JPH0454104B2 - - Google Patents
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- JPH0454104B2 JPH0454104B2 JP63092275A JP9227588A JPH0454104B2 JP H0454104 B2 JPH0454104 B2 JP H0454104B2 JP 63092275 A JP63092275 A JP 63092275A JP 9227588 A JP9227588 A JP 9227588A JP H0454104 B2 JPH0454104 B2 JP H0454104B2
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- JP
- Japan
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- diaphragm
- valve
- load
- seat
- valve seat
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- Expired - Lifetime
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 6
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 5
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 3
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
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- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
- F16K7/16—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being mechanically actuated, e.g. by screw-spindle or cam
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Lift Valve (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は各種ガス工業、分析、医療、生物工
学、計装などに用いられる比較的小口径のダイヤ
フラムシール弁に関し、特にリフトを大きくした
無発塵型のダイヤフラムシール弁に関する。
学、計装などに用いられる比較的小口径のダイヤ
フラムシール弁に関し、特にリフトを大きくした
無発塵型のダイヤフラムシール弁に関する。
［従来の技術及び発明が解決しようとする問題
点］ 従来、これらの分野には第５図に示すような金
属ダイヤフラムシール弁が使用されている。
点］ 従来、これらの分野には第５図に示すような金
属ダイヤフラムシール弁が使用されている。
第５図において、１５１は本体、１５２はふた
である。本体１５１内に弁シート１５３を予め装
着した弁体１５４とスプリング１５５とを挿入
し、弁体の上に金属ダイヤフラム１５６を置く。
ふた１５２は本体上部に設けるが、予め弁棒１５
７を螺入し、本体１５１とふた１５２との間にダ
イヤフラム１５６を挟んで締め付ける。１５８は
弁を操作するための手動ハンドルであり、１５９
はハンドル１５８を弁棒１５７に固定するための
止めねじである。弁の本体とふたとの間および弁
棒ねじ１６０を伝つての外部に対する漏洩は、ダ
イヤフラムによつて密封されているので、生じな
い。弁体１５４は通常スプリング１５５によつて
押し上げられており、弁は開状態にある。ハンド
ル１５８を操作することによつて弁棒１５７は回
転しつつ下降する。これにより、ダイヤフラム１
５６はたわみを生じ弁体１５４をスプリング１５
５に逆らつて押し下げ、弁シート１５３を本体の
シート１６１に密着させて弁を閉状態にする。
である。本体１５１内に弁シート１５３を予め装
着した弁体１５４とスプリング１５５とを挿入
し、弁体の上に金属ダイヤフラム１５６を置く。
ふた１５２は本体上部に設けるが、予め弁棒１５
７を螺入し、本体１５１とふた１５２との間にダ
イヤフラム１５６を挟んで締め付ける。１５８は
弁を操作するための手動ハンドルであり、１５９
はハンドル１５８を弁棒１５７に固定するための
止めねじである。弁の本体とふたとの間および弁
棒ねじ１６０を伝つての外部に対する漏洩は、ダ
イヤフラムによつて密封されているので、生じな
い。弁体１５４は通常スプリング１５５によつて
押し上げられており、弁は開状態にある。ハンド
ル１５８を操作することによつて弁棒１５７は回
転しつつ下降する。これにより、ダイヤフラム１
５６はたわみを生じ弁体１５４をスプリング１５
５に逆らつて押し下げ、弁シート１５３を本体の
シート１６１に密着させて弁を閉状態にする。
上記ダイヤフラムシール弁の欠点は次のとおり
である。
である。
弁内部に弁体およびスプリングが設置されてい
るため、流体を流して弁を開閉したときに、本体
内壁、スプリング、弁体、ダイヤフラムがたがい
に接触摩耗を引き起こす。この接触摩耗によつて
生じた金属粉は、シート面にかみ込んでシート漏
れの原因となつたり、清浄度を要求される配管で
はこの金属粉は絶対に許されない。また弁体が弁
棒と一体ではなく分断しているため弁開閉のとき
に偏心し易く、弁シートと本体シートの接触面が
定まらず、弁シートについた本体シートの圧痕が
漏れ止めを妨げる。
るため、流体を流して弁を開閉したときに、本体
内壁、スプリング、弁体、ダイヤフラムがたがい
に接触摩耗を引き起こす。この接触摩耗によつて
生じた金属粉は、シート面にかみ込んでシート漏
れの原因となつたり、清浄度を要求される配管で
はこの金属粉は絶対に許されない。また弁体が弁
棒と一体ではなく分断しているため弁開閉のとき
に偏心し易く、弁シートと本体シートの接触面が
定まらず、弁シートについた本体シートの圧痕が
漏れ止めを妨げる。
そこで特開昭61−244976号公報などに開示され
ているように、ダイヤフラムより下方にばねや摺
動部材を持たない無発塵型のダイヤフラムシール
弁が開発されている。この弁では、閉弁について
は、弁棒や空圧等による負荷手段をダイヤフラム
の上面に印加すれば閉弁できるが、開弁について
は、外力によつてではなくダイヤフラム自体の復
元力によつて開弁されるから、リフトすなわち弁
開時の弁座とダイヤフラムとの間隔を大きく取れ
ず、十分リフトを有する無発塵型のダイヤフラム
シール弁が得られたとする報告は見あたらなかつ
た。
ているように、ダイヤフラムより下方にばねや摺
動部材を持たない無発塵型のダイヤフラムシール
弁が開発されている。この弁では、閉弁について
は、弁棒や空圧等による負荷手段をダイヤフラム
の上面に印加すれば閉弁できるが、開弁について
は、外力によつてではなくダイヤフラム自体の復
元力によつて開弁されるから、リフトすなわち弁
開時の弁座とダイヤフラムとの間隔を大きく取れ
ず、十分リフトを有する無発塵型のダイヤフラム
シール弁が得られたとする報告は見あたらなかつ
た。
したがつて本発明の目的は、リフトを大きくし
て流過抵抗を減らした無発塵型のダイヤフラムシ
ール弁を提供することを目的とする。
て流過抵抗を減らした無発塵型のダイヤフラムシ
ール弁を提供することを目的とする。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、周縁を固定したダイヤフラムを弁座
に対向して配置し、該ダイヤフラムの中央部を弁
座方向に変位させる負荷手段をダイヤフラムに関
して弁座とは反対側に設け、該負荷手段の印加に
よつてダイヤフラムを弁座に当接させ、負荷手段
の解除によつてダイヤフラムを原形状に自己復帰
させて弁の開閉を行うダイヤフラムシール弁にお
いて、前記ダイヤフラムの荷重−変位特性は極大
値と極小値とを有し、且つ極小値は正の荷重であ
ることを特徴とするダイヤフラムシール弁であ
る。
に対向して配置し、該ダイヤフラムの中央部を弁
座方向に変位させる負荷手段をダイヤフラムに関
して弁座とは反対側に設け、該負荷手段の印加に
よつてダイヤフラムを弁座に当接させ、負荷手段
の解除によつてダイヤフラムを原形状に自己復帰
させて弁の開閉を行うダイヤフラムシール弁にお
いて、前記ダイヤフラムの荷重−変位特性は極大
値と極小値とを有し、且つ極小値は正の荷重であ
ることを特徴とするダイヤフラムシール弁であ
る。
［実施例］
本発明の一実施例を添付の図面によつて説明す
る。第１図は同実施例のダイヤフラムシール弁の
全開状態を示す縦断面図である。
る。第１図は同実施例のダイヤフラムシール弁の
全開状態を示す縦断面図である。
このダイヤフラムシール弁の弁箱は、本体１に
ふた２を嵌合装着してふた押さえナツト１０で固
定して形成されている。先ず本体１は次のように
構成されている。左側に流入口３、右側に流出口
４を形成し、中央部に流入口３とつながり流れ方
向を上向きにする上向き流路５を形成し、さらに
上向き流路５の流出口側に流出口４とつながり流
れ方向が下向きである下向き流路６を形成する。
ふた２を嵌合装着してふた押さえナツト１０で固
定して形成されている。先ず本体１は次のように
構成されている。左側に流入口３、右側に流出口
４を形成し、中央部に流入口３とつながり流れ方
向を上向きにする上向き流路５を形成し、さらに
上向き流路５の流出口側に流出口４とつながり流
れ方向が下向きである下向き流路６を形成する。
また、上向き流路５の上端部には合成樹脂等の
シート７を装着して弁座とする。弁の本体上部は
開放されており、本体１の上部にはふた２を嵌合
装着し、嵌合したふた２のストツパーとして本体
１の嵌合部に段差１２を形成する。本体１にふた
２を嵌合装着することによつて本体１の上部とふ
た２との間に流体室１３が形成され、この流体室
１３は上向き流路５と下向き流路６とを連通して
いる。
シート７を装着して弁座とする。弁の本体上部は
開放されており、本体１の上部にはふた２を嵌合
装着し、嵌合したふた２のストツパーとして本体
１の嵌合部に段差１２を形成する。本体１にふた
２を嵌合装着することによつて本体１の上部とふ
た２との間に流体室１３が形成され、この流体室
１３は上向き流路５と下向き流路６とを連通して
いる。
本体１とふた２とを嵌合装着するとき、本体１
のシート７の上方に、中央部が上方に膨出した薄
板金属製ダイヤフラム９を配設し、ダイヤフラム
９の周縁部を本体の段差１２とふた２の外周部下
面とで挟持して密封保持する。この挟持をするに
は本体上部の外周におねじを切り、このおねじに
螺合するふた押さえナツト１０を螺着、締め付け
ることによつて行う。ダイヤフラム９を本体１と
ふた２の間に挟持することによつて前記した流体
室１３はこのダイヤフラム９によつて分断され
る。
のシート７の上方に、中央部が上方に膨出した薄
板金属製ダイヤフラム９を配設し、ダイヤフラム
９の周縁部を本体の段差１２とふた２の外周部下
面とで挟持して密封保持する。この挟持をするに
は本体上部の外周におねじを切り、このおねじに
螺合するふた押さえナツト１０を螺着、締め付け
ることによつて行う。ダイヤフラム９を本体１と
ふた２の間に挟持することによつて前記した流体
室１３はこのダイヤフラム９によつて分断され
る。
ふた２の中央には弁棒８が貫通する貫通孔があ
つて、この貫通孔においてふた２と弁棒８とがね
じ接合、螺合している。この弁棒８は回転自在で
あり、弁棒８の上部にはハンドル１１が着脱自在
に固定され、ハンドル１１を回転することによつ
て弁棒８が昇降する。弁棒は空圧等の流体圧や磁
力などによつて昇降させてもよい。
つて、この貫通孔においてふた２と弁棒８とがね
じ接合、螺合している。この弁棒８は回転自在で
あり、弁棒８の上部にはハンドル１１が着脱自在
に固定され、ハンドル１１を回転することによつ
て弁棒８が昇降する。弁棒は空圧等の流体圧や磁
力などによつて昇降させてもよい。
弁棒８を下降させるとその最下端面はダイヤフ
ラム９を押圧し、ダイヤフラム９は弾性変形し更
に塑性変形して、ダイヤフラム９の中央部は下方
に移動するが、ダイヤフラム９の弾性変形の範囲
内でダイヤフラム９の中央部が本体１のシート７
に圧接して弁が閉状態となるように、ダイヤフラ
ム９とシート７との間隔すなわちリフトを定め
る。
ラム９を押圧し、ダイヤフラム９は弾性変形し更
に塑性変形して、ダイヤフラム９の中央部は下方
に移動するが、ダイヤフラム９の弾性変形の範囲
内でダイヤフラム９の中央部が本体１のシート７
に圧接して弁が閉状態となるように、ダイヤフラ
ム９とシート７との間隔すなわちリフトを定め
る。
この後弁棒８を上昇させたときに、ダイヤフラ
ム９が弁棒８に追随して上昇し、元の形状に弾性
によつて自己復帰するようにする。すなわちダイ
ヤフラム９を弾性変形範囲内で変形させて、弁を
開閉するようにすることである。このダイヤフラ
ム９を弁棒８によつて押し下げ全閉状態にして、
この後弁棒８を上昇してダイヤフラム９を上昇さ
せて弁を開にするとき、ダイヤフラム９が弁棒を
追随するようにしたダイヤフラム９の形状につい
て説明する。
ム９が弁棒８に追随して上昇し、元の形状に弾性
によつて自己復帰するようにする。すなわちダイ
ヤフラム９を弾性変形範囲内で変形させて、弁を
開閉するようにすることである。このダイヤフラ
ム９を弁棒８によつて押し下げ全閉状態にして、
この後弁棒８を上昇してダイヤフラム９を上昇さ
せて弁を開にするとき、ダイヤフラム９が弁棒を
追随するようにしたダイヤフラム９の形状につい
て説明する。
第２図はダイヤフラム９の形状を大きな曲率を
持つた部分球殻形状としその縦断面図である。第
２図においてダイヤフラムの曲率半径をＲ、ダイ
ヤフラム板厚をｔ、ダイヤフラム曲率中心とダイ
ヤフラム両端を結んだ直線のなす角度を2βとす
る。この形状のダイヤフラム９を弁棒８によりＰ
Kgの荷重で押したときのダイヤフラムの変形量を
δmmとする（第３図）。α＝Rβ2／ｔをパラメー
タとしたときのＰとδとの関係の一例を第４図に
示す。
持つた部分球殻形状としその縦断面図である。第
２図においてダイヤフラムの曲率半径をＲ、ダイ
ヤフラム板厚をｔ、ダイヤフラム曲率中心とダイ
ヤフラム両端を結んだ直線のなす角度を2βとす
る。この形状のダイヤフラム９を弁棒８によりＰ
Kgの荷重で押したときのダイヤフラムの変形量を
δmmとする（第３図）。α＝Rβ2／ｔをパラメー
タとしたときのＰとδとの関係の一例を第４図に
示す。
第４図において荷重Ｐの値が小さいときはダイ
ヤフラム変形はほぼ弾性域である。すなわち弾性
変形する範囲を例えばＰ＜７Kgとすれば、α＝
2.1のときは荷重−変位曲線は単調に増大するか
ら弾性変形の範囲は狭く、変位量δが約0.4mm以
下が弾性変形の範囲であり、したがつてリフトは
最大限約0.4mmしか取れない。しかるにαがほぼ
3.2よりも大きいときには、荷重−変位曲線は極
大値Ａと極小値Ｂとを持ち、したがつて極小値Ｂ
に対応する変位よりもさらに大きな変位だけリフ
トを取ることができ、例えばα＝3.2、5.34、5.37
のときにはリフトはそれぞれ最大限約0.6、0.8、
0.9mmまで取れることとなる。すなわちαの値が
大きいと弾性変形域内におけるダイヤフラムの変
形量δが大きい、したがつてαを大きくとると弁
として全開時の流量が大きくなり、流過抵抗が小
さい。
ヤフラム変形はほぼ弾性域である。すなわち弾性
変形する範囲を例えばＰ＜７Kgとすれば、α＝
2.1のときは荷重−変位曲線は単調に増大するか
ら弾性変形の範囲は狭く、変位量δが約0.4mm以
下が弾性変形の範囲であり、したがつてリフトは
最大限約0.4mmしか取れない。しかるにαがほぼ
3.2よりも大きいときには、荷重−変位曲線は極
大値Ａと極小値Ｂとを持ち、したがつて極小値Ｂ
に対応する変位よりもさらに大きな変位だけリフ
トを取ることができ、例えばα＝3.2、5.34、5.37
のときにはリフトはそれぞれ最大限約0.6、0.8、
0.9mmまで取れることとなる。すなわちαの値が
大きいと弾性変形域内におけるダイヤフラムの変
形量δが大きい、したがつてαを大きくとると弁
として全開時の流量が大きくなり、流過抵抗が小
さい。
第４図に示した曲線は、弁棒８を貫通孔に螺合
させたときのように、変位量δを増大させたとき
の荷重Ｐの変化を表すが、同図に示した矢印は、
弁棒８に空圧等を作用させたときのように、荷重
Ｐを増大させたときの変位量δの変化を表す。す
なわちα＝5.34などでは、極大値Ａから一気に変
位量δが増大して、極大値Ａに対応するもう一つ
の変位に飛び移る。
させたときのように、変位量δを増大させたとき
の荷重Ｐの変化を表すが、同図に示した矢印は、
弁棒８に空圧等を作用させたときのように、荷重
Ｐを増大させたときの変位量δの変化を表す。す
なわちα＝5.34などでは、極大値Ａから一気に変
位量δが増大して、極大値Ａに対応するもう一つ
の変位に飛び移る。
しかしα＝6.27では極小値Ｂが負となり、すな
わちＰ＜０の領域を持つ。これは、この領域では
ダイヤフラムを上方に引つ張り上げる力を加えな
ければダイヤフラム９を元の形状に復帰できない
ことを意味し、弁棒８の下面とダイヤフラム９の
上面とを接着し、あるいはダイヤフラム９の下面
にスプリング等を介在させない限り、弁として利
用し難い。本発明は弁棒とダイヤフラムとを接着
する構成とはしておらず、またスプリングを介在
させるのでは無発塵型の弁とはならない。したが
つてリフトを大きく取るために極大値Ａと極小値
Ｂとを持ち、しかも原形状に自己復帰させるため
に極小値Ｂが正となる必要があり、図４の例では
α＝3.2、5.34、5.37が好ましいことが解る。
わちＰ＜０の領域を持つ。これは、この領域では
ダイヤフラムを上方に引つ張り上げる力を加えな
ければダイヤフラム９を元の形状に復帰できない
ことを意味し、弁棒８の下面とダイヤフラム９の
上面とを接着し、あるいはダイヤフラム９の下面
にスプリング等を介在させない限り、弁として利
用し難い。本発明は弁棒とダイヤフラムとを接着
する構成とはしておらず、またスプリングを介在
させるのでは無発塵型の弁とはならない。したが
つてリフトを大きく取るために極大値Ａと極小値
Ｂとを持ち、しかも原形状に自己復帰させるため
に極小値Ｂが正となる必要があり、図４の例では
α＝3.2、5.34、5.37が好ましいことが解る。
なお本実施例では上向き流路５の上端部に合樹
脂等のシート７を装着して弁座としている。しか
しダイヤフラム９の合成樹脂等のコーテイングを
行い、上向き流路５の上端部は本体金属のまま突
起弁座形状としてもよい。またダイヤフラム９の
形状は上方に膨出した台形状とすることもでき、
また複数枚を重ねて使用することもできる。
脂等のシート７を装着して弁座としている。しか
しダイヤフラム９の合成樹脂等のコーテイングを
行い、上向き流路５の上端部は本体金属のまま突
起弁座形状としてもよい。またダイヤフラム９の
形状は上方に膨出した台形状とすることもでき、
また複数枚を重ねて使用することもできる。
［発明の効果］
本発明の効果は次のとおりである。
ａ ダイヤフラムに関して弁座側には、ダイヤフ
ラムを駆動するスプリングが弁体などの摩擦摺
動部が配置されていないので、接触摩耗による
金属粉が全く発生せず、発生金属粉のシート面
かみ込みによるシート漏れや配管系の金属粉汚
染がない。
ラムを駆動するスプリングが弁体などの摩擦摺
動部が配置されていないので、接触摩耗による
金属粉が全く発生せず、発生金属粉のシート面
かみ込みによるシート漏れや配管系の金属粉汚
染がない。
ｂ ダイヤフラムの荷重−変位特性が極大値と極
小値とを有するので、極大値の荷重を印加した
ときにダイヤフラムは該極大値及び極小値に対
応する変位よりも一層大きな変位にまで変形し
てリフトを大きくとることができ、したがつて
流過抵抗の小さい弁を得ることができる。
小値とを有するので、極大値の荷重を印加した
ときにダイヤフラムは該極大値及び極小値に対
応する変位よりも一層大きな変位にまで変形し
てリフトを大きくとることができ、したがつて
流過抵抗の小さい弁を得ることができる。
ｃ 極小値が正なので、負荷手段を解除すればダ
イヤフラムは自己の保有する弾性力によつて原
形状に自己復帰し、したがつて支障なく開弁す
ることができる。
イヤフラムは自己の保有する弾性力によつて原
形状に自己復帰し、したがつて支障なく開弁す
ることができる。
第１図は本発明の一実施例を示す弁開時の縦断
面図、第２図はダイヤフラム縦断面図、第３図は
弁棒でダイヤフラムを押し下げているときの縦断
面図、第４図はダイヤフラムにかかる荷重と変形
量の関係を表わす図、第５図は従来のダイヤフラ
ムシール弁の縦断面図である。 １…本体、２…ふた、７…シート、８…弁棒、
９…ダイヤフラム。
面図、第２図はダイヤフラム縦断面図、第３図は
弁棒でダイヤフラムを押し下げているときの縦断
面図、第４図はダイヤフラムにかかる荷重と変形
量の関係を表わす図、第５図は従来のダイヤフラ
ムシール弁の縦断面図である。 １…本体、２…ふた、７…シート、８…弁棒、
９…ダイヤフラム。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 周縁を固定したダイヤフラムを弁座に対向し
て配置し、該ダイヤフラムの中央部を弁座方向に
変位させる負荷手段をダイヤフラムに関して弁座
とは反対側に設け、該負荷手段の印加によつてダ
イヤフラムを弁座に当接させ、負荷手段の解除に
よつてダイヤフラムを原形状に自己復帰させて弁
の開閉を行うダイヤフラムシール弁において、 前記ダイヤフラムの荷重−変位特性は極大値と
極小値とを有し、且つ極小値は正の荷重であるこ
とを特徴とするダイヤフラムシール弁。 ２ 前記ダイヤフラムは、中央部が前記負荷手段
側に膨出した薄板の金属によつて形成されている
特許請求の範囲第１項記載のダイヤフラムシール
弁。 ３ 前記負荷手段は、弁箱と螺合してダイヤフラ
ムを弁座側に押圧する弁棒である特許請求の範囲
第１項又は第２項記載のダイヤフラムシール弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9227588A JPS63285373A (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 | ダイヤフラムシール弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9227588A JPS63285373A (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 | ダイヤフラムシール弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63285373A JPS63285373A (ja) | 1988-11-22 |
| JPH0454104B2 true JPH0454104B2 (ja) | 1992-08-28 |
Family
ID=14049849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9227588A Granted JPS63285373A (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 | ダイヤフラムシール弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63285373A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3928678C1 (ja) * | 1989-08-30 | 1990-12-20 | Messer Griesheim Gmbh, 6000 Frankfurt, De | |
| US5131627A (en) * | 1990-10-17 | 1992-07-21 | Nupro Company | Diaphragm valve |
| JP3472650B2 (ja) * | 1995-07-24 | 2003-12-02 | 株式会社フジキン | 流体制御器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1323887A (en) * | 1970-05-26 | 1973-07-18 | Brychta O | Logic gates |
-
1988
- 1988-04-13 JP JP9227588A patent/JPS63285373A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1323887A (en) * | 1970-05-26 | 1973-07-18 | Brychta O | Logic gates |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63285373A (ja) | 1988-11-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |