JPH09178968A - 光モードフィルタ - Google Patents

光モードフィルタ

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Publication number
JPH09178968A
JPH09178968A JP8255087A JP25508796A JPH09178968A JP H09178968 A JPH09178968 A JP H09178968A JP 8255087 A JP8255087 A JP 8255087A JP 25508796 A JP25508796 A JP 25508796A JP H09178968 A JPH09178968 A JP H09178968A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
buffer layer
substrate
buffer
waveguide core
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8255087A
Other languages
English (en)
Inventor
Peter Kersten
ペーター・ケルステン
Johannes Koppenborg
ヨハネス・コッペンボルク
Jaakko Dr Aarnio
ヤーコ・アールニオ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alcatel Lucent NV
Original Assignee
Alcatel NV
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/14—Mode converters

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、簡単な方法で製作できる光モード
フィルタ集積光導波体構造を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 平板状の基体１と、この基体１上に設け
られたバッファ層２と、このバッファ層２中に配置され
ている導波体コア３とを具備し、少なくとも導波体コア
の１側面上に、トレンチ状の凹部５がバッファ層２中に
配置され、この凹部５は光吸収性の材料またはバッファ
の屈折率より高い屈折率の材料４で充填され、バッファ
層２の表面は同じ材料の層で被覆されていることを特徴
とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は集積された光導波体
中の不所望なモードの伝播を阻止する装置に関し、それ
においてはモードを伝播する媒体近辺に、モードを伝播
する媒体の屈折率以上の屈折率を有する放射吸収層が配
置されている。
【０００２】
【従来の技術】集積された光導波体では、放射を吸収
し、その屈折率が光伝播層の屈折率よりも僅かに大きい
中間層が基体と光伝播層との間に配置されるならば、不
所望なモードの伝播は確実に防止されることが知られて
いる（独国特許第A 35 14 413 号明細書参照）。単一モ
ード動作に望ましくないモードは吸収層を通るとき非常
に減衰される。
【０００３】モードを伝播しこれらを吸収する媒体から
の干渉モードの結合を解除する役目を行う吸収部材が知
られている（独国特許第C 26 57 595 号明細書参照）。
光吸収部材はモードを伝播する媒体上に配置され、モー
ドを伝播する材料の屈折率以上の屈折率である光吸収性
材料を具備している。
【０００４】鉄、銅、コバルトイオンが埋設されている
光吸収材料が知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、簡単
な方法で実現されることができる光モードフィルタ集積
光導波体の構造を開示することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的は本発明の装置
により達成される。本発明は、モードを伝播する媒体近
辺で、モードを伝播する媒体の屈折率以上の屈折率を有
する放射吸収層が配置されている集積光導波体の不所望
なモードの伝播を阻止する装置において、 ａ）平板状の基体と、 ｂ）この基体上に設けられたバッファ層と、 ｃ）このバッファ層中に配置されている導波体コアとを
具備し、 ｄ）少なくとも導波体コアの１側面上に、トレンチ状の
凹部がバッファ層中に配置され、 ｅ）前記凹部は光吸収性の材料またはバッファの屈折率
より高い屈折率の材料で充填され、バッファ層の表面は
同じ材料の層で被覆されていることを特徴とする。
【０００７】この目的を実現するさらに別の方法は請求
項２乃至４で示されている。これらを図１乃至４を参照
にして以下説明する。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１のａおよびｂに示されるよう
に、ここで示されているモードフィルタの実施例は例え
ばシリコンの基体１上に組立てられている。基体１の表
面には例えば二酸化シリコンのバッファ層２が設けられ
ており、そこに光導波体コア３が埋設されている。その
上にポリマーの被覆層４が配置されており、これは光導
波体コアの両側面に配置されている凹部５を充填してい
る。凹部５はバッファ層２のエッチングにより形成さ
れ、約３×５ｍｍの寸法である。
【０００９】光導波体コア３は例えば屈折率１．４４６
１を有する二酸化シリコン等の材料を具備し、バッファ
層２の屈折率は１．４４２１であり、被覆層４の屈折率
は例えば１．５であり、１３００ｎｍの動作波長のより
高いモードに対するダンピングは１センチメートル当り
約２ｄＢである。
【００１０】図２で示されているモードフィルタの実施
例は同様に基体１を有し、その上には下部バッファ層２
と、コア層６と、上部バッファ層７が配置されている。
光導波体コアの製造において、コア層６の一部が除去さ
れ、残りのコア層６は保存されている。より高いモード
がコア層６の残り部分によって強くダンピングされる。
【００１１】図３と４では、垂直モードフィルタの実施
形態が示されている。図３の実施例では、下部バッファ
２と、コア層６と、上部バッファ層７と、被覆層４とが
基体１上に配置されている。モードフィルタの中間部分
で、上部バッファ層７には薄い部分９が設けられてお
り、それによって層において図１のａとｂの実施形態を
伴って前述した屈折率の材料が使用されるならば、この
部分は高いモードのフィルタとして作用する。
【００１２】図４の実施形態は基体１がランド部８を有
することによって中間部分の下部バッファ層２がより薄
くなっている点で、図３の実施形態と異なっている。従
ってこの実施形態では、この部分はより高いモードのフ
ィルタとして作用する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例のモードフィルタの垂直およ
び水平断面図。
【図２】モードフィルタの別の実施例の図１のａと同様
の断面図。
【図３】モードフィルタのさらに別の実施例の断面図。
【図４】モードフィルタのさらに別の実施例の断面図。
フロントページの続き (72)発明者 ヨハネス・コッペンボルク ドイツ連邦共和国、74372 ゼルスハイム、 ヤーンシュトラーセ 15／２ (72)発明者 ヤーコ・アールニオ フィンランド国、エフアイエヌ − 02130 エスポー、ケイユニーティント ５エー６

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 モードを伝播する媒体近辺で、モードを
    伝播する媒体の屈折率以上の屈折率を有する放射吸収層
    が配置されている集積光導波体の不所望なモードの伝播
    を阻止する装置において、 ａ）平板状の基体と、 ｂ）この基体上に設けられたバッファ層と、 ｃ）このバッファ層中に配置されている導波体コアとを
    具備し、 ｄ）少なくとも導波体コアの１側面上に、トレンチ状の
    凹部がバッファ層中に配置され、 ｅ）前記凹部は光吸収性の材料またはバッファの屈折率
    より高い屈折率の材料で充填され、バッファ層の表面は
    同じ材料の層で被覆されていることを特徴とする装置。
  2. 【請求項２】 ａ）平板状の基体と、 ｂ）この基体上に設けられたバッファ層と、 ｃ）バッファ層内に配置されている正方形の断面のロッ
    ドより構成されている導波体コアと、 ｄ）ロッド状の導波体コアの両側に配置されているコア
    材料の板状領域とを具備している請求項１記載の装置。
  3. 【請求項３】 ａ）平板状の基体と、 ｂ）この基体上に配置されている上部および下部バッフ
    ァ層と、 ｃ）それらのバッファ層の間のほぼ通常平板状の導波体
    コア層と、 ｄ）前記バッファ層よりも高い屈折率を有する上部バッ
    ファ層を被覆する層とを具備し、 ｅ）前記上部バッファ層には薄くされた部分が設けられ
    ている請求項１記載の装置。
  4. 【請求項４】 ａ）ランド部状の隆起部分を有する平板
    状の基体と、 ｂ）この基体上に配置されている上部および下部バッフ
    ァ層と、 ｃ）それらのバッファ層の間のほぼ平板状の導波体コア
    層とを具備している請求項１記載の装置。
JP8255087A 1995-09-26 1996-09-26 光モードフィルタ Pending JPH09178968A (ja)

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DE19535685A DE19535685A1 (de) 1995-09-26 1995-09-26 Optischer Modenfilter
DE19535685.3 1995-09-26

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JPH09178968A true JPH09178968A (ja) 1997-07-11

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ID=7773161

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JP8255087A Pending JPH09178968A (ja) 1995-09-26 1996-09-26 光モードフィルタ

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US (1) US5745614A (ja)
EP (1) EP0766105A1 (ja)
JP (1) JPH09178968A (ja)
CA (1) CA2186522A1 (ja)
DE (1) DE19535685A1 (ja)

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US5745614A (en) 1998-04-28
CA2186522A1 (en) 1997-03-27
EP0766105A1 (de) 1997-04-02
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Effective date: 20040629