JPH0460216A - 固体潤滑転がり軸受 - Google Patents
固体潤滑転がり軸受Info
- Publication number
- JPH0460216A JPH0460216A JP2169510A JP16951090A JPH0460216A JP H0460216 A JPH0460216 A JP H0460216A JP 2169510 A JP2169510 A JP 2169510A JP 16951090 A JP16951090 A JP 16951090A JP H0460216 A JPH0460216 A JP H0460216A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- shield plate
- coating
- rolling
- gallium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 239000007787 solid Substances 0.000 title claims abstract description 17
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 17
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 claims abstract description 11
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 4
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 abstract description 3
- 238000009835 boiling Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 abstract description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 abstract description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 abstract description 2
- -1 for example Substances 0.000 abstract 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 abstract 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/72—Sealings
- F16C33/76—Sealings of ball or roller bearings
- F16C33/78—Sealings of ball or roller bearings with a diaphragm, disc, or ring, with or without resilient members
- F16C33/784—Sealings of ball or roller bearings with a diaphragm, disc, or ring, with or without resilient members mounted to a groove in the inner surface of the outer race and extending toward the inner race
- F16C33/7843—Sealings of ball or roller bearings with a diaphragm, disc, or ring, with or without resilient members mounted to a groove in the inner surface of the outer race and extending toward the inner race with a single annular sealing disc
- F16C33/7846—Sealings of ball or roller bearings with a diaphragm, disc, or ring, with or without resilient members mounted to a groove in the inner surface of the outer race and extending toward the inner race with a single annular sealing disc with a gap between the annular disc and the inner race
- F16C33/785—Bearing shields made of sheet metal
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sealing Of Bearings (AREA)
- Rolling Contact Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、真空中あるいはクリーンルーム内で使用され
る固体潤滑転がり軸受に関し、特に、軸受内部で発生し
たパーティクル（摩耗粉）の飛散防止手段に関する。
る固体潤滑転がり軸受に関し、特に、軸受内部で発生し
たパーティクル（摩耗粉）の飛散防止手段に関する。
（従来の技術〕
真空中あるいはクリーンルーム内で使用される軸受は、
潤滑剤として油やグリースを使用することが困難なため
、軸受構成部品の転動接触面（軌道軸の転走面、転動体
の表面）に固体潤滑被膜を形成したものを使用している
。固体潤滑被膜は、銀（Ａｇ）等の固体潤滑剤をイオン
ブレーティングにより転動接触面に付着させたもので、
この被膜は軸受の回転に伴って発生する摩擦力によって
付着面から削り取られる。そして、削り取られた微小な
摩耗粉が相手側面に転位して薄い被膜を形成する。潤滑
作用は、この摩耗粉が転位して形成された被膜によって
なされる。
潤滑剤として油やグリースを使用することが困難なため
、軸受構成部品の転動接触面（軌道軸の転走面、転動体
の表面）に固体潤滑被膜を形成したものを使用している
。固体潤滑被膜は、銀（Ａｇ）等の固体潤滑剤をイオン
ブレーティングにより転動接触面に付着させたもので、
この被膜は軸受の回転に伴って発生する摩擦力によって
付着面から削り取られる。そして、削り取られた微小な
摩耗粉が相手側面に転位して薄い被膜を形成する。潤滑
作用は、この摩耗粉が転位して形成された被膜によって
なされる。
〔発明が解決しようとする課題］
前述したように、固体潤滑転がり軸受においては、パー
ティクル（摩耗粉）の発生は不可避である。
ティクル（摩耗粉）の発生は不可避である。
しかし、近年、半導体あるいは液晶パネルの集積度が著
しく高められる傾向にあり、これに伴って、微量のパー
ティクルが製品の性能、信顧性に及ぼす影響が大となっ
ている。特に、液晶パネル製造工程においては、ウェハ
ーへの微量のパーティクル付着により一素子に欠陥が生
じると、製品そのものが使用不能となってしまう。した
がって、このような清浄度を特に必要とする作業環境で
使用される軸受に対して、低発塵性の要求がますます高
まる傾向にある。
しく高められる傾向にあり、これに伴って、微量のパー
ティクルが製品の性能、信顧性に及ぼす影響が大となっ
ている。特に、液晶パネル製造工程においては、ウェハ
ーへの微量のパーティクル付着により一素子に欠陥が生
じると、製品そのものが使用不能となってしまう。した
がって、このような清浄度を特に必要とする作業環境で
使用される軸受に対して、低発塵性の要求がますます高
まる傾向にある。
そこで、本発明は、軸受の内部で発生したパーティクル
の軸受外への飛散を防止することをその目的とする。
の軸受外への飛散を防止することをその目的とする。
［課題を解決するための手段〕
本発明では、軸受の両端部側にシールド板を配置すると
共に、 このシールド板の少なくとも軸受内部側面に付着性を有
する被膜を形成した。
共に、 このシールド板の少なくとも軸受内部側面に付着性を有
する被膜を形成した。
軸受内部で発生したパーティクルは、両端部側に配置し
たシールド板によって外部への飛散を抑制されるだけで
なく、 シールド板に形成された付着性の被膜によって捕捉され
るため、外部への飛散が一層抑制される。
たシールド板によって外部への飛散を抑制されるだけで
なく、 シールド板に形成された付着性の被膜によって捕捉され
るため、外部への飛散が一層抑制される。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は、本発明に係る固体潤滑転がり軸受を示す。こ
の転がり軸受は、内輪（１）、外輪（２）、内・外輪（
１）（２）間に介在する複数の転動体（３）、転動体（
３）を円周等間隔に保持するための保持器（４）、およ
び両端部側に配置されたシールド板（５）を有する。転
動体（３）の表面および内・外輪（１）（２）の転走面
には、固体潤滑剤例えば銀（Ａｇ）をイオンブレーティ
ングにより付着させた固体潤滑被膜（ｌａ） （２ａ
） 、および（３ａ）が形成されている。尚、この被膜
は、転動体（３）の表面にのみ、あるいは、内・外輪（
１）（２）の転走面にのみ形成したものであってもよい
。シールド板（５）の軸受内部側面には付着性を有する
被膜（５ａ）が形成されている。この被膜（５ａ）の形
成材料としては、低融点かつ低蒸気圧（高沸点）を有す
る金属、例えばガリウム（Ｇａ） 、インジウム（Ｉｎ
）等が考えられる。ガリウム（Ｇａ）を例にとると、ガ
リウムは、融点が２９．７８０±０．００５”Ｃと低く
、沸点が２３００±１５０°Ｃと高い。このため、ガリ
ウムは常温でも液状を保ちやすく、容易に気化しない性
質をもつ。したがって、ガリウムにより形成された被膜
（５ａ）は、シールド板（５）の表面を常温で湿潤状態
にし、この湿潤状態を長時間保つ。軸受内部で発生した
パーティクルは、液化したガリウムの表面張力によって
シールド板（５）の軸受内部側面に付着する。
の転がり軸受は、内輪（１）、外輪（２）、内・外輪（
１）（２）間に介在する複数の転動体（３）、転動体（
３）を円周等間隔に保持するための保持器（４）、およ
び両端部側に配置されたシールド板（５）を有する。転
動体（３）の表面および内・外輪（１）（２）の転走面
には、固体潤滑剤例えば銀（Ａｇ）をイオンブレーティ
ングにより付着させた固体潤滑被膜（ｌａ） （２ａ
） 、および（３ａ）が形成されている。尚、この被膜
は、転動体（３）の表面にのみ、あるいは、内・外輪（
１）（２）の転走面にのみ形成したものであってもよい
。シールド板（５）の軸受内部側面には付着性を有する
被膜（５ａ）が形成されている。この被膜（５ａ）の形
成材料としては、低融点かつ低蒸気圧（高沸点）を有す
る金属、例えばガリウム（Ｇａ） 、インジウム（Ｉｎ
）等が考えられる。ガリウム（Ｇａ）を例にとると、ガ
リウムは、融点が２９．７８０±０．００５”Ｃと低く
、沸点が２３００±１５０°Ｃと高い。このため、ガリ
ウムは常温でも液状を保ちやすく、容易に気化しない性
質をもつ。したがって、ガリウムにより形成された被膜
（５ａ）は、シールド板（５）の表面を常温で湿潤状態
にし、この湿潤状態を長時間保つ。軸受内部で発生した
パーティクルは、液化したガリウムの表面張力によって
シールド板（５）の軸受内部側面に付着する。
また、ガリウムは容易に気化しないので、気化粒子によ
って周囲環境を汚染する恐れがない。
って周囲環境を汚染する恐れがない。
あるいは、被膜（５ａ）の形成材料として粘着性を有す
る樹脂材料等も考えられる。
る樹脂材料等も考えられる。
尚、第１図には深溝玉軸受を例示したが、本発明は広く
、ころがり軸受一般に適合する。
、ころがり軸受一般に適合する。
本発明によれば、軸受内部で発生したパーティクルが、
シールド板によって軸受外部への飛散を抑制されるため
、周囲環境を汚染することがない。
シールド板によって軸受外部への飛散を抑制されるため
、周囲環境を汚染することがない。
また、シールド板の少なくとも軸受内部側面に付着性を
有する被膜を形成することにより、パーティクルの飛散
抑制効果が一層向上する。
有する被膜を形成することにより、パーティクルの飛散
抑制効果が一層向上する。
第１図は、本発明に係る固体潤滑転がり軸受を示す断面
図である。 １−内輪 １ａ：固体潤滑被膜 ２−外輪 ２ａ：固体潤滑被膜 ３−転動体 ３ａ：固体潤滑被膜 ４−保持器 ５− シールド板 ５ａ：被膜
図である。 １−内輪 １ａ：固体潤滑被膜 ２−外輪 ２ａ：固体潤滑被膜 ３−転動体 ３ａ：固体潤滑被膜 ４−保持器 ５− シールド板 ５ａ：被膜
Claims (1)
- （１）軸受構成部品の転動接触面に固体潤滑被膜を形成
した固体潤滑転がり軸受であって、軸受の両端部側にシ
ールド板を配置すると共に、 該シールド板の少なくとも軸受内部側面に付着性を有す
る被膜を形成したことを特徴とする固体潤滑転がり軸受
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2169510A JPH0460216A (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | 固体潤滑転がり軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2169510A JPH0460216A (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | 固体潤滑転がり軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0460216A true JPH0460216A (ja) | 1992-02-26 |
Family
ID=15887852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2169510A Pending JPH0460216A (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | 固体潤滑転がり軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0460216A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0550151U (ja) * | 1991-12-12 | 1993-07-02 | 光洋精工株式会社 | 転がり軸受 |
| US5401106A (en) * | 1992-02-17 | 1995-03-28 | Kabushiki Kaisha Daikin Seisakusho | Bearing assembly with inner race bearing support means |
-
1990
- 1990-06-26 JP JP2169510A patent/JPH0460216A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0550151U (ja) * | 1991-12-12 | 1993-07-02 | 光洋精工株式会社 | 転がり軸受 |
| US5401106A (en) * | 1992-02-17 | 1995-03-28 | Kabushiki Kaisha Daikin Seisakusho | Bearing assembly with inner race bearing support means |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB2250549A (en) | Roller bearing surfaces with low molecular weight PTFE layer | |
| JP4227897B2 (ja) | セラミック製転がり要素及び鋼製内輪又は外輪を有する転がり軸受 | |
| JPH0460216A (ja) | 固体潤滑転がり軸受 | |
| JP3121701B2 (ja) | 半導体製造設備用転がり軸受 | |
| JPH06193637A (ja) | 転がり軸受 | |
| JPH0893774A (ja) | 固体潤滑転がり軸受 | |
| JP2007162774A (ja) | 密封軸受 | |
| JP3006635B2 (ja) | 固体潤滑転がり軸受 | |
| JPS58174718A (ja) | ころがり軸受 | |
| JPH07145820A (ja) | 真空機器用転がり軸受 | |
| JPS6155410A (ja) | 固体潤滑軸受 | |
| JP2503966Y2 (ja) | 転がり軸受 | |
| JP2531867B2 (ja) | 半導体製造設備用転がり軸受 | |
| JPH1030643A (ja) | 転がり軸受の玉への固体潤滑膜形成方法 | |
| JPH0874862A (ja) | 固体潤滑軸受 | |
| JPH0650343A (ja) | 固体潤滑転がり軸受 | |
| JP2003343579A (ja) | 転動装置 | |
| JP3006631B2 (ja) | 半導体製造設備用転がり軸受 | |
| JPH05106638A (ja) | 転がり軸受における固体潤滑皮膜の形成方法 | |
| JP2000065075A (ja) | 転がり軸受 | |
| JP3065725B2 (ja) | 半導体製造設備用ボールねじ | |
| JPH0835525A (ja) | 総玉軸受の密封構造 | |
| JPH11236922A (ja) | 玉軸受 | |
| JP2022127353A (ja) | スラスト玉軸受 | |
| JPS6319418A (ja) | 超高真空用クロスロ−ラベアリング |