DE19927288A1

DE19927288A1 - Resonator für einen HF-angeregten Laser

Info

Publication number: DE19927288A1
Application number: DE1999127288
Authority: DE
Inventors: Holger Schlueter; Thomas Zeller; Wolfgang Andreasch
Original assignee: Trumpf Lasertechnik GmbH
Current assignee: Trumpf Lasertechnik GmbH
Priority date: 1999-06-15
Filing date: 1999-06-15
Publication date: 2000-12-28
Also published as: WO2000077894A1

Abstract

Beschrieben wird ein Resonator für einen HF-angeregten Gaslaser, mit einer wenigstens zwei Elektroden aufweisenden Elektrodeneinrichtung, einem mehrere Teilentladungsräume aufweisenden Gasentladungsraum, und einer Spiegelanordnung, die einen Rückspiegel, einen Auskoppelspiegel sowie wenigstens einen Retroreflektor aufweist, die den zwischen Rück- und Auskoppelspiegel laufenden Laserstrahl derart umlenkt, daß er die Teilentladungsräume durchläuft. DOLLAR A Die Erfindung zeichnet sich durch folgende Merkmale aus: DOLLAR A - jedem Teilentladungsraum sind zwei Elektrodenflächen zugeordnet, DOLLAR A - die Ausdehnung jedes Teilentladungsraums parallel zu den Elektrodenflächen und senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls ist wenigstens doppelt so groß wie die Ausdehnung des Teilentladungsraumes senkrecht zur Oberfläche und senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls, DOLLAR A - zwischen benachbarten Teilentladungsräumen sind Elektroden gleichen Potentials angeordnet.

Description

Technisches Gebiet

Die Erfindung bezieht sich auf einen Resonator für einen HF-angeregten Laser gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Derartige Resonatoren werden u. a. für CO₂-Laser eingesetzt, die zur Be arbeitung und insbesondere zum Schneiden oder Schweißen von Werk stücken aller Art verwendet werden können.

Stand der Technik

Ein Resonator, von dem bei der Formulierung des Oberbegriffs des Pa tentanspruchs 1 ausgegangen worden ist, ist aus der DE 38 13 572 A1 bekannt. Weitgehend ähnliche Resonatoren sind in der DE 37 16 873 A1 oder der DE 38 13 569 A1 beschrieben.

Bei dem in der DE 38 13 572 A1 beschriebenen Resonator sind zwei Re troreflektoren vorhanden, die den Strahlengang des Lasers mehrfach fal ten.

Weiterhin ist aus der DE 41 02 079 A1 ein Excimer-Laser bekannt, bei dem ein Stapel von Entladungselektroden vorgesehen ist. Dieser Stapel wird von einem - an einer anderen Stelle von einem getrennten Laser erzeug ten - Ionisations-Laserstrahl mäanderförmig durchlaufen. Der "eigentliche" Laserstrahl wird nur in dem Zwischenraum zwischen zwei Elektroden hin- und herreflektiert. Da die Höhe des Stapels und die Breite der Elektroden maßgeblich für den Querschnitt des Laserstrahles sind, kann man einen vergleichsweise großen Querschnitt erhalten. Nachteilig bei der bekannten Vorrichtung ist jedoch, daß ein zusätzlicher Ionisations-Laserstrahl einge setzt wird, so daß nicht nur die Endspiegel des eigentlichen Laserstrahls, sondern auch die für den Ionisations-Laserstrahl vorgesehenen Retrore flektoren justiert werden müssen.

Weiterhin sind Resonatoren anderer Gattung aus den US-PS 5,689,523 und 5,648,980 bekannt:
In diesen Druckschriften sind Laserresonatoren mit einem sternfömigen Querschnitt beschrieben, bei denen es sich um keine stabilen Resonatoren im eigentlichen Sinne handelt. Vielmehr handelt es sich um eine Mehrzahl voneinander unabhängiger Laser, deren Einzelstrahlen erst durch kompli zierte Spiegelanordnungen zu einem nicht kohärenten Strahlenbündel ver einigt werden.

Darstellung der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Resonator und insbeson dere einen stabilen Resonator für einen HF-angeregten Laser gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 derart weiterzubilden, daß die Teilstrahlen gänge ein großes Volumen des Lasermediums durchdringen, und bei dem trotzdem eine effektive HF-Anregung bei vergleichsweise einfacher Abfuhr der Verlustleistung möglich ist.

Eine erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist im Anspruch 1 angege ben. Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Ansprüche 2 fol gende.

Die Erfindung geht von dem Grundgedanken aus, ein großes aktives Vo lumen des Lasermediums eines gattungsgemäßen Laserresonators durch eine Abkehr von einem rotationssymmetrischen Querschnitt jedes Teil strahlengangs zu erreichen. Insbesondere kann der Querschnitt des La serstrahls jedes Teilstrahlengangs zumindest annähernd rechteckförmig sein.

Durch den nicht rotationssymmetrischen Strahl des Lasers "überstreicht" der Laser bei vergleichsweise wenigen Faltungen ein großes Volumen, so daß der Laser eine hohe Leistung haben kann. Um das Lasermedium ge rade bei einem Hochleistungslaser in einfacher und dennoch effektiver Weise anregen zu können, sind jedem Teilentladungsraum, d. h. jedem zwischen zwei Umlenkungen verlaufenden Laser-Teilstrahlengang zwei Elektrodenflächen zugeordnet. Damit kann die erforderliche hohe HF- Leistung effektiv in das Lasermedium eingekoppelt werden. Dies gilt insbe sondere dann, wenn der Abstand der jedem Teilentladungsraum zugeord neten Elektrodenflächen klein im Vergleich zu der Ausdehnung jeder Elek trodenfläche in Richtung der Ausbreitung des Laserstrahls und bevorzugt auch klein im Vergleich zu der Ausdehnung jeder Elektrodenflächen senk recht zur Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls ist. Die Ausdehnung jedes Teilentladungsraums parallel zu den Elektrodenflächen und senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls ist erfindungsgemäß wenigstens doppelt und bevorzugt wenigstens fünfmal so groß wie die Ausdehnung des Teilentladungsraumes senkrecht zur Oberfläche der Elektroden und senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls.

Weiterhin sind erfindungsgemäß zwischen benachbarten Teilentladungs räumen Elektroden gleichen Potentials angeordnet. Hierdurch wird nicht nur die Ansteuerung erleichtert, sondern es werden auch Überschläge zwi schen benachbarten Elektroden verhindert. Außerdem läßt sich so ein kompakter Aufbau erzielen.

Bevorzugt ist ein stabiler Resonator. Hierfür ist es erforderlich, daß die Umlenkung zwischen zwei nacheinander durchlaufenen Teilentladungs räumen, d. h. zwischen zwei benachbarten oder bei Verwendung eines schneckenförmigen Umlaufs - hierzu wird auf die DE 38 13 572 A1 ver wiesen - einander gegenüberliegenden Teilentladungsräumen, phasen neutral erfolgt. Phasenneutral bedeutet, daß die optische Weglänge für alle Teilstrahlen gleich oder um ein halbzahliges Vielfaches der Wellenlänge verschieden ist.

Um eine phasenneutrale Umlenkung des Laserstrahls zwischen nachein ander durchlaufenen Teilstrahlengängen zu erreichen, so daß die Strecke, die beliebige Teilstrahlen durchlaufen, für alle Teilstrahlen gleich ist, wird eine U-förmige Faltung eingesetzt. Hierzu bestehen die Faltungsspiegel aus Retroflektoren, d. h. aus zwei aufeinander stehenden Spiegelflächen. Durch den Einsatz von Retroreflektoren wird ein Winkelversatz des Laser strahls des sternförmigen Lasers bei einer Verkippung der Faltungsspiegel vermieden: Ein Winkelversatz führt vielmehr nur zu einem transversalen Versatz. Damit ist der Justageaufwand deutlich reduziert. Beim Kamm- Laser gilt das zuvor beschriebene nur für Verkippungen um die Schnittlinie der beiden Spiegelflächen des Retroreflektors.

Hierdurch ist es möglich, einen stabilen Resonator zu erhalten, bei dem sich der Strahl nicht nur senkrecht zu den Elektrodenoberflächen durch Wellenleitung stabil, sondern auch in Richtung parallel zu den Elektro denoberlächen und senkrecht zur Strahlrichtung stabil frei ausbreitet.

Die Anordnung und die Ausbildung der den einzelnen Teilentladungsräu men zugeordneten Elektrodenflächen kann dem jeweiligen Einsatzfall an gepaßt sein.

Exemplarisch und bevorzugt sind in den Ansprüchen 10 bzw. 12 zwei Möglichkeiten für die Anordnung der Elektrodenflächen und damit für die Anordnung der Teilentladungsräume angegeben:
Hierzu können - wie für Resonatoren anderer Gattung aus den genannten US-PS 5,689,523 und 5,648,980 bekannt - die einzelnen Teilentla dungsräume sternförmig angeordnet sein, wobei jeder Teilentladungsraum und damit jeder Teilstrahlengang in Radialrichtung eine wesentlich größere Erstreckung als in Azimutalrichtung hat, so daß wiederum das von jedem Teilstrahlengang durchlaufene Volumen im Verhältnis zu den Gesamtab messungen des Lasers groß ist.

Bei einer alternativen Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Resonators sind die einzelnen Teilstrahlengänge als Stapel angeordnet, so daß der Weg des Laserstrahls mäander- oder schneckenförmig verläuft.

Durch den erfindungsgemäßen Aufbau erhält man ein - verglichen mit dem gattungsgemäßen Stand der Technik - wesentlich größeres Volumen des Lasermediums, wiederum im Verhältnis zu den Gesamtabmessungen des Lasers betrachtet, bei einer gegebenen Zahl von Faltungen und einem bestimmten Abstand zwischen den Faltungsspiegeln bei einfacher Einkop pelung der HF-Energie.

Der erfindungsgemäße Resonator kann für beliebige Gase und insbeson dere CO₂- bzw. CO-Lasergasgemische eingesetzt werden. Im letzteren Falle erhält man bei einem kompakten Aufbau einen Laser mit einer Lei stung von wenigen kW bis mehreren 10 kW, der insbesondere zur Mate rialbearbeitung geeignet ist.

Dennoch ist es möglich, auf ein Kühlgebläse zu verzichten und den Laser als diffusionsgekühlten Laser auszubilden, wobei die Wärme des Gases in jedem Teilstrahlengang über die zugeordneten Elektrodenflächen abgelei tet wird.

Bevorzugt ist eine Ausführungsform, bei der die jeweils auf einer Stirnseite der Teilstrahlengänge vorgesehenen Retroreflektoren auf einer gemein samen Grundplatte angeordnet sind, die senkrecht zu den Teilstrahlen gängen angeordnet ist.

Eine weitere Vereinfachung des Aufbaus bei allen Ausführungsformen erhält man dadurch, daß die Elektroden aller Teilstrahlengänge zu zwei Gruppen zusammengefaßt sind, und daß alle Elektroden einer Gruppe einstückig ausgebildet sind. Die beiden Gruppen werden im folgenden oh ne Beschränkung der allgemeinen Ausbildung als Innenelektroden und Außenelektroden bezeichnet.

Vorteilhaft können die Elektroden einer Gruppe kammförmig angeordnet sein.

Insbesondere dann, wenn die Elektroden einer Gruppe von sternförmigen Lasern gasdicht miteinander sowie mit stirnseitigen Abschlußelementen verbunden sind, so daß sich das Lasergas in dem von den Elektroden und den Abschlußelementen eingeschlossenen Hohlraum befindet, ist es be sonders vorteilhaft, wenn der Abstand in Radialrichtung der azimutalen Verbindungsteile der Elektroden einer Gruppe von den entsprechenden azimutalen Verbindungsteilen der Elektroden der anderen Gruppe deutlich größer als der jeweilige Elektrodenabstand in Azimutalrichtung ist. Hier durch wird die Anregung des Lasergases an Stellen, die nicht zum aktiven Lasermedium gehören, und damit eine unnötige Wärmeentwicklung ver mieden.

Dabei ist es möglich, daß bezugsfertige Profile insbesondere aus Alumi num die Elektroden einer Gruppe bilden. Hierdurch werden nicht nur die Herstellkosten des erfindungsgemäßen Laserresonators verringert, son dern es ist auch möglich, den Laser je nach gewünschter Leistung in der Länge zu skalieren.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung schließen die zu benachbarten Teilstrahlengängen gehörenden Elektroden einer Gruppe einen Hohlraum ein, durch den ein Kühlfluid strömt. Hierdurch erhält man gerade bei einem diffusionsgekühlten Laser eine besonders effektive Ab fuhr der entstehenden Wärme.

Bei dem erfindungsgemäßen Laserresonator hat der Laserstrahl einen nicht kreisrunden Querschnitt. Deshalb ist es bevorzugt, wenn nach dem Auskoppelspiegel eine astigmatische Optik vorgesehen ist, die aus dem Laserstrahl einen in etwa rotationssysmmetrischen Strahl formt, die einfa cher zu fokussieren sind.

Wenn bei sternförmigen Lasern die Zahl der Teilstrahlengänge 4.N (N: ganze Zahl) beträgt, ist ein sehr einfaches Herstellverfahren für die erfin dungsgemäßen Faltungsspiegel möglich:
Die Spiegelflächen der Retroreflektoren werden aus einem Spiegelrohling gefräst, wobei einander gegenüberliegende Spiegelflächen in einer Auf spannung gefräst werden, und der Spiegelrohling zum Fräsen der gegen überliegenden Fläche um 360°/N weiter gedreht wird.

Die Erfindung wird nachstehend ohne Beschränkung des allgemeinen Er findungsgedankens anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung exemplarisch beschrieben, auf die im übrigen hin sichtlich der Offenbarung aller im Text nicht näher erläuterten erfindungs gemäßen Einzelheiten ausdrücklich verwiesen wird. Es zeigen:

Fig. 1 den Aufbau eines Lasers mit einem erfindungsgemäßen sta bilen Resonator in einer perspektivischen Ansicht,

Fig. 2a den Elektrodenaufbau eines erfindungsgemäßen stabilen Re sonators in einer Aufsicht,

Fig. 2b perspektivisch die Innenelektrode,

Fig. 2c perspektivisch die Außenelektrode,

Fig. 2d perspektivisch die Innen- und Außenelektrode,

Fig. 3a eine Aufsicht auf eine erfindungsgemäße Retroreflektor struktur,

Fig. 3b eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Retroreflektor struktur, und

Fig. 3c eine perspektivische Ansicht einer erfindungsgemäßen Re troreflektorstruktur.

Fig. 4a eine weitere erfindungsgemäße Anordnung im Längsschnitt der einzelnen Teilstrahlengänge als Stapel, so daß gemäß diesem Ausführungsbeispiel der Weg des Laserstrahls mä anderförmig verläuft,

Fig. 4b die erfindungsgemäße Anordnung nach Fig. 4a im Quer schnitt,

Fig. 4c der Ausschnitt im Längsschnitt nach Fig. 4a zur Strahlungsum kehr,

Fig. 5a-b Darstellungen zur Beschreibung der Strahlpropagation,

Fig. 1 zeigt perspektivisch in einer Übersichtsdarstellung den Strahlverlauf bei einem erfindungsgemäßen stabilen Resonator. Der Resonator weist an seinen Stirnseiten zwei in Fig. 3a bis 3c näher dargestellte Faltungsspiegel 1a und 1b auf, die - wie noch erläutert werden wird - als Retroreflektorein heiten ausgebildet sind. Zwischen den Retroreflektoreinheiten 1a und 1b sind nur in Fig. 2 dargestellte Elektroden 2 bzw. 3 vorgesehen, zwischen denen sich Teilentladungsräume 4' befinden, deren Abmessungen in Richtung senkrecht zu den Oberflächen der Elektroden 2 bzw. 3 sehr viel kleiner als parallel zu den Oberflächen der Elektroden sind. Diese Anord nung führt zu dem in Fig. 1 nur schematisch angedeuteten Laserstrahl 4, der eine vergleichsweise geringe Ausdehnung in azimutaler und eine gro ße Ausdehnung in radialer Richtung hat.

Bei der Retroreflektoreinheit 1b fehlt ein Retroreflektor, so daß Strahlen 4a und 4b austreten können. Der Strahl 4b wird von einem als Rückspiegel ausgebildeten Teil des Auskoppelelements 5 in sich zurück reflektiert, wäh rend der Strahl 4a durch das Auskoppelelement 5 austritt. Mit 6 ist ein teil durchlässiger Spiegel bezeichnet, der einen Teil des Laserstrahls 4a aus treten läßt. Im Anschluß an den teildurchlässigen Spiegel 6 kann eine nicht dargestellte Strahlformungsoptik, beispielsweise eine Zylinderlinse ange ordnet sein, die aus dem Laserstrahl mit einem angenähert rechteckigen Querschnitt einen Laserstrahl mit kreisförmigen Querschnitt und homoge ner Energieverteilung über die Querschnittsfläche erzeugt.

Fig. 2a zeigt den Elektrodenaufbau eines erfindungsgemäßen stabilen Re sonators in einer Aufsicht. Mit 2 ist eine Innenelektrodenstruktur bezeich net, während 3 eine Außenelektrodenstruktur bezeichnet. Beide Strukturen bestehen aus Elektroden 21 bzw. 31, die radial verlaufen und einen Entla dungsspalt 7 einschließen. In Azimutalrichtung sind die einzelnen Elektro den 21 bzw. 31 über Verbindungsteile 22 bzw. 32 verbunden, so daß die Eletroden 21 und 31 jeweils zu Gruppen zusammengefaßt sind. Damit schließen die Elektroden zusammen mit stirnseiten Elementen, wie bei spielsweise den Retroreflektoreinheiten den Raum gasdicht ein, in dem sich das Lasermedium, wie beispielsweise ein CO₂- bzw. CO-Laser gasgemisch befindet.

In den von den jeweils direkt benachbarten Elektroden 21 bzw. 31 einge schlossen Räumen 23 und 33 kann ein Kühlmedium, wie Wasser zirkulie ren, das die vom Lasermedium auf die Elektroden übertragene Wärme aufnimmt.

Fig. 2b zeigt perspektivisch die Innenelektrode, Fig. 2c perspektivisch die Außenelektrode, während Fig. 2d perspektivisch die beiden Elektroden im zusammengebauten Zustand zeigt. Dabei sind gleiche Teile mit den selben Bezugszeichen versehen, so daß auf eine erneute Vorstellung verzichtet wird.

Fig. 3a zeigt eine Aufsicht auf eine erfindungsgemäße Retroreflektorstruktur. Fig. 3b zeigt eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Retroreflektor struktur, während Fig. 3c perspektivisch einen erfindungsgemäße Retrore flektorstruktur zeigt.

Die einzelnen Retroreflektoren sind auf einer gemeinsamen Grundplatte 10 angeordnet. Jeder Retroreflektor wird von zwei ebenen Teilspiegeln 11 bzw. 12 gebildet, deren Normalen einen Winkel von 90° einschließen. Der Lichtweg ist für alle Teilstrahlen der Teilstrahlengänge 4' gleich:

Der Teilstrahl 41 trifft nämlich "höher" auf den Spiegel 11 bzw. 12 auf, wäh rend der Teilstrahl 42 tiefer auftrifft. Der Unterschied in der Strahllänge in senkrechter Richtung kompensiert genau den zusätzlichen Weg, den der Teilstrahl 41 mehr zwischen den Spiegelflächen 11 und 12 zurückzulegen hat als der Teilstrahl 42.

Die Fig. 4a bis 4c zeigen Schnittansichten für ein Ausführungsbeispiel, bei dem die einzelnen Teilstrahlengänge als Stapel angeordnet sind, so daß der Weg des Laserstrahls mäanderförmig verläuft. Fig. 4a zeigt einen Längsschnitt, bei dem gleiche Teile mit den selben Bezugszeichen wie vorstehend erläutert versehen worden sind. Fig. 4b zeigt einen Querschnitt bei A-A in Fig. 3a, während Fig. 4c das Detail Z zur Erläuterung des Auf baus des Retroreflektors aus Fig. 4a zeigt.

Die Fig. 5a und 5b zeigen entfaltet, d. h. ohne die "zwischengeschobenen" Retroreflektoren die Strahlpropagation zwischen dem Auskoppelspiegel 9 und dem Rückspiegel 8. Dabei sind typische, jedoch nicht einschränkende Maße angegeben: Beispielsweise können die einzelnen Teilstrahlengänge haben in der Ebene, die auf der Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls senkrecht steht, eine Abmessung von 50 mm und in der anderen Richtung eine Abmessung von 3 mm haben. Jeder Teilstrahlengang kann z. B. 500 mm lang sein, so daß bei 12 Teilstrahlengängen die Gesamtlänge 6000 mm beträgt. Dabei breitet sich der Strahl folgendermaßen aus:

- Stabil durch Wellenleitung senkrecht zu den Oberflächen der Elektroden 31 und 32. (Fig. 5b),
- Frei und stabil in Richtung parallel zu den Elektrodenoberflächen und senkrecht zur Strahlrichtung (Fig. 5a).

Claims

1. Resonator für einen HF-angeregten Gaslaser, mit

- einer wenigstens zwei Elektroden aufweisenden Elektrodeneinrich tung
- einem mehrere Teilentladungsräume aufweisenden Gasentladungs raum, und
- einer Spiegelanordnung, die einen Rückspiegel, einen Auskoppel spiegel sowie wenigstens einen Retroreflektor aufweist, die den zwi schen Rück- und Auskopppelspiegel laufenden Laserstrahl derart umlenkt, daß er mehrere Teilentladungsräume durchläuft,

gekennzeichnet durch folgende Merkmale:

- jedem Teilentladungsraum sind zwei Elektrodenflächen zugeordnet,
- die Ausdehnung jedes Teilentladungsraums parallel zu den Elektro denflächen und senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des Laser strahls ist wenigstens doppelt so groß wie die Ausdehnung des Teil entladungsraumes senkrecht zur Elektrodenoberfläche und senk recht zur Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls,
- zwischen benachbarten Teilentladungsräumen sind Elektroden glei chen Potentials angeordnet.

2. Resonator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausdehnung jedes Teilentladung raums parallel zu den Elektrodenflächen und senkrecht zur Ausbrei tungsrichtung des Laserstrahls ist wenigstens fünfmal so groß wie die Ausdehnung des Teilentladungsraumes senkrecht zur Elektro denoberfläche und senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des Laser strahls.

3. Resonator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Resonator ein stabiler Resonator ist.

4. Resonator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenflächen als Wellenleiter für den Laserstrahl dienen.

5. Resonator nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Lasermedium ein CO₂- bzw. CO- Lasergasgemisch ist.

6. Resonator nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Lasergas diffusionsgekühlt ist.

7. Resonator nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Wärme des Gases in jedem Teil entladungsraum über die zugeordneten Elektrodenflächen abgeleitet wird.

8. Resonator nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Gesamtquerschnitt des Resonators durch die Teilentladungsräume und die Elektroden in etwa vollständig ausgefüllt ist.

9. Resonator nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die jedem Teilentladungsraum zuge ordneten Elektrodenflächen eine ebene Form haben, und insbesonde re als Platten ausgebildet sind.

10. Resonator nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Elektrodenflächen als Stapel angeordnet sind.

11. Resonator nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Teilstrahlengänge zwi schen den Elektrodenflächen wenigstens einen Mäander bilden.

12. Resonator nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Elektrodenflächen sternförmig angeordnet sind.

13. Resonator nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Laserstrahl in jedem Teilentla dungsraum in Ebenen senkrecht zur optischen Achse parallel zur Oberfläche der Elektrodenflächen eine wesentlich größere Erstreckung als senkrecht zur Oberfläche hat.

14. Resonator nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die jeweils auf dem gleichen Potential liegenden Elektrodenflächen der einzelnen Teilentladungsräume zu einer Gruppe zusammengefaßt sind.

15. Resonator nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenflächen einer Gruppe einstückig ausgebildet sind.

16. Resonator nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß alle Elektrodenflächen einer Gruppe leitend miteinander verbunden sind.

17. Resonator nach Anspruch 14 oder 15 in Verbindung mit Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand in Radialrichtung der azi mutalen Verbindungsteile der Elektroden einer Gruppe von den ent sprechenden azimutalen Verbindungsteilen der Elektroden der ande ren Gruppe deutlich größer als der jeweilige Elektrodenabstand in Azimutalrichtung ist.

18. Resonator nach Anspruch 14 oder 15 in Verbindung mit Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden einer Gruppe kamm förmig angeordnet sind.

19. Resonator nach einem der Ansprüche 14 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden einer Gruppe gasdicht miteinander verbunden sind.

20. Resonator nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenflächen beider Gruppen mit stirnseitigen Abschlußelementen verbunden sind.

21. Resonator nach einem der Ansprüche 14 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenflächen einer Gruppe ei ne äußere Elektrode bilden, die als zur Umgebungsluft abgedichtetes Lasergasgefäß dient.

22. Resonator nach einem der Ansprüche 14 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenflächen einer Gruppe ei ne äußere Elektrode bilden, die als Masse dient.

23. Resonator nach einem der Ansprüche 14 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenflächen einer Gruppe ei ne äußere Elektrode bilden, die als HF-Abschirmung dient.

24. Resonator nach einem der Ansprüche 14 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß Stranggußprofile aus insbesondere Aluminium die Elektrodenflächen einer Gruppe bilden.

25. Resonator nach einem der Ansprüche 14 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß die zu benachbarten Teüstrahlengän gen gehörenden Elektrodenflächen einer Gruppe einen Hohlraum ein schließen, durch den ein Kühlfluid strömt.

26. Resonator nach einem der Ansprüche 1 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Retroreflektor zwei derart ange ordnete plane Teilspiegel aufweist, daß der Laserstrahl zwischen in Strahlrichtung aufeinanderfolgenden Teilentladungsräumen phasen neutral umgelenkt wird.

27. Resonator nach einem der Ansprüche 1 bis 26, dadurch gekennzeichnet, daß die jeweils auf einer Stirnseite der Teil strahlengänge vorgesehenen Retroreflektoren auf einer gemeinsamen Grundplatte angeordnet sind, die senkrecht zu den Teilstrahlengängen angeordnet ist.

28. Resonator nach einem der Ansprüche 1 bis 27, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Auskoppelspiegel eine astigmatische Optik vorgesehen ist, die aus dem Laserstrahl einen rotationssysmmetrischen Strahl formt.

29. Resonator nach einem der Ansprüche 1 bis 28, dadurch gekennzeichnet, daß der Rückspiegel und der Auskoppel spiegel unabhängig von den Retroreflektoren angeordnet sind.