JPH0469808B2 - - Google Patents
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- JPH0469808B2 JPH0469808B2 JP61000611A JP61186A JPH0469808B2 JP H0469808 B2 JPH0469808 B2 JP H0469808B2 JP 61000611 A JP61000611 A JP 61000611A JP 61186 A JP61186 A JP 61186A JP H0469808 B2 JPH0469808 B2 JP H0469808B2
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- shutter
- motor
- shutter blade
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Landscapes
- Shutters For Cameras (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、シヤツタの制御方式に係り、特に縮
小投影露光装置のシヤツタのように、高速な動作
と、露光時間を微小な分解能かつ高精度で設定し
得ることが要求される場合、また高温下で使用さ
れる場合に好適なシヤツタの制御装置に関する。
小投影露光装置のシヤツタのように、高速な動作
と、露光時間を微小な分解能かつ高精度で設定し
得ることが要求される場合、また高温下で使用さ
れる場合に好適なシヤツタの制御装置に関する。
回転式シヤツタの立上り時間の短縮、高速化、
振動の軽減を目的として直流電動機を使用した場
合の制御方法が特開昭60−102737に於て提案され
ている。第２図はこの従来技術の説明図である。
シヤツタ羽根１を直流電動機３により回転して、
光束２を通過させ、また遮断する。シヤツタ羽根
が回転した角度は、ロータリエンコーダ４により
検出され、カウンタ５により計数される。レジス
タ６に置数された回転量の指示値と、カウンタ５
内の実際の回転量との偏差εが減算回路７で求め
られ、これがDA変換器８で電圧に変換された
後、幅巾器９で増巾されて直流電動機４を駆動す
る。
振動の軽減を目的として直流電動機を使用した場
合の制御方法が特開昭60−102737に於て提案され
ている。第２図はこの従来技術の説明図である。
シヤツタ羽根１を直流電動機３により回転して、
光束２を通過させ、また遮断する。シヤツタ羽根
が回転した角度は、ロータリエンコーダ４により
検出され、カウンタ５により計数される。レジス
タ６に置数された回転量の指示値と、カウンタ５
内の実際の回転量との偏差εが減算回路７で求め
られ、これがDA変換器８で電圧に変換された
後、幅巾器９で増巾されて直流電動機４を駆動す
る。
上記のように構成された従来技術の問題点を以
下に説明する。
下に説明する。
第３図は、上記の偏差εと増巾器９の出力電圧
の関係を示す図である。両者の関係は、図のよう
に階段状の特性となる。図のδはロータリエンコ
ーダ４の分解能であり、例えば1000パルス／１回
転の場合0.36度である。図のｈは位置決めの要求
精度から決定される。シヤツタ羽根を回転するの
に必要なトルクをτ［Kg・cm］、直流電動機のトル
ク定数をKT［Kg・cm／Ａ］、電機子抵抗をRa
［Ω］、ブラシ電圧降下をVb［Ｖ］とするとき、ロ
ータリエンコーダの１パルス程度の精度で位置決
めを行なうためにはｈ＝τ／KT・Ra＋Vb［Ｖ］程度 であることが要求される。例えば、τ＝0.2［Kg／
cm］、KT＝0.6［Kg・cm／Ａ］、Ra＝１［Ω］、Vb＝
1.5［Ｖ］の場合、ｈ＝（0.2）(1)／0.6＋1.51.9［Ｖ
］ である。
の関係を示す図である。両者の関係は、図のよう
に階段状の特性となる。図のδはロータリエンコ
ーダ４の分解能であり、例えば1000パルス／１回
転の場合0.36度である。図のｈは位置決めの要求
精度から決定される。シヤツタ羽根を回転するの
に必要なトルクをτ［Kg・cm］、直流電動機のトル
ク定数をKT［Kg・cm／Ａ］、電機子抵抗をRa
［Ω］、ブラシ電圧降下をVb［Ｖ］とするとき、ロ
ータリエンコーダの１パルス程度の精度で位置決
めを行なうためにはｈ＝τ／KT・Ra＋Vb［Ｖ］程度 であることが要求される。例えば、τ＝0.2［Kg／
cm］、KT＝0.6［Kg・cm／Ａ］、Ra＝１［Ω］、Vb＝
1.5［Ｖ］の場合、ｈ＝（0.2）(1)／0.6＋1.51.9［Ｖ
］ である。
従つて、階段の立上り部、すなわち図のＡ，
Ｂ，…部では、偏差εと増巾器９の出力電圧との
間のゲインは極めて大きい値となる。減算回路７
−DA変換器８−増巾器９−直流電動機３−ロー
タリエンコーダ４−カウンタ５−減算回路７で構
成される位置決めサーボループのループゲイン
も、これら階段の立上り部で極めて大きい値とな
るため、サーボ系の動作点がこれらの点にある
時、サーボ系は不安定であり、振動的になる。
Ｂ，…部では、偏差εと増巾器９の出力電圧との
間のゲインは極めて大きい値となる。減算回路７
−DA変換器８−増巾器９−直流電動機３−ロー
タリエンコーダ４−カウンタ５−減算回路７で構
成される位置決めサーボループのループゲイン
も、これら階段の立上り部で極めて大きい値とな
るため、サーボ系の動作点がこれらの点にある
時、サーボ系は不安定であり、振動的になる。
偏差εが大きいところでは、サーボ系はこれら
不安定点を過渡的に通過するだけであるから問題
はないが、シヤツタ羽根が目標位置に達し、偏差
ε０になると、シヤツタ羽根は静止できず、目
標位置を中心として振動することになる。
不安定点を過渡的に通過するだけであるから問題
はないが、シヤツタ羽根が目標位置に達し、偏差
ε０になると、シヤツタ羽根は静止できず、目
標位置を中心として振動することになる。
上記の従来技術は、この問題に対する配慮がさ
れておらず、高精度の位置決めが要求される場
合、目標位置での安定な制御が極めて困難という
欠点がある。
れておらず、高精度の位置決めが要求される場
合、目標位置での安定な制御が極めて困難という
欠点がある。
本発明の目的は、高精度の位置決めを安定に行
ない、シヤツタ羽根が目標位置に達した後、何等
かの原因でシヤツタ羽根があるべき位置からはず
れるような力が働らいた場合、これを直ちにもと
にもどすような制御が安定に行なわれるようなシ
ヤツタ装置を提供することにある。
ない、シヤツタ羽根が目標位置に達した後、何等
かの原因でシヤツタ羽根があるべき位置からはず
れるような力が働らいた場合、これを直ちにもと
にもどすような制御が安定に行なわれるようなシ
ヤツタ装置を提供することにある。
上記目的は、シヤツタ羽根の回転角度の検出に
レゾルバを用いることにより達成される。
レゾルバを用いることにより達成される。
レゾルバは、その軸が回転した角度を、交流電
気信号の位相の移動量に変換して出力する作用を
する。従つて、基準となる位相一定の交流電気信
号と、レゾルバの出力信号との位相差を検出し
て、これに比例した直流電圧に変換すれば、レゾ
ルバ軸の回転量に比例した直流信号が得られる。
ロータリエンコーダの場合と異なり、レゾルバの
場合は軸の回転量を検出した信号が階段状になら
ず、軸の回転量に比例した直線状の信号となるか
ら、シヤツタ羽根が目標位置に達し、偏差ε０
になつた近辺においても、位置決めサーボ系は振
動せず安定な制御が行なわれる。
気信号の位相の移動量に変換して出力する作用を
する。従つて、基準となる位相一定の交流電気信
号と、レゾルバの出力信号との位相差を検出し
て、これに比例した直流電圧に変換すれば、レゾ
ルバ軸の回転量に比例した直流信号が得られる。
ロータリエンコーダの場合と異なり、レゾルバの
場合は軸の回転量を検出した信号が階段状になら
ず、軸の回転量に比例した直線状の信号となるか
ら、シヤツタ羽根が目標位置に達し、偏差ε０
になつた近辺においても、位置決めサーボ系は振
動せず安定な制御が行なわれる。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明す
る。レゾルバ１０は、固定子巻線S1−S3，S2−
S4、回転子巻線R1−R3，R2−R4を備えた回転電
気機械でであり、シヤツタ羽根１を駆動する直流
電動機３と直接または歯車を介して結合されてい
る。二つの交流電源１１および１２は、第４図に
示すように、同じ一定の周波数（以下の説明で
は＝500Hzとする）と波高値を有し、位相を90
度異にしている。このような二つの交流電源１１
および１２で、レゾルバの固定子巻線S1−S3，S2
−S4を励磁する。二つの回転子巻線には、変圧器
作用により交流電圧が誘起されるが、R1−R3巻
線に誘起された電圧のみを使用する。レゾルバの
軸を回転するとR1−R3巻線に誘起される電圧１
３の位相が軸の回転に等しい回度だけ移動する。
このことを第５図に示す。
る。レゾルバ１０は、固定子巻線S1−S3，S2−
S4、回転子巻線R1−R3，R2−R4を備えた回転電
気機械でであり、シヤツタ羽根１を駆動する直流
電動機３と直接または歯車を介して結合されてい
る。二つの交流電源１１および１２は、第４図に
示すように、同じ一定の周波数（以下の説明で
は＝500Hzとする）と波高値を有し、位相を90
度異にしている。このような二つの交流電源１１
および１２で、レゾルバの固定子巻線S1−S3，S2
−S4を励磁する。二つの回転子巻線には、変圧器
作用により交流電圧が誘起されるが、R1−R3巻
線に誘起された電圧のみを使用する。レゾルバの
軸を回転するとR1−R3巻線に誘起される電圧１
３の位相が軸の回転に等しい回度だけ移動する。
このことを第５図に示す。
パルス発生器１４、カウンタ１５，１６はシヤ
ツタ羽根の回転指令を電気信号の位相で与えるた
めの装置を構成する。第６図を用いて、この部分
の動作を説明する。
ツタ羽根の回転指令を電気信号の位相で与えるた
めの装置を構成する。第６図を用いて、この部分
の動作を説明する。
カウンタ１５，１６はそれぞれ180進、２進の
カウンタである。180進カウンタ１５に500×360
＝180000Hzのパルス列１７を入力すると、その出
力には入力パルスの180個毎に１個、すなわち
1000Hzのパルス列１８が得られる。このパルス列
１８を更に２進カウンタ１６に加えるとその出力
１９は500Hzの方形波になる。これを第６図ａに
示す。
カウンタである。180進カウンタ１５に500×360
＝180000Hzのパルス列１７を入力すると、その出
力には入力パルスの180個毎に１個、すなわち
1000Hzのパルス列１８が得られる。このパルス列
１８を更に２進カウンタ１６に加えるとその出力
１９は500Hzの方形波になる。これを第６図ａに
示す。
180進カウンタ１５は、そのLOAD指令端子１
５−１に信号を加えることによつて適当な数値を
置数するための回路１５−２を備えておくものと
する。Ａ−A′で示す時刻に、180進カウンタ１５
に数値＋60を置数したとすると、入力パルス１７
がこの時刻から数えて120個に達すると180進カウ
ンタ１５は出力パルス１８を発生するが、以後は
180個毎に出力パルスを発生する。従つて、２進
カウンタ１６の出力する500Hzの方形波１９は電
気角60度だけ位相が進む。これを第６図ｂに示
す。
５−１に信号を加えることによつて適当な数値を
置数するための回路１５−２を備えておくものと
する。Ａ−A′で示す時刻に、180進カウンタ１５
に数値＋60を置数したとすると、入力パルス１７
がこの時刻から数えて120個に達すると180進カウ
ンタ１５は出力パルス１８を発生するが、以後は
180個毎に出力パルスを発生する。従つて、２進
カウンタ１６の出力する500Hzの方形波１９は電
気角60度だけ位相が進む。これを第６図ｂに示
す。
また、Ａ−A′で示す時刻に、180進カウンタ１
５に数値−60を置数したとすると、入力パルス１
７がこの時刻から数えて240個に達した時に始め
て180進カウンタ１５は出力パルス１８を発生す
るが、以後は180個毎に出力パルスを発生する。
従つて、２進カウンタ１６の出力する500Hzの方
形波１９は電気角60度だけ位相が遅れる。これを
第６図ｃに示す。
５に数値−60を置数したとすると、入力パルス１
７がこの時刻から数えて240個に達した時に始め
て180進カウンタ１５は出力パルス１８を発生す
るが、以後は180個毎に出力パルスを発生する。
従つて、２進カウンタ１６の出力する500Hzの方
形波１９は電気角60度だけ位相が遅れる。これを
第６図ｃに示す。
２進カウンタ１６の出力方形波１９と、レゾル
バ出力１３を波形整形回路２０により方形波にし
た信号２１は位相差検出回路２２に加えられる。
これは、二つの方形波入力の位相差に比例した直
流信号を作るための回路であり、例えば第７図ａ
の回路で構成される。同図ｂに回路内の主要な信
号の波形を示す。次に、これらの図を使つて位相
差検出回路の動作を説明する。
バ出力１３を波形整形回路２０により方形波にし
た信号２１は位相差検出回路２２に加えられる。
これは、二つの方形波入力の位相差に比例した直
流信号を作るための回路であり、例えば第７図ａ
の回路で構成される。同図ｂに回路内の主要な信
号の波形を示す。次に、これらの図を使つて位相
差検出回路の動作を説明する。
二つの方形波信号１９，２１は、それぞれワン
シヨツト・マルチバイブレータ２３，２４に加え
られる。ワンシヨツト・マルチバイブレータ２
３，２４は、入力方形波の立上りをとらえて、巾
の小さいパルス２９，３０を作りSRフリツプフ
ロツプ２５に加える。パルス２９によつてフリツ
プフロツプをセツトし、３０によつてリセツトす
れば、フリツプフロツプの出力３１は、方形波信
号１９の立上りから方形波信号２１の立上りまで
続くパルス信号３１となる。このパルス信号３１
をフイルタ２６により平滑にすれば、二つの入力
方形波信号の位相差に比例した直流電圧を得る。
これに、演算増巾器２８で適当な負のバイアス電
圧２７を加えると、第７図ｃに示すように、帰還
方形波信号２１が基準方形波信号１９に較べて位
相が進んでいるか遅れているかによつて極性が異
なる位相差検出信号３２が得られる。
シヨツト・マルチバイブレータ２３，２４に加え
られる。ワンシヨツト・マルチバイブレータ２
３，２４は、入力方形波の立上りをとらえて、巾
の小さいパルス２９，３０を作りSRフリツプフ
ロツプ２５に加える。パルス２９によつてフリツ
プフロツプをセツトし、３０によつてリセツトす
れば、フリツプフロツプの出力３１は、方形波信
号１９の立上りから方形波信号２１の立上りまで
続くパルス信号３１となる。このパルス信号３１
をフイルタ２６により平滑にすれば、二つの入力
方形波信号の位相差に比例した直流電圧を得る。
これに、演算増巾器２８で適当な負のバイアス電
圧２７を加えると、第７図ｃに示すように、帰還
方形波信号２１が基準方形波信号１９に較べて位
相が進んでいるか遅れているかによつて極性が異
なる位相差検出信号３２が得られる。
今、シヤツタ羽根１は光束を遮断する位置すな
わち閉状態で静止しているとする。この時、二つ
の方形波信号１９，２１は等しい位相となつてお
り、位相差検出回路の出力電圧は０であり、従つ
て直流電動機３を駆動する電圧も０となり、直流
電動機は静止して平衡をたもつている。
わち閉状態で静止しているとする。この時、二つ
の方形波信号１９，２１は等しい位相となつてお
り、位相差検出回路の出力電圧は０であり、従つ
て直流電動機３を駆動する電圧も０となり、直流
電動機は静止して平衡をたもつている。
シヤツタ羽根が第２図のような３枚羽根の場合
を例にとると、シヤツタを開状態にするにはシヤ
ツタ羽根を60度回転させなければならない。ここ
で、端子３３にシヤツタ起動信号を加えることに
よつて、180進カウンタ１５に数値＋60を置数す
ると方形波１９の位相が60度進む。方形波信号１
９の位相が方形波信号２１の位相よりも60度進み
の状態となるから、位相差検出回路２２は位相差
＋60度に相当する直流電圧を発生し、増巾器９は
これを増巾して直流電動機３を駆動しシヤツタ羽
根１を回転させる。直流電動機３の回転によつて
レゾルバ１０も回転し、その出力信号１３の位相
が進み方向に移動するので、シヤツタ羽根が回転
するに従つて二つの方形波信号１９，２１の位相
差は小さくなり、位相差検出回路２２の出力電圧
も低くなつていく。直流電動機３を駆動する電圧
も低くなつていき、シヤツタ羽根の回転が60度に
達した時０になり、直流電動機３は停止する。
を例にとると、シヤツタを開状態にするにはシヤ
ツタ羽根を60度回転させなければならない。ここ
で、端子３３にシヤツタ起動信号を加えることに
よつて、180進カウンタ１５に数値＋60を置数す
ると方形波１９の位相が60度進む。方形波信号１
９の位相が方形波信号２１の位相よりも60度進み
の状態となるから、位相差検出回路２２は位相差
＋60度に相当する直流電圧を発生し、増巾器９は
これを増巾して直流電動機３を駆動しシヤツタ羽
根１を回転させる。直流電動機３の回転によつて
レゾルバ１０も回転し、その出力信号１３の位相
が進み方向に移動するので、シヤツタ羽根が回転
するに従つて二つの方形波信号１９，２１の位相
差は小さくなり、位相差検出回路２２の出力電圧
も低くなつていく。直流電動機３を駆動する電圧
も低くなつていき、シヤツタ羽根の回転が60度に
達した時０になり、直流電動機３は停止する。
所定の時間の後、端子３３にシヤツタ起動信号
を再び加えると、上と同じことが再び繰返されて
シヤツタ羽根は更に60度回転し、シヤツタは閉状
態にもどる。
を再び加えると、上と同じことが再び繰返されて
シヤツタ羽根は更に60度回転し、シヤツタは閉状
態にもどる。
方形波信号発生器３４、電流検出器３５、スイ
ツチ３６は、直流電動機が熱的に許される最大の
電流でシヤツタ羽根を駆動し、シヤツタの立上り
時間の短縮、高速化をはかるために設けた装置で
ある。次に、この部分の動作を説明する。
ツチ３６は、直流電動機が熱的に許される最大の
電流でシヤツタ羽根を駆動し、シヤツタの立上り
時間の短縮、高速化をはかるために設けた装置で
ある。次に、この部分の動作を説明する。
引続き、３枚羽根の場合を例にとると、閉から
開、開から開に至る回転角は60度である。この60
度を駆動する全時間taの前半1/2を直流電動機に
許される最大加速度で加速し、後半1/2を同じく
最大減速度で減速すれば、最短時間での60度回転
が行なわれる。最短の駆動時間taは、直流電動機
の仕様、シヤツタ羽根の慣性能率等から予じめ正
確に知り得る。方形波信号発生器３４は、シヤツ
タ起動信号３３を受けると、最初のta／２の期間
に正、後半のta／２の期間に負の方形波を発する
ように構成する。
開、開から開に至る回転角は60度である。この60
度を駆動する全時間taの前半1/2を直流電動機に
許される最大加速度で加速し、後半1/2を同じく
最大減速度で減速すれば、最短時間での60度回転
が行なわれる。最短の駆動時間taは、直流電動機
の仕様、シヤツタ羽根の慣性能率等から予じめ正
確に知り得る。方形波信号発生器３４は、シヤツ
タ起動信号３３を受けると、最初のta／２の期間
に正、後半のta／２の期間に負の方形波を発する
ように構成する。
方形波信号発生器３４の発生する信号を第８図
ａに示す。この方形波信号は、増巾器９、直流電
動機３、電流検出器３５、帰還抵抗器３７で構成
される電流制御ループの指令値となるから、直流
電動機電流はこの方形波信号は相似になるように
制御され、結局シヤツタは所期の通り最短時間で
の加減速が行なわれる。上記のような制御がなさ
れた時の直流電動機電流を第８図ｂ、直流電動機
速度を第８図ｃに示す。
ａに示す。この方形波信号は、増巾器９、直流電
動機３、電流検出器３５、帰還抵抗器３７で構成
される電流制御ループの指令値となるから、直流
電動機電流はこの方形波信号は相似になるように
制御され、結局シヤツタは所期の通り最短時間で
の加減速が行なわれる。上記のような制御がなさ
れた時の直流電動機電流を第８図ｂ、直流電動機
速度を第８図ｃに示す。
方形波信号発生器３４は上記taの期間スイツチ
３６を開いて位相差検出回路２２の出力が加減速
動作をさまたげないようにする。このようにする
と、レゾルバ１３からの帰還信号による位置決め
動作は、加減速動作が完了しシヤツタ羽根が目標
位置の極く近辺に達した後の極く僅かの角度につ
いて行なわれることになる。
３６を開いて位相差検出回路２２の出力が加減速
動作をさまたげないようにする。このようにする
と、レゾルバ１３からの帰還信号による位置決め
動作は、加減速動作が完了しシヤツタ羽根が目標
位置の極く近辺に達した後の極く僅かの角度につ
いて行なわれることになる。
以上の説明は、シヤツタ羽根が３枚羽根の場合
について行なつたが、羽根の枚数が異なる場合に
も同様な制御が行なわれ得る。またシヤツタ羽根
を第９図のような２枚羽根にして往復動させる場
合には、直流電動機は１方向のみの回転でなく、
正逆両方向の回転を行なう必要があるが、以上に
説明した制御方式に適当な変更を加えることによ
つて容易に実施し得る。
について行なつたが、羽根の枚数が異なる場合に
も同様な制御が行なわれ得る。またシヤツタ羽根
を第９図のような２枚羽根にして往復動させる場
合には、直流電動機は１方向のみの回転でなく、
正逆両方向の回転を行なう必要があるが、以上に
説明した制御方式に適当な変更を加えることによ
つて容易に実施し得る。
本発明によれば、直流電動機が熱的に許される
最大の電流でシヤツタ羽根を駆動するので、シヤ
ツタの立上り時間の短縮、高速化をはかるために
直流電動機を採用したことの効果が最大限に発揮
される。
最大の電流でシヤツタ羽根を駆動するので、シヤ
ツタの立上り時間の短縮、高速化をはかるために
直流電動機を採用したことの効果が最大限に発揮
される。
また、シヤツタ羽根の目標位置からの偏差をレ
ゾルバは、ロータリエンコーダのような階段状で
なく、偏差に比例した直線状の直流電圧として検
出するので、シヤツタ羽根が目標位置に達し、偏
差ε０になつた近辺においてもシヤツタ羽根は
振動せず安定な制御が行なわれ、振動の軽減を目
的として直流電動機を採用したことの効果が充分
に発揮される。
ゾルバは、ロータリエンコーダのような階段状で
なく、偏差に比例した直線状の直流電圧として検
出するので、シヤツタ羽根が目標位置に達し、偏
差ε０になつた近辺においてもシヤツタ羽根は
振動せず安定な制御が行なわれ、振動の軽減を目
的として直流電動機を採用したことの効果が充分
に発揮される。
第１図は本発明の一実施例を示すブロツクダイ
アグラム、第２図は従来技術のブロツクダイアグ
ラム、第３図は従来技術の問題点を説明するため
の偏差に対する増巾器出力電圧の関係を示す図、
第４図は本発明の実施例におけるレゾルバの励磁
電源電圧波形を示す図、第５図は同じくレゾルバ
の発生電圧波形を示す図、第６図は同じくカウン
タの出力波形図、第７図は同じく位相差検出回
路、その各部の波形および位相差に対する位相差
検出回路出力電圧の関係を示す図、第８図は同じ
く直流電動機の加減速制御の説明を行うための方
形波発生器電圧並びに直流電動機の電流および速
度波形図、第９図は２枚羽根のシヤツタ羽根の形
状を示す図である。 １……シヤツタ羽根、２……光束、３……直流
電動機、９……増巾器、１０……レゾルバ、１
１，１２……レゾルバ励磁電源、１４……パルス
発生器、１５……180進カウンタ、１６……２進
カウンタ、２０……波形整形回路、２２……位相
差検出回路、３３……シヤツタ起動信号端子、３
４……方形波信号発生器、３５……電流検出器、
３６……スイツチ、３７……帰還抵抗器。
アグラム、第２図は従来技術のブロツクダイアグ
ラム、第３図は従来技術の問題点を説明するため
の偏差に対する増巾器出力電圧の関係を示す図、
第４図は本発明の実施例におけるレゾルバの励磁
電源電圧波形を示す図、第５図は同じくレゾルバ
の発生電圧波形を示す図、第６図は同じくカウン
タの出力波形図、第７図は同じく位相差検出回
路、その各部の波形および位相差に対する位相差
検出回路出力電圧の関係を示す図、第８図は同じ
く直流電動機の加減速制御の説明を行うための方
形波発生器電圧並びに直流電動機の電流および速
度波形図、第９図は２枚羽根のシヤツタ羽根の形
状を示す図である。 １……シヤツタ羽根、２……光束、３……直流
電動機、９……増巾器、１０……レゾルバ、１
１，１２……レゾルバ励磁電源、１４……パルス
発生器、１５……180進カウンタ、１６……２進
カウンタ、２０……波形整形回路、２２……位相
差検出回路、３３……シヤツタ起動信号端子、３
４……方形波信号発生器、３５……電流検出器、
３６……スイツチ、３７……帰還抵抗器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 回転型または往復動型シヤツタ羽根により露
光制御する露光装置のシヤツタ装置において、前
記シヤツタ羽根を駆動する直流電動機と連結し、
該直流電動機の回転量を検出するレゾルバを備え
たシヤツタ装置。 ２ 回転型または往復動型シヤツタ羽根により露
光制御する露光装置のシヤツタ装置において、前
記シヤツタ羽根を駆動する直流電動機と連結し、
該直流電動機の回転量を検出するレゾルバを備
え、更に前記シヤツタの回転指令信号を電気信号
の位相で与えるため、パルス発生器、該パルス発
生器の出力パルスを分周するカウンタ、該カウン
タに回転量に比例した数値を置数するための回路
を備えたことを特徴とするシヤツタ装置。 ３ 回転型または往復動型シヤツタ羽根により露
光制御する露光装置のシヤツタ装置において、前
記シヤツタ羽根を駆動する直流電動機と連結し、
該直流電動機の回転量を検出するレゾルバを備
え、更に前記シヤツタの閉から開、または開から
閉に至るまでの時間を２分し、前半に正、後半に
負の方形波を発生する信号発生器、該方形波信号
を増巾して直流電動機を増巾する増巾器、直流電
動機電流を検出して上記増巾器の入力に帰還する
ための電流検出器を備えたことを特徴とするシヤ
ツタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61000611A JPS62159427A (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | シヤツタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61000611A JPS62159427A (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | シヤツタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62159427A JPS62159427A (ja) | 1987-07-15 |
| JPH0469808B2 true JPH0469808B2 (ja) | 1992-11-09 |
Family
ID=11478523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61000611A Granted JPS62159427A (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | シヤツタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62159427A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4935281B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2012-05-23 | 大日本印刷株式会社 | 包装箱 |
-
1986
- 1986-01-08 JP JP61000611A patent/JPS62159427A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62159427A (ja) | 1987-07-15 |
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