JPH0455628B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

〔産業上の利用分野〕 本発明は新規な感光性組成物、さらに詳しくい
えば、加熱処理により耐熱性高分子化合物に変換
しうる感光性組成物に関するものである。 従来、ポリイミドに代表される耐熱性高分子化
合物は、その耐熱性や電気特性などを生かして、
例えば電気、自動車、航空機、宇宙、原子力など
の分野で、構造部材、プリント基板材料、耐熱絶
縁材料などに広く用いられている。 一方、感光性高分子化合物は、塗料や印刷版な
どの用途に広く用いられており、特に最近ではそ
のリソグラフイー特性を生かして、プリント回路
作成用レジスト、金属板エツチング用レジスト、
半導体素子作成用レジストなどの微細加工用材料
として、目覚ましい進歩がみられることは周知の
ところである。 近年、この耐熱性と感光性という２種の有用な
機能を合わせもつ高分子材料について、特に電子
材料や光学材料用として積極的に開発がなされて
おり、例えばパツシペーシヨン膜、α線遮へい
膜、ジヤンクシヨンコート膜などの表面保護膜や
多層配線用の層間絶縁膜のような半導体素子用絶
縁膜あるいは液晶表示素子用配向膜、薄膜磁気ヘ
ツド用絶縁膜などの用途が検討されている〔例え
ば、「機能材料」、７月号第９〜19ページ（1983
年）及び、「フオトグラフイツク・サイエンス・
アンド・エンジニヤリング（Photographic
Science and Engineering）」第303〜309ページ
（1979年）参照〕。 〔従来の技術〕 従来、耐熱性感光性組成物としては、例えばポ
リイミドの前駆体であるポリアミド酸のエステル
側鎖に二重結合などの活性官能基を導入したポリ
マーに、光増感剤や共重合性モノマーを加えた、
光照射により架橋構造が形成されうる組成物が知
られている（特公昭55−30207号公報、特公昭55
−41422号公報）。このものはいわゆる感光性ポリ
イミドに代表されるリソグラフイー用耐熱性高分
子材料の基本的な組成物であるが、光感度が低
く、実用に供するには不十分であつた。又、この
ような欠点を改良した組成物として、前記の側鎖
活性官能基にメタクリレート基又はアクリレート
基を用い、光開始剤としてｐ−アセトアミド−フ
エニルスルホンアジドなどのアジド化合物を加え
たものが提案されている（特開昭55−155347号公
報）。しかしながら、この組成物は若干光感度が
向上しているものの、まだ十分であるとはいえな
い。 一方、ポリアミド酸と二重結合などの活性官能
基を有するアミン化合物との混合物を主成分とす
る感光性組成物が提案されている（特開昭57−
168942号公報、特開昭54−145794号公報、特開昭
59−160140号公報）。 しかしながら、このものはその溶液の粘度が極
めて高いために、より低濃度の溶液で取扱う必要
があり、半導体素子表面の製膜に汎用されている
スピンコーターなどを用いた場合、厚膜を形成す
ることが困難であつた。又、これらはイオン結合
型であるために、塗布乾燥後放置すると、吸湿に
よりクラツクを生じやすいという問題点があつ
た。 これら先行技術に開示されている組成物の使用
法については、いずれも溶液として基体上に塗布
し、乾燥後、フオトマスクを通して紫外線などの
活性光線を照射したのち、適当な現像溶媒で未露
光部分を溶解除去して画像を形成し、次いで高温
処理を行なつてイミド環などに閉環し、同時にポ
リアミド酸側鎖や架橋鎖、開始剤などを気化せし
めることにより耐熱性のフイルムを形成せしめる
プロセスが代表的な形態として用いられる。 〔発明が解決しようとする問題点〕 ところで、従来の先行技術においては、いわゆ
る感光性ポリイミドの膜厚を厚くしていくと、光
感度が極端に低下して、硬化に必要な露光時間が
長くなるという欠点を有することが見い出され
た。 また、我々は、すでに、光開始剤として、ある
種の構造を有するオキシム化合物と増感剤とを組
合せることにより光感度を向上させることを見い
だした（特願昭59−238545号）が、さらに、感度
を向上させる必要がある。 本発明者らは、このような事情に鑑み、光感度
が高く、特に厚膜で使用する場合においても、高
い光感度を有する耐熱性感光性組成物を提供すべ
く鋭意研究を重ねた。 〔問題点を解決するための手段〕 その結果、必須成分として特定の構造を有する
重合体、オキシム化合物、及び吸収ピーク波長が
250〜500nmにある増感剤を含有して成る組成物
がその目的に適合しうることを見出し、この知見
に基づいて本発明を完成するに至つた。 すなわち、本発明は、(イ)一般式(1) 〔式中のＸは（２＋ｎ）価の炭素環式基又は複
素環式基、Ｙは（２＋ｍ）価の炭素環式基又は複
素環式基、Ｚは

【式】

【式】又は

【式】R^*、 は炭素−炭素二重結合を有する基、Ｗは熱処理に
より、−COOR^*のカルボニル基と反応して環を形
成しうる基、ｎは１又は２、ｍは０，１又は２で
あり、かつCOOR^*とＺは互いにオルト位又はペ
リ位の関係にある〕 で示される繰り返し単位を有する重合体（以下(イ)
成分と称す）及び (ロ) 一般式(2)で示されるオキシム化合物 〔式中のR₁，R₂は、水素原子、炭素数１ない
し６のアルキル基、炭素数１ないし６のアルコキ
シ基又は、ニトロ基、R₃は、炭素数１ないし６
のアルキル基、炭素数１ないし６のアルコキシ
基、炭素数６ないし10の芳香族炭化水素、又は、
炭素数６ないし10のアリロキシ基〕及び、 (ハ) 吸収ピーク波長が250〜500nmにある増感剤
を必須成分として含有して成る感光性組成物を
提供するものである。 本発明組成物において、(イ)成分として用いる重
合体は、前記一般式(1)で示される繰り返し単位を
有するものであり、式中のＸは３又は４価の炭素
環式基又は複素環式基であつて、このようなＸと
しては、例えばベンゼン環や、ナフタレン環、ア
ントラセン環などの縮合多環芳香環、ピリジン、
チオフエンなどの複素環式基、及び一般式（₁） 〔式中のX₁は（−CH₂）−₁，

【式】

【式】−Ｓ−，

【式】−Ｏ−，

【式】又は １は０又は１、X₂はCH₃又はCF₃である〕 で示される基などが挙げられる。これらの中で炭
素数６〜14の芳香族炭化水素基や、X₁が（−CH₂
）−₁（１は０又は１である）、

【式】

【式】−０−又は

【式】である一般式 （₁）で示される基が好ましく、さらに式 で示されるものが好ましい。 前記一般式(1)におけるＹは２，３又は４価の炭
素環式基又は複素環式基であつて、このようなも
のとしては、例えばナフタレン、アントラセンな
どに由来する炭素数10〜18の２価の芳香族炭化水
素環、ピリジン、イミダゾールなどに由来する複
素環式基及び式 〔式中のY₁はＨ，CH₃，（CH₃）₂CH，OCH₃，
COOH，ハロゲン原子又はSO₃H，Y₂は（−CH₂）−
_ｐ（ただし、ｐは０又は１である）、−SO₂−，

【式】−CH＝CH−，−Ｏ−，−Ｓ−，

【式】

【式】

【式】

【式】又は

【式】 Y₃及びY₄はＨ，CH₃，C₂H₅，OCH₃，ハロゲ
ン原子、COOH，SO₃H又はNO₂，Y₅及びY₆は
Ｈ，CN，ハロゲン原子、CH₃，OCH₃，SO₃H又
はOHである〕 で示される基などが挙げられる。これらの中で炭
素数10〜14の２価の芳香族炭化水素環や、Y₂が
（−CH₂）−_p（ただし、ｐは０又は１）、

【式】 −SO₂−，−Ｏ−又は−Ｓ−で、かつY₃及びY₄が
ともに水素原子である式（₅）で示される基が
好ましく、さらに式

【式】

【式】

【式】

【式】

【式】

【式】

【式】で示される基が好ま しい。 前記一般式(1)におけるＷは、熱処理により、−
COOR^*のカルボニル基と反応して環を形成しう
る基であつて、このようなものとしては、特に

【式】が好適である。又、ｎとしては２が 好ましい。 さらに、前記一般式(1)におけるR^*は炭素−炭
素二重結合を有する基であつて、このようなもの
としては、例えば、 −R″−CH＝CH₂ （₅） 〔式中R′は、水素原子、又は、メチル基、
R″は、炭素数１ないし３のアルキレン基、ｎは
１又は２〕などが挙げられる。 （₁）の例としては、 （₂）の例としては、 （₃）の例としては、 （₄）の例としては、 （₅）の例としては、 −CH₂−CH＝CH₂ −CH₂−CH₂−CH＝CH₂ （₆）の例としては、 （₇）の例としては、 などが挙げられる。 これらの内、光感度、及び、保存安定性等から

【式】−CH₂− CH₂−CH＝CH₂， などが、好ましい。 本発明組成物において(ロ)成分として用いるオキ
シム化合物は、前記一般式(2)で示されるものであ
る。 式中R₁，R₂は、水素原子、炭素数１ないし６
のアルキル基、炭素数１ないし６のアルコキシ
基、又は、ニトロ基であり、同一、又は、異なつ
ていても良い。好ましくは、水素原子、メチル
基、エチル基、メトキシ基、エトキシ基、ニトロ
基などが挙げられる。式中R₃は、炭素数１ない
し６のアルキル基、炭素数１ないし６のアルコキ
シ基、炭素数６ないし10の芳香族炭化水素、又
は、炭素数６ないし10のアリロキシ基であり、好
ましくはエチル基、ブチル基、メトキシ基、エト
キシ基、フエニル基、トシル基、フエニルオキシ
基などが挙げられ、、さらに好ましくは、メトキ
シ基、エトキシ基である。オキシム化合物の例と
しては、１，３−ジフエニル−１，２，３−プロ
パントリオン−２−（ｏ−アセチル）オキシム、
１，３−ジフエニル−１，２，３−プロパントリ
オン−２−（ｏ−ｎ−プロピルカルボニル）オキ
シム、１，３−ジフエニル−１，２，３−プロパ
ントリオン−２−（ｏ−メトキシカルボニル）オ
キシム、１，３−ジフエニル−１，２，３−プロ
パントリオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）
オキシム、１，３−ジフエニル−１，２，３−プ
ロパントリオン−２−（ｏ−ベンゾイル）オキシ
ム、１，３−ジフエニル−１，２，３−プロパン
トリオン−２−（ｏ−フエニルオキシカルボニル）
オキシム、１，３−ビス（4′−メチルフエニル）
−１，２，３−プロパントリオン−２−（ｏ−ベ
ンゾイル）オキシム、１，３−ビス（4′−メトキ
シフエニル）−１，２，３−プロパントリオン−
（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、１−（4′−
メトキシフエニル）−３−（4″−ニトロフエニル）
−１，２，３−プロパントリオン−（ｏ−フエニ
ルオキシカルボニル）オキシム、などが挙げられ
るか、これらに限定されるものではない。なおこ
れらは単独でも複数を混合して使用してもよい。 本発明組成物において(ハ)成分として用いる増感
剤は、吸収ピーク波長が250〜500nmにあるもの
であり、このような例としては、 〔式中R₁，R₂は、メチル基、又は、エチル基、
R₃は、水素原子、又は、メチル基、R₄は、炭素
数６ないし10の芳香族炭化水素、R₅は、メチル
基、エチル基、又は、炭素数６ないし10の芳香族
炭化水素、R₆，R₇は、水素原子、脂肪族基、置
換脂肪族基、炭素数６ないし10の芳香族炭化水素
からなる基であり、R₆，R₇の少なくとも一方は、
水素原子ではない基であり、R₈は、水素原子、
メチル基、エチル基、水酸基、ｍ，ｎは、０，１
又は２〕などが挙げられる。 増感剤の例としては、ミヒラーズケトン、４，
4′−ビス−（ジエチルアミノ）−ベンゾフエノン、
２，５−ビス−（4′−ジエチルアミノベンザル）−
シクロペンタノン、２，６−ビス−（4′−ジエチ
ルアミノベンザル）−シクロヘキサノン、２，６
−ビス−（4′−ジメチルアミノベンザル）−４−メ
チル−シクロヘキサノン、２，６−ビス（4′−ジ
エチルアミノベンザル）−４−メチル−シクロヘ
キサノン、４，4′−ビス−（ジメチルアミノ）−カ
ルコン、４，4′−ビス−（ジエチルアミノ）−カル
コン、４−ジメチルアミノシンナミリデンインダ
ノン、４−ジメチルアミノベンジリデンインダノ
ン、４−ジメチルアミノベンジリデンインダノ
ン、２−（4′−ジメチルアミノフエニルビニレン）
−ベンゾチアゾール、２−（4′−ジメチルアミノ
フエニルビニレン）−インナフトチアゾール、１，
３−ビス−（4′−ジメチルアミノベンザル）−アセ
トン、１，３−ビス−（4′−ジエチルアミノベン
ザル）−アセトン、３，3′−カルボニル−ビス−
（７−ジエチルアミノクマリン）、７−ジエチルア
ミノ−３−ベンゾイルクマリン、７−ジエチルア
ミノ−４−メチルクマリン、Ｎ−フエニル−ジエ
タノールアミン、Ｎ−ｐ−トリル−ジエチルアミ
ンなどが挙げられるか、これにに限定されるもの
ではない。なおこれらは単独でも複数を混合して
使用してもよい。好ましくは、（₁）ないし（
_８）の構造を有する増感剤と（₉）の構造を有す
る増感剤を混合して使用する。 本発明の組成物には、必要に応じて炭素−炭素
二重結合を有する化合物を添加することができ
る。この炭素−炭素二重結合を有する化合物は添
加することにより光重合反応を容易にするような
化合物であつて、このようなものとしては、２−
エチルヘキシルアクリレート、２−ヒドロキシエ
チルアクリレート、Ｎ−ビニル−２−ピロリド
ン、カルビトールアクリレート、テトラヒドロフ
ルフリルアクリレート、イソボルニルアクリレー
ト、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、
ネオペンチルグリコールジアクリレート、エチレ
ングリコールジアクリレート、ポリエチレングリ
コールジアクリレート、ペンタエリスリトールジ
アクリレート、トリメチロールプロパントリアク
リレート、ペンタエリスリトールトリアクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレー
ト、テトラメチロールメタンテトラアクリレー
ト、テトラエチレングリコールジアクリレート、
ノナエチレングリコールジアクリレート、メチレ
ンビスアクリルアミド、Ｎ−メチロールアクリル
アミド及び、上記のアクリレート又はアクリルア
ミドをメタクリレート又はメタクリルアミドに変
えたもの等が挙げられ、これらの中で好ましいも
のは、２つ以上の炭素−炭素二重結合を有する化
合物である。 さらに本発明組成物にメルカプタン化合物を添
加することにより、光感度をさらに向上させるこ
とができる。メルカプタン化合物の例としては、
例えば、２−メルカプトベンズイミダゾール、２
−メルカプトベンゾチアゾール、１−フエニル−
５−メルカプト−1H−テトラゾール、２−メル
カプトチアゾーン、２−メルカプト−４−フエニ
ルチアゾール、２−アミノ−５−メルカプト−
１，３，４−チアゾール、２−メルカプトイミダ
ゾール、２−メルカプト−５−メチル−１，３，
４−チアジアゾール、５−メルカプト−１−メチ
ル−1H−テトラゾール、２，４，６−トリメル
カプト−ｓ−トリアジン、２−ジブチルアミノ−
４，６−ジメルカプト−ｓ−トリアジン、２，５
−ジメチルカプト−１，３，４−チアジアゾー
ル、５−メルカプト−１，３，４−チアジアゾー
ル、１−エチル−５−メルカプト−１，２，３，
４−テトラゾール、２−メルカプト−６−ニトロ
チアゾール、２−メルカプトペンゾオキサゾー
ル、４−フエニル−２−メルカプトチアゾール、
メルカプトピリジン、２−メルカプトキノリン、
１−メチル−２−メルカプトイミダゾール、２−
メルカプト−β−ナフトチアゾールなどが挙げら
れる。 又、さらに本発明組成物には、必要に応じて官
能性シラン化合物を添加又は、基材にプレコート
して用いることができる。このシラン化合物は、
本発明組成物の耐熱性高分子膜と基材であるSi及
び無機絶縁膜との界面の接着性を向上するような
化合物であつて、これらの例としては、例えば、
γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ
−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルジメト
キシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジ
メトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチル
ジメトキシシラン、ジメトキシ−３−メルカプト
プロピルメチルシラン、３−メタクリロキシプロ
ピルジメトキシメチルシラン、３−メタクリロキ
シプロピルトリメトキシシラン、ジメトキシメチ
ル−３−ピペリジノプロピルシラン、ジエトキシ
−３−グリシドキシプロピルメチルシラン、Ｎ−
（３−ジエトキシメチルシリルプロピル）スクシ
ンイミド等が挙げられる。これらシラン化合物の
使用方法及び効果については、例えば、特願昭60
−38242号に詳しく記載されている。又、本発明
組成物の溶液の保存安定性を向上させるために、
重合禁止剤を添加することもできる。この重合禁
止剤としては、例えば、ハイドロキノン、Ｎ−ニ
トロソジフエニルアミン、ｐ−tert−ブチルカテ
コール、フエノチアジン、Ｎ−フエニルナフチル
アミン、２，６−ジ−tert−ブチル−ｐ−メチル
フエノール等が挙げられるが、これらに限定され
ものではない。 本発明における(ロ)成分のオキシム化合物の含有
割合については、特に制限はないが、好ましくは
(イ)成分の重合体に対し0.1〜20重量％、さらに好
ましくは、１〜15重量％の範囲で含有させること
が望ましい。含有量が少ない場合は、光感度が十
分でなく、含有量が多すぎる場合は、熱処理を行
なつた後の膜特性が低下する。 又、本発明における(ハ)成分の増感剤の含有割合
については、(イ)成分の重合体に対し0.01〜20重量
％、好ましくは、0.05〜15重量％の範囲で含有さ
せることが好ましい。含有量が少ない場合は、光
感度が十分でなく、含有量が多すぎる場合は、逆
に光感度が低下する。 炭素−炭素二重結合を有する化合物の添加量
は、(イ)成分の重合体に対して2.0重量％以下が望
ましい。メルカプタン化合物の添加量は、好まし
くは(イ)成分の重合体に対して、10重量％以下が望
ましく、さらに好ましくは、５重量％以下であ
る。又、前記官能性シラン化合物を添加して用い
る場合、その添加量は、(イ)成分の重合体に対して
0.05〜10重量％、好ましくは0.1〜４重量％であ
る。 又、前記重合禁止剤は、(イ)成分の重合体に対し
て５重量％以下、好ましくは、0.5重量％以下添
加して用いられる。 本発明組成物において(イ)成分として用いる重合
体は、例えば、一般式 で示される化合物と、一般式 で示される化合物とを重縮合又は重付加すること
により得られる。前記一般式（）におけるZ₁の
例としては、−COOH（₁），−COCl（₂）−NCO
（₃）、−NH₂（₄），−OH（₅）があり、それぞ
れに対応する一般式（）の略号を〓内に示す。
又、一般式（）におけるZ₂の例としては、−
COCl（₁），−COOH（₂），−NCO（₃），−NH₂
（₄）があり、それぞれに対応する一般式（）
の略号を〓内に示す。なお、Ｘ，Ｒ，Ｙ及びＷは
前記と同じ意味をもつ。 前記の一般式（）で示される化合物と一般式
（）で示される化合物との重縮合又は重付加反
応により−Z₁とZ₂−とが反応して結合鎖Ｚが形成
される。この際のZ₁とZ₂との好ましい組合わせ、
生成するＺの種類及び得られた重合体を加熱処理
した時に生成する環構造名をまとめて第１表に示
す。

〔実施例〕

次に、実施例により本発明をさらに詳細に説明
するが、本発明はこれらの例によつて何ら限定さ
れるものではない。なお、実施例に用いたポリマ
ー、オキシム化合物、増感剤、炭素−炭素二重結
合を有する化合物（モノマー）、メルカプタン化
合物、官能性シラン化合物、重合禁止剤の名称等
を表２に示す。

【表】

【表】

【表】

【表】

【表】

【表】

【表】

【表】

【表】 実施例 １〜20 表３に示したポリマー100重量部に対し、添加
剤を同表に示した重量部加え、120重量部のＮメ
チルピロリドンに溶解した。この溶液をシリコン
ウエハー上にスピンコート（700rpm×7sec）し、
70℃空気中で６時間乾燥して均一な塗膜を得た。 次に窒素雰囲気下でグレースケール（Kodak
Photographic Step Tablet.No.２）を通して、超
高圧水銀灯（8mW／cm²）で５分間露光した。こ
のウエハーを23℃で30分間放置した後、スプレー
式現像機を用い、γ−ブチロラクトンとキシレン
の等量混合液で現像し、キシレンでリンスして乾
燥した。グレースケールの各ステツプの硬化状態
より感度を段数として求めた。（段数が高いほど
感度が高いことを示し、段数が１段上がると、そ
の露光量が√２だけ低いことを意味する。） 得られた結果を同表に示す。 比較例 １〜５ 実施例〜20と同様にして表４の組成物について
実験を行ない、同表に示した結果を得た。 比較例 ６〜11 オキシム化合物の変わりに、他の光重合開始剤
を用いて、実施例１〜20と同様にして、表５の組
成物について実験を行ない、同表に示した結果を
得た。 実施例 21〜23 ジアミノジフエニルエーテル100ｇ（0.5モル）
をＮ−メチルピロリドン880ｇに溶解しピロメリ
ツト酸二無水物109ｇ（0.5モル）を加えて、50〜
60℃で３時間反応させることにより、25℃で28ポ
アズのポリマー溶液を得た。（このポリマー溶液
をＰ−６と表わす）このポリマー溶液100重量部
に対し、添加剤を表６に示した重量部加え、溶解
する。この溶液をシリコンウエハー上にスピンコ
ート（500rpm×10sec）し70℃で１時間乾燥して
均一な塗膜を得た。さらにこの塗膜上で、溶液を
スピンコート、乾燥を４回くり返し塗膜を得た。
次に、窒素雰囲気下でグレースケール（Kodak
Photographic Step TabletNo.２）を通して、超
高圧水銀灯（8mW／cm²）で５分間露光した。こ
のウエハーを23℃で30分間放置した後、スプレー
式現像機を用い、Ｎ−メチルピロリドン（２部）
とメタノール（１部）の混合溶液で現像し、メタ
ノールでリンスして乾燥した。硬化感度は段数と
して示す。得られた結果を表６に示す。

【表】

【表】

【表】

【表】

【表】 参考例 １ 本発明で用いるオキシル化合物の製造法として
１，３−ジフエニル−プロパントリオン−２−
（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム（略号；Ｋ
−２）の製造法の一例を示す。 (1) ジベンゾイルメタンの製造 安息香酸エチルエステル600ｇ（４モル）とア
セトフエノン60ｇ（0.5モル）溶液にナトリウム
エトキサイド44ｇ（0.65モル）を加え150〜160℃
で加熱し、エタノールは、系外にトラツプする。
反応液に加乗の希硫酸を加え、エーテルで反応物
を抽出する。生成したジベンゾイルメタンはメタ
ノールで再結晶する。収量は、72ｇであつた。 (2) ジフエニルトリケトンの合成 ジベンゾイルメタン56ｇ（0.25モル）をクロロ
ホルムに溶解し、15℃以下で、臭素88ｇ（0.55モ
ル）を滴下していき、ジブロム体を合成する。こ
のジブロム体は、エタノールで再結晶する。収量
は、73ｇであつた。ジブロム体を氷酢酸に溶解
し、酢酸ナトリウム34.3ｇ（0.42モル）を加え
て、加熱還流する。反応後室温に下げ、水を加え
て、析出物を濾過、水洗し、ジオール体を合成す
る。このジオール体を減圧蒸留することにより、
ジフエニルトリケトンを得る。得られたジフエニ
ルトリケトンは、ヘキサンで再結晶する。収量
は、34ｇであつた。 (3) オキシム化合物の合成 ジフエニルトリケトン33.9ｇ（0.15モル）をエ
タノールに溶解し、塩酸ヒドロキシアミン11.4ｇ
（0.165モル）を加えて、加熱還流し、オキシム体
を合成する。このオキシム体とトリエチルアミン
22.7ｇ（0.225モル）をクロロホルムに溶解し、
15℃以下で、クロルギ酸エチル24.4ｇ（0.225モ
ル）を滴下する。反応後、水を加えクロロホルム
で抽出する。得られたオキシム化合物は、エタノ
ールで再結晶する。収量は、12ｇであつた。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ (イ) 一般式 〔式中のＸは（２＋ｎ）価の炭素環式基又は複
   素環式基、Ｙは（２＋ｍ）価の炭素環式基又は複
   素環式基、Ｚは【式】 【式】又は【式】R^*は 炭素−炭素二重結合を有する基、Ｗは熱処理によ
   り、−COOR^*のカルボニル基と反応して環を形成
   しうる基、n1又は２、ｍは０，１又は２であり、
   かつCOOR^*とＺは互いにオルト位又はペリ位の
   関係にある〕 で示される繰返し単位を有する重合体、及び、 (ロ) 一般式(2)で示されるオキシム化合物 〔式中のR₁，R₂は、水素原子、又は炭素数１
   ないし６のアルキル基、又は炭素数１ないし６の
   アルコキシ基、又は、ニトロ基、R₃は、炭素数
   １ないし６のアルキル基、又は、炭素数１ないし
   ６のアルコキシ基、又は、炭素数６ないし10の芳
   香族炭化水素、又は炭素数６ないし10のアリロキ
   シ基を示す〕、 及び (ハ) 吸収ピーク波長が250〜500nmにある増感剤
   を含有して成る感光性組成物。