JPH0458203A - 光導波路部品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は光導波路部品に関し、更に詳しくは、光導波路
からの漏れ光による悪影響を解消した光導波路部品に関
する。

（従来の技術） 光導波路部品には、例えば、第６図の平面図で示したよ
うに、互いに並行する光導波路Ａ、　Ｂが、それぞれ、
所定の曲率で湾曲して形成された部品がある。

（発明が解決しようとする課題） 第６図に示した部品において、例えば光導波路Ａの一端
に光ｐを入射すると、この光９１図の点線で囲った部分
である湾曲部ＣＡを伝搬して光導波路Ａの他端から出射
していく。このとき、湾曲部ＣＡにおいて、光の一部は
、例えば、ｌ）　Ｉ＋　ｐ！＋ｐ３で示したように、湾
曲部ＣＡの外方に漏れ出てい（。

また、光導波路Ｂに入射した光は、同じく光導波路Ｂの
湾曲部で、その一部がＩ）　ｌ＋　　１）’ｔ＋　　ｐ
’ｓで示したように、外方に漏れ出ていく。

このように、光導波路の外方に漏れ出た一部の光は、部
品内を迷走し、例えばｐ’＋、　Ｉ）“ｔ＋ｐ’ｓのよ
うに、光導波路Ｂの外方に隣接して位置する光導波路Ａ
を伝搬する光と結合したり、または、自らが漏れ出てき
た先導波路に再結合したりする。

このような事態が起こると、クロストークが悪くなるな
どの不都合な問題が発生して、光導波路部品としての特
性の低下を招（。

本発明は、上記したような問題、すなわち、光導波路の
湾曲部でその外方に漏れ出た光による悪影響を解消した
光導波路部品の提供を目的とする。

（課題を解決するための手段） 上記した目的を達成するために、本発明においては、湾
曲部を有する光導波路の前記湾曲部の外方に、光減衰部
または光散乱部が形成されていることを特徴とする光導
波路部品が提供される。

（作用） 本発明は先導波路部品の場合、先導波路の湾曲部から漏
れ出た光は、その湾曲部の外方に隣接して形成されてい
る光減衰部または光散乱部に到達し、そこで強制的に減
衰または散乱せしめられる。

そのため、他の光導波路内の光との結合や、自らが漏れ
ａできた光導波路内の光との再結合は起こらなくなる。

（発明の実施例） 実施例１ 第１図の平面図、および、第１図の■−■線に沿う断面
図である第２図で示した光導波路部品を、半導体材料で
製造した。

すなわち、ＧａＡｓ基板１１の上に、厚み３μｍのＡ　
Ｒｏ、　＋Ｇａｏ、　＊Ａｓから成る下部クラッド層１
２．厚み１ｔ１ｍのＧａＡｓから成るコア層１３を順次
積層し、このコア層１３の上に、更に、Ａ　Ｒｏ、　＋
Ｇａ＠、　ｓＡＳを用いて、厚み０．３μｍの上部クラ
ッド層１４ｂと光導波路形状で高さ０．７μｍのリッジ
部１４ａを形成した。

リッジ部１４ａの平面形状は、第１図で示したように、
その途中が湾曲していて、コア層１３におけるこのリッ
ジ部の下部が光導波路として機能する。

湾曲部１４ｃの外方の隣接した上部クラ・ソド層１４ｂ
の上には、その−側がリッジ部１４ａの側縁に沿うよう
にして光減衰部１５が形成されている。

この光減衰部１５は、漏れ出た光を吸収できるような材
料、例えば金属を、図示した個所に蒸着法で層状に装荷
して形成することができる。

この部品においては、光導波路を伝搬してきた光が湾曲
部１４ｃで外方に漏れ出ても、その光はただちに光減衰
部１５で吸収されて減衰し、部品内を迷走することがな
くなる。

実施例２ 第３図と第３図のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である第４
図は、第１図と第２図における光減衰部を光散乱部１６
に代えた場合の実施例である。

この光散乱部１６は、上部クラッド層１４ｂの表面にエ
ツチング処理を施して形成した凹凸パターンである。

この凹凸パターンとしては、光を散乱できる形態であれ
ばどのようなパターンであってもよく、例えば、凹凸が
ランダムに分布するランダムパターンや回折格子のパタ
ーンをあげることができる。

この部品においても、光導波路を伝搬してきた光が湾曲
部１４ｃで外方に漏れ出ても、その光はただちに光散乱
部１６で散乱して減衰し、部品内を迷走することがなく
なる。

実施例３ 第５図は、並行する２本の光導波路１４，１４゜のそれ
ぞれの外方に、光減衰部１５または光散乱部１６を形成
した実施例を示す。

この場合、内側に配線されている光導波路１４゛から漏
れ出た光は、その外方であって他の光導波路１４の内側
に形成されている光減衰部または光散乱部で消失するの
で、他の光導波路１４内を伝搬する光と結合することは
なくなる。

（発明の効果） 以上の説明で明らかなように、本発明の光導波路部品は
、湾曲部を有する光導波路の前記湾曲部の外方に、光減
衰部または光散乱部が形成されているので、この湾曲部
から漏れ出た光は、光減衰部または光散乱部で消滅して
、部品内を迷走しなくなり、その結果、他の先導波路内
を伝搬する光との結合や、自らが漏れ出てきた光導波路
内を伝搬する光との再結合が防止され、光導波路部品の
特性低下はなくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す平面図、第２図は第１図
の■−■線に沿う断面図、第３図は他の実施例を示す平
面図、第４図は第３ＦＩＡのＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図
、第５図は更に別の実施例を示す平面図、第６図は光導
波路の湾曲部における光の漏れを示す平面図である。 １１・・・基板、１２・・・下部クラッド層、１３・・
・コア層、１４．１４’　・・・光導波路、１４ａ川Ｉ
Ｊッジ部、１４ｂ・・・上部クラッド層、１５・・・光
減衰部、１６・・・光散乱部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 湾曲部を有する光導波路の前記湾曲部の外方に、光減衰
   部または光散乱部が形成されていることを特徴とする光
   導波路部品。