JPH04501036A - レーザ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、２個の共振器端鏡により数回屈曲した光路とレーザ光を屈曲して逆反 射にする少なくとも１個の反射体とを有し、反射体の軸を別の反射体の軸とは特 に平行にずらして配置してなる特許（特許出願Ｐ　３７１６８７３．８）記載の レーザに関する。

技術水準 主発明に記載のレーザではレーザ光を屈曲して逆反射にする多数の反射体がダハ 鏡として構成してあり、レーザ光の光路を往復して持続的に屈曲することができ るよう各２個が隣接し、互いに屈曲し平面上でその全幅の約半分だけ、又は１反 射鏡の幅だけ軸平行にずらしである。つまりダハ鏡は所謂多路共振器の部材であ る。その屈曲鏡又は反射体はレーザの長手幅を小さくするのに役立つ。しかしこ の屈曲により一般に光線案内及び光線品質の点で問題が生じる。光線案内は、鏡 の調整が正確でなく又はレーザの構成により望ましくない形で影響を受けること で光線が全く正確には希望方向に反射されないことにより損なわれる。光線品質 は例えば反射時ダハ鏡の角範囲における回折効果により劣化する。屈曲数に伴い これらの不具合が増す点は共通している。

前記不具合の全般的改善が逆反射柱鏡を使用することで得られ、これには前記ダ ハ鏡も含まれる。かかる違反射鏡は入射光を入射角に拘りなくそれ自身と平行に 反射する性質があり、その調整感度は比較的小さい。

かかる逆反射性反射体は例えば前記ダハ鏡等の平面上で、又は３つの鏡面を互い に直角に配置するとき三次元作用する。例えば１０ミリラドの調整感度はその他 の非逆反射性反射体の例えば１００マイクロラドに比べ既に著しく低下している のではあるが、しかしこの光線品質はなお改善の余地有りと見做される。

発明の説明 そこで本発明の課題は、冒頭述べた種類のレーザを改良し、その比較的小さな調 整感度を維持しつつ光線品質が向上するようにすることである。

この課題は光路を逆反射性反射体で少なくとも２回屈曲することにより解決され る。

本発明にとって重要な点は、光線品質に及ぼす光学的不均一性の影響がこの逆反 射性反射体の特殊な屈曲幾何学により少なくとも一部解消できることである。

かかる反射体では調整感度も更に低下する。このことはまずなによりも、光路を 屈曲するため逆反射性反射体を多重利用することにより達成される。つまり互い に独立した個々の反射体間に光学的不正確さが生じ、複数のこの逆反射性反射体 の調整誤差を防止し安定性を高めることもできる。特に光学的不均一性は、個々 の光路部分の空間的型なりを防止できるので、従来の多路共振器に比べ減少する 。

反射体の軸方向オフセットは有利にはレーザ光の半径に等しいか又はそれより大 きく、反射鏡の半径方向幅より小さい。軸方向オフセットをこのように設計する ことで一方で光路部分相互の重なりを避けることが保証される。レーザ光の個々 の平行な光路部分の重なりを避けることにより最良の光線品質が達成される。

レーザ光は両共振器の屈曲範囲内に留まる。このことにより更にレーザ光を反射 体の角範囲に入射させる必要のないようにすることが可能となる。二次元又は三 次元逆反射性反射体のかかる角は顕著な回折効果を生じるが、それは反射体の角 を正確な直角には実施できないからである。むしろ丸みやその他の、共振器損失 を引き起こす凹凸が常に存在し、これらはそれにより反射された放射の著しい広 がり角を生じ、光線品質をも明白に損なう。更に、逆反射体の角は一般に損傷の 虞に曝されており、この角を避けて光線を案内することによりレーザ放射が損な われる虞は一般に防止される。

逆反射性反射体は二次元作用し、軸方向オフセットは屈曲平面上にある。レーザ 又はその共振器配置をこのように構成することで１平面においてレーザ活性物質 の有利な利用を達成することができる。空間内又は相互に異なる３方向での活性 物質の最適利用は逆反射性反射体が三次元作用し、軸方向オフセットがレーザ活 性物質の利用可能な横断面に適合したこの反射体の横方向オフセットによって決 まるとき達成される。前記２つの事例では前述の諸利点になお、軸方向オフセッ トを適宜に選択することによりレーザの構造上与えられた条件に反射体を適合し て柔軟性が向上する。更に、従来の多路共振器の場合よりも活性物質の利用、つ まり出力利得も効果的となる。

有利には２個の逆反射性反射体が少なくとも光学的に対向させて設けてあり、各 反射体は光路を少なくとも２回屈曲する。かかる構成は特に二次元又は三次元作 用する逆反射性反射体を簡単に構成するうえで有利であるが、それは少なくとも ほぼ同じ回数屈曲する反射体、従ってほぼ同じ大きさの反射体が使用されるから である。

２個の逆反射性反射体間にあってレーザ活性物質をできるだけ密に有する空間を 可能なかぎり完全利用するためレーザは共振器端鏡を逆反射性反射体と同軸又は これと軸平行に配置して光路が螺旋状に広がるよう構成しである。その際共振器 端鏡は上述の不具合の故に元々光路内に入れるべきでない反射体の角範囲に配置 しておくのが望ましく、これによりレーザ構造の緻密さを一層高めることができ る。

レーザをできるだけ緻密に構成するうえで格別重要なのはレーザ活性物質の放射 状にあらゆる方向に伸びた空間を利用することである。このことは、平面的又は 二次元作用する逆反射性反射体でもって、少なくとも２つの光路平面上でレーザ 光を屈曲して逆反射することのできる２個の二次元作用する反射体と、これに対 し立てて配置され光路を２つの光路平面間に導く少なくとも１個の逆反射性反射 体とを設けることにより達成される。光を屈曲するのに逆反射性反射体を最適に 利用できるよう２個の共振器端鏡は光路平面の外側で一方の逆反射性反射体の横 にそれぞれ一方の光路平面の高さに配置しである。

三次元的に逆反射作用のある反射体が２個存在し且つこれが、２つの互いに平行 な光路平面を生じる並進的軸方向オフセットを有するとき、幾つもの光路平面を 有する共振器配置の互いに別々に反射する部材数が更に減少する。光路を２つの 光路平面間に導く１個又は複数個の鏡は不要となる。

特に光路を何度も屈曲するときレーザ放射は必ずしも無視しえる拡散又は出力損 失をもたないので、光路内に少なくとも１個の中間合焦する光学系を介設すると 有利である。この光学系の構成は光線案内の各平坦配置に合わせである。それは 有利には中間合焦光学系が全ての光路部分をそれぞれ転向し放物面状に作用する 鏡であるか又は屈曲した光路の占める全断面にわたって延びた集光レンズである よう構成しである。放物面状に作用する鏡は易製造性の理由から特に光路を１平 面又は複数平面で屈曲する場合使用され、他方集光レンズが優先されるのは、放 物面状に作用する鏡の製造に費用がかかりすぎ又は光線案内の不正確さが過度に 大きく且つ光線品質の劣化が受け入れ難くなるよう光路の横断面が構成しである ときである。

本発明によるレーザは前記特徴を考慮に入れて特にそれが光線分割を可能とする よう構成することができる。その際それは共振器端鏡が半透窓として屈曲した光 路の内部に配置してあり、この共振器端鏡の後段に少なくとも１個の半透性出力 鏡を設けるようにしである。共振器を離れたレーザ光は共振器の範囲外で逆反射 性反射体間に導かれ、レーザ光の一部が出力結合され、反射された放射部分は第 二光線として別の箇所に用意される。こうして達成される光線分割が興味深いの は特に共振器を離れた放射部分を逆反射性反射体により再びレーザ活性物質に通 して増幅することができ、しかも出力鏡に達する前でもその後でも可能であるか らである。

２個の共振器端鏡を同軸に配置し、一方の反射体の少なくとも１つの反射体面で 出力鏡を形成するとき有利な１構成が得られる。この場合反射体により形成され た全ての光路部分は全レーザ光又はその一部を増幅するのに利用され、光線品質 と調整感度が多数の個別部分によって劣化することもない。

本発明構成においてレーザは光線の直径に適合した通路内に活性物質を有する誘 電体からなるレーザブロックを有し、逆反射性反射体はブロックから距離を置き 又は適宜に成形した端面に配置しである。

図面の簡単な説明 図示した実施例を基に本発明を説明する。

第１図及び第２図は２個の二次元逆反射性鏡開で屈曲した異なる光路の概要図、 第３ａ図は２つの光路平面で形成した共振器の概要斜視図、 第３ｂ図は光線案内を説明する第３ａ図に示す共振器の平面図、 第４ａ図は三次元作用する２個の逆反射性反射体を有する共振器の斜視図、 第４ｂ図は第４ａ図に示す配置のＡ方向における光線分布、 第５図は三次元作用する個々の逆反射性反射体の斜視図、 第６図は中間合焦光学系を有する第１図と同様の図示、 第７図は中間合焦放物面鏡を有し三次元作用する逆反射性反射体、そして 第８図及び第９図はレーザ放射を何度か出力するレーザの実施態様。

反射体Ｍｌ、Ｍ２を示す。各反射体Ｍｌ、Ｍ２は互いに直角に配置した２つの鏡 面１０．１１を有し、これらが軸ａｌ、ａ２を角の二等分線として含む。この軸 は図示平面上で互いに軸平行にずれ、軸方向オフセットはｄに等しい。反射体Ｍ ｌ、Ｍ２は２個の共振器端鏡ｍｌ、ｍ２とで共振器配置を形成し、端鏡ｍｌ。

ｍ２間を走るレーザ光１３は図示平面上で数回屈曲している。レーザ光１３の空 間的法がり又は直径は反射体Ｍ１の角範囲に配置した鏡ｍ１によって決まる。従 ってレーザ光１３は直径りである。それを基準に反射体Ｍｌ、Ｍ２の軸方向オフ セットはｄがＤ／２、つまリレーザ光１３の半径に等しいか又はそれより大きく なるようなものである。

第１図によればレーザ光１３の光路が共振器端鏡ｍｌ、ｍ２間で数回屈曲し、左 側反射体Ｍ１は２回、右側反射体Ｍ２は３回屈曲する。光路平面上で平行に並ん だ光路部分１４は合計６つとなり、光路部分１４の平行性は反射体Ｍｌ、Ｍ２が ほぼ図示平面上で二重矢印２９に沿って互いに僅かに捩じれているかどうかに比 較的左右されない。というのも反射体Ｍｌ、Ｍ２による屈曲は逆反射的に行われ 、即ち入射光路部分はそれ自身に平行に反射されるからである。

第１図から更にわかるように光路部分１４は比較的密に並んでいる。これにより 簡略化のため図示省略したレーザ活性物質の利用が良好になる。この利用はレー ザ放射に利用可能な全断面にわたってほぼ同じ大きさであるが、それは共振器端 鏡ｍ１が逆反射性反射体Ｍ１と同軸に配置してあり、軸方向オフセットｄがＤ／ ２より僅かに大きいだけであるからである。この過剰寸法によって最も内側の２ つの光路部分１４ａ。

１４ｂが反射体Ｍ２の角１５からどれだけ離れるかが決まる。光路部分１４ａ、 １４ｂと角１５とのこの距離又は光路部分１４ａ、１４ｂ相互の距離は角１５の 構成が不均一であればあるほど、従って光線品質の低下が大きければ大きいほど 大きいにちがいない。

第２図が第１図と同様に示す図示では相隣接した内側光路部分１４ａ、１４ｂの 距離が第１図のものよりかなり大きい。この実施態様は反射体Ｍｌ、Ｍ２の角１ ５が格別不均一であるような共振器配置を考慮したものである。例えば反射体Ｍ ｌ、Ｍ２が一体でなく、つまり例えば一体なダハ鏡からでなく互いに分離した鏡 面から構成し、この鏡面を相互に一定の間隔を置いて例えばブロック状部材によ り互いに直角に配置して保持する場合がそうである。この場合角１５だけでなく それを取り囲む角範囲もレーザ光の反射に使用できず、共振器端鏡ｍ１は有利に は、第１図に示すように反射体Ｍ１と同軸に配置するのでなくこの反射体Ｍ１に 対し軸平行にずらして配置される。

前記２つの共振器配置では光路が螺旋状に広がるよう共振器端鏡ｍ１２ｍ２が反 射体Ｍ１．Ｍ２の軸ａｌ。

ａ２に対し配設しである。両方の場合とも軸方向オフセットｄが反射鏡の半径方 向幅ｒ１例えば１１より小さいことも自明である。というのも、そうでなければ 少なくとも１個の反射鏡、例えばＭ２による多重屈曲が不可能であるからである 。

第３ａ図及び第３ｂ図には上下２つの光路平面１６゜１７用にダハ鏡として構成 した２個の逆反射性反射体Ｍｌ、Ｍ２を有するレーザが示しである。従って各反 射体Ｍｌ、Ｍ２の高さｈは少なくとも２Ｄに等しい。

レーザ光１３を２つの光路平面１６．１７間に導くため逆反射性反射体Ｍ３が立 てて配置してあり、これが光路部分１４ｃ、１４ａ間でレーザ光１３の転向を行 い、この反射体が反射体Ｍ１と同軸に配置してあり、後者はその角範囲にレーザ 光１３用に上下２つの通過穴１８を有する。

反射体Ｍ１は第３ｂ図によれば軸方向オフセットｄを考慮して反射体Ｍ２より多 少幅狭に保ってあり、レーザ光１３は共振器端鏡ｍ１．ｍ２に達することができ る。端鏡は支持ブロック１９にそれぞれ光路平面１６．１７の高さで上下に配置 しである。鏡ｍ１が第１図及び第２図の実施態様では専ら反射作用を有する一方 、鏡ｍ２は上記実施態様の鏡ｍ２と同様に半透窓であり、つまり出力鏡として働 く。従ってレーザ光１３の光路は鏡ｍ１から出発して光路平面１６上を螺旋状に 反射体Ｍ１の軸ａ１内に、そしてそこから、竪型配置の反射体Ｍ３を介し光路平 面１７内に、そして螺旋状に広がって端鏡ｍ２にまで走り、この端鏡を通してレ ーザ光の一部が出力される。

第１図乃至第３ｂ図に示した共振器配置は二次元作用する逆反射性反射体に係わ る。これは図示平面に直角に調整感度を有し、それが要請される場合有利には三 次元作用する逆反射性反射体を使用しなければならない。かかる反射体Ｍ４が第 ５図に概略示しである。

この反射体Ｍ４は第４ａ図にやはり示したように相互に直角に配置した鏡２０， ２１．２２からなる。レーザ放射はかかる立体的に作用する逆反射性反射体Ｍ４ によって、反射体が図示平面上でだけでなく及び／又は付加的に反射体の軸に垂 直な方向で回転可能に配置しであるときでもそれ自身に平行に反射される。

第４ａ図に示した反射体配置はその反射体Ｍ４゜Ｍ５がエツジパラレル又は捩じ れておらず、従ってベクトルｒＯだけ摺動している。第４ｂ図に示す２つの屈曲 平面１６．１７が得られ、この図には投影ｒ′　０、及びレーザ光１３の光路転 向点の第４ａ図に示した位置ベクトルｒ２乃至ｒ５の反射鏡２０．２１．２２に 対する投影、そして共振器端鏡ｍｌ、ｍ２用位置ベクトルｒ１．ｒ６の投影、又 はこれと整列した鏡２０の通過穴が記入してあり、そのうち第４ａ図には１つの 通過穴２３が図示しである。

反射体Ｍ４．Ｍ５の軸方向オフセットは、投影ｒ′　０から生じる。

第６図に示す反射体Ｍｌ、Ｍ２及び共振器端鏡ｍｌ。

ｍ２の配置は第１図に類似しているが、しかしレーザ光１３の光路内に放物面状 に作用する鏡２４が配置しである。この配置は光路全体の９０°転向が行われる ようなされている。鏡２４は中間合焦光学系であり、各１個の放物面鏡形成する 複数の鎖部分２４′からなり、鎖部分は各光路部分、例えば１４ａに１つの鎖部 分２４′が割り当てられ中間合焦作用を及ぼすよう光路に対し調整しである。

第６図に見られるような光路全体の９０’転向は転向に起因して活性物質中で光 路部分が空間的に重なるとき望ましくないことがある。こうした場合鏡２４や第 １図に示す反射体の配置に代え集光レンズが一層有利であろう。

第７図に示す逆反射性反射体Ｍ４は３個の互いに直角に配置した反射鏡２０乃至 ２２を有し、鏡２０は放物面状に構成しである。つまり反射体Ｍ４が三次元作用 する場合この鏡２０により中間合焦が行われる。鏡２０は１平面を基準に合焦を 行うことができるにすぎないので、必要なら鏡２１．２２も放物面状に構成する のが有利である。

第７図は中間合焦光学系として空間的に作用する反射体Ｍ４の１個又は複数個の 反射鏡２０乃至２２の構成に係わる。二次元作用する反射体の場合でも中間合焦 は反射体自体によって可能である。このことが第３ａ図に反射体Ｍ２の適宜に湾 曲したエツジ線２５により示唆しである。

特に高出力レーザ用に設計した不安定構成の多路共振器を提供するため、共振器 端鏡ｍ１又はｍ２に代え、スクレーパ鏡と凸面湾曲しスクレーパ鏡の孔寸法に合 わせた端鏡を使用することができ、その際光路を多重屈曲するとそれに応じて増 幅が大きくなり、レーザが可能なかぎり緻密に構成され、低感度、高光線品質と いう前述の特別の利点が得られる。だがまた前述の共振器構成を安定的に構成す ることも可能である。この場合光路部分を狭く並置させて多重屈曲させると低モ ード又は小さな光線断面の場合でも活性物質の希望する高い利用がもたらされる 。

本発明による多重屈曲が格別重要となるのは第８図及び第９図に示すように共振 器端鏡ｍ２をレーザ光１３の屈曲した光路の内部に配置する場合である。第８図 及び第９図は同軸に配置した共振器端鏡ｍｌ。

ｍ２を示す。鏡ｍ２が半透性であり、それを離れたレーザ放射はその基本特性が 鏡ｍｌ、ｍ２間の比によって決まる。共振器は例えば図示省略しモード絞りでも って基本モード動作に調整することができる。半透性共振器端鏡ｍ２を離れた放 射は次に前述の如く逆反射性反射体Ｍｌ、Ｍ２及び場合によっては中間合焦光学 系２４により屈曲し又は転向され、活性物質を通過する際増幅される。

第８図及び第９図に示す２つの実施態様の特徴は共振器端鏡ｍ２の後段で出力鏡 ｍ３が光路内に配置しである点にある。その結果レーザ光の一部が系を離れ、第 一の外部レーザ光Ｓ１を形成する。その際出力鏡ｍ３は逆反射性反射体Ｍ１の反 射するだけの非半透鏡１１を補足する。その結果光路は第１図及び第２図と同じ 螺線状に案内され、レーザ光が反射鏡ｍ３に衝突するたびに別の外部レーザ光、 例えばＳ２が発生され、最後にはレーザ光１３が反射体系を離れて外部光Ｓ３を 形成する。こうして光線分割を達成することができ、その際上述の実施態様の諸 利点も利用される。光線分割時特に有利なのは各光線分割後に増幅が起き、それ に適合した出力の外部光線が用意される点にある。例えば出力整合は全ての光線 が同じ出力となるよう行うことができる。この場合例えば基本モード動作が可能 であり、外部レーザ光Ｓ１乃至Ｓ３は例えば平行に案内した切断光線として例え ば薄板分離操作のとき使用することができる。

第８図では反射体Ｍｌ、Ｍ２間に誘電体、例えばセラミックスからなるレーザブ ロック２６が配置しである。そのなかに配置された通路２７が活性物質、例えば ガスを受容する。レーザブロック２６は互いに角度を成した端面２８を有し、こ れに逆反射性反射体Ｍ１又はＭ２が被着してあり、それに応じて緻密な安定した レーザ構成が得られる。

通路２７は光路に応じて互いに平行且つ垂直に配置してあり、光路の適宜な立体 的型なりを生じる。このことで光線品質は受け入れ難いほど劣化することがある 。こうした場合空間的型なりは第９図に示すようにレーザ活性物質の外側で行わ ねばならないであろうし、そこにはレーザブロック２６が逆反射性反射体Ｍｌ。

Ｍ２又は中間合焦鏡２４から距離を置いて配置しである。

共振器端鏡ｍｌ、ｍ２に関しどの実施態様でも半透鏡又は全反射鏡を使用できる ことは自明である。前者は普通、安定した共振器を形成するのに利用されるのに 対し、後者は不安定共振器を設計するのに利用される。つまり前述の屈曲構想は ２つの基本的共振器構想に利用可能である。更に、共振器端鏡ｍｌ、ｍ２を非遮 光窓に代えることも可能である。この場合それに入射するコヒーレント光の増幅 に役立つ増幅器又は発振器がある。かかる増幅器はレーザ光を発生する独自の共 振器系を有するレーザと合わせて使用することができる。かかる場合にも前述の 屈曲構想はレーザ系を改善するという課題提起の意味で有利である。

産業上の利用可能性 本発明方法は放射品質の著しく向上したレーザを製造するのに役立つ。

き１ 国際調査報告 国際調査報告

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. １．２個の共振器端鏡により数回屈曲した光路とレーザ光を屈曲して逆反射にす る少なくとも１個の反射体とを有し、反射体の軸を別の反射体の軸とは特に平行 にずらして配置してなる特許（特許出願　Ｐ３７１６８７３，８）記載のレーザ において、光路を逆反射性反射体（Ｍ１，Ｍ２，Ｍ４，Ｍ５）で少なくとも２回 屈曲したことを特徴とするレーザ。
2. ２．反射体（Ｍ１，Ｍ２，Ｍ４，Ｍ５）の軸方向オフセット（ｄ）がレーザ光（ １３）の半径（Ｄ／２）に等しいか又はそれより大きく、反射鏡（例えば１１） の半径方向幅（ｒ）より小さいことを特徴とする請求の範囲１記載のレーザ。
3. ３．逆反射性反射体（Ｍ１，Ｍ２）が二次元作用し、軸方向オフセット（ｄ）が 屈曲平面上にあることを特徴とする請求の範囲１又は２記載のレーザ。
4. ４．逆反射性反射体（Ｍ４，Ｍ５）が三次元作用し、軸方向オフセットがこの反 射体（例えばＭ４）の、活性レーザ物質の利用可能な横断面に適合した並進オフ セットｒＯによって決まることを特徴とする請求の範囲１又は２記載のレーザ。
5. ５．互いに少なくとも光学的に対向した２個の反射体（Ｍ１，Ｍ２）が設けてあ り、各反射体（Ｍ１，Ｍ２）が光路を少なくとも２回屈曲することを特徴とする 請求の範囲１乃至４のいずれか１項又は複数項記載のレーザ。
6. ６．光路を螺線状に広げるため共振器端鏡（ｍ１）を逆反射性反射体（Ｍ１）と 同軸又はこれと軸平行に配置したことを特徴とする請求の範囲１乃至５のいずれ か１項又は複数項記載のレーザ。
7. ７．共振器端鏡（ｍ１）を反射体（Ｍ１）の角範囲に配置したことを特徴とする 請求の範囲６記載のレーザ。
8. ８．少なくとも２つの光路平面（１６，１７）上でレーザ光（１３）を屈曲して 逆反射することのできる二次元作用する２個の反射体（Ｍ１，Ｍ２）と、これに 対し立てて配置され光路を２つの光路平面（１６，１７）間に導く逆反射性反射 体（Ｍ３）とを設けたことを特徴とする請求の範囲１乃至７のいずれか１項又は 複数項記載のレーザ。
9. ９．２個の共振器端鏡（ｍ１，ｍ２）を光路平面（１６，１７）の外側で逆反射 性反射体（Ｍ１，Ｍ２）の横にそれぞれ一方の光路平面（１６，１７）の高さに 配置したことを特徴とする請求の範囲８記載のレーザ。
10. １０．２個の三次元で逆反射作用する反射体（Ｍ４，Ｍ５）が設けてあり、２つ の互いに平行な光路平面（１６，１７）を引き起こす並進的軸方向オフセット（ ｒＯ）を有することを特徴とする請求の範囲４及び５記載のレーザ。
11. １１．光路内に少なくとも１個の中間合焦光学系（２４）を介設したことを特徴 とする請求の範囲１乃至１０のいずれか１項又は複数項記載のレーザ。
12. １２．中間合焦光学系（２４）が、全ての光路部分をそれぞれ転向し放物面状に 作用する鏡、又は屈曲した光路の占める全断面にわたって延びた集光レンズであ ることを特徴とする請求の範囲１１記載のレーザ。
13. １３．共振器端鏡（ｍ２）が半透窓として屈曲した光路の内部に配置してあり、 この共振器端鏡（ｍ２）の後段に少なくとも１個別の半透出力鏡（ｍ３）が設け てあることを特徴とする請求の範囲１乃至１２のいずれか１項又は複数項記載の レーザ。
14. １４．２個の共振器端鏡（ｍ１，ｍ２）が同軸に配置してあり、一方の反射体の 少なくとも１つの反射体面が出力鏡（ｍ３）を形成することを特徴とする請求の 範囲１３記載のレーザ。
15. １５．光線の直径に適合した通路（２７）内に活性物質を有する誘電体からなる レーザブロック（２６）をレーザが有し、逆反射性反射体（Ｍ１，Ｍ２，Ｍ４， Ｍ５）がブロック（２６）から距離を置いて又は適宜に成形した端面（２８）に 配置してあることを特徴とする請求の範囲１乃至１４のいずれか１項又は複数項 記載のレーザ。
16. １６．共振器端境（ｍ１，ｍ２）に代え、非遮光窓を設けたことを特徴とする請 求の範囲１乃至１５の少なくとも１項記載のレーザ。