JPH09506720A

JPH09506720A - 陽子交換導波路デバイスの偏光消光比を改善するための空間フィルタ

Info

Publication number: JPH09506720A
Application number: JP8501203A
Authority: JP
Inventors: ハン，ヘンリー・エイチ; リュー，レン−ヤング
Original assignee: ハネウエル・インコーポレーテッド
Priority date: 1994-06-02
Filing date: 1995-06-02
Publication date: 1997-06-30
Anticipated expiration: 2013-04-08
Also published as: CA2188048A1; WO1995034010A1; EP0763212B1; JP2737030B2; EP0763212A1; DE69501404D1; DE69501404T2; US5475772A

Abstract

(57)【要約】ガイドされない放射のクロスカップリングを低減させる位置に配置された空間フィルタを有する陽子交換偏光子。ＬｉＮｂＯ₃またはＬｉＴａＯ₃で形成された光伝送性基板を使用する。該基板は、ガイドされないＴＭモード光が基板の出力端に到達するのを阻止するよう基板の底面上の一次反射点に配置された空間フィルタを有する。該空間フィルタは、基板表面のソー切削、ダイヤモンド機械加工、エッチング、ミクロ機械加工、レーザ機械加工または表面傷形成あるいはこれらを組み合わせた加工のような物理的方法または化学的方法によって形成される。ガイドされないＴＭモード光は、透過領域の遮断または遮光によって減衰させられる。

Description

【発明の詳細な説明】陽子交換導波路デバイスの偏光率を改善するための空間フィルタ本発明は、陽子交換偏光子に関し、特に空間フィルタを用いて反射光を遮断するための陽子交換偏光子に関する。発明の背景陽子交換（ＰＥ）法を用いて作られた光導波路には、独特の性質がいくつかある。陽子交換のプロセスは、異常光軸だけでしか屈折率を増加させず、そのために１つの偏光状態しかガイドしない。他の偏光状態はガイドされず、最終的には除去される。このような性質があるため、陽子交換導波路デバイスは必然的に非常に高性能の偏光子（６０ｄＢ以上）として用いられることになる。さらに、この性質のため、陽子交換導波路デバイスは、光ファイバジャイロ（ＦＯＧ）の製造に使用される多機能チップ用として、非常に魅力的な存在になっている。発明の概要本発明は、不必要なモードの光のクロスカップリングを一体化された空間フィルタによって減少させる陽子交換偏光子を提供するものである。本発明の空間フィルタにおいては、ＬｉＮｂＯ₃またはＬｉＴａＯ₃で形成された基板のような光透過性基板が、ガイドしないＴＭモードの光を反射する底面を有する。光は入力ファイバから発する。入力ファイバは、基板の一端に接続されており、基板の他端には、ガイドされたＴＥモードの光を受け取る出力ファイバが接続されている。基板の底面は、ガイドされないＴＭモード光を出力ファイバに結合する。この結合は、光ファイバジャイロのような各種の偏光子の用途においては好ましくない。基板の消光比は、空間フィルタを組み込むことによって改善することができる。空間フィルタは、偏光子の底面に関して光の一次反射位置に置く。他の実施形態においては、消光比をさらに改善するために、空間フィルタを二次反射点に設けることも可能である。空間フィルタは、ソー切削、エッチング、ダイヤモンド機械加工、ミクロ機械加工、あるいはレーザ機械加工のような物理的方法または化学的方法によってバリアができているかどうかにより、基板の内部またはまたは底面に配置する。空間フィルタは、ガイドされないＴＭモードの光の伝播を阻止するよう作用する。本発明のその他の目的、特徴及び長所については、当業者であれば実施形態の説明、特許請求の範囲及び添付図面より明らかになると考えられ、添付図面中同じ参照符号は土曜の構成要素・部分を指示する。図面の簡単な説明以下、本発明を図面に示す一実施形態により例示説明する。図１Ａは、陽子交換偏光子の概略側面図で、クロストークの仕組みが示されている。図１Ｂは、陽子交換偏光子の概略上面図で、クロストークの仕組みが示されている。図２は、本発明の方法を用いることによって偏光消光比が改善されることを示すグラフである。図３は、本発明の一体化された空間フィルタにおける陽子交換偏光子クロスカップリング除去方法及び装置を示す概略図である。図４Ａは、ガイドされないＴＭモードの一次反射を示す概略図である。図４Ｂは、ガイドされないＴＭモードの二次反射を示す概略図である。図５Ａは、ダイシングソーで基板底面にスロットを切ることによって得られる空間フィルタを示す斜視図である。図５Ｂは、ダイシングソーを用いて得られる空間フィルタの側面図である。図６Ａは、ミクロ機械加工またはダイヤモンド研削によって基板底面に穴を設けることにより得られる空間フィルタの斜視図である。図６Ｂは、ダイヤモンド研削またはミクロ機械加工によって得られる空間フィルタを示す側面図である。図７Ａは、溝を有する基板の概略底面図である。図７Ｂは、ミクロ機械加工またはエッチングで形成された溝を有する基板の斜視図である。図８は、ガイドされないＴＭ光を反射防止層に吸収するために用いられる基板底面上の反射防止コーティングを示す斜視図である。発明の実施形態の詳細な説明まず、クロストークのある陽子交換偏光子の概略図を示す図１Ａを参照して説明する。陽子交換偏光子１０は、ＬｉＮｂＯ₃またはＬｉＴａＯ₃材の光透過性基板１６よりなる。陽子交換偏光子１０は、さらに、光ファイバ１２用の入力カップリングであるガラスフェルール２０及び出力ファイバに接続されたガラスフェルール２２を有する。光ファイバ１２は、ＴＥモード２４及びＴＭモード２６を共に含む光を受け取る。ＴＥモード２４は光波の電気成分からなり、ＴＭモード２６は光波の磁気成分からなる。ＴＥモード光３４は、大部分が陽子交換導波路１８によって光透過性基板１６中をガイドされる。光が光ファイバ１２から出る時には、ＴＭモード２６はガイドされないＴＭモード３０になる。ＴＥモード２４は、陽子交換導波路導波によってガイドされたＴＥモード光３２になる。ガイドされないＴＭモード光３０は、光透過性基板１６中を伝播する。偏光子中で反射するガイドされないＴＭモード光の一部は外に逃げる。反射角２８は、各特定実施形態の寸法、特にガラスフェルール２０とガラスフェルール２２との間の距離によって決まる。ＴＭモード、すなわちガイドされない光は、破線で示すように、基板１６の底面１７で反射し、光ファイバ１４を通って基板の外に出る。この反射されたガイドされないＴＭモード光３６は、光ファイバジャイロのような様々な用途において望ましくない。陽子交換導波路デバイスの開発中に、一部の装置は、予期したような非常に高い消光比（６０ｄＢ以上）を持たないということが分かった。また、偏光子の消光比は装置の長さと共に小さくなるということも明らかになった。いろいろな装置について研究した結果、クロストークの仕組みは、導波路１８によってガイドされずにウェーハ１６の底面１７で反射されるＴＭ光３０にあるという結論が得られた。反射ＴＭ光３６を、次に出力ファイバ１４によって集光した。偏光子の長さが大きいほど、反射角が小さくなって、この集光量が増大すると考えられた。この理論を確認するために、長さの異なるいくつかの偏光子について測定を行った。次に、図２を参照すると、この図には、本発明の陽子交換偏光子における消光比の改善効果をプロットしたグラフが示されている。一実施形態においては、消光比は４０ｄＢから５７ｄＢに改善された。次に、図３を参照する。この図には、一体化された空間フィルタ３４を基板１６ａに配置した陽子交換偏光子１１が示されている。基板１６ａは、図１に示すのと同様に、光ファイバ１２とフェルール２０で接続され、光ファイバ１４とフェルール２２で接続されている。基板１６ａは、陽子交換導波路１８が組み込まれている。ガイドされないＴＭモード光３０は、図１の場合同様に、光透過性の基板１６ａ中を伝播するが、基板１６ａに組み込まれた空間フィルタ３４によって阻止される。空間フィルタ３４は、光波の伝播を阻止することによって、反射光が出力ファイバ１４に入る光に再度結合されるのを防ぐ。このバリア、すなわち空間フィルタ３４は、たとえば空間フィルタ３４を基板１６ａ中に物理的に堆積させるなど、いくつかのプロセスにより好適な方法で形成することができる。基板１６ａは、ソー切削よってガイドされないＴＭモード光３０の伝播を妨げる溝を形成してもよい。また、底面は、ダイヤモンド研削、エッチング、ミクロ機械加工あるいはレーザ機械加工等の加工を行うことができる。あるいは、表面を単にスクラッチ加工または同様の加工によって傷を形成するだけで、ガイドされないＴＭモード光３０の伝播路に空間フィルタを設けることも可能である。このように、反射ＴＭモード光３０は、基板１６ａの底面１７に空間フィルタ３４を形成することによって実質的に取り除くことができる。空間フィルタ３４すなわちバリアを基板１６ａ中に組み込むと、反射ＴＭモード光３０はほぼ全て遮断される。しかしながら、反射が起こり得る経路は多数ある。高性能を達成するためには、一次反射及び二次反射をほぼ完全に除去しなければならない。実験的には、一次及び二次反射を十分に取り除くためには、等間隔で配置した３つの空間フィルタが必要なことが分かっている。次に、ガイドされないＴＭモード光の一次反射及び二次反射を示す図４を参照して説明する。ガイドされないＴＭモード光３６ａは、光ファイバケーブル１２から光透過性基板１６を通って光ファイバケーブル１４へ一次反射される。ガイドされないＴＭモード光３６ｂは、光ファイバケーブル１２から基板１６を通って基板の上面及び底面で何回も反射を繰り返した後光ファイバケーブル１４へ伝送される。当業者ならば、一次反射及び二次反射を共に減衰させるには、空間フィルタを一次反射位置にも二次反射位置にも設けなければならないということは理解できよう。次に、図５を参照して、ダイシングソーによって形成される空間フィルタを具備した本発明の装置について説明する。図５は、３８ａ、３８ｂ及び３８ｃの３つのスロットを有する基板１６の斜視図である。スロット３８ａ及び３８ｃは二次反射を減衰させるために用いられ、３８ｂは、一次反射を除去するためのスロットである。基板１６の底面には、図示のように、全長を横切る方向に溝が切られている。側面図には、一次反射光路３６ａ及び二次反射光路３６ｂと共に、基板１６の底面に切られていて、一次反射及び二次反射を減衰させるスロット３８ａ、３８ｂ及び３８ｃが示されている。図６は、ダイヤモンドソーまたはその他の機械研削法を用いて基板１６にほぼ円形の穴を設ける本発明のもう一つの実施形態を示す。穴４０ａ、４０ｂ、及び４０ｃは、ダイシングソーで溝を形成した図５の場合と同様に、一次及び二次反射位置に設けられる。穴４０ａ及び４０は、二次反射３６ｂを減衰させる。穴４０ｂは、一次反射３６ａを減衰させる。以上、空間フィルタを実装するためのいくつかの技術を開示し、説明した。ダイシングソーでは、装置の裏面にスロットを切って、空間フィルタを形成する。この方法は、長さ１．９インチの縦長の装置で使用した場合、偏光消光比が１７ｄＢ以上大きくなった。次に、図７ａを参照して説明する。図７ａには、基板７６にマイクロエッチングされた溝４２が示されている。これらのマイクロエッチングされた溝は、基板７６の裏面７８に、入射光ビームに対して実質的に約４５度の角度で形成されている。このようにして、反射光は、矢印８０で示すように、入射ビームに対して約９０度の角度の方向にはねつけられる。図８は、基板８６の底面から反射が起こらないように基板８６の底面に反射防止吸光層を設けた本発明のもう一つの実施形態を示す。実験結果によると、スロット式空間フィルタを適切な位置に設けた場合、反射して出力側に結合されるＴＭモード光が０．０１％から０．０００５％以下に低減されるということが実証されている。同時に、空間フィルタを有する偏光子の偏光消光比は、１７ｄＢ以上増加した。本発明のこの方法によれば、偏光子の性能が最小限のコスト及び極めて簡単な構造によって大きく改善される。以上、本発明を、特許法令の規定に合致するように、また当業者が本発明の新規な原理を応用し、必要に応じて本発明の独特の構成要素を作製し、使用するのに必要な情報を提供するよう相当程度詳細に説明した。しかしながら、本発明は、具体的に異なる装置及び手段によって実施することができ、装置の詳細についても使用要領についても、本発明の範囲を逸脱することなく、様々な順修正態様を実施することができるものとする。

【手続補正書】特許法第１８４条の８【提出日】１９９６年５月３１日【補正内容】補正明細書陽子交換導波路デバイスの偏光消光比を改善するための空間フィルタ本発明は、陽子交換偏光子に関し、特に空間フィルタを用いて反射光を遮断するための陽子交換偏光子に関する。発明の背景陽子交換（ＰＥ）法を用いて作られた光導波路には、独特の性質がいくつかある。陽子交換のプロセスは、異常光軸だけでしか屈折率を増加させず、そのために１つの偏光状態しかガイドしない。他の偏光状態はガイドされず、最終的には除去される。このような性質があるため、陽子交換導波路デバイスは必然的に非常に高性能の偏光子（６０ｄＢ以上）として用いられることになる。さらに、この性質のため、陽子交換導波路デバイスは、光ファイバジャイロ（ＦＯＧ）の製造に使用される多機能チップ用として、非常に魅力的な存在になっている。英国特許出願第ＧＢ２２２３８６０Ａ号には、Ｙジャンクション及び迷走放射を捕捉し、吸収するための機構を有する集積光導波路が記載されている。また、迷走放射を導波路の光回路に再結合し、変調し、復調して、検出回路から迷走放射によって生じた誤差成分を除去するための機構も記載されている。オプティクスレターズ（ＯｐｔｉｃｓＬｅｔｔｅｒｓ）Ｖｏｌ．１３，Ｎｏ．２収載の「陽子交換法によりＬｉＮｂＯ₃中に形成した低損失高消光比偏光子（Ｌｏｗ−ｌｏｓｓｈｉｇｈ−ｅｘｔｉｎｃｔｉｏｎｐｏｌａｒｉｚｅｒｆａｂｒｉｃａｔｅｄｉｎＬｉＮｂＯ₃ ｂｙｐｒｏｔｏｎｅｘｃｈａｎｇｅ）」という名称の論文には、陽子交換法と共にチタン注入拡散法を用いて形成された偏光子の特性が記載されている。発明の概要本発明は、不必要なモードの光のクロスカップリングを一体化された空間フィルタによって減少させる陽子交換偏光子を提供するものである。本発明の空間フィルタにおいては、ＬｉＮｂＯ₃またはＬｉＴａＯ₃で形成された基板のような光透過性基板が、ガイドされないのＴＭモードの光を反射する底面を有する。光は入力ファイバから発する。入力ファイバは、基板の一端に接続されており、基板の他端には、ガイドされたＴＥモードの光を受け取る出力ファイバが接続されている。基板の底面は、ガイドされないのＴＭモード光を出力ファイバに結合する。この結合は、光ファイバジャイロのような各種の偏光子の用途においては好ましくない。基板の消光比は、空間フィルタを組み込むことによって改善することができる。空間フィルタは、偏光子の底面に関して光の一次反射位置に置く。他の実施形態においては、消光比をさらに改善するため（平、空間フィルタを二次反射点に設けることも可能である。空間フィルタは、ソー切削、エッチング、ダイヤモンド機械加工、ミクロ機械加工、あるいはレーザ機械加工のような物理的方法または化学的方法によってバリアができているかどうかにより、基板の内部またはまたは底面に配置する。空間フィルタは、ガイドされないＴＭモードの光の伝播を阻止するよう作用する。補正請求の範囲１．第１の表面、及びその第１の表面とほぼ平行な第２の表面（１７）を有する光透過性基板（１６）と；一つの偏光状態のみをガイドするよう屈折率を高めた異常光軸を有し、かつ第１の端部に入力カップリング、第２の端部に出力カップリングをそれぞれ有して、前記光透過性基板（１６）の第１の表面に形成された陽子交換導波路（１８）と；を具備した陽子交換偏光子において：前記第２の表面に形成され、前記陽子交換導波路（１８）の第１の端部と第２の端部とを結ぶ方向に対して約４５度の角度の方向を有する微小溝のアレイ（４２）よりなる空間フィルタを具備し；前記入力カップリングに入る光がＴＥモードとＴＭモードを有し，そのＴＥモードを有する光が実質的に陽子交換導波路によってガイドされ；そのＴＭモードを有する光が実質的にガイドされない状態になり；ＴＭモードを有する光の一部が光透過性基板（１６）中を伝播し、光透過性基板（１６）の第２の表面（１７）上の微小溝のアレイに当たるＴＭモードを有する光のほとんどの部分は、光透過性基板（１６）の第２の表面（１７）に当たるＴＭモードを持つ光のほとんどの部分の方向に対して約９０度偏向される；ことを特徴とする陽子交換偏光子（１０）。２．ＬｉＮｂＯ₃材よりなる請求項１記載の陽子交換偏光子（１０）。３．ＬｉＴａＯ₃材よりなる請求項１記載の陽子交換偏光子（１０）。４．第１の表面、及びその第１の表面とほぼ平行な第２の表面（１７）を有し、かつ第１の端部及び第２の端部を有する光透過性基板（１６）と；一つの偏光状態のみをガイドするよう屈折率を高めた異常光軸を有し、かつ第１の端部に入力カップリング、第２の端部に出力カップリングをそれぞれ有する前記光透過性基板（１６）の第１の表面に形成された陽子交換導波路（１８）と；を具備した陽子交換偏光子において：前記第２の表面に形成され、各々他の変形部からほぼ等距離に配置された複数の変形部（３４，３８，４０）よりなる空間フィルタを具備し；前記入力カップリングに入る光がＴＥモードとＴＭモードを有し；そのＴＥモードを有する光が実質的に陽子交換導波路によってガイドされ；そのＴＭモードを有する光が実質的にガイドされない状態になり；ＴＭモードを有する光の一部が、光透過性基板中を伝播し、光透過性基板（１６）の第２の表面（１７）上の複数の変形部のいずれかに当たり、ＴＭモードを有する光の部分が減衰させられる；ことを特徴とする陽子交換偏光子（１０）。５．上記複数の変形部が複数のスロット（３８）であり；上記複数の各スロットが、他のスロットからほぼ等距離にあり；複数の各スロットの長手方向が、陽子交換偏光子の異常光軸に対してほぼ直交する；請求項４記載の陽子交換偏光子（１０）。６．上記複数のスロット（３８）が、第１、第２及び第３のスロットよりなり；第２のスロットが、上記光透過性基板（１６）の上記第１及び第２の端部からほぼ等距離にあり；第１のスロットが、第２のスロット及び光透過性基板の第１の端部からほぼ等距離にあり；第３のスロットが、第２のスロット及び光透過性基板の第２の端部からほぼ等距離にある請求項５記載の陽子交換偏光子。７．ＬｉＮｂＯ₃材よりなる請求項６記載の陽子交換偏光子（１０）。８．ＬｉＴａＯ₃材よりなる請求項６記載の陽子交換偏光子（１０）。９．上記複数の変形部が複数の穴（４０）であり；上記複数の各穴が、複数の中の他の穴からほぼ等距離にあり；複数の穴が、陽子交換偏光子の異常光軸にほぼ平行な方向に一列に整列されている；請求項４記載の陽子交換偏光子。１０．上記複数の穴（４０）が、第１、第２及び第３の穴よりなり；第２の穴が、上記光透過性基板（１６）の上記第１及び第２の端部からほぼ等距離にあり；第１の穴が、第２の穴と光透過性基板の第１の端部とからほぼ等距離にあり；第３の穴が、第２の穴と光透過性基板の第２の端部とからほぼ等距離にあり；第１、第２及び第３の穴が、上記入力カップリングから発し、第１、第２及び第３の穴による減衰を受ける上記出力カップリングへ至る光路を有するＴＭモードの光の一次及び二次反射を減衰させるように整列されている；請求項９記載の陽子交換偏光子。１１．ＬｉＮｂＯ₃材よりなる請求項１０記載の陽子交換偏光子。１２．ＬｉＴａＯ₃材よりなる請求項１０記載の陽子交換偏光子。

Claims

【特許請求の範囲】１．第１の表面、及び該第１の表面とほぼ平行な第２の表面を有する光透過性基板と；一つの偏光状態のみを導波するよう屈折率を高めた異常光軸を有し、かつ第１の端部に入力カップリング、第２の端部に出力カップリングをそれぞれ有する該光透過性基板の該第１の表面に形成された陽子交換導波路と；該光透過性基板の該第２の表面に形成された反射防止コーティングと；を具備し、該入力カップリングに入る光がＴＥモードとＴＭモードを有し；該ＴＥモードを有する光が実質的に該陽子交換導波路によってガイドされ；該ＴＭモードを有する光が実質的にガイドされない状態になり；該ＴＭモードを有する光の一部が該光透過性基板中を伝播し、該光透過性基板の該第２の表面に当たる該ＴＭモードを有する光の部分は、そのほとんど全部が該反射防止コーティングがあるために反射されない；陽子交換偏光子。２．ＬｉＮｂＯ₃材よりなる請求項９記載の陽子交換偏光子。３．ＬｉＴａＯ₃材よりなる請求項９記載の陽子交換偏光子。４第１の表面、及び該第１の表面とほぼ平行な第２の表面を有する光透過性基板と；一つの偏光状態のみを導波するよう屈折率を高めた異常光軸を有し、かつ第１の端部に入力カップリング、第２の端部に出力カップリングをそれぞれ有する該光透過性基板の該第１の表面に形成された陽子交換導波路と；該第２の表面に形成された、該陽子交換導波路の該第１の端部と該第２の端部とを結ぶ方向に対して約４５度の角度の方向を有する微小溝のアレイと；を具備し、該入力カップリングに入る光がＴＥモードとＴＭモードを有し；該ＴＥモードを有する光が実質的に該陽子交換導波路によってガイドされ；該ＴＭモードを有する光が実質的にガイドされない状態になり；該ＴＭモードを有する光の一部が該光透過性基板中を伝播し、該光透過性基板の該第２の表面上の該微小溝のアレイに当たる該ＴＭモードを有する光の部分は、該光の部分が該微小溝のアレイに当たる方向に対して約９０度偏向される；陽子交換偏光子。５．ＬｉＮｂＯ₃材よりなる請求項１２記載の陽子交換偏光子。６．ＬｉＴａＯ₃材よりなる請求項１２記載の陽子交換偏光子。７．第１の表面、及び該第１の表面とほぼ平行な第２の表面を有し、かつ第１及び第２の端部を有する光透過性基板と；一つの偏光状態のみを導波するよう屈折率を高めた異常光軸を有し、かつ第１の端部に入力カップリング、第２の端部に出力カップリングをそれぞれ有する該光透過性基板の該第１の表面に形成された陽子交換導波路と；該第２の表面に形成された、各々他の変形部からほぼ等距離に配置された複数の変形部と；を具備し、該入力カップリングに入る光がＴＥモードとＴＭモードを有し；該ＴＥモードを有する光が実質的に該陽子交換導波路によってガイドされ；該ＴＭモードを有する光が実質的にガイドされない状態になり；該ＴＭモードを有する光の一部が該光透過性基板中を伝播し、該光透過性基板の該第２の表面上の該複数の変形部のいずれかに当たる該ＴＭモードを有する光の部分は減衰させられる；陽子交換偏光子。８．上記複数の変形部が複数のスロットであり；上記複数の各スロットが、該複数の他のスロットからほぼ等距離にあり；該複数の各スロットの長手方向が、陽子交換偏光子の異常光軸に対してほぼ直交する；請求項１５記載の陽子交換偏光子。９．上記複数のスロットが、第１、第２及び第３のスロットよりなり；該第２のスロットが、上記光透過性基板の上記第１及び第２の端部からほぼ等距離にあり；該第１のスロットが、該第２のスロット及び該光透過性基板の該第１の端部からほぼ等距離にあり；該第３のスロットが、該第２のスロット及び該光透過性基板の該第２の端部からほぼ等距離にある請求項１６記載の陽子交換偏光子。１０．ＬｉＮｂＯ₃材よりなる請求項１７記載の陽子交換偏光子。１１．ＬｉＴａＯ₃材よりなる請求項１７記載の陽子交換偏光子。１２．上記複数の変形部が複数の穴であり；上記複数の各穴が、該複数の中の他の穴からほぼ等距離にあり；該複数の穴、陽子交換偏光子の異常光軸にほぼ平行な方向に一列に整列されている；請求項１５記載の陽子交換偏光子。１３．上記複数の穴が、第１、第２及び第３の穴よりなり；該第２の穴が、上記光透過性基板の上記第１及び第２の端部からほぼ等距離にあり；該第１の穴が、該第２の穴及び該光透過性基板の該第１の端部からほぼ等距離にあり；該第３の穴が、該第２の穴及び該光透過性基板の該第２の端部からほぼ等距離にあり；該第１、第２及び第３の穴が、上記入力カップリングから発し、該第１、第２及び第３の穴による減衰を受ける上記出力カップリングへ至る光路を有するＴＭモードの光の一次及び二次反射を減衰させるように整列されている；請求項２０記載の陽子交換偏光子。１４．ＬｉＮｂＯ₃材よりなる請求項２１記載の陽子交換偏光子。１５．ＬｉＴａＯ₃材よりなる請求項２１記載の陽子交換偏光子。