JPH046159A - 窒化けい素系セラミックス焼結体の製造法 - Google Patents
窒化けい素系セラミックス焼結体の製造法Info
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- JPH046159A JPH046159A JP2105248A JP10524890A JPH046159A JP H046159 A JPH046159 A JP H046159A JP 2105248 A JP2105248 A JP 2105248A JP 10524890 A JP10524890 A JP 10524890A JP H046159 A JPH046159 A JP H046159A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
【産業上の利用分野1
本発明は窒化けい素系セラミックス焼結体の製造法に関
し、特に焼結による変形が少なく、ネットシェーブであ
る高密度の窒化けい素系セラミックス焼結体の製造法に
関するものである。
し、特に焼結による変形が少なく、ネットシェーブであ
る高密度の窒化けい素系セラミックス焼結体の製造法に
関するものである。
窒化けい素、サイアロン等の窒化けい素系セラミックス
は機械的強度が高く、耐熱性に優れていることから、各
種耐火物材料、エンジン部材等として、有望視されてい
る。
は機械的強度が高く、耐熱性に優れていることから、各
種耐火物材料、エンジン部材等として、有望視されてい
る。
[従来の技術J
この窒化けい素系焼結体は、窒化けい素粉末。
サイアロン粉末の所定の粉末を鋳込み成形、押出し成形
、射出成形等の成形方法で成形した後、焼成し焼結する
ことによって得られる。この焼成に際し、成形体をその
まま炉内に入れて焼成すると、焼結体に反りや歪みなど
の変形を起こしやすいので、従来は、るつぼに詰めた窒
化ほう素や窒化けい素の詰め粉の中に成形体を埋没させ
て焼結していた。
、射出成形等の成形方法で成形した後、焼成し焼結する
ことによって得られる。この焼成に際し、成形体をその
まま炉内に入れて焼成すると、焼結体に反りや歪みなど
の変形を起こしやすいので、従来は、るつぼに詰めた窒
化ほう素や窒化けい素の詰め粉の中に成形体を埋没させ
て焼結していた。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、成形体が複雑な形状で寸法が大型化する
に伴い、詰め粉を用いた方法では、詰め粉自体が焼結し
て硬くなり、焼結体を取り出す際の詰め粉の除去による
衝撃で焼結体に割れ目が入るおそれがあり、そのため詰
め粉の除去に土間がかかっていた。
に伴い、詰め粉を用いた方法では、詰め粉自体が焼結し
て硬くなり、焼結体を取り出す際の詰め粉の除去による
衝撃で焼結体に割れ目が入るおそれがあり、そのため詰
め粉の除去に土間がかかっていた。
また、そのような製品を大量の詰め粉の中から取出す作
業は生産性を大きく阻害していた。
業は生産性を大きく阻害していた。
一方、詰め粉を使用しないと、焼結体が変形するという
問題があり、特に、焼結体のエツジ部でこの傾向が大き
い。
問題があり、特に、焼結体のエツジ部でこの傾向が大き
い。
[課題を解決するための手IB1
本発明者らは、窒化けい素系セラミックス焼結体の製造
法において、詰め粉を使用しないで常圧窒素雰囲気下で
、又は加圧窒素雰囲気下で窒化けい素系セラミックスを
焼結する方法について検討した結果、焼結時における成
形体表面を保護することにより、成形原料の分解、揮発
を抑制し、その結果成形体の変形が防止されることを見
出し、本発明に至った。
法において、詰め粉を使用しないで常圧窒素雰囲気下で
、又は加圧窒素雰囲気下で窒化けい素系セラミックスを
焼結する方法について検討した結果、焼結時における成
形体表面を保護することにより、成形原料の分解、揮発
を抑制し、その結果成形体の変形が防止されることを見
出し、本発明に至った。
すなわち、本発明は、窒化けい素系セラミックス原料粉
末を成形後焼結する窒化けい素系セラミックス焼結体の
製造法において、成形体の表面に窒化けい素及び窒化ほ
う素の混合粉末を塗布し、常圧又は加圧の窒素雰囲気下
で焼結することを特徴とする窒化けい素系セラミックス
焼結体の製造法である。
末を成形後焼結する窒化けい素系セラミックス焼結体の
製造法において、成形体の表面に窒化けい素及び窒化ほ
う素の混合粉末を塗布し、常圧又は加圧の窒素雰囲気下
で焼結することを特徴とする窒化けい素系セラミックス
焼結体の製造法である。
[作用]
成形体の原料であるSi3N、は焼結温度付近の温度で
分解、揮発し易く、この分解や揮発が焼結体の変形や密
度低下の原因と考えられる。
分解、揮発し易く、この分解や揮発が焼結体の変形や密
度低下の原因と考えられる。
成形体の焼結に際して、成形体の表面に窒化C−+い素
と窒化ほう素の混合粉末を密に塗布しておくことにより
、成形体より先に、塗布した窒化けい素粉末が分解、揮
発が先ず起こり、それによって生成した揮発成分の分圧
が、成形体自体の分解、揮発を抑制するものと考えられ
る。
と窒化ほう素の混合粉末を密に塗布しておくことにより
、成形体より先に、塗布した窒化けい素粉末が分解、揮
発が先ず起こり、それによって生成した揮発成分の分圧
が、成形体自体の分解、揮発を抑制するものと考えられ
る。
従って、成形体中に焼結助剤が配合されている場合には
、塗布粉末にも焼結助剤を配合し、焼結助剤の分解、揮
発を抑制することができる。
、塗布粉末にも焼結助剤を配合し、焼結助剤の分解、揮
発を抑制することができる。
−緒に配合する窒化ほう素は、塗布粉末が成形体に付着
するのを防止する。
するのを防止する。
[発明の詳細な説明]
(原料粉末)
本発明で使用する焼結用出発原料としての窒化けい素系
セラミックスは、慣用の常圧焼結法に用いることができ
る粉末であればよく、例えば、窒化けい素粉末に、希土
類元素の酸化物、A1□03、MgO等の焼結助剤を一
種以上添加したものや、サイアロン粉末に、希土類元素
の酸化物、A1□01、MgO等の焼結助剤を一種以上
添加したもの等である。そのほか成形助剤が含まれてい
てもかまわない。
セラミックスは、慣用の常圧焼結法に用いることができ
る粉末であればよく、例えば、窒化けい素粉末に、希土
類元素の酸化物、A1□03、MgO等の焼結助剤を一
種以上添加したものや、サイアロン粉末に、希土類元素
の酸化物、A1□01、MgO等の焼結助剤を一種以上
添加したもの等である。そのほか成形助剤が含まれてい
てもかまわない。
上記原料粉末を所望の形状に成形し、必要に応じて脱脂
する。
する。
(塗布粉末)
本発明において、成形体は、焼成に際して、その表面に
窒化けい素及び窒化ほう素の混合粉末を塗布する。
窒化けい素及び窒化ほう素の混合粉末を塗布する。
上記の混合粉末には、窒化けい素の焼結助剤、例えば、
Y 、 La、 Ce、 Ndなどの希土類元素の酸化
物、MgO、AjtO* 、 Zr0zなどを配合して
もよい。
Y 、 La、 Ce、 Ndなどの希土類元素の酸化
物、MgO、AjtO* 、 Zr0zなどを配合して
もよい。
特に成形体中に、焼結温度で分解し易い焼結助剤が配合
されている場合は、塗布粉末にも同じ焼結助剤を添加す
ることが好ましい0例えば、焼結助剤のMgOは窒素雰
囲気中で分解、揮発し易いので、塗布粉末中にMgOを
加えておくことにより成形体中のMgOの分解、揮発の
抑制に有効である。
されている場合は、塗布粉末にも同じ焼結助剤を添加す
ることが好ましい0例えば、焼結助剤のMgOは窒素雰
囲気中で分解、揮発し易いので、塗布粉末中にMgOを
加えておくことにより成形体中のMgOの分解、揮発の
抑制に有効である。
これらの混合粉末の配合割合は、配合成分のいずれもが
少な(とも20重量%であることが好ましい。
少な(とも20重量%であることが好ましい。
塗布粉末は、成形体表面を密に被覆することが重要であ
り、そのためには塗布粉末は、その平均粒径が5μm以
下であることが望ましく、特に1〜3 lImが好まし
い。
り、そのためには塗布粉末は、その平均粒径が5μm以
下であることが望ましく、特に1〜3 lImが好まし
い。
このような混合粉末は、有機溶剤中でミルにより粉砕混
合し、得られた分散液をそのまま、塗布液として用いる
ができる。
合し、得られた分散液をそのまま、塗布液として用いる
ができる。
(塗布)
上記の配合粉末を溶剤、例えばアセトンなどに分散させ
、その分散液を成形体表面に塗布する。
、その分散液を成形体表面に塗布する。
塗布は2分散液を筆、刷毛等で塗布するほか、スプレー
、エアーガン等を用いてもよい。
、エアーガン等を用いてもよい。
塗布は成形体表面に隈なく行うことが必要で。
塗布膜の厚さは0.2mm以上であることが好ましし1
゜ 成形体原料としてサイアロンを用いた場合も同様である
。
゜ 成形体原料としてサイアロンを用いた場合も同様である
。
(焼成)
次に、上記成形体を焼結炉内に挿入し、常圧窒素雰囲気
又は加圧窒素雰囲気にして、1650℃以上で焼成する
。
又は加圧窒素雰囲気にして、1650℃以上で焼成する
。
このとき、上記成形体を耐熱性容器に入れて密閉状態に
蓋をした状態で焼成すると、より効果的である。
蓋をした状態で焼成すると、より効果的である。
好ましい焼成温度は、窒化けい素、サイアロンなど窒化
けい素系セラミックスに関係なく、常圧窒素雰囲気下で
は1700〜1900℃、窒素ガス加圧雰囲気下では1
800〜2000℃であり、窒素ガス圧力は0.5〜]
0MPa (5〜100kg/cm21が好ましい。
けい素系セラミックスに関係なく、常圧窒素雰囲気下で
は1700〜1900℃、窒素ガス加圧雰囲気下では1
800〜2000℃であり、窒素ガス圧力は0.5〜]
0MPa (5〜100kg/cm21が好ましい。
以上、一連の方法により、変形が少なく、高密度の窒化
けい素系焼結体が製造できる。
けい素系焼結体が製造できる。
[実施例]
以下の実施例において、P4結による変形を数値化する
ために1図−1に示すような、直径50mm、高さ50
mmの円柱状成形体を作り、焼結後、焼結体の高さ方向
の中心部の径(A)を基準とし、その基準から、焼結体
のエツジ部の径(B)がどれだけずれているか、すなわ
ち、 (B−A)/Ax 100[%)で変形を定義し
た。
ために1図−1に示すような、直径50mm、高さ50
mmの円柱状成形体を作り、焼結後、焼結体の高さ方向
の中心部の径(A)を基準とし、その基準から、焼結体
のエツジ部の径(B)がどれだけずれているか、すなわ
ち、 (B−A)/Ax 100[%)で変形を定義し
た。
実施例1〜6
窒化けい素粉末(宇部興産■製、5N−EIO)に焼結
助剤としてMgO1A1203及びY2O3を表−■に
示す配合で添加し、水を加えて樹脂ボール及びミルを用
いて100 r、p、m、で16時間混合した。その後
噴霧乾燥を行ない、乾燥粉末をCIP成形で直径50關
、高さ501Il−の円柱に成形した。
助剤としてMgO1A1203及びY2O3を表−■に
示す配合で添加し、水を加えて樹脂ボール及びミルを用
いて100 r、p、m、で16時間混合した。その後
噴霧乾燥を行ない、乾燥粉末をCIP成形で直径50關
、高さ501Il−の円柱に成形した。
この成形体に、表=1に示す配合の混合粉末をアセトン
に分散させた分散液を、筆を用いて塗り残しのないよう
に全表面に塗布した。
に分散させた分散液を、筆を用いて塗り残しのないよう
に全表面に塗布した。
塗布された成形体を焼結炉内に挿入し、常圧窒素雰囲気
下、1750℃で120分焼結した。
下、1750℃で120分焼結した。
得られた焼結体の変形と相対密度(嵩密度/理論密度)
を表−1に示す。
を表−1に示す。
比較例1及び2
表−1に示す配合原料を混合し、実施例と同様にして得
た成形体をそのまま焼結炉内に挿入し、常圧窒素雰囲気
下、1750℃で120分焼結した。
た成形体をそのまま焼結炉内に挿入し、常圧窒素雰囲気
下、1750℃で120分焼結した。
得られた焼結体の変形と相対密度の結果を表−1に示す
。
。
比較例3
実施例3において、塗布粉末を窒化けい素粉末のみとし
て、他は同様に行った。
て、他は同様に行った。
得られた焼結体の変形と相対密度の結果を表1に示す。
比較例4
実施例3において、塗布粉末を窒化ほう素粉末のみとし
て、他は同様に行った。
て、他は同様に行った。
得られた焼結体の変形と相対密度の結果を表−1に示す
。
。
(以下余白)
〔発明の効果〕
本発明は、窒化けい素系セラミックスの製造において、
成形体の表面に窒化けい素及び窒化ほう素の混合粉末を
塗布し、常圧又は加圧の窒素雰囲気下で焼結することに
より、焼結体に変形が少なくネットシェーブであり、高
密度の窒化けい素系焼結体が得られる。
成形体の表面に窒化けい素及び窒化ほう素の混合粉末を
塗布し、常圧又は加圧の窒素雰囲気下で焼結することに
より、焼結体に変形が少なくネットシェーブであり、高
密度の窒化けい素系焼結体が得られる。
本発明により、窒化けい素系セラミックス焼結体の焼結
の際に、詰め粉の充填及び除去作業を省略でき、また、
製品の歩留まりも向上する。
の際に、詰め粉の充填及び除去作業を省略でき、また、
製品の歩留まりも向上する。
図−1は焼結による変形を測定するための円柱状成形体
の斜視図である。
の斜視図である。
Claims (2)
- (1)窒化けい素系セラミックス原料粉末を成形後焼結
する窒化けい素系セラミックス焼結体の製造法において
、成形体の表面に窒化けい素及び窒化ほう素の混合粉末
を塗布し、常圧又は加圧の窒素雰囲気下で焼結すること
を特徴とする窒化けい素系セラミックス焼結体の製造法
。 - (2)成形体表面に塗布する混合粉末が窒化けい素の焼
結助剤を含有する、請求項1に記載の方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2105248A JPH046159A (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 窒化けい素系セラミックス焼結体の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2105248A JPH046159A (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 窒化けい素系セラミックス焼結体の製造法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH046159A true JPH046159A (ja) | 1992-01-10 |
Family
ID=14402352
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2105248A Pending JPH046159A (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 窒化けい素系セラミックス焼結体の製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH046159A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009173508A (ja) * | 2007-02-23 | 2009-08-06 | Kyocera Corp | 窒化珪素質焼結体および切削工具ならびに切削加工装置、切削方法 |
JP2009234826A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Kyocera Corp | 窒化珪素質焼結体 |
JP2010006635A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Kyocera Corp | 窒化珪素質焼結体 |
JP2014122156A (ja) * | 2014-02-03 | 2014-07-03 | Kyocera Corp | 窒化珪素質焼結体 |
JP2016011218A (ja) * | 2014-06-27 | 2016-01-21 | 京セラ株式会社 | 窒化珪素質基板およびこれを備える回路基板ならびに電子装置 |
-
1990
- 1990-04-23 JP JP2105248A patent/JPH046159A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009173508A (ja) * | 2007-02-23 | 2009-08-06 | Kyocera Corp | 窒化珪素質焼結体および切削工具ならびに切削加工装置、切削方法 |
JP2009234826A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Kyocera Corp | 窒化珪素質焼結体 |
JP2010006635A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Kyocera Corp | 窒化珪素質焼結体 |
JP2014122156A (ja) * | 2014-02-03 | 2014-07-03 | Kyocera Corp | 窒化珪素質焼結体 |
JP2016011218A (ja) * | 2014-06-27 | 2016-01-21 | 京セラ株式会社 | 窒化珪素質基板およびこれを備える回路基板ならびに電子装置 |
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