JPH0456274B2 - - Google Patents
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- JPH0456274B2 JPH0456274B2 JP58015262A JP1526283A JPH0456274B2 JP H0456274 B2 JPH0456274 B2 JP H0456274B2 JP 58015262 A JP58015262 A JP 58015262A JP 1526283 A JP1526283 A JP 1526283A JP H0456274 B2 JPH0456274 B2 JP H0456274B2
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- solar slit
- ray
- ray detector
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- rays
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- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 claims description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 8
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
- G21K1/02—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators
- G21K1/04—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators using variable diaphragms, shutters, choppers
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
イ 産業上の利用分野
本発明は炭素、硼素、窒素等の軽元素の分析に
適したＸ線分析装置に関する。
適したＸ線分析装置に関する。
ロ 従来技術
炭素とか硼素或は窒素等の超軽元素の原子を励
起したとき発せられるＸ線は波長が長いので分光
結晶を用いる分光法が適用できず、Ｘ線を鏡面
に、その面に平行に近い入射角で入射させ、鏡面
による全反射を利用して短波長のＸ線と分離して
検出する方法が用いられている。この場合エネル
ギーの低い長波長のＸ線を検出するためＸ線検出
回路の増幅度を上げているので試料を励起する放
射線によつて試料から放出される低エネルギーの
光電子等の電子の一部がＸ線検出器に入射してバ
ツクグラウンドノイズとなり、測定のＳ／Ｎ比を
低下させる。このような電子によつて発生するバ
ツクグラウンドノイズを低減させるため、従来全
反射鏡と試料との間に磁石を配置してＸ線検出器
の方へ向う電子線の経路を曲げて光電子等がＸ線
検出器に飛び込むのを防いでいたが、実際上は殆
んど効果が認められず、Ｘ線による超軽元素の高
感度の分析はきわめて困難であつた。以下この点
をもう少し詳しく説明する。
起したとき発せられるＸ線は波長が長いので分光
結晶を用いる分光法が適用できず、Ｘ線を鏡面
に、その面に平行に近い入射角で入射させ、鏡面
による全反射を利用して短波長のＸ線と分離して
検出する方法が用いられている。この場合エネル
ギーの低い長波長のＸ線を検出するためＸ線検出
回路の増幅度を上げているので試料を励起する放
射線によつて試料から放出される低エネルギーの
光電子等の電子の一部がＸ線検出器に入射してバ
ツクグラウンドノイズとなり、測定のＳ／Ｎ比を
低下させる。このような電子によつて発生するバ
ツクグラウンドノイズを低減させるため、従来全
反射鏡と試料との間に磁石を配置してＸ線検出器
の方へ向う電子線の経路を曲げて光電子等がＸ線
検出器に飛び込むのを防いでいたが、実際上は殆
んど効果が認められず、Ｘ線による超軽元素の高
感度の分析はきわめて困難であつた。以下この点
をもう少し詳しく説明する。
第１図は従来の螢光Ｘ線分析装置を示す。１は
励起用の一次Ｘ線源、２は試料で、３が全反射
鏡、４がＸ線検出器で、５はＸ線検出器４の前面
に配置されたソーラスリツトである。Ｘ線検出器
４にはガスフロー比例計数管が用いられている。
試料２は一次Ｘ線の照射を受けて螢光Ｘ線ｘを放
射する。全反射鏡３とＸ線検出器４及び試料２の
位置関係は、試料から出た螢光Ｘ線が例えば炭素
分析の場合約8°の角度で全反射鏡面に入射し、同
じ角度で全反射されたＸ線が検出器４に入射する
ようにしてある。このように全反射鏡３に対して
入、反射両Ｘ線が平行に近いから、Ｘ線検出器４
からはソーラスリツト５を通しても試料２を望む
ことができ試料２から出た光電子のうちＸ線検出
器４の方向へ向うものｅはＸ線検出器４に飛び込
むことが可能でありバツクグラウンドノイズの原
因となる。このため従来は試料２と全発射鏡３と
の間に磁石Ｍを置き、試料からＸ線検出器の方へ
向けて放出された光電子の進路を曲げてＸ線検出
器４に入るのを防ぐようにしていた。しかしこの
場合、試料からＸ線検出器とは異る方向へ放出さ
れた光電子の経路が磁石Ｍの磁場でＸ線検出器の
方へ曲げられる可能性があり、光電子により発生
するバツクグラウンドノイズの除去には殆んど効
果がなかつた。
励起用の一次Ｘ線源、２は試料で、３が全反射
鏡、４がＸ線検出器で、５はＸ線検出器４の前面
に配置されたソーラスリツトである。Ｘ線検出器
４にはガスフロー比例計数管が用いられている。
試料２は一次Ｘ線の照射を受けて螢光Ｘ線ｘを放
射する。全反射鏡３とＸ線検出器４及び試料２の
位置関係は、試料から出た螢光Ｘ線が例えば炭素
分析の場合約8°の角度で全反射鏡面に入射し、同
じ角度で全反射されたＸ線が検出器４に入射する
ようにしてある。このように全反射鏡３に対して
入、反射両Ｘ線が平行に近いから、Ｘ線検出器４
からはソーラスリツト５を通しても試料２を望む
ことができ試料２から出た光電子のうちＸ線検出
器４の方向へ向うものｅはＸ線検出器４に飛び込
むことが可能でありバツクグラウンドノイズの原
因となる。このため従来は試料２と全発射鏡３と
の間に磁石Ｍを置き、試料からＸ線検出器の方へ
向けて放出された光電子の進路を曲げてＸ線検出
器４に入るのを防ぐようにしていた。しかしこの
場合、試料からＸ線検出器とは異る方向へ放出さ
れた光電子の経路が磁石Ｍの磁場でＸ線検出器の
方へ曲げられる可能性があり、光電子により発生
するバツクグラウンドノイズの除去には殆んど効
果がなかつた。
ハ 目的
本発明は軽元素から発せられる長波長のＸ線に
よつて軽元素の分析する場合において上述した光
電子等により発生するバツクグラウンドノイズを
軽減してＸ線分析法による軽元素の検出感度を高
めることを目的とする。
よつて軽元素の分析する場合において上述した光
電子等により発生するバツクグラウンドノイズを
軽減してＸ線分析法による軽元素の検出感度を高
めることを目的とする。
ニ 構成
本発明は試料から放射されるＸ線をＸ線全反射
鏡で全反射させることで分光を行うもので、試料
と全反射鏡との間にはソーラスリツトを設けず、
Ｘ線検出器の全面にソーラスリツトを配置した型
のＸ線分析装置において、上記ソーラスリツトを
二つの永久磁石をソーラスリツトの幅だけ隔てて
反射極性の極を対向させて配置し、両磁極間に磁
極面と平行にソーラスリツトを構成する多数の板
を配置し、上記両磁石を結ぶ磁気回路を構成する
ヨークと上記両磁石とによつてソーラスリツトの
ケースを構成させたＸ線分析装置を提供するもの
である。
鏡で全反射させることで分光を行うもので、試料
と全反射鏡との間にはソーラスリツトを設けず、
Ｘ線検出器の全面にソーラスリツトを配置した型
のＸ線分析装置において、上記ソーラスリツトを
二つの永久磁石をソーラスリツトの幅だけ隔てて
反射極性の極を対向させて配置し、両磁極間に磁
極面と平行にソーラスリツトを構成する多数の板
を配置し、上記両磁石を結ぶ磁気回路を構成する
ヨークと上記両磁石とによつてソーラスリツトの
ケースを構成させたＸ線分析装置を提供するもの
である。
ホ 実施例
この実施例は第１図を利用して説明すればソー
ラスリツト５の側面に磁石を配置するものであ
る。Ｘ線分析装置としての全体的な構成は第１図
と同じであるので、第２図に実施例におけるＸ線
検出器部分だけを示す。Ｘ線検出器４はガスフロ
ー比例計数管で、Ｂは本体、Ｃは芯線で、これが
陽極になつている。ＷはＸ線入射窓で1μmの厚さ
のポリプロピレンフイルムＦが張設してあり、ソ
ーラスリツト５のケース５ｃがフイルムＦの押え
に兼用されている。ソーラスリツト５は数枚の鉄
板５ｐを平行に配置したものであり、ソーラスリ
ツトケースの側板５ｃが磁石板になつている。こ
の磁石板は厚さ方向に磁化され、磁極は図示のよ
うに形成されている。従つて磁場は下向き矢印方
向に形成され、スリツトの鉄板５ｐに平行に図左
方からソーラスリツト５に入射した電子の経路は
図の紙面に垂直にこちらに向けて曲げられ、Ｘ線
検出器４の窓Ｗから反らされる。
ラスリツト５の側面に磁石を配置するものであ
る。Ｘ線分析装置としての全体的な構成は第１図
と同じであるので、第２図に実施例におけるＸ線
検出器部分だけを示す。Ｘ線検出器４はガスフロ
ー比例計数管で、Ｂは本体、Ｃは芯線で、これが
陽極になつている。ＷはＸ線入射窓で1μmの厚さ
のポリプロピレンフイルムＦが張設してあり、ソ
ーラスリツト５のケース５ｃがフイルムＦの押え
に兼用されている。ソーラスリツト５は数枚の鉄
板５ｐを平行に配置したものであり、ソーラスリ
ツトケースの側板５ｃが磁石板になつている。こ
の磁石板は厚さ方向に磁化され、磁極は図示のよ
うに形成されている。従つて磁場は下向き矢印方
向に形成され、スリツトの鉄板５ｐに平行に図左
方からソーラスリツト５に入射した電子の経路は
図の紙面に垂直にこちらに向けて曲げられ、Ｘ線
検出器４の窓Ｗから反らされる。
第３図は上述実施例の斜視図で、５ｙはソーラ
スリツトのケースを兼ねた軟鉄板のヨークで磁石
板５ｃに対する磁気回路を構成してソーラスリツ
ト内の空間に形成される磁場を強めている。
スリツトのケースを兼ねた軟鉄板のヨークで磁石
板５ｃに対する磁気回路を構成してソーラスリツ
ト内の空間に形成される磁場を強めている。
Ｘ線検出器の前面に磁場を形成する方法は上述
したような構造だけに限られない。例えば第３図
において上下方向に磁場を形成するように上下に
磁石を設けてもよい。この場合ソーラスリツトを
構成する平行板は非磁性材料が望ましい。
したような構造だけに限られない。例えば第３図
において上下方向に磁場を形成するように上下に
磁石を設けてもよい。この場合ソーラスリツトを
構成する平行板は非磁性材料が望ましい。
ヘ 効果
本発明によるときは、Ｘ線検出器の前面まで飛
来する電子はその経路の方向が略々試料とＸ線検
出器とを結ぶ方向に揃つているので、Ｘ線検出器
の前面に磁場を形成することにより殆んど全部が
Ｘ線検出器のＸ線入射窓から反らされ、異る方向
の電子が磁場で曲げられた結果、Ｘ線検出器に入
射するようになると云つた可能性がなくなり、光
電子等によつて発生するバツクグランドが従来に
比し著るしく低減し、Ｘ線検出のＳ／Ｎ比を向上
させることができる。第４図は本発明の効果を例
示するグラフで、鋳鉄中の炭素の検量線（Ｘ線検
出強度と炭素濃度との関係グラフ）を示す。この
図でＡは従来例、Ｂは本発明における検量線、縦
軸はＸ線強度、横軸は鋳鉄中の炭素濃度である。
＋の印は従来例、本発明の夫々において、Ｓ／Ｎ
比１となる炭素濃度とＸ線強度を示す。Ｓ／Ｎ比
が１まで定量測定が可能とすると、従来例では炭
素濃度3.2％までしか測定できなかつたのが、本
発明によれば濃度1.6％まで測定可能となり、感
度が２倍に向上したことになる。
来する電子はその経路の方向が略々試料とＸ線検
出器とを結ぶ方向に揃つているので、Ｘ線検出器
の前面に磁場を形成することにより殆んど全部が
Ｘ線検出器のＸ線入射窓から反らされ、異る方向
の電子が磁場で曲げられた結果、Ｘ線検出器に入
射するようになると云つた可能性がなくなり、光
電子等によつて発生するバツクグランドが従来に
比し著るしく低減し、Ｘ線検出のＳ／Ｎ比を向上
させることができる。第４図は本発明の効果を例
示するグラフで、鋳鉄中の炭素の検量線（Ｘ線検
出強度と炭素濃度との関係グラフ）を示す。この
図でＡは従来例、Ｂは本発明における検量線、縦
軸はＸ線強度、横軸は鋳鉄中の炭素濃度である。
＋の印は従来例、本発明の夫々において、Ｓ／Ｎ
比１となる炭素濃度とＸ線強度を示す。Ｓ／Ｎ比
が１まで定量測定が可能とすると、従来例では炭
素濃度3.2％までしか測定できなかつたのが、本
発明によれば濃度1.6％まで測定可能となり、感
度が２倍に向上したことになる。
第１図は従来例の平面図、第２図は本発明の一
実施例におけるＸ線検出部の水平断面図、第３図
は同実施例Ｘ線検出部の斜視図、第４図は本発明
の効果を例示するグラフである。 １……励起用一次Ｘ線源、２……試料、３……
全反射鏡、４……Ｘ線検出器、５……ソーラスリ
ツト、５ｃ……ソーラスリツトのケース兼磁石
板、５ｐ……ソーラスリツトを構成する板、５ｙ
……ヨーク。
実施例におけるＸ線検出部の水平断面図、第３図
は同実施例Ｘ線検出部の斜視図、第４図は本発明
の効果を例示するグラフである。 １……励起用一次Ｘ線源、２……試料、３……
全反射鏡、４……Ｘ線検出器、５……ソーラスリ
ツト、５ｃ……ソーラスリツトのケース兼磁石
板、５ｐ……ソーラスリツトを構成する板、５ｙ
……ヨーク。
Claims (1)
- １ 試料から放射されるＸ線をＸ線全反射鏡で全
反射させることで分光を行うため、試料から放射
されるＸ線をソーラスリツトを通さないで全反射
鏡に入射させ、全反射鏡で全反射されたＸ線をＸ
線検出器の前面に配置されたソーラスリツトを通
してＸ線検出器に入射させる構成で、上記ソーラ
スリツトを、二つの永久磁石をソーラスリツトの
幅だけ隔てて反対極性の極を対向させて配置し、
その間にソーラスリツトを構成する多数の板を配
置し、上記両磁石を結ぶ磁気回路を構成するヨー
クと上記両磁石とによつてソーラスリツトのケー
スを構成させたことを特徴とするＸ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1526283A JPS59141045A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | Ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1526283A JPS59141045A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | Ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59141045A JPS59141045A (ja) | 1984-08-13 |
| JPH0456274B2 true JPH0456274B2 (ja) | 1992-09-07 |
Family
ID=11883935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1526283A Granted JPS59141045A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | Ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59141045A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL8304009A (nl) * | 1983-11-22 | 1985-06-17 | Philips Nv | Roentgen analyse apparaat met afbuigsysteem. |
| JPS6355199U (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-13 | ||
| JP3950239B2 (ja) * | 1998-09-28 | 2007-07-25 | 株式会社リガク | Ｘ線装置 |
| JP5780923B2 (ja) * | 2011-11-07 | 2015-09-16 | 日本電子株式会社 | エネルギー分散型ｘ線検出器 |
| WO2023210633A1 (ja) * | 2022-04-28 | 2023-11-02 | 株式会社堀場製作所 | 放射線検出装置及び放射線検出器 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5811011Y2 (ja) * | 1977-05-23 | 1983-03-01 | 日本電子株式会社 | Ｘ線検出装置 |
| JPS55113955U (ja) * | 1979-02-02 | 1980-08-11 |
-
1983
- 1983-01-31 JP JP1526283A patent/JPS59141045A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59141045A (ja) | 1984-08-13 |
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