
特徴とする半導体流量センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18274390A JPH0470516A (ja) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | 半導体流量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18274390A JPH0470516A (ja) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | 半導体流量センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0470516A true JPH0470516A (ja) | 1992-03-05 |
Family
ID=16123660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18274390A Pending JPH0470516A (ja) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | 半導体流量センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0470516A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000504412A (ja) * | 1996-01-22 | 2000-04-11 | クセロス・インク | 微細加工製作シリコン羽根型マイクロ流量計 |
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| US6237593B1 (en) | 1993-12-03 | 2001-05-29 | Resmed Limited | Estimation of flow and detection of breathing CPAP treatment |
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-
1990
- 1990-07-12 JP JP18274390A patent/JPH0470516A/ja active Pending
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