DE3813569A1 - Gaslaser - Google Patents
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Gaslaser, insbesondere
Kohlendioxidlaser, mit einem zwischen zwei Resonatorspiegeln
mehrfach gefalteten Strahlengang, für dessen Faltungen ebene
Reflektorflächen vorhanden und dessen zwischen den Reflektoren
gelegenen Strahlengangabschnitte räumlich angeordnet sind, nach
Patent.... (Patentanmeldung P 37 16 873.8).
Bei dem Laser nach der Haupterfindung ist eine Vielzahl
von den Laserstrahl retroreflektiv faltenden Reflektoren als
Dachkantspiegel ausgebildet und jeweils zwei benachbarte sind
zueinander in der Faltungsebene etwa um die Hälfte ihrer
Gesamtbreite bzw. etwa um die Breite eines Reflektorspiegels
achsparallel versetzt, damit der Strahlengang des Laserstrahls
hin- und hergehend und dabei fortschreitend gefaltet werden
kann. Die Dachkantspiegel sind also Bauteile eines sogenannten
Multipassresonators. Deren Faltungsspiegel bzw. Reflektoren
dienen dazu, die Längserstreckung des Lasers zu verringern.
Durch die Faltung ergeben sich jedoch im allgemeinen Probleme
in der Strahlführung und in der Strahlqualität. Die Strahl
führung wird dadurch beeinträchtigt, daß der Strahl nicht
völlig exakt in die gewünschte Richtung reflektiert wird, weil
die Spiegeljustierung nicht exakt ist oder durch die Ausge
staltung des Lasers in unerwünschter Weise beeinflußt werden kann.
Die Strahlqualität wird beispielsweise durch Beugungseffekte
beim Reflektieren in den Eckbereichen von Dachkantspiegeln
verschlechtert. Allgemein gilt, daß die Nachteile mit der
Anzahl der Faltungen zunimmt.
Es ist auch bereits bekannt, Hochleistungs-Kohlendioxid-
Laser mit ringförmigen Resonatoren auszubilden, wobei der
Strahlengang zwischen den Resonatorspiegeln in einer ein
zigen Ebene liegt. Ein solcher Laser ist zwar im Vergleich zu
einem langgestreckten Hochleistungslaser kompakt, hat jedoch
immer noch erhebliche Außenabmessungen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Laser
der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß er einen
in allen Richtungen des Raumes äußerst kompakten Resonator
aufweist.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Strahlengang
abschnitte schraubenlinienartig gewunden angeordnet sind.
Die schraubenlinienartig gewundene Anordnung der Strahlen
gangabschnitte führt zu einer sehr guten Ausnutzung des zur Ver
fügung stehenden Raumes aktiven Materials. Es ist damit möglich,
die Leistung insbesondere solcher Laser zu steigern, die keine
Umwälzkühlung haben; denn diese Laser benötigen grundsätzlich
große Volumen aktiven Materials, um hinreichend hohe Leistungen
zu erreichen. Wenn diese Volumen nunmehr besser ausgenutzt wer
den können, ist dies für einen kompakten Laseraufbau von Vor
teil und das Faltungskonzept eignet sich also insbesondere zur
Ausnutzung verstärkender aktiver Materialien auf kleinstem Raum.
Zugleich ist das Faltungskonzept besonders für diffusionsge
kühlte Lasersysteme geeignet, die also keine Gasumwälzkühlung
haben, weil dort die anfallende Verlustwärme ausschließlich
über die Wände abtransportiert werden muß und der erfindungsge
mäße kompakte Aufbau des Lasers einen solchen schnellen Ab
transport der Verlustwärme begünstigt.
Darüber hinaus ist von wesentlichem Vorteil, daß ein ver
hältnismäßig langer Strahlengang mit einer nur geringen Anzahl
von der Strahlumlenkung dienenden Reflexionen ermöglicht wird.
Wird die schraubenlinienartig gewundene Anordnung der Strahlen
gangabschnitte mit Faltungskonzepten verglichen, die Dachkant
spiegel zur U-förmigen Faltung in einer Ebene benutzen, so er
gibt sich pro Umlenkung des Strahlengangs vom aktiven Medium
wieder zurück in das aktive Medium eine Halbierung der Zahl der
Reflexionen und dementsprechend eine Halbierung der Reflexions
verluste, die im allgemeinen pro Reflexion bei 1 bis 2% der
Leistung liegen kann. Infolgedessen ist die erfindungsgemäße
Faltung ursächlich für einen höheren Gesamtwirkungsgrad des La
sersystems.
Letztlich ist noch darauf hinzuweisen, daß eine kompakte
Anordnung des Resonators grundsätzlich einen entsprechenden kom
pakten Aufbau des Lasers ermöglichen, was zu dessen Stabilität
beiträgt und insbesondere dazu führt, daß die Justierungsprobleme
verringert werden, die sonst bei sich längserstreckenden Laser
aufbauten nicht ohne Bedeutung sind. In derselben Weise bietet der
einfache und kompakte Aufbau auch eine Voraussetzung zur Erzie
lung einer hohen Strahlqualität.
Um mit wenig Bauteilen auszukommen, ist der Laser so ausge
bildet, daß er mindestens drei Reflektorflächen hat, von denen
mindestens eine den Strahlengang mindestens zweimal faltet, und
daß mindestens ein Reflektor einen Strahlengangabschnitt im
Windungssinn ablenkend gekippt angeordnet ist. Die drei
Reflektorflächen können in gleichem Abstand voneinander ange
ordnet sein, so daß sich für den vom Strahlengang umschlosssenen
Raum die Gestalt eines dreikantig prismatischen Körpers ergibt.
Desweiteren ist von Bedeutung, daß mindestens eine der drei
Reflektorflächen den Strahlengang mindestens zweimal faltet;
denn dadurch wird der bauliche Aufwand für den Reflektor
geringer. Auch wird die Justierung vereinfacht, da nur eine
einzige Reflektorfläche justiert werden muß. Die Kippung
mindestens einer Reflektorfläche bewirkt, daß die nachfol
genden Strahlengangabschnitte jeweils einen anderen Bereich des
aktiven Mediums einnehmen. Damit wird eine räumliche Überla
gerung der Strahlengangabschnitte vermieden, was der Strahl
qualität zugute kommt. Wird nur eine der Reflektorflächen
gekippt, so liegen die anderen Strahlengangabschnitte in
derselben Ebene. Werden hingegen alle drei Reflektorflächen ge
ringfügig gekippt angeordnet, vorzugsweise mit demselben Kipp
winkel, so ergibt sich eine gleichmäßige schraubenlinienartige
Windung des Strahlengangs.
Die Reflektoren des Lasers weisen insgesamt vier, die an
einanderstoßenden Strahlengangabschnitte rechtwinkelig zueinan
der ausrichtende Reflektorflächen auf, um einerseits einen mög
lichst langen Strahlengang bei möglichst guter Ausnutzung eines
zur Verfügung stehenden Volumens zu erreichen, andererseits aber
einen großen baulichen Aufwand durch eine unnötige Vielzahl von
Reflektoren, Elektroden usw. zu vermeiden.
Das vorerwähnte Ziel einer Minimierung der am Aufbau des
Lasers beteiligten Bauteile wird insbesondere dadurch gefördert,
daß vier Planspiegel oder zwei retroreflektiv wirkende Dachkant
spiegel als Reflektoren vorhanden sind. Mit vier Planspiegeln
kann also erreicht werden, daß eine Vielzahl von Faltungen des
Strahlengangs vorgenommen wird, damit dieser insgesamt möglichst
lang ist. Offensichtlich wird auch der Justierungsaufwand ver
ringert, weil insgesamt nur vier Spiegel zu justieren sind. Da
rüber hinaus sind derartige Planspiegel in der erforderlichen
Qualität preiswert herzustellen. Die Alternative zweier retro
reflektiv wirkender Dachkantspiegel hat als besonderen Vorteil,
daß die Justierungsempfindlichkeit weiter verringert werden kann.
Derartige retroreflektive Spiegel haben die Eigenschaft, einen
einfallenden Strahl unabhängig vom Einfallswinkel parallel zu
sich selbst zu reflektieren. Bei der Justierung eines oder beider
Dachkantspiegel braucht also nur derjenige Kippwinkel justiert
werden, der zu einer schraubenlinienartigen Windung der Strah
lengangabschnitte führt.
In Ausgestaltung der Erfindung ist der Laser so aufgebaut,
daß im Inneren des gewundenen Strahlengangs eine mit Planflächen
versehene zylindrische Elektrode vorhanden ist, und daß außer
halb des Strahlengangs vor jeder Planfläche eine parallele Plat
tenelektrode vorgesehen ist. Der Strahlengang wird also zwischen
den Elektroden hindurchgeführt, die zur Erzielung von Gasentla
dungen erforderlich sind, mit deren Hilfe das aktive Material
gepumpt bzw. angeregt wird, damit das zu erzeugende Laserlicht
entsteht. Die im Inneren des Strahlengangs angeordnete Elektrode
erlaubt es, das Volumen des aktiven Materials, also das Gas
volumen, auf einen im übrigen durch die Außenelektroden bzw.
die Reflektoren bestimmtes Volumen zu begrenzen. Infolgedessen
sind die zur Kühlung zur Verfügung stehenden Elektrodenflächen
bezogen auf das Gesamtvolumen des aktiven Materials vergleichs
weise groß, so daß die anfallende Verlustwärme gut abtransportiert
werden kann bzw. die auf eine Volumeneinheit bezogene Leistung
des Lasers vergleichsweise groß ist. Das geht insbesondere dann,
wenn die Reflektorflächen gegenüber den Ecken der Innenelektrode
in den Schnittbereichen der Ebenen der Plattenelektroden ange
ordnet sind.
Der vorbeschriebene Aufbau des Lasers im Resonatorbereich
hat aber auch Vorteile für Umwälzkühlung. In diesem Fall ist der
Laseraufbau derart, daß er zwischen den Elektroden strahlen
gangparallele Gasströmungen mit Eintritten in den Eckbereichen
gegenüber der Innenelektrode und Austritten mittig in ihren
Planflächen aufweist. Der wesentliche Vorteil ist bei der vor
beschriebenen Strömungsführung, daß die Gasströmung parallel
zur Ausbreitungsrichtung des Lichts erfolgt. Dadurch werden
Temperatur- und Dichtegradienten quer zum Strahl vermieden, was
negativen Einfluß auf die Strahlqualität hätte. Durch die
Strömungsführung wird also eine hohe Strahlqualität bei
kontinuierlichem und auch bei gepulstem Betrieb ermöglicht. Es
ergeben sich in diesem Zusammenhang also auch bei einem
Lasersystem mit einem schnellen Gasaustausch eine verbesserte
Leistungs- und Modenstabilität, verbunden mit den bekannten
Vorteilen bei der Anwendung der Laserstrahlung.
Besonders kompakt wird der Laseraufbau dann, wenn in die
Innenelektrode ein an eine Gasumwälzeinrichtung angeschlossener
Gaskühler eingebaut ist.
Vorteilhafterweise sind die Reflektoren und/oder die
Elektroden in ein rohrförmiges Gehäuse eingebaut. Dieses
Gehäuse ist eine stabile Halterung für die genannten Bauteile,
so daß die Strahlführung dementsprechend stabilisiert ist.
Zugleich bildet das rohrförmige Gehäuse ein Vakuumgefäß, in dem
die für die Erzeugung des Laserlichts erforderlichen An
regungsvorgänge bei dem dafür optimalen Druck stattfinden
können.
Die beiden Resonatorspiegel sind in Ausgestaltung der Er
findung einen Strahlengangabschnitt zwischen sich einschließend
aufeinander ausgerichtet, wodurch sich ein Ringresonator
ergibt, der beispielsweise bei Farbstofflasern eingesetzt wird.
Dabei versteht sich, daß einer der Resonatorspiegel wie üblich
ein teiltransmittierender Spiegel ist, der also ein Teil des
Laserlichts auskoppelt, einen anderen Teil aber über den
Strahlengangabschnitt zum zweiten Resonatorspiegel wieder in
den Strahlengang einkoppelt.
Die Erfindung wird anhand von in der Zeichnung dargestellten
Ausführungsbeispielen erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 eine schematische Darstellung des Strahlengangs
zwischen zwei Resonatorspiegeln,
Fig. 2 eine schematische Darstellung eines Strahlengangs
zwischen zwei als Reflektoren innerhalb eines
Strahlengangs retroreflektiv wirkenden Dachkant
spiegeln,
Fig. 3 eine Seitenansicht eines Lasers in schematischer
Darstellung,
Fig. 4 eine der Fig. 3 entsprechende Darstellung mit Gas
umwälzung, und
Fig. 5a bis c drei verschiedene rohrförmige Gehäuse des
Lasers im Querschnitt.
Bei dieser Ausgestaltung des Lasers erfolgt die schrauben
linienartig gewundene Anordnung des Strahlengangs durch nur
zwei räumlich zueinander versetzt angeordnete Strahlengangab
schnitte.
Der in Fig. 1 dargestellte Strahlengang 13 eines Resonator
systems der in Fig. 3 und 4 dargestellten Laser 10 läßt eine
schraubenlinienartig gewundene Anordnung der Strahlengangab
schnitte 16 des Strahlengangs 13 erkennen. Dieser erstreckt sich
zwischen den Resonatorspiegeln 11, 12, von denen der letztere
teiltransmittierend ist, also einen Teil des Laserlichts zu
einem externen Laserstrahl 29 auszukoppeln gestattet. Die Fal
tung des Strahlengangs 13 erfolgt mit in Fig. 1 nicht darge
stellten Reflektoren an den Stellen 30. Die dort befindlichen
Reflektoren sind gemäß Fig. 3, 4 Planspiegel, die sich über die
gesamte Höhe dieser Stellen 30 erstrecken, so daß jeder Reflek
tor eine Vielzahl von Faltungen des Strahlengangs 13 vornimmt.
Bei der dargestellten Anordnung der Resonatorspiegel 11, 12
müssen zumindest die diesen abgewandten Stellen 30 jeweils zwei
mal falten, damit die Strahlengangabschnitte 16 schraubenlinien
artig gewunden angeordnet sind. Im allgemeinen wird der Strahlen
gang jedoch gemäß Fig. 1 ausgebildet sein, da dann zwischen den
Resonatorspiegeln 11, 12 ein langer Strahlengang 13 in einem
verhältnismäßig kleinen Volumen vorhanden ist, so daß der Laser
dementsprechend einen sehr kompakten Aufbau haben kann.
In Fig. 1 wird außerdem noch dargestellt, daß der
Resonator auch zu einem Ringresonator ausgebildet werden kann,
wenn der Strahlengang 13 durch entsprechende Anordnung der
Resonatorspiegel 11, 12 geschlossen wird. Das wird dadurch
ermöglicht, daß die Spiegel 11, 12 in die strichpunktierten
Stellungen 11′, 12′ gebracht werden, in denen sie zwischen sich
einen Strahlengangabschnitt 16′′ einschließen, da sie einander
zugewendet angeordnet sind. Auch ein solcher Ringresonator hat
infolge der Länge seines Strahlengangs die beschriebenen
Vorteile.
Die zur Faltung an den Stellen 30 benötigten Reflektoren
sind jeweils ein Planspiegel, so daß die gesamte Resonatoran
ordnung mit vier Planspiegeln auskommt. Eine ähnlich einfache
Anordnung ergibt sich bei der Verwendung von zwei retroreflektiv
wirkenden Dachkantspiegeln als Reflektoren 15 gemäß Fig. 2.
Es erfolgt wiederum, wie bei dem Strahlengang 13 der Fig. 1,
eine vielfache Faltung derart, daß die auf eine Reflektorfläche
14 bezogenen Strahlengangabschnitte 16 rechtwinkelig zueinander
angeordnet sind. Die schraubenlinienartig gewundene Anordnung
dieser Strahlengangabschnitte 16 ist in der perspektivischen
Darstellung der Fig. 2 nicht im Einzelnen erkennbar, jedoch
dadurch angedeutet, daß die Horizontale 31 eingezeichnet ist,
die mit den längeren Strahlengangabschnitten 16 offensichtlich
einen Winkel einschließt, wodurch die Verkippung des einen Re
flektors 15 oder beider Reflektoren 15 angedeutet wird. Diese
Reflektorkippung bewirkt, daß ein Strahlengangabschnitt im Win
dungssinn abgelenkt ist.
Fig. 2 zeigt, daß die als Dachkantspiegel ausgebildeten
Reflektoren 15 eine im wesentlichen rechteckige bzw. quader
förmige Anordnung der Strahlengangabschnitte 16 bedingt, weil
die im rechten Winkel zueinander stehenden Reflektorflächen 14
zwischen sich nur kurze Strahlengangabschnitte erlauben, wenn
einmal von einer unverhältnismäßig großen Ausbildung der Dach
kantspiegel abgesehen wird. Eine derartige Konfiguration wird
daher im allgemeinen nur dann verwendet werden, wenn zwischen
den Strahlengangabschnitten 16 keine Elektrode eingebaut wird,
also der gesamte von den Strahlengängen eingenommene Raum gas
gefüllt ist. Im Vergleich mit herkömmlichen Systemen ist aber
auch ein derartiger Aufbau vergleichsweise kompakt und hat
vor allen Dingen den Vorteil des Einsatzes nur weniger ebener
Reflektorflächen bei vergleichsweise geringer Justierempfind
lichkeit. Auch ein solcher Laser ist infolgedessen mit erheblich
niedrigeren Herstellungskosten zu produzieren, als bisher be
kannte Laser.
Bei dem in Fig. 3 dargestellten Laser 10 erstreckt sich
der Strahlengang 13 zwischen den Resonatorspiegeln 11, 12 und
im wesentlichen innerhalb eines Gehäuses 26. Der Spiegel 11
ist lichtundurchlässig ausgebildet, während der Spiegel 12 teil
durchlässig ist, so daß ein extern zur Verfügung stehender
Laserstrahl 29 ausgekoppelt wird.
Im Inneren des Gehäuses 26 sind Reflektoren 15 vor
handen, von denen die den Spiegeln 11, 12 benachbarten Re
flektoren 15 so angeordnet sind, daß sie den Strahlengang
13 nicht behindern. So ist der obere rechte Reflektor 15
oberhalb des Strahlengangabschnitts zum Spiegel 11 ange
ordnet, während der untere rechte Reflektor 15′ unterhalb
des zum Spiegel 12 führenden Strahlengangabschnitts ange
ordnet ist. Eine derartige Anordnung ist bei senkrecht
zur Darstellungsebene versetzter Anordnung der Spiegel 11, 12
ohne weiteres möglich.
Im Inneren des Gehäuses 26 sind Elektroden 18, 19
vorhanden. Die Elektrode 18 ist als zylindrisches Rohr aus
gebildet und innerhalb des gewundenen Strahlengangs 13
angeordnet. Sie besitzt vier den Strahlengangabschnitten 16
zugewendete Planflächen 17, denen gegenüber auf der anderen
Seite der Strahlengangabschnitte 16 Plattenelektroden 19
angeordnet sind. Die Elektrode 18 kann gasdicht sein.
In diesem Fall ist das aktive Medium auf dem Bereich zwischen
der inneren Elektrode 18 und dem Gehäuse 26 begrenzt.
An die Elektroden 17, 18 wird Hochspannung angelegt, so
daß sich in den aus Fig. 3 ersichtlichen Bereichen 32 Gas
entladungen ausbilden, beispielsweise Gleichstrom- oder
Hochfrequenzgasentladungen. Das infolgedessen vom aktiven
Material emittierte Licht wird von den Reflektoren 15, 15′
im Strahlengang 13 geführt. Die schraubenlinienartig ge
wundene Anordnung der Strahlengangabschnitte 16 wurde zu
Fig. 1 erläutert. Die dort erwähnte Kippung eines Reflektors
betrifft beispielsweise den Reflektor 15′, dessen Reflektor
fläche 14 den zugehörigen Strahlengangabschnitt 16′ von der
Darstellungsebene abweichend dem rechts oben dargestellten
Reflektor 15 zuführt, nämlich aus der Darstellungsebene
nach oben heraus geneigt.
Aus Fig. 3 ist insbesondere die kompakte Anordnung des
Lasers 10 bzw. des gefalteten Strahlengangs 13 in Bezug auf
die Querschnittsabmessungen ersichtlich. Dazu sind die Re
flektoren 15 in den Schnittbereichen 21 der Ebenen der Platten
elektroden 19 gegenüber den Ecken 20 der Innenelektrode 18
angeordet, und zwar innerhalb des Gehäuses 26. Das Gehäuse 26
kann dementsprechend rohrförmig sein, also mit quadratischem
Querschnitt gemäß Fig. 5a. Bereits diese Ausbildung des Gehäuses
ist sehr stabil, was für eine Vielfachfaltung von Bedeutung
ist. Eine Verbesserung der Stabilität des Gehäuses ergibt sich
gemäß Fig. 5b durch das Gehäuse 27, das von seinen Kanten
27′ ausgehende Versteifungsrippen 27′′ aufweist. Fig. 5c
zeigt ein Gehäuse 28 mit kreisringförmigen Querschnitt mit
entsprechend hoher mechanischer Steifigkeit.
Der in Fig. 4 dargestellte Laser entspricht hinsichtlich
seines Aufbaus im wesentlichen dem der Fig. 3. In Ergänzung
dazu ist eine Gaskühlung vorgesehen, bei der die Zuführung
des zugleich das aktive Medium bildenden Kühlgases sowohl
stirnseitig in das Gehäuse 26 erfolgen kann, als auch durch
seitliche Einströmöffnungen. Fig. 4 zeigt Eintritte 23 von
Gasströmungen 22 in den Eckbereichen gegenüber der Innenelek
trode 18, also gegenüber deren Ecken 20 und Austritten 24
in den Planflächen 17 der Innenelektrode. Diese Austritte
sind mittig angeordnet, so daß sich zwischen den Elektroden
18, 19 strahlengangparallele Gasströmungen 22 in den Anregungs
bereichen 32 des aktiven Mediums ergeben, was den Vorteil hat,
quer zum Strahlengang auftretende Temperatur- und dichte
Geradienten weitgehend zu vermeiden, so daß der Strahl 29 eine
hohe Qualität hat.
Die Umwälzung des Gases erfolgt mit einer nicht darge
stellten Gasumwälzeinrichtung, z.B. mittels Rootspumpen
oder Turbinenpumpen. Aus dem Bereich zwischen den Elektroden
18, 19 strömt das Gas in das Innere 33 der Elektrode 18,
aus der es stirnseitig abgeführt wird. Im Inneren der Elek
trode 18 ist vorteilhafterweise ein Gaskühler 25 eingebaut,
dem das erhitzte Gas zugeführt wird und von dem aus das
abgekühlte Gas durch eine Ausströmöffnung 34 den Eintritten
23 wieder zugeleitet wird. Das Kühlmittel für den im Ein
zelnen nicht dargestellten Gaskühler 25 wird zweckmäßiger
weise auf einer Stirnseite zugeführt und auf der anderen
Stirnseite abgeführt, so daß sich eine hohe Durchsatzge
schwindigkeit des Kühlmittels und damit ein entsprechend
großer Kühleffekt erzielen läßt.
Claims (10)
1. Laser, insbesondere Kohlendioxidlaser, mit einem
zwischen zwei Resonatorspiegeln mehrfach gefalteten
Strahlengang, für dessen Faltungen ebene Reflektorflächen
vorhanden und dessen zwischen den Reflektoren gelegenen
Strahlengangabschnitte räumlich angeordnet sind, nach
Patent.... (Patentanmeldung P 37 16 873.8), dadurch
gekennzeichnet, daß die Strahlengangabschnitte
(16) schraubenlinienartig gewunden angeordnet sind.
2. Laser nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß er mindestens drei Reflektorflächen
(14) hat, von denen mindestens eine den Strahlengang (13)
mindestens zweimal faltet, und daß mindestens ein Re
flektor (z.B. 15′) einen Strahlengangabschnitt (16′)
im Windungssinn ablenkend gekippt angeordnet ist.
3. Laser nach Anspruch 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß seine Reflektoren (15) insgesamt vier,
die aneinanderstoßenden Strahlengangabschnitte (16, 16′)
rechtwinkelig zueinander ausrichtende Reflektorflächen
(14) aufweisen.
4. Laser nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß vier
Planspiegel oder zwei retroreflektiv wirkende Dach
kantspiegel als Reflektoren (15) vorhanden sind.
5. Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß im Inneren des gewundenen
Strahlengangs (13) eine mit Planflächen (17) versehene
zylindrische Elektrode (18) vorhanden ist, und daß
außerhalb des Strahlengangs (13) vor jeder Planfläche
(17) eine parallele Plattenelektrode (19) vorgesehen ist.
6. Laser nach Anspruch 5, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Reflektorflächen (14) gegenüber
den Ecken (20) der Innenelektrode (18) in den Schnitt
bereichen (21) der Ebenen der Plattenelektroden (19)
angeordnet sind.
7. Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß er zwischen den
Elektroden (18, 19) strahlengangparallele Gasströmungen
(22) mit Eintritten (23) in den Eckbereichen gegenüber
der Innenelektrode (18) und Austritten (24) mittig in
ihren Planflächen (17) aufweist.
8. Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß in die Innenelektrode
(18) ein an eine Gasumwälzeinrichtung angeschlossener
Gaskühler (25) eingebaut ist.
9. Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß die Reflektoren (25)
und/oder die Elektroden (18, 19) in ein rohrförmiges
Gehäuse (26, 27, 28) eingebaut sind.
10. Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch
gekennzeichnet, daß die beiden Resonator
spiegel (11, 12) einen Strahlengangabschnitt (16′′)
zwischen sich einschließend, aufeinander ausgerichtet
sind.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19883813569 DE3813569A1 (de) | 1987-05-20 | 1988-04-22 | Gaslaser |
PCT/DE1989/000248 WO1989010641A1 (en) | 1988-04-22 | 1989-04-21 | Gas laser |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873716873 DE3716873A1 (de) | 1987-05-20 | 1987-05-20 | Gaslaser |
DE19883813569 DE3813569A1 (de) | 1987-05-20 | 1988-04-22 | Gaslaser |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3813569A1 true DE3813569A1 (de) | 1989-11-02 |
Family
ID=25855792
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19883813569 Withdrawn DE3813569A1 (de) | 1987-05-20 | 1988-04-22 | Gaslaser |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3813569A1 (de) |
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