JPH0467782A - 交流電力増幅装置 - Google Patents

交流電力増幅装置

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JPH0467782A
JPH0467782A JP2177356A JP17735690A JPH0467782A JP H0467782 A JPH0467782 A JP H0467782A JP 2177356 A JP2177356 A JP 2177356A JP 17735690 A JP17735690 A JP 17735690A JP H0467782 A JPH0467782 A JP H0467782A
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JP
Japan
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transistor
power
transformer
voltage
output
Prior art date
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JP2177356A
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Yoshio Fujino
好夫 藤野
Toshiyuki Takamatsu
利行 高松
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MATORITSUKUSU KK
MATRIX CORP
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MATORITSUKUSU KK
MATRIX CORP
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、高周波大電力を発生するための交流電力増幅
装置に関する。
〔従来の技術〕
従来、このような高周波大電力を発生するための交流電
力増幅装置として、集積回路装置(IC)や半導体デバ
イスのチップを製造する工程で、フォトエツチング処理
を行うためのプラズマを発生させるプラズマ発生装置の
交流電源として適用される場合が知られている。
この高周波大電力増幅装置の構成を第4図に基ついて説
明すると、まず、被増幅信号Siを印加するための入力
端子2から見た入力インピーダンスZiと、電力増幅さ
れた出力信号Soを出力するための出力端子4から見た
出力インピーダンスZoが共に50Ωに設定されている
入力端子2は、50Ωの同軸線を介してインピーダンス
変換器TIの入力接点に接続し、インピーダンス変換器
TIの出力接点が平衡不平衡変換器(パラン)T2の入
力接点に接続している。
平衡不平衡変換器T2の一方の出力接点が、結合コンデ
ンサCIを介して電力増幅用のNPN トランジスタQ
Aのベース接点に接続し、他方の出力接点が、結合コン
デンサC2を介して電力増幅用のNPN )ランジスタ
Q、のベース接点に接続している。
又、トランジスタQAとQ、のエミッタ接点が共にグラ
ンド端子に接続すると共に、トランジスタQAのベース
・エミッタ間にはバイパスコンデンサC3を介してバイ
アス電流供給用のコイルL1、トランジスタQ、のベー
ス・エミッタ間にはバイパスコンデンサC3を介してバ
イアス電流供給用のコイルL2が夫々接続し、更に、こ
れらのコイルL1とL2に対して並列に発振防止用の抵
抗R1とR2が接続している。
トランジスタQAとQ、のコレクタ接点間には、出力変
成器T3が接続し、出力変成器T3のセンタータンプが
バイパスコンデンサC4を介してトランジスタQAとQ
、のエミッタ接点に接続している。
又、出力変成器T3の両端が直流阻止用のコンデンサC
5と06を介して平衡不平衡変換器T4を介してインピ
ーダンス変換器T5に接続し、インピーダンス変換器T
5の出力接点が50Ωの同軸線を介して出力端子4に接
続している。
更に、出力変成器T3のセンタータップには、ダイオー
ドブリッジから成る整流器DBと変圧トランスT、及び
平滑コンデンサCFで構成される電源回路よりの電源電
圧■が印加され、更に、抵抗R3とダイオードD1によ
り発生する順方向ダイオード電圧VDがコイルL1とL
2の共通接続接点に印加されている。尚、変圧トランス
T、の一次巻線側の入力端子には所定電圧の交流電力が
供給される。
尚、トランジスタQ、とQ!lの夫々に関わるバイアス
系統の回路及び出力系統の回路は等しい回路定数に設定
されると共に、出力変成器T3のセンタータンプに平滑
コンデンサC2からの直流電圧■を印加し、該センター
タップの両側の巻線NAとNBが等しい巻数に設定され
ている。
次に、かかる構成の装置の動作を説明すると、まず、電
源回路によって整流平滑化された所定電源電圧■が印加
された状態で、入力端子2に適宜の高周波電圧の不平衡
な被増幅信号Siを印加すると、インピーダンス変換器
T1でトランジスタQAとQ、lの入力インピーダンス
に整合し、平衡不平衡変換器T2によって平衡入力信号
に変換する。
したがって、トランジスタQAとQ8は、入力信号の半
サイクル毎に、90°の位相ずれをもって交互に駆動さ
れることとなり、トランジスタQA、!:Q、で電力増
幅された夫々の出力が出力変成器T3で合成され、出力
変成器T3の両端に全波出力が発生する。
そして、出力変成器T3の両端間に発生する平衡な全波
出力を、平衡不平衡変換器T4によって不平衡出力に変
換し、更に、インピーダンス変換HT5によって所定の
出力インピーダンス(50Ω)に適合するようにインピ
ーダンス変換して、50Ωの同軸線を介して出力端子4
に出力する。
〔発明が解決しようとする課題〕
このような従来の高周波大電力増幅装置にあっては、増
幅用のトランジスタQAとQ、のコレクタ・エミッタ間
の耐圧を考慮し、且つ出力インピーダンスZoの整合性
をとる必要があることから、変圧トランスTFにより配
電電圧(2次巻線側の電圧)を電圧させ且つ整流して、
特定の直流低電圧を得ることが必要不可欠であった。
又、電力増幅装置の電源効率等の点からも、変圧トラン
スT、は大電力容量のものが必要であり、−i的に高周
波出力Soの電力の2倍以上の容量が必要であり、装置
全体の重量増加と大型化及び高価格化を招来する問題が
あった。
特に、このような変圧トランスが必要となる最大の理由
は、前者の問題点、即ち、トランジスタQAとQ、のコ
レクタ・エミッタ間の耐圧に限界があることに起因する
その原因を更に第5図と共に詳述すれば、正の半サイク
ルの入力信号によってトランジスタQ。
が導通、トランジスタQ、が非導通状態となる場合には
、トランジスタQAのコレクタ・エミッタ間にかかる尖
頭電圧EAが、グランド端子電圧(0ボルト)から電源
電圧■の近くまで振れ、逆に、負の半サイクルの入力信
号によってトランジスタQ、が導通、トランジスタQA
が非導通状態となる場合には、トランジスタQ、のコレ
クタ・エミッタ間にかかる尖頭電圧E、が、グランド端
子電圧(Oボルト)から電源電圧■の近くまで振れる。
そして、これらの半波出力が出力変成器T3で合成され
、所定周波数の全波出力が形成されることとなる。
そして、トランジスタQAが正の半サイクルで最大電流
を流し、コレクタ電圧が最小となる時点では、出力変成
器T3の一方の巻線NAにほぼ電源電圧Vがかかり、更
に、他方の巻線Nllにはほぼ電源電圧■と等しい電圧
が誘起する。
この結果、非導通時のトランジスタQ、のコレクタ・エ
ミッタ間には、電源電圧■の約2倍の電圧(ζ2V)が
かかることとなる。又、負の半サイクルにおいて、トラ
ンジスタQAにおいて同し現象が起こる。
このような理由により、電源電圧Vを電力増幅用トラン
ジスタのコレクタ・エミッタ間の最大耐圧の1/2以下
に設定することが絶対に必要であり、上述した大型且つ
大重量等の変圧トランスが必要となっていた。
本発明はこのような従来の問題点に鑑みて成されたもの
であり、大型、大重量の変圧トランスを廃して、小型、
軽量かつ安価な高周波大電力増幅装置を提供することを
目的とする。
又、従来例で説明した半導体製造装置に適用するのみな
らず、その他の高周波応用機器、例えば送信機、超音波
発生装置、誘導過熱装置などの電源に適用することがで
きる汎用性のある高周波大電力増幅装置を提供すること
を目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
このような目的に対して本発明は、交流配電線路から供
給される交流電力を変圧トランスを介することなく直接
に整流及び平滑化する整流・平滑化回路により直流電源
電圧を発生し、該直流電源電圧間に、一方は高電位側、
他方は低電位側に接続し且つ互いにコレクタ・エミッタ
路が直列に接続するように直列接続して成る第1のトラ
ンジスタ対と第2のトランジスタ対を並列に接続し、第
1のトランジスタ対の上記高電位側のトランジスタと第
2のトランジスタ対の上記低電位側のトランジスタを同
相の半波交流信号で駆動すると同時に、第1のトランジ
スタ対の上記低電位側のトランジスタと第2のトランジ
スタ対の上記高電位側のトランジスタを該半波交流信号
と90°位相のずれた半波交流信号で駆動することによ
り、第1のトランジスタ対のトランジスタの接続接点と
第2のトランジスタ対のトランジスタの接続接点との間
に電力増幅された全波波形の出力を発生させることとし
た。
[作用] このような回路から成る電力増幅装置によれば、配電線
から供給する交流電圧に対して、整流・平滑化回路に発
生する直流電源電圧は、200ボルト配電系の交流電圧
を適用した場合には約240ボルト、100ボルト配電
系の交流電圧を適用した場合には約120ボルトとなり
、これらの直流電源電圧が上記トランジスタ対の両端間
に印加されることとなる。そして、これらのトランジス
タ対を上記のように駆動すると、夫々のトランジスタの
コレクタ・エミッタ間にかかる電圧は、最大で直流電源
電圧の1/2の電圧がかかるだけで済むこととなるので
、トランジスタの耐圧を考慮した設計が容易となる。換
言すれば、比較的低いコレクタ・エミッタ間耐圧のトラ
ンジスタを適用してもそれらの耐圧の約2倍の直流電源
電圧で駆動することを許容するので、商用の配電系統の
交流電圧を変圧トランス無しに直流電源電圧に変換して
使用することが可能となるので、変圧トランスを設けな
い小型、軽量且つ低価格の交流電力増幅装置を提供する
ことができる。
〔実施例〕
以下、本発明により交流電力増幅装置の一実施例を図面
と共に説明する。まず、第1図に基づいて回路構成を説
明すると、まず、被増幅信号Siを印加するための入力
端子6から見た入力インピーダンスZi と、電力増幅
された出力信号SOを出力するための出力端子8から見
た出力インピーダンスZoが共に50Ωに設定されてい
る。
入力端子4は、50Ωの同軸線を介して入力変成器TA
の入力接点に接続し、1次巻線21に対し、共に等しい
巻数の4組の2次巻線12.13゜14.15に同相の
交流信号を誘起させる。
更に、商用の配電線系統から供給される交流電圧■Ac
を整流するダイオードブリッジから成る整流器DBと平
滑コンデンサCFで構成される電源回路により、平滑コ
ンデンサC2の両端間に直流電源電圧■゛を発生させ、
更に、定電圧回路(レギュレータ)RGによってより安
定化した直流電源電圧■を形成している。
尚、定電圧回路R0は、例えば第2図に示すような電圧
調整が可能で、且つ過大電流を遮断する機能を有する帰
還形定電圧回路等が通用されている。又、第2図におい
て、q+、G2.  q:l。
Qa、qsはNPN l−ランジスタ、ZDは所定電圧
を発生するツェナーダイオードであり、抵抗r+、 r
z、 r:+、 ra、 r5. rb、 RBD\コ
ンデンサC8I 、 Cot 、 CO:lは夫々固有
の値に設定されている。 更に第1図において、Q、、
Q2Q、、Q、は共に同一の特性を有する電力増幅用の
NPN )ランジスタであり、NPN )ランジスタQ
、のコレクタ接点が定電圧回路R0の高電位側の出力接
点に接続し、そのエミッタ接点がNPNトランジスタQ
3のコレクタ接点に接続し、NPN)ランジスタQ3の
エミッタ接点が定電圧回路RGの低電位側の出力接点に
接続することにより、これらのコレクタ・エミッタ路が
直列に接続されたトランジスタQ、とG3の両端間に直
流電源電圧Vが供給されている。同様に、NPN )ラ
ンジスタQ2のコレクタ接点が定電圧回路R0の高電位
側の出力接点に接続し、そのエミッタ接点がNPN )
ランジスタQ4のコレクタ接点に接続し、NPN )ラ
ンジスタQ4のエミッタ接点が定電圧回路R0の低電位
側の出力接点に接続することにより、これらのコレクタ
・エミッタ路が直列に接続されたトランジスタQ2とG
4の両端間に直流電源電圧■が供給されている。
更に、トランジスタQ、は、抵抗RA□を介して設けら
れたバイアス安定化回路G1で形成した所定の直流電圧
によってバイアスされている。即ち、トランジスタQ、
のベース・エミッタ間には、結合コンデンサCA!に続
いて相互に並列接続するバイアス電流供給用のコイルL
AIと発振防止用の抵抗RAIが接続し、これらのコレ
デンサCAIとコイルLAI及び抵抗RAIの共通接点
に、バイアス安定化回路G1よりの直流電圧が印加され
ている。
そして、巻線14の一方の出力接点に発生する信号SA
が結合コンデンサCAIを介してトランジスタQ、のベ
ース接点に供給される。尚、巻線24の他端がトランジ
スタQ1のエミッタ接点に接続している。
他のトランジスタQ、、Q3.Q、に関わるバイアス回
路もトランジスタQ1に関わるバイアス回路と均等且つ
等しい回路定数の回路が適用されている。詳しい説明を
省くが、各トランジスタQ2.Q、、Q、は、図示する
ように、抵抗RA2相当する抵抗RB□、Rcz、  
Rnz、バイアス安定化回路G1に相当するバイアス安
定化回路G2.G3、G4、結合コンデンサC02に相
当する結合コンデンサCB□+ Ccz + CDz 
 、コイルLAIに相当するコイルLid、  Lc+
 、 Lo+、抵抗RAIに相当する抵抗Roll 、
 Rc+、  Rotで構成されている。
そして、巻線12の一方の出力接点がトランジスタQ2
のエミッタ接点に接続すると共に、他方の出力接点に発
生する信号SBが結合コンデンサCB+を介してトラン
ジスタQ2のペースタ接点に供給され、巻線ρ3の一方
の出力接点に発生するイ言号S、がコンデンサCf1l
を介してトランジスタQ4のエミッタ接点に供給される
と共に、他方の出力接点がトランジスタQ4のエミッタ
接点に接続し、巻線15の一方の出力接点がトランジス
タQ3のエミッタ接点に接続すると共に、他方の出力接
点に発生する信号ScがコンデンサCCIを介してトラ
ンジスタQ3のベース接点に供給される。
尚、閣示するように、各2次巻線!2〜15から各トラ
ンジスタQ、−Q、に供給される信号は、SAとS、が
相互に同相、SBとS、が相互に同相、SAとS、に対
するS8とS。が90°の位相ずれを有する関係にある
そして、トランジスタQ、及びトランジスタQ、の共通
接続点PACと、トランジスタQ2及びトランジスタQ
4の共通接続点peaとの間に出力変圧器TBの入力側
巻線が接続し、その出力側巻線が50Ωの同軸線を介し
て出力端子8に接続している。
次に、かかる実施例の動作を説明する。
まず、整流・平滑化回路の入力端子に商用の配電系統か
ら供給される交流電圧VACが印加され、定電圧回路R
0を介して直流電源電圧Vを発生させる。尚、交流電圧
VACとして商用200ボルトを適用すると、直流電源
電圧Vは約240ボルト、交流電圧VACとして商用1
00ボルトを通用すると、直流電源電圧■は約120ボ
ルトとなる。
そして、入力端子6に適宜の周波数の交流被増幅信号S
、を供給すると、変成器T、の各2次巻線!2〜!5に
同相の信号S、〜S、が誘起する。
そして、第3図に示すように、正の半サイクルの信号S
AとS、がトランジスタQ、とQ4に供給されると同時
に、負の半サイクルの信号S、とSoがトランジスタQ
2とQ、に供給されるときは、トランジスタQ1とQ4
が導通状態、トランジスタQ2とQ3が非導通状態とな
るので、−点鎖線Xで示すように電流が流れ、変成器T
、を介して電力増幅された正の半サイクルの信号■。が
発生し、逆に、90°の位相のずれた期間において、負
の半サイクルの信号SAとSDがトランジスタQ、とQ
4に供給されると同時に、正の半サイクルの信号S!l
とS、がトランジスタQ2とQ3に供給されるときは、
トランジスタQ1とQ4が非導通状態、トランジスタQ
2とQ3が導通状態となるので、−点鎖線yで示すよう
に逆方向の電流が流れ、変成器T、を介して電力増幅さ
れた負の半サイクルの信号■。が発生する。この結果、
出力信号■。は全波波形となる。
ここで、各半サイクル周期において、夫々のトランジス
タのコレクタ・エミッタ間には直流電源電圧■の1/2
の電圧(=V/2)がかかることとなり、従来技術で適
用した電力増幅用のトランジスタより1/2の耐圧のト
ランジスタを適用することができる。
例えば、商用200ボルト交流電圧から形成した240
ボルトの直流電源電圧■を適用する場合、容易に入手す
ることのできる250ボルトの耐圧特性と、150ワツ
トの出力特性を有するモールド型トランジスタ等を適用
することができ、設計の自由度を大幅に向上することが
できる。そして、この実施例によれば、変圧トランスを
無(すことができるので、装置の小型、軽量及び低価格
化を実現することができる。
又、この実施例においては、整流器の出力に電圧調整が
可能でしかも過大電流を遮断する機能を持ったレギュレ
ータを設けたので、負荷の変動に対して安定した電圧を
維持することができ、電力増幅回路に適用した各トラン
ジスタの保護を完全にしている。即ち、このレギュレー
タが設けられないものとすると、電圧vAcを200ボ
ルトに設定すると、軽負荷のときは整流器の出力が約3
00ボルト近くに達し、重負荷のときは200ボルト近
傍まで降下するという不安定な状態を生じるが、約30
0ボルト近くの高い電圧となると電力増幅回路に適用し
た各トランジスタの許容耐圧を超えるので、破壊するこ
ととなる。しかし、この実施例でレギュレータを設けた
ことにより、これらのトランジスタの許容耐圧以内の電
圧■に調整し且つ調整した一定電圧に安定化させること
ができるので、トランジスタの破壊を防止できる。又、
レギュレータの過電流遮断機能によりトランジスタの破
壊を防止できる。
尚、この実施例では、電力増幅用のトランジスタにNP
N )ランジスタを適用したが、設定電圧の関係を逆に
してPNP )ランジスタで構成してもよい。更に、電
力増幅用のMOS)ランジスタを適用してもよいことは
言うまでもない。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、交流配電線路から
供給される交流電力を変圧トランスを介することなく直
接に整流及び平滑化する整流・平滑化回路により直流電
源電圧を発生し、該直流電源電圧間に、一方は高電位側
、他方は低電位側に接続し且つ互いにコレクタ・エミッ
タ路が直列に接続するように直列接続して成る第1のト
ランジスタ対と第2のトランジスタ対を並列に接続し、
第1のトランジスタ対の上記高電位側のトランジスタと
第2のトランジスタ対の上記低電位側のトランジスタを
同相の半波交流信号で駆動すると同時に、第1のトラン
ジスタ対の上記低電位側のトランジスタと第2のトラン
ジスタ対の上記高電位側のトランジスタを該半波交流信
号と90°位相のずれた半波交流信号で駆動することに
より、第1のトランジスタ対のトランジスタの接続接点
と第2のトランジスタ対のトランジスタの接続接点との
間に電力増幅された全波波形の出力を発生させることと
したので、夫々のトランジスタのコレクタ・エミンタ間
にかかる電圧は、最大で直流電源電圧の1/2の電圧が
かかるだけで済むこととなり、比較的低いコレクタ・エ
ミッタ間耐圧のトランジスタを適用してもそれらの耐圧
の約2倍の直流電源電圧で駆動することを許容すること
から、商用の配電系統の交流電圧を変圧トランス無しに
直流電源電圧に変換して使用することが可能となり、小
型、軽量且つ低価格の交流電力増幅装置を提供すること
ができる。
又、本発明の装置は、その他の高周波応用機器、例えば
送信機、超音波発生装置、誘導過熱装置などの電源に適
用することができる汎用性を有している。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の回路構成を示す回路図、 第2図は第1図中の定電圧回路の構成例を示す回路図、 第3図は実施例の機能を示す動作説明図、第4図は従来
例の回路構成を示す回路図、第5図は従来例の動作を説
明するための動作説明図である。 CF+平滑コンデンサ Dll ;整流器 RG ;定電圧回路 図中の符号: Q、、Q、、Q、。 TA ;入力変成器 Ts  ;出力変成器 G+ 、Gz 、G3 。 CAI、C□、  CC,。 CAz、  CHz、  Ccz。 L A++  L IIl+  L C++RAI+ 
 R,、・ RCI Raz、  R1121Rcz。 G4 ;トランジスタ G4 ; Cn 重 ; CD2; L、1; RDI; Roz; バイアス安定化回路 直流阻止用コンデンサ バイパスコンデンサ バイアス電流供給用コイル 発振防止用抵抗 電圧低減用抵抗 第 図 第 図 〜

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)交流配電線路から供給される交流電力を変圧トラ
    ンスを介することなく直接に整流及び平滑化する整流・
    平滑化回路により直流電源電圧を発生し、 該直流電源電圧間に、一方は高電位側、他方は低電位側
    に接続し且つ互いにコレクタ・エミッタ路が直列に接続
    するように直列接続して成る第1のトランジスタ対と第
    2のトランジスタ対を並列に接続し、 第1のトランジスタ対の上記高電位側のトランジスタと
    第2のトランジスタ対の上記低電位側のトランジスタを
    同相の半波交流信号で駆動すると同時に、第1のトラン
    ジスタ対の上記低電位側のトランジスタと第2のトラン
    ジスタ対の上記高電位側のトランジスタを該半波交流信
    号と90゜位相のずれた半波交流信号で駆動することに
    より、第1のトランジスタ対のトランジスタの接続接点
    と第2のトランジスタ対のトランジスタの接続接点との
    間に電力増幅された全波波形の出力を発生させることを
    特徴とする交流電力増幅装置。
  2. (2)前記整流・平滑化回路の出力を更に定電圧回路に
    よって安定化させた直流電源電圧を発生させることを特
    徴とする請求項(1)の交流電力増幅装置。
JP2177356A 1990-07-06 1990-07-06 交流電力増幅装置 Pending JPH0467782A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5474228A (en) * 1993-08-28 1995-12-12 Kabushiki Kaisha Shinkawa External lead bonding method and apparatus
US8306239B2 (en) 2007-09-13 2012-11-06 Toa Corporation Public-address system

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