JPH0466157A - 液体供給装置 - Google Patents
液体供給装置Info
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- JPH0466157A JPH0466157A JP17914690A JP17914690A JPH0466157A JP H0466157 A JPH0466157 A JP H0466157A JP 17914690 A JP17914690 A JP 17914690A JP 17914690 A JP17914690 A JP 17914690A JP H0466157 A JPH0466157 A JP H0466157A
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Links
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Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は液状合成樹脂、液状接着剤等の液体を所定の位
置に供給する液体供給装置に関するものである。
置に供給する液体供給装置に関するものである。
(従来技術)
般に、電気製品、通信機器等に使用される電気部品の一
部は、合成樹脂フィルム、合成樹脂基板等にIC等のチ
ップを装着し、端子接続部、あるいは、チップの全周に
液状合成t!1脂等を供給して樹脂封止した構成になっ
てい・る。そして、該液体を供給する装置としては、例
えば、特開昭6245376号公報に記載されているよ
うな装置か使用されており、1個の液体供給用容器を支
持するブラケットを、水平方向に移動するテーブル上に
設置された支持枠体に垂直方向に移動するよう装着し、
該ブラケットを流体シリンダーによって待機位置と液体
供給位置に移動させる構成になっている。
部は、合成樹脂フィルム、合成樹脂基板等にIC等のチ
ップを装着し、端子接続部、あるいは、チップの全周に
液状合成t!1脂等を供給して樹脂封止した構成になっ
てい・る。そして、該液体を供給する装置としては、例
えば、特開昭6245376号公報に記載されているよ
うな装置か使用されており、1個の液体供給用容器を支
持するブラケットを、水平方向に移動するテーブル上に
設置された支持枠体に垂直方向に移動するよう装着し、
該ブラケットを流体シリンダーによって待機位置と液体
供給位置に移動させる構成になっている。
(発明が解決しようとする課題)
上述のような1個の液体供給用容器を使用してフィルム
等に所定の間隔をもってボンデング加工されたIC等の
チップに、該フィルムを移動させながら順次液状接着剤
等の液体を供給する方法では、非常に作業効率が悪いと
いう問題があった。
等に所定の間隔をもってボンデング加工されたIC等の
チップに、該フィルムを移動させながら順次液状接着剤
等の液体を供給する方法では、非常に作業効率が悪いと
いう問題があった。
(課題を解決するための手段)
上述の課題を解決するために本発明の液体供給装置は、
水平方向に移動するテーブル上に設置された支持枠体に
垂直方向に移動可能に装着せしめたブラケットに、複数
個の液体供給用部材を垂直な状態で水平方向に所定の間
隔をもって装着せしめると共に、その間隔を変更可能に
構成にしである。
水平方向に移動するテーブル上に設置された支持枠体に
垂直方向に移動可能に装着せしめたブラケットに、複数
個の液体供給用部材を垂直な状態で水平方向に所定の間
隔をもって装着せしめると共に、その間隔を変更可能に
構成にしである。
また、液体を供給する物品の有無を検出する検知器を設
置し、該検知器からの信号に基づいて液体供給用部材の
液体の供給停止を行なうようにしである。
置し、該検知器からの信号に基づいて液体供給用部材の
液体の供給停止を行なうようにしである。
(作用)
本発明の液体供給装置は、液状接着剤等の液体を複数個
のチップ等の物品に対して同時に供給し、かつ液体を供
給する物品の間隔がロットによって異なっても液体供給
用部材を移動させて対処する。
のチップ等の物品に対して同時に供給し、かつ液体を供
給する物品の間隔がロットによって異なっても液体供給
用部材を移動させて対処する。
また、液体供給用容器、液体吐出用のノズル等の液体供
給用部材の無駄な動作をなくし、液体供給タクトタイム
を短縮する。
給用部材の無駄な動作をなくし、液体供給タクトタイム
を短縮する。
(実施例)
本発明の液体供給装置の1実施例の構成を図面に基づい
て説明する。
て説明する。
2は架台1の上に設置されたテーブルであり、パルスモ
ータ、螺子機構等の駆動装置3によって水平方向の前後
、左右方向に移動する。4は該テーブル2上に取付けら
れた支持枠体であり、垂直方向に案内用のレール4aが
一体的に形成しである。5は該レール4aに移動自在に
係合した第1ブラケツトであり、水平方向に案内用のレ
ール5aが形成しである。6はシリンダー本体6aの両
側に第1ピストンロツド6bと第2ピストンロツド6c
を突設した流体シリンダーであり、第1ピストンロツド
6bが支持枠体4に、第2ピストンロツド6Cが第1ブ
ラケツト5に夫々連結しである。該流体シリンダー6に
は、圧力調節弁、電磁切替弁等を有する圧空供給用管7
が連結してあり、該流体シリンダー6に対する圧空の供
給位置を変更すると、各ピストンロッド6b、6Cが夫
々単独で出没する。そして、第1ピストンロツド6bか
突出すると、第1ブラケツト5を中間作動位置に、第2
ピストンロツド6Cが突出すると、第1ブラケツト5を
液体供給位置に移動する。該流体シリンダー6に代えて
2台の流体シリンダーを連設し、各ピストンロッドを夫
々単独に移動させる構成にすることもできる。8は第1
ブラケツト5に一体的に取付けた第2ブラケツトであり
、第1液体供給用容器11を垂直な状態で支持する。
ータ、螺子機構等の駆動装置3によって水平方向の前後
、左右方向に移動する。4は該テーブル2上に取付けら
れた支持枠体であり、垂直方向に案内用のレール4aが
一体的に形成しである。5は該レール4aに移動自在に
係合した第1ブラケツトであり、水平方向に案内用のレ
ール5aが形成しである。6はシリンダー本体6aの両
側に第1ピストンロツド6bと第2ピストンロツド6c
を突設した流体シリンダーであり、第1ピストンロツド
6bが支持枠体4に、第2ピストンロツド6Cが第1ブ
ラケツト5に夫々連結しである。該流体シリンダー6に
は、圧力調節弁、電磁切替弁等を有する圧空供給用管7
が連結してあり、該流体シリンダー6に対する圧空の供
給位置を変更すると、各ピストンロッド6b、6Cが夫
々単独で出没する。そして、第1ピストンロツド6bか
突出すると、第1ブラケツト5を中間作動位置に、第2
ピストンロツド6Cが突出すると、第1ブラケツト5を
液体供給位置に移動する。該流体シリンダー6に代えて
2台の流体シリンダーを連設し、各ピストンロッドを夫
々単独に移動させる構成にすることもできる。8は第1
ブラケツト5に一体的に取付けた第2ブラケツトであり
、第1液体供給用容器11を垂直な状態で支持する。
9は第1ブラケツト5のレール5aに移動自在に係合し
た第3ブラゲツトであり、螺子体10によって第1ブラ
ケツト5に固定される。該第3ブラケツト9も第2液体
供給用容器12を垂直な状態で支持する。
た第3ブラゲツトであり、螺子体10によって第1ブラ
ケツト5に固定される。該第3ブラケツト9も第2液体
供給用容器12を垂直な状態で支持する。
上述の液体供給用容器11.12の間隔は、チップ51
の装着間隔と同一になるよう螺子体10を緩めて第3ブ
ラケツト9を移動して調節する。
の装着間隔と同一になるよう螺子体10を緩めて第3ブ
ラケツト9を移動して調節する。
該移動範囲は液体供給部材の間隔を10Onon程度と
し、さらに、マイクロヘッド(図示せず)等を用いて1
/1100o単位の微調整を行なう、また、ノズル13
の上下動は定常運転時の場合は、2〜15m+n程度の
間隔とし塗布状態でのノズル13とフィルムの隙間は0
.1〜2+w+nにするのが好ましい。
し、さらに、マイクロヘッド(図示せず)等を用いて1
/1100o単位の微調整を行なう、また、ノズル13
の上下動は定常運転時の場合は、2〜15m+n程度の
間隔とし塗布状態でのノズル13とフィルムの隙間は0
.1〜2+w+nにするのが好ましい。
上述の各液体供給用容器11.12の下部出口には吐出
用のノズル13か取付けてあり、上部には圧力調節弁、
電磁切替弁等を有する圧空供給用管14が連結しである
。1ヲは各液体供給用容器11.12の下方の架台1上
に設置された案内用枠体であり、IC等の電気部品であ
るチップ装着用フィルム50を水平な状態で所定の位置
に保持した状態で案内する。16は液体供給用容器11
の液体供給位置の下方の架台1上に設置された第1可動
ステージであり、垂直方向に案内用のレール17aを有
する第4ブラケツト17と、上部にステージ19を一体
的に形成し、レール17aに係合した第5ブラケツト1
8と、シリンダー本体20aが第4ブラケツト17に、
ピストンロッド20bが第5ブラケツト18に連結され
た流体シリンダー20とにより構成しである。21は第
2液体供給用容器12の液体供給位置の下方の架台l上
に設置された第2可動ステージであり、水平方向に案内
用のレール22aを有するベツド22と、該レール22
aに係合し、垂直方向に案内用のレール23aを有する
第6ブラケツト23と、上部にステージ25を一体的に
形成し、レール23aに係合した第7ブラケツト24と
、シリンダー本体26aか第6ブラケツト23に、ピス
トンロッド26bが第7ブラケツト24に連結された流
体シリンダー26と第6ブラケツト23をベツド22に
固定する螺子体27とにより構成しである。そして、各
流体シリンダー20.26には、圧力調節弁、電磁切替
弁等を有する圧空供給用管28.29が夫々連結してあ
り、流体シリンダー20.26に対する圧空の供給位置
を変更することにより、各ステージ19.25を垂直方
向の待機位置と供給位置に移動する。また、上述の第2
液体供給用容器12と同一の液体供給位置になるよう螺
子体27を収めて第6ブラケツト23を移動して調節す
る。
用のノズル13か取付けてあり、上部には圧力調節弁、
電磁切替弁等を有する圧空供給用管14が連結しである
。1ヲは各液体供給用容器11.12の下方の架台1上
に設置された案内用枠体であり、IC等の電気部品であ
るチップ装着用フィルム50を水平な状態で所定の位置
に保持した状態で案内する。16は液体供給用容器11
の液体供給位置の下方の架台1上に設置された第1可動
ステージであり、垂直方向に案内用のレール17aを有
する第4ブラケツト17と、上部にステージ19を一体
的に形成し、レール17aに係合した第5ブラケツト1
8と、シリンダー本体20aが第4ブラケツト17に、
ピストンロッド20bが第5ブラケツト18に連結され
た流体シリンダー20とにより構成しである。21は第
2液体供給用容器12の液体供給位置の下方の架台l上
に設置された第2可動ステージであり、水平方向に案内
用のレール22aを有するベツド22と、該レール22
aに係合し、垂直方向に案内用のレール23aを有する
第6ブラケツト23と、上部にステージ25を一体的に
形成し、レール23aに係合した第7ブラケツト24と
、シリンダー本体26aか第6ブラケツト23に、ピス
トンロッド26bが第7ブラケツト24に連結された流
体シリンダー26と第6ブラケツト23をベツド22に
固定する螺子体27とにより構成しである。そして、各
流体シリンダー20.26には、圧力調節弁、電磁切替
弁等を有する圧空供給用管28.29が夫々連結してあ
り、流体シリンダー20.26に対する圧空の供給位置
を変更することにより、各ステージ19.25を垂直方
向の待機位置と供給位置に移動する。また、上述の第2
液体供給用容器12と同一の液体供給位置になるよう螺
子体27を収めて第6ブラケツト23を移動して調節す
る。
また、チップ51の有無の検知部は第3図に示す通りで
あり、図中、30は第1可動ステージ16を挾んでその
一方に設置された第8ブラケツトであり、チップ検知用
の第1投光器31か取付けである。32は該ブラケット
30に対向するよう第1可動ステージ16を挾んだ他
方位置に設置された第9ブラゲツトであり、第1投光器
31からの光を検知する第1受光器33か取付けである
。34は第2可動ステージ21を挾んでその一方に設置
された第10ブラケツトであり、チップ検知用の第2投
光器35が取付けである。36は該ブラケット34に対
向するよう第2可動ステージ21を挾んだ他方位置に設
置された第11ブラケツトであり、第2投光器35から
の光を検知する第2受光器37が取付けである。そして
、各投光器31.35から投光された光の検知の有無に
よってフィルム50上にチップ51かボンディングされ
ているかどうかを検出する。該検知装置に代えて投光部
と受光部が一体的に形成された反射式検知器を使用する
ことかできる。また、上述の第1投光器31と第1受光
器33を、第1液体供給用容器11、第1可動ステージ
16等の第1液体供給位置に、第2投光器35と第2受
光器37を、第2液体供給用容器12、第2可動ステー
ジ21等の第2液体供給位置に設置することもできるか
、該供給位置の川上側に設置すると、チップ51が装着
されていない時には、液体の供給動作を行なわす、直ち
にフィルム50を移動させて次のチップ51を各液体供
給位置に移動できると共された液体受は機構であり、支
持枠体4の下方に一体的に取付けた第12ブラケツト3
9と、流体シリンダー40と、ピストンロッド40aの
端部に取付けた液受は皿41とにより構成し、該液受は
皿41をノズル13の下方位置と待機位置に移動する。
あり、図中、30は第1可動ステージ16を挾んでその
一方に設置された第8ブラケツトであり、チップ検知用
の第1投光器31か取付けである。32は該ブラケット
30に対向するよう第1可動ステージ16を挾んだ他
方位置に設置された第9ブラゲツトであり、第1投光器
31からの光を検知する第1受光器33か取付けである
。34は第2可動ステージ21を挾んでその一方に設置
された第10ブラケツトであり、チップ検知用の第2投
光器35が取付けである。36は該ブラケット34に対
向するよう第2可動ステージ21を挾んだ他方位置に設
置された第11ブラケツトであり、第2投光器35から
の光を検知する第2受光器37が取付けである。そして
、各投光器31.35から投光された光の検知の有無に
よってフィルム50上にチップ51かボンディングされ
ているかどうかを検出する。該検知装置に代えて投光部
と受光部が一体的に形成された反射式検知器を使用する
ことかできる。また、上述の第1投光器31と第1受光
器33を、第1液体供給用容器11、第1可動ステージ
16等の第1液体供給位置に、第2投光器35と第2受
光器37を、第2液体供給用容器12、第2可動ステー
ジ21等の第2液体供給位置に設置することもできるか
、該供給位置の川上側に設置すると、チップ51が装着
されていない時には、液体の供給動作を行なわす、直ち
にフィルム50を移動させて次のチップ51を各液体供
給位置に移動できると共された液体受は機構であり、支
持枠体4の下方に一体的に取付けた第12ブラケツト3
9と、流体シリンダー40と、ピストンロッド40aの
端部に取付けた液受は皿41とにより構成し、該液受は
皿41をノズル13の下方位置と待機位置に移動する。
そして、該流体シリンダー40には、圧力調節弁、電磁
切替弁等を有する圧空供給用管42が連結しである。
切替弁等を有する圧空供給用管42が連結しである。
また、上述の液体供給装置であるテーブル2の川上側に
はフィルム供給Il梢(図示せず)が、川下側にはフィ
ルム巻取機構(図示せず)か夫々設置されている。
はフィルム供給Il梢(図示せず)が、川下側にはフィ
ルム巻取機構(図示せず)か夫々設置されている。
上述のフィルム供給機構、フィルム巻取Il楕(図示せ
ず)、各流体シリンダー等は、動作順序、動作間隔等の
入力用キーボード、記憶部、比較演算部、動作指令部等
を有するマイクロコンピュータ等の制御装置(図示せず
)によって作動させるようになっている。
ず)、各流体シリンダー等は、動作順序、動作間隔等の
入力用キーボード、記憶部、比較演算部、動作指令部等
を有するマイクロコンピュータ等の制御装置(図示せず
)によって作動させるようになっている。
上述の装置によって液体の供給動作を行なう場合は、第
2液体供給用容器12を支持する第3ブラゲツト9、お
よび、第2可動ステージ21の第6ブラケツト23を移
動させて、フィルム50にボンディング加工されたチッ
プ51の間隔に合わせる。そして、チップ51をボンデ
ング加工したフィルム50を準備してフィルム供給m楕
(図示せず)に装着すると共に、該フィルム50の端部
を引き出して案内用枠体15に通し、フィルム巻取機構
(図示せず)に巻き付ける。また、各液体供給用容器1
1.12に接着剤等の合成樹脂液を充填する。
2液体供給用容器12を支持する第3ブラゲツト9、お
よび、第2可動ステージ21の第6ブラケツト23を移
動させて、フィルム50にボンディング加工されたチッ
プ51の間隔に合わせる。そして、チップ51をボンデ
ング加工したフィルム50を準備してフィルム供給m楕
(図示せず)に装着すると共に、該フィルム50の端部
を引き出して案内用枠体15に通し、フィルム巻取機構
(図示せず)に巻き付ける。また、各液体供給用容器1
1.12に接着剤等の合成樹脂液を充填する。
一方、フィルム送出量、送出間隔、液体供給量、供給間
隔、各流体シリンダーの作動時期等を設定して制御装置
(図示せず)のキーボードを操作して入力する。
隔、各流体シリンダーの作動時期等を設定して制御装置
(図示せず)のキーボードを操作して入力する。
この時、各部材は第4−1図に示すように、テーブル2
、第1液体供給用容器11、第2液体供給用容器12、
第1可動ステージ16、第2可動ステージ21は待機位
置に、液体受は機138のイルム供給機構(図示せず)
とフィルム巻取I!梢(図示せず)が作動してフィルム
50を予め設定した長さだけ送出する。そして、一番目
のチップ51か第2液体供給位置に、二番目のチップ5
1が第1液体供給位置に夫々移動すると、第4−2図に
示すように、テーブル2の駆動装置3が作動して支持枠
体4と共に各液体供給用容器11.12が各液体供給位
置の上方に移動する。次いで、圧空供給用管42の管路
が切り替わって流体シリンター40が作動してピストン
ロッドへ40aが引っ込み液受は皿41が待機位置に戻
る。すると、圧空供給用管7の管路が切り替わって流体
シリンター6が作動して第1ピストンロ・ソド6bが突
出し第1ブラケツト5と共に第1液体供給用容器11と
第2液体供給用容器12か中間作動位置に移動する。こ
れ等の動作中に、第1投光器31、第2投光器35が作
動してチップ51に向けて投光し、眩光を第1受光器3
3、第2受光器37によって受光せず、チップ有りの信
号が制御装置(図示せず)に送られると、第4−3図に
示すように、圧空供給用管28.29の管路が切り替わ
って流体シリンダー20.26が作動してピストンロッ
ド20a、26aが突出し第1可動ステージ16のステ
ージ19と第2可動ステージ21のステージ25の上面
が液体供給位置にある各チップ51の下面に当接する位
置まで上昇すると共に、圧空供給用管7の管路が切り替
わって流体シリンダー6が作動して第2ピストンロツド
6Cが突出し第1液体供給用容器11と第2液体供給用
容器12を液体供給位置に下降する。そして、ノズル1
3かチップ51の予め設定した供給位置に移動す−ると
、圧空供給用管14の管路が切り替わり各液体供給用容
器11.12に圧空が供給され液体が各ノズル13から
吐出される。該状態でテーブル2の駆動装置3か作動し
て該ノズル13が水平方向に移動し、予め設定した箇所
に液体を供給すると、圧空供給用管7の管路が切り替わ
って流体シリンダー6が作動して第2ピストンロツド6
c供給用管28.29の管路が切り替わって流体シリン
ダー20.26が作動してピストンロッド20a、26
aか引っ込み第1可動ステージ16のステージ1つと第
2可動ステージ21のステージ25が待機位置に戻る。
、第1液体供給用容器11、第2液体供給用容器12、
第1可動ステージ16、第2可動ステージ21は待機位
置に、液体受は機138のイルム供給機構(図示せず)
とフィルム巻取I!梢(図示せず)が作動してフィルム
50を予め設定した長さだけ送出する。そして、一番目
のチップ51か第2液体供給位置に、二番目のチップ5
1が第1液体供給位置に夫々移動すると、第4−2図に
示すように、テーブル2の駆動装置3が作動して支持枠
体4と共に各液体供給用容器11.12が各液体供給位
置の上方に移動する。次いで、圧空供給用管42の管路
が切り替わって流体シリンター40が作動してピストン
ロッドへ40aが引っ込み液受は皿41が待機位置に戻
る。すると、圧空供給用管7の管路が切り替わって流体
シリンター6が作動して第1ピストンロ・ソド6bが突
出し第1ブラケツト5と共に第1液体供給用容器11と
第2液体供給用容器12か中間作動位置に移動する。こ
れ等の動作中に、第1投光器31、第2投光器35が作
動してチップ51に向けて投光し、眩光を第1受光器3
3、第2受光器37によって受光せず、チップ有りの信
号が制御装置(図示せず)に送られると、第4−3図に
示すように、圧空供給用管28.29の管路が切り替わ
って流体シリンダー20.26が作動してピストンロッ
ド20a、26aが突出し第1可動ステージ16のステ
ージ19と第2可動ステージ21のステージ25の上面
が液体供給位置にある各チップ51の下面に当接する位
置まで上昇すると共に、圧空供給用管7の管路が切り替
わって流体シリンダー6が作動して第2ピストンロツド
6Cが突出し第1液体供給用容器11と第2液体供給用
容器12を液体供給位置に下降する。そして、ノズル1
3かチップ51の予め設定した供給位置に移動す−ると
、圧空供給用管14の管路が切り替わり各液体供給用容
器11.12に圧空が供給され液体が各ノズル13から
吐出される。該状態でテーブル2の駆動装置3か作動し
て該ノズル13が水平方向に移動し、予め設定した箇所
に液体を供給すると、圧空供給用管7の管路が切り替わ
って流体シリンダー6が作動して第2ピストンロツド6
c供給用管28.29の管路が切り替わって流体シリン
ダー20.26が作動してピストンロッド20a、26
aか引っ込み第1可動ステージ16のステージ1つと第
2可動ステージ21のステージ25が待機位置に戻る。
すると、フィルム供給ll1N(図示せず)とフィルム
巻取m楕(図示せず)が作動してフィルム50が2ピッ
チ分だけ移動する。そして、液体の供給の済んだチップ
51の隣のチップ51が液体供給位置に搬送されると、
各投光器31.35か作動してチップ51に向けて投光
してその有無を確認し、チップ有りの信号が制御装置(
図示せず)に送られ、圧空供給用管7の管路が切り替わ
って流体シリンダー6が作動して第2ピストンロツド6
cが突出し各液体供給用容器11.12か液体供給位置
に移動すると共に、圧空供給用管28.29の管路が切
り替わって各流体シリンダー20.26が作動してピス
トンロッド20a、26aか突出しステージ19.25
か各チップ51の下面位置に上昇して液体の供給を行な
う。
巻取m楕(図示せず)が作動してフィルム50が2ピッ
チ分だけ移動する。そして、液体の供給の済んだチップ
51の隣のチップ51が液体供給位置に搬送されると、
各投光器31.35か作動してチップ51に向けて投光
してその有無を確認し、チップ有りの信号が制御装置(
図示せず)に送られ、圧空供給用管7の管路が切り替わ
って流体シリンダー6が作動して第2ピストンロツド6
cが突出し各液体供給用容器11.12か液体供給位置
に移動すると共に、圧空供給用管28.29の管路が切
り替わって各流体シリンダー20.26が作動してピス
トンロッド20a、26aか突出しステージ19.25
か各チップ51の下面位置に上昇して液体の供給を行な
う。
上述の操作を繰り返して各チップ51に液体の供給を行
なう。
なう。
上述のチップ51の有無確認操作において、投光器31
.35からチップ51に向けて投光し、眩光を各受光器
33.37によって受光すると、二つのチップ無しの信
号が制御装置(図示せず)に送られ、フィルム供給機構
(図示せず)とフィルム巻取機111(図示せず)が作
動してフィルム50をさらに2ピッチ分だけ移動させ、
隣に位置する二つのチップ51を各液体供給位置に搬送
し、改めて、チップ51の有無の確認操作、および、液
体の供給操作を行なう。
.35からチップ51に向けて投光し、眩光を各受光器
33.37によって受光すると、二つのチップ無しの信
号が制御装置(図示せず)に送られ、フィルム供給機構
(図示せず)とフィルム巻取機111(図示せず)が作
動してフィルム50をさらに2ピッチ分だけ移動させ、
隣に位置する二つのチップ51を各液体供給位置に搬送
し、改めて、チップ51の有無の確認操作、および、液
体の供給操作を行なう。
上述の操作において、第1受光器33のみか光を受光し
た場合は、第1液体供給位置にチップ無し、第2液体供
給位置にチップ有りの信号が制御装置(図示せず)に送
られ、圧空供給用管29の管路が切り替わって流体シリ
ンダー26が作動してピストンロッド26aが突出し第
2可動ステージ21のステージ25の上面が液体供給位
置にある各チップ51の下面に当接する位置まで上昇す
ると共に、圧空供給用管7の管路が切り替わって流体シ
リンダー6が作動して第2ピストンロツド6cが突出し
第1液体供給用容器11と第2液体供給用容器12を液
体供給位置に下降する。そして、ノズル13がチップ5
1の予め設定した供給位置に下降すると、圧空供給用管
14の管路が切り替わり液体供給用容器12にのみ圧空
が供給され液体がノズル13から第2液体供給位置にあ
るチップ51に吐出される。そのため、第1可動ステー
ジ16は上昇せず、また、液体供給用容器11のノズル
13からは液体が吐出されない。
た場合は、第1液体供給位置にチップ無し、第2液体供
給位置にチップ有りの信号が制御装置(図示せず)に送
られ、圧空供給用管29の管路が切り替わって流体シリ
ンダー26が作動してピストンロッド26aが突出し第
2可動ステージ21のステージ25の上面が液体供給位
置にある各チップ51の下面に当接する位置まで上昇す
ると共に、圧空供給用管7の管路が切り替わって流体シ
リンダー6が作動して第2ピストンロツド6cが突出し
第1液体供給用容器11と第2液体供給用容器12を液
体供給位置に下降する。そして、ノズル13がチップ5
1の予め設定した供給位置に下降すると、圧空供給用管
14の管路が切り替わり液体供給用容器12にのみ圧空
が供給され液体がノズル13から第2液体供給位置にあ
るチップ51に吐出される。そのため、第1可動ステー
ジ16は上昇せず、また、液体供給用容器11のノズル
13からは液体が吐出されない。
上述の液体供給操作を行ない全てのチップ51に対する
液体の供給操作が済んだ場合、あるいは、液体の供給操
作を中断する場合は、圧空供給用管7の管路が切り替え
て流体シリンダー6を作動させ、第1ピストンロツド6
b、および、第2ピストンロツド6Cを引っ込めて第1
液体供給用容器11、第2液体供給用容器12を待機位
置に戻すと共に、圧空供給用管42の管路が切り替えて
流体シリンダー40を作動させ、ピストンロッド40a
を突出し液受は皿41を各ノズル13の下方位置に移動
して液体の供給操作を終了する。
液体の供給操作が済んだ場合、あるいは、液体の供給操
作を中断する場合は、圧空供給用管7の管路が切り替え
て流体シリンダー6を作動させ、第1ピストンロツド6
b、および、第2ピストンロツド6Cを引っ込めて第1
液体供給用容器11、第2液体供給用容器12を待機位
置に戻すと共に、圧空供給用管42の管路が切り替えて
流体シリンダー40を作動させ、ピストンロッド40a
を突出し液受は皿41を各ノズル13の下方位置に移動
して液体の供給操作を終了する。
上述の実施例においては液体供給用容器等の液体供給部
材を2箇所設置したが、設置箇所は特に限定されず、少
なくとも1箇所を固定にし、他を可動にすればよい。
材を2箇所設置したが、設置箇所は特に限定されず、少
なくとも1箇所を固定にし、他を可動にすればよい。
また、液体供給用部材は、ノズル13を有する第1液体
供給用容器11を第2ブラケツト8に、第2液体供給用
容器12を第3ブラケツト9によって支持せず、各液体
供給用容器11.12のみを架台1に設置されたブラケ
ットによって支持すると共に、ノズル13を各ブラケッ
ト8.9に支持し可視チューブによって連結した構成に
することもできる。
供給用容器11を第2ブラケツト8に、第2液体供給用
容器12を第3ブラケツト9によって支持せず、各液体
供給用容器11.12のみを架台1に設置されたブラケ
ットによって支持すると共に、ノズル13を各ブラケッ
ト8.9に支持し可視チューブによって連結した構成に
することもできる。
(発明の効果)
本発明の液体供給装置は、水平方向に移動するテーブル
上に設置された支持枠体に垂直方向に移動可能に装着せ
しめたブラケットに、複数個の液体供給用部材を垂直な
状態で水平方向に所定の間隔をもって装着すると共に、
その間隔を変更可能に構成にしであるため、フィルムに
よってボンディング加工されたチップの間隔が変わって
も容易に対処できると共に、同時に複数個のチップに液
体を供給でき、液体の供給タクトタイムが短くなり作業
効率を良くすることができる。
上に設置された支持枠体に垂直方向に移動可能に装着せ
しめたブラケットに、複数個の液体供給用部材を垂直な
状態で水平方向に所定の間隔をもって装着すると共に、
その間隔を変更可能に構成にしであるため、フィルムに
よってボンディング加工されたチップの間隔が変わって
も容易に対処できると共に、同時に複数個のチップに液
体を供給でき、液体の供給タクトタイムが短くなり作業
効率を良くすることができる。
また、液体を供給する物品の有無を検出する検知器を設
置し、該検知器からの信号に基づいて各液体供給用部材
からの液体の供給停止を行なうようにすると、液体供給
用部材等の無駄な動作か無くなり、タクトタイムを確実
に短縮することができる。
置し、該検知器からの信号に基づいて各液体供給用部材
からの液体の供給停止を行なうようにすると、液体供給
用部材等の無駄な動作か無くなり、タクトタイムを確実
に短縮することができる。
第1図は本発明の液体供給装置の1実施例を示す概略正
面図である。 第2図は第1図におけるZ−Z矢視図である。 第3図は第1図におけるY−Y矢視図である。 第4図は液体供給動作を示す概略側面図である。 1:架台、 2:テーブル、3:駆動装置
、 4:支持枠体、5:第1ブラケツト、 6.20,26,40:流体シリンダー7.14,28
,29,42:圧空供給用管、8:第2ブラケツト、
9:第3ブラケツト、10.27:螺子体、 11:第1液体供給用容器、 12:第2液体供給用容器、 13:ノズル、 15:案内用枠体、16:
第1可動ステージ、17:第4ブラケツト、18:第5
ブラゲツト、 19.25:ステージ、 21:第2可動ステージ、 23:第6ブラケツト、 30:第8ブラケツト、 32:第9ブラケツト、 34:第10ブラケツト、 36:第11ブラケツト、 38:液体骨は機構、 39:第12ブラケツト、 22:ベツド、 24:第7ブラケツト、 31:第1投光器、 33:第1受光器、 35:第2投光器、 37:第2受光器、 41:液受は皿、
面図である。 第2図は第1図におけるZ−Z矢視図である。 第3図は第1図におけるY−Y矢視図である。 第4図は液体供給動作を示す概略側面図である。 1:架台、 2:テーブル、3:駆動装置
、 4:支持枠体、5:第1ブラケツト、 6.20,26,40:流体シリンダー7.14,28
,29,42:圧空供給用管、8:第2ブラケツト、
9:第3ブラケツト、10.27:螺子体、 11:第1液体供給用容器、 12:第2液体供給用容器、 13:ノズル、 15:案内用枠体、16:
第1可動ステージ、17:第4ブラケツト、18:第5
ブラゲツト、 19.25:ステージ、 21:第2可動ステージ、 23:第6ブラケツト、 30:第8ブラケツト、 32:第9ブラケツト、 34:第10ブラケツト、 36:第11ブラケツト、 38:液体骨は機構、 39:第12ブラケツト、 22:ベツド、 24:第7ブラケツト、 31:第1投光器、 33:第1受光器、 35:第2投光器、 37:第2受光器、 41:液受は皿、
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)水平方向に移動するテーブル上に設置された支持枠
体に垂直方向に移動可能に装着せしめたブラケットに、
複数個の液体供給用部材を垂直な状態で水平方向に所定
の間隔をもって装着すると共に、その間隔を変更可能に
構成せしめたことを特徴とする液体供給装置。 2)液体を供給する物品の有無を検出する検知器を設置
し、該検知器からの信号に基づいて各液体供給用部材か
らの液体の供給停止を行なうようにしたことを特徴とす
る液体供給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17914690A JPH0466157A (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | 液体供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17914690A JPH0466157A (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | 液体供給装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0466157A true JPH0466157A (ja) | 1992-03-02 |
Family
ID=16060775
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17914690A Pending JPH0466157A (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | 液体供給装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0466157A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008141044A (ja) * | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Athlete Fa Kk | 電子部品製造装置および電子部品製造方法 |
CN104056754A (zh) * | 2014-05-29 | 2014-09-24 | 苏州菱欧自动化设备有限公司 | 涂胶装置 |
JP2014205140A (ja) * | 2013-04-15 | 2014-10-30 | ベシ スウィツァーランド アーゲー | 接着剤を基材上に吐出するデバイス |
-
1990
- 1990-07-05 JP JP17914690A patent/JPH0466157A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008141044A (ja) * | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Athlete Fa Kk | 電子部品製造装置および電子部品製造方法 |
JP2014205140A (ja) * | 2013-04-15 | 2014-10-30 | ベシ スウィツァーランド アーゲー | 接着剤を基材上に吐出するデバイス |
CN104056754A (zh) * | 2014-05-29 | 2014-09-24 | 苏州菱欧自动化设备有限公司 | 涂胶装置 |
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