DE3813569A1 - Gaslaser - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Gaslaser, insbesondere Kohlendioxidlaser, mit einem zwischen zwei Resonatorspiegeln mehrfach gefalteten Strahlengang, für dessen Faltungen ebene Reflektorflächen vorhanden und dessen zwischen den Reflektoren gelegenen Strahlengangabschnitte räumlich angeordnet sind, nach Patent.... (Patentanmeldung P 37 16 873.8).

Bei dem Laser nach der Haupterfindung ist eine Vielzahl von den Laserstrahl retroreflektiv faltenden Reflektoren als Dachkantspiegel ausgebildet und jeweils zwei benachbarte sind zueinander in der Faltungsebene etwa um die Hälfte ihrer Gesamtbreite bzw. etwa um die Breite eines Reflektorspiegels achsparallel versetzt, damit der Strahlengang des Laserstrahls hin- und hergehend und dabei fortschreitend gefaltet werden kann. Die Dachkantspiegel sind also Bauteile eines sogenannten Multipassresonators. Deren Faltungsspiegel bzw. Reflektoren dienen dazu, die Längserstreckung des Lasers zu verringern. Durch die Faltung ergeben sich jedoch im allgemeinen Probleme in der Strahlführung und in der Strahlqualität. Die Strahl­ führung wird dadurch beeinträchtigt, daß der Strahl nicht völlig exakt in die gewünschte Richtung reflektiert wird, weil die Spiegeljustierung nicht exakt ist oder durch die Ausge­ staltung des Lasers in unerwünschter Weise beeinflußt werden kann. Die Strahlqualität wird beispielsweise durch Beugungseffekte beim Reflektieren in den Eckbereichen von Dachkantspiegeln verschlechtert. Allgemein gilt, daß die Nachteile mit der Anzahl der Faltungen zunimmt.

Es ist auch bereits bekannt, Hochleistungs-Kohlendioxid- Laser mit ringförmigen Resonatoren auszubilden, wobei der Strahlengang zwischen den Resonatorspiegeln in einer ein­ zigen Ebene liegt. Ein solcher Laser ist zwar im Vergleich zu einem langgestreckten Hochleistungslaser kompakt, hat jedoch immer noch erhebliche Außenabmessungen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Laser der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß er einen in allen Richtungen des Raumes äußerst kompakten Resonator aufweist.

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Strahlengang­ abschnitte schraubenlinienartig gewunden angeordnet sind.

Die schraubenlinienartig gewundene Anordnung der Strahlen­ gangabschnitte führt zu einer sehr guten Ausnutzung des zur Ver­ fügung stehenden Raumes aktiven Materials. Es ist damit möglich, die Leistung insbesondere solcher Laser zu steigern, die keine Umwälzkühlung haben; denn diese Laser benötigen grundsätzlich große Volumen aktiven Materials, um hinreichend hohe Leistungen zu erreichen. Wenn diese Volumen nunmehr besser ausgenutzt wer­ den können, ist dies für einen kompakten Laseraufbau von Vor­ teil und das Faltungskonzept eignet sich also insbesondere zur Ausnutzung verstärkender aktiver Materialien auf kleinstem Raum.

Zugleich ist das Faltungskonzept besonders für diffusionsge­ kühlte Lasersysteme geeignet, die also keine Gasumwälzkühlung haben, weil dort die anfallende Verlustwärme ausschließlich über die Wände abtransportiert werden muß und der erfindungsge­ mäße kompakte Aufbau des Lasers einen solchen schnellen Ab­ transport der Verlustwärme begünstigt.

Darüber hinaus ist von wesentlichem Vorteil, daß ein ver­ hältnismäßig langer Strahlengang mit einer nur geringen Anzahl von der Strahlumlenkung dienenden Reflexionen ermöglicht wird. Wird die schraubenlinienartig gewundene Anordnung der Strahlen­ gangabschnitte mit Faltungskonzepten verglichen, die Dachkant­ spiegel zur U-förmigen Faltung in einer Ebene benutzen, so er­ gibt sich pro Umlenkung des Strahlengangs vom aktiven Medium wieder zurück in das aktive Medium eine Halbierung der Zahl der Reflexionen und dementsprechend eine Halbierung der Reflexions­ verluste, die im allgemeinen pro Reflexion bei 1 bis 2% der Leistung liegen kann. Infolgedessen ist die erfindungsgemäße Faltung ursächlich für einen höheren Gesamtwirkungsgrad des La­ sersystems.

Letztlich ist noch darauf hinzuweisen, daß eine kompakte Anordnung des Resonators grundsätzlich einen entsprechenden kom­ pakten Aufbau des Lasers ermöglichen, was zu dessen Stabilität beiträgt und insbesondere dazu führt, daß die Justierungsprobleme verringert werden, die sonst bei sich längserstreckenden Laser­ aufbauten nicht ohne Bedeutung sind. In derselben Weise bietet der einfache und kompakte Aufbau auch eine Voraussetzung zur Erzie­ lung einer hohen Strahlqualität.

Um mit wenig Bauteilen auszukommen, ist der Laser so ausge­ bildet, daß er mindestens drei Reflektorflächen hat, von denen mindestens eine den Strahlengang mindestens zweimal faltet, und daß mindestens ein Reflektor einen Strahlengangabschnitt im Windungssinn ablenkend gekippt angeordnet ist. Die drei Reflektorflächen können in gleichem Abstand voneinander ange­ ordnet sein, so daß sich für den vom Strahlengang umschlosssenen Raum die Gestalt eines dreikantig prismatischen Körpers ergibt. Desweiteren ist von Bedeutung, daß mindestens eine der drei Reflektorflächen den Strahlengang mindestens zweimal faltet; denn dadurch wird der bauliche Aufwand für den Reflektor geringer. Auch wird die Justierung vereinfacht, da nur eine einzige Reflektorfläche justiert werden muß. Die Kippung mindestens einer Reflektorfläche bewirkt, daß die nachfol­ genden Strahlengangabschnitte jeweils einen anderen Bereich des aktiven Mediums einnehmen. Damit wird eine räumliche Überla­ gerung der Strahlengangabschnitte vermieden, was der Strahl­ qualität zugute kommt. Wird nur eine der Reflektorflächen gekippt, so liegen die anderen Strahlengangabschnitte in derselben Ebene. Werden hingegen alle drei Reflektorflächen ge­ ringfügig gekippt angeordnet, vorzugsweise mit demselben Kipp­ winkel, so ergibt sich eine gleichmäßige schraubenlinienartige Windung des Strahlengangs.

Die Reflektoren des Lasers weisen insgesamt vier, die an­ einanderstoßenden Strahlengangabschnitte rechtwinkelig zueinan­ der ausrichtende Reflektorflächen auf, um einerseits einen mög­ lichst langen Strahlengang bei möglichst guter Ausnutzung eines zur Verfügung stehenden Volumens zu erreichen, andererseits aber einen großen baulichen Aufwand durch eine unnötige Vielzahl von Reflektoren, Elektroden usw. zu vermeiden.

Das vorerwähnte Ziel einer Minimierung der am Aufbau des Lasers beteiligten Bauteile wird insbesondere dadurch gefördert, daß vier Planspiegel oder zwei retroreflektiv wirkende Dachkant­ spiegel als Reflektoren vorhanden sind. Mit vier Planspiegeln kann also erreicht werden, daß eine Vielzahl von Faltungen des Strahlengangs vorgenommen wird, damit dieser insgesamt möglichst lang ist. Offensichtlich wird auch der Justierungsaufwand ver­ ringert, weil insgesamt nur vier Spiegel zu justieren sind. Da­ rüber hinaus sind derartige Planspiegel in der erforderlichen Qualität preiswert herzustellen. Die Alternative zweier retro­ reflektiv wirkender Dachkantspiegel hat als besonderen Vorteil, daß die Justierungsempfindlichkeit weiter verringert werden kann. Derartige retroreflektive Spiegel haben die Eigenschaft, einen einfallenden Strahl unabhängig vom Einfallswinkel parallel zu sich selbst zu reflektieren. Bei der Justierung eines oder beider Dachkantspiegel braucht also nur derjenige Kippwinkel justiert werden, der zu einer schraubenlinienartigen Windung der Strah­ lengangabschnitte führt.

In Ausgestaltung der Erfindung ist der Laser so aufgebaut, daß im Inneren des gewundenen Strahlengangs eine mit Planflächen versehene zylindrische Elektrode vorhanden ist, und daß außer­ halb des Strahlengangs vor jeder Planfläche eine parallele Plat­ tenelektrode vorgesehen ist. Der Strahlengang wird also zwischen den Elektroden hindurchgeführt, die zur Erzielung von Gasentla­ dungen erforderlich sind, mit deren Hilfe das aktive Material gepumpt bzw. angeregt wird, damit das zu erzeugende Laserlicht entsteht. Die im Inneren des Strahlengangs angeordnete Elektrode erlaubt es, das Volumen des aktiven Materials, also das Gas­ volumen, auf einen im übrigen durch die Außenelektroden bzw. die Reflektoren bestimmtes Volumen zu begrenzen. Infolgedessen sind die zur Kühlung zur Verfügung stehenden Elektrodenflächen bezogen auf das Gesamtvolumen des aktiven Materials vergleichs­ weise groß, so daß die anfallende Verlustwärme gut abtransportiert werden kann bzw. die auf eine Volumeneinheit bezogene Leistung des Lasers vergleichsweise groß ist. Das geht insbesondere dann, wenn die Reflektorflächen gegenüber den Ecken der Innenelektrode in den Schnittbereichen der Ebenen der Plattenelektroden ange­ ordnet sind.

Der vorbeschriebene Aufbau des Lasers im Resonatorbereich hat aber auch Vorteile für Umwälzkühlung. In diesem Fall ist der Laseraufbau derart, daß er zwischen den Elektroden strahlen­ gangparallele Gasströmungen mit Eintritten in den Eckbereichen gegenüber der Innenelektrode und Austritten mittig in ihren Planflächen aufweist. Der wesentliche Vorteil ist bei der vor­ beschriebenen Strömungsführung, daß die Gasströmung parallel zur Ausbreitungsrichtung des Lichts erfolgt. Dadurch werden Temperatur- und Dichtegradienten quer zum Strahl vermieden, was negativen Einfluß auf die Strahlqualität hätte. Durch die Strömungsführung wird also eine hohe Strahlqualität bei kontinuierlichem und auch bei gepulstem Betrieb ermöglicht. Es ergeben sich in diesem Zusammenhang also auch bei einem Lasersystem mit einem schnellen Gasaustausch eine verbesserte Leistungs- und Modenstabilität, verbunden mit den bekannten Vorteilen bei der Anwendung der Laserstrahlung.

Besonders kompakt wird der Laseraufbau dann, wenn in die Innenelektrode ein an eine Gasumwälzeinrichtung angeschlossener Gaskühler eingebaut ist.

Vorteilhafterweise sind die Reflektoren und/oder die Elektroden in ein rohrförmiges Gehäuse eingebaut. Dieses Gehäuse ist eine stabile Halterung für die genannten Bauteile, so daß die Strahlführung dementsprechend stabilisiert ist. Zugleich bildet das rohrförmige Gehäuse ein Vakuumgefäß, in dem die für die Erzeugung des Laserlichts erforderlichen An­ regungsvorgänge bei dem dafür optimalen Druck stattfinden können.

Die beiden Resonatorspiegel sind in Ausgestaltung der Er­ findung einen Strahlengangabschnitt zwischen sich einschließend aufeinander ausgerichtet, wodurch sich ein Ringresonator ergibt, der beispielsweise bei Farbstofflasern eingesetzt wird. Dabei versteht sich, daß einer der Resonatorspiegel wie üblich ein teiltransmittierender Spiegel ist, der also ein Teil des Laserlichts auskoppelt, einen anderen Teil aber über den Strahlengangabschnitt zum zweiten Resonatorspiegel wieder in den Strahlengang einkoppelt.

Die Erfindung wird anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 eine schematische Darstellung des Strahlengangs zwischen zwei Resonatorspiegeln,

Fig. 2 eine schematische Darstellung eines Strahlengangs zwischen zwei als Reflektoren innerhalb eines Strahlengangs retroreflektiv wirkenden Dachkant­ spiegeln,

Fig. 3 eine Seitenansicht eines Lasers in schematischer Darstellung,

Fig. 4 eine der Fig. 3 entsprechende Darstellung mit Gas­ umwälzung, und

Fig. 5a bis c drei verschiedene rohrförmige Gehäuse des Lasers im Querschnitt.

Bei dieser Ausgestaltung des Lasers erfolgt die schrauben­ linienartig gewundene Anordnung des Strahlengangs durch nur zwei räumlich zueinander versetzt angeordnete Strahlengangab­ schnitte.

Der in Fig. 1 dargestellte Strahlengang 13 eines Resonator­ systems der in Fig. 3 und 4 dargestellten Laser 10 läßt eine schraubenlinienartig gewundene Anordnung der Strahlengangab­ schnitte 16 des Strahlengangs 13 erkennen. Dieser erstreckt sich zwischen den Resonatorspiegeln 11, 12, von denen der letztere teiltransmittierend ist, also einen Teil des Laserlichts zu einem externen Laserstrahl 29 auszukoppeln gestattet. Die Fal­ tung des Strahlengangs 13 erfolgt mit in Fig. 1 nicht darge­ stellten Reflektoren an den Stellen 30. Die dort befindlichen Reflektoren sind gemäß Fig. 3, 4 Planspiegel, die sich über die gesamte Höhe dieser Stellen 30 erstrecken, so daß jeder Reflek­ tor eine Vielzahl von Faltungen des Strahlengangs 13 vornimmt. Bei der dargestellten Anordnung der Resonatorspiegel 11, 12 müssen zumindest die diesen abgewandten Stellen 30 jeweils zwei­ mal falten, damit die Strahlengangabschnitte 16 schraubenlinien­ artig gewunden angeordnet sind. Im allgemeinen wird der Strahlen­ gang jedoch gemäß Fig. 1 ausgebildet sein, da dann zwischen den Resonatorspiegeln 11, 12 ein langer Strahlengang 13 in einem verhältnismäßig kleinen Volumen vorhanden ist, so daß der Laser dementsprechend einen sehr kompakten Aufbau haben kann.

In Fig. 1 wird außerdem noch dargestellt, daß der Resonator auch zu einem Ringresonator ausgebildet werden kann, wenn der Strahlengang 13 durch entsprechende Anordnung der Resonatorspiegel 11, 12 geschlossen wird. Das wird dadurch ermöglicht, daß die Spiegel 11, 12 in die strichpunktierten Stellungen 11′, 12′ gebracht werden, in denen sie zwischen sich einen Strahlengangabschnitt 16′′ einschließen, da sie einander zugewendet angeordnet sind. Auch ein solcher Ringresonator hat infolge der Länge seines Strahlengangs die beschriebenen Vorteile.

Die zur Faltung an den Stellen 30 benötigten Reflektoren sind jeweils ein Planspiegel, so daß die gesamte Resonatoran­ ordnung mit vier Planspiegeln auskommt. Eine ähnlich einfache Anordnung ergibt sich bei der Verwendung von zwei retroreflektiv wirkenden Dachkantspiegeln als Reflektoren 15 gemäß Fig. 2. Es erfolgt wiederum, wie bei dem Strahlengang 13 der Fig. 1, eine vielfache Faltung derart, daß die auf eine Reflektorfläche 14 bezogenen Strahlengangabschnitte 16 rechtwinkelig zueinander angeordnet sind. Die schraubenlinienartig gewundene Anordnung dieser Strahlengangabschnitte 16 ist in der perspektivischen Darstellung der Fig. 2 nicht im Einzelnen erkennbar, jedoch dadurch angedeutet, daß die Horizontale 31 eingezeichnet ist, die mit den längeren Strahlengangabschnitten 16 offensichtlich einen Winkel einschließt, wodurch die Verkippung des einen Re­ flektors 15 oder beider Reflektoren 15 angedeutet wird. Diese Reflektorkippung bewirkt, daß ein Strahlengangabschnitt im Win­ dungssinn abgelenkt ist.

Fig. 2 zeigt, daß die als Dachkantspiegel ausgebildeten Reflektoren 15 eine im wesentlichen rechteckige bzw. quader­ förmige Anordnung der Strahlengangabschnitte 16 bedingt, weil die im rechten Winkel zueinander stehenden Reflektorflächen 14 zwischen sich nur kurze Strahlengangabschnitte erlauben, wenn einmal von einer unverhältnismäßig großen Ausbildung der Dach­ kantspiegel abgesehen wird. Eine derartige Konfiguration wird daher im allgemeinen nur dann verwendet werden, wenn zwischen den Strahlengangabschnitten 16 keine Elektrode eingebaut wird, also der gesamte von den Strahlengängen eingenommene Raum gas­ gefüllt ist. Im Vergleich mit herkömmlichen Systemen ist aber auch ein derartiger Aufbau vergleichsweise kompakt und hat vor allen Dingen den Vorteil des Einsatzes nur weniger ebener Reflektorflächen bei vergleichsweise geringer Justierempfind­ lichkeit. Auch ein solcher Laser ist infolgedessen mit erheblich niedrigeren Herstellungskosten zu produzieren, als bisher be­ kannte Laser.

Bei dem in Fig. 3 dargestellten Laser 10 erstreckt sich der Strahlengang 13 zwischen den Resonatorspiegeln 11, 12 und im wesentlichen innerhalb eines Gehäuses 26. Der Spiegel 11 ist lichtundurchlässig ausgebildet, während der Spiegel 12 teil­ durchlässig ist, so daß ein extern zur Verfügung stehender Laserstrahl 29 ausgekoppelt wird.

Im Inneren des Gehäuses 26 sind Reflektoren 15 vor­ handen, von denen die den Spiegeln 11, 12 benachbarten Re­ flektoren 15 so angeordnet sind, daß sie den Strahlengang 13 nicht behindern. So ist der obere rechte Reflektor 15 oberhalb des Strahlengangabschnitts zum Spiegel 11 ange­ ordnet, während der untere rechte Reflektor 15′ unterhalb des zum Spiegel 12 führenden Strahlengangabschnitts ange­ ordnet ist. Eine derartige Anordnung ist bei senkrecht zur Darstellungsebene versetzter Anordnung der Spiegel 11, 12 ohne weiteres möglich.

Im Inneren des Gehäuses 26 sind Elektroden 18, 19 vorhanden. Die Elektrode 18 ist als zylindrisches Rohr aus­ gebildet und innerhalb des gewundenen Strahlengangs 13 angeordnet. Sie besitzt vier den Strahlengangabschnitten 16 zugewendete Planflächen 17, denen gegenüber auf der anderen Seite der Strahlengangabschnitte 16 Plattenelektroden 19 angeordnet sind. Die Elektrode 18 kann gasdicht sein. In diesem Fall ist das aktive Medium auf dem Bereich zwischen der inneren Elektrode 18 und dem Gehäuse 26 begrenzt.

An die Elektroden 17, 18 wird Hochspannung angelegt, so daß sich in den aus Fig. 3 ersichtlichen Bereichen 32 Gas­ entladungen ausbilden, beispielsweise Gleichstrom- oder Hochfrequenzgasentladungen. Das infolgedessen vom aktiven Material emittierte Licht wird von den Reflektoren 15, 15′ im Strahlengang 13 geführt. Die schraubenlinienartig ge­ wundene Anordnung der Strahlengangabschnitte 16 wurde zu Fig. 1 erläutert. Die dort erwähnte Kippung eines Reflektors betrifft beispielsweise den Reflektor 15′, dessen Reflektor­ fläche 14 den zugehörigen Strahlengangabschnitt 16′ von der Darstellungsebene abweichend dem rechts oben dargestellten Reflektor 15 zuführt, nämlich aus der Darstellungsebene nach oben heraus geneigt.

Aus Fig. 3 ist insbesondere die kompakte Anordnung des Lasers 10 bzw. des gefalteten Strahlengangs 13 in Bezug auf die Querschnittsabmessungen ersichtlich. Dazu sind die Re­ flektoren 15 in den Schnittbereichen 21 der Ebenen der Platten­ elektroden 19 gegenüber den Ecken 20 der Innenelektrode 18 angeordet, und zwar innerhalb des Gehäuses 26. Das Gehäuse 26 kann dementsprechend rohrförmig sein, also mit quadratischem Querschnitt gemäß Fig. 5a. Bereits diese Ausbildung des Gehäuses ist sehr stabil, was für eine Vielfachfaltung von Bedeutung ist. Eine Verbesserung der Stabilität des Gehäuses ergibt sich gemäß Fig. 5b durch das Gehäuse 27, das von seinen Kanten 27′ ausgehende Versteifungsrippen 27′′ aufweist. Fig. 5c zeigt ein Gehäuse 28 mit kreisringförmigen Querschnitt mit entsprechend hoher mechanischer Steifigkeit.

Der in Fig. 4 dargestellte Laser entspricht hinsichtlich seines Aufbaus im wesentlichen dem der Fig. 3. In Ergänzung dazu ist eine Gaskühlung vorgesehen, bei der die Zuführung des zugleich das aktive Medium bildenden Kühlgases sowohl stirnseitig in das Gehäuse 26 erfolgen kann, als auch durch seitliche Einströmöffnungen. Fig. 4 zeigt Eintritte 23 von Gasströmungen 22 in den Eckbereichen gegenüber der Innenelek­ trode 18, also gegenüber deren Ecken 20 und Austritten 24 in den Planflächen 17 der Innenelektrode. Diese Austritte sind mittig angeordnet, so daß sich zwischen den Elektroden 18, 19 strahlengangparallele Gasströmungen 22 in den Anregungs­ bereichen 32 des aktiven Mediums ergeben, was den Vorteil hat, quer zum Strahlengang auftretende Temperatur- und dichte Geradienten weitgehend zu vermeiden, so daß der Strahl 29 eine hohe Qualität hat.

Die Umwälzung des Gases erfolgt mit einer nicht darge­ stellten Gasumwälzeinrichtung, z.B. mittels Rootspumpen oder Turbinenpumpen. Aus dem Bereich zwischen den Elektroden 18, 19 strömt das Gas in das Innere 33 der Elektrode 18, aus der es stirnseitig abgeführt wird. Im Inneren der Elek­ trode 18 ist vorteilhafterweise ein Gaskühler 25 eingebaut, dem das erhitzte Gas zugeführt wird und von dem aus das abgekühlte Gas durch eine Ausströmöffnung 34 den Eintritten 23 wieder zugeleitet wird. Das Kühlmittel für den im Ein­ zelnen nicht dargestellten Gaskühler 25 wird zweckmäßiger­ weise auf einer Stirnseite zugeführt und auf der anderen Stirnseite abgeführt, so daß sich eine hohe Durchsatzge­ schwindigkeit des Kühlmittels und damit ein entsprechend großer Kühleffekt erzielen läßt.

Claims (10)

1. Laser, insbesondere Kohlendioxidlaser, mit einem zwischen zwei Resonatorspiegeln mehrfach gefalteten Strahlengang, für dessen Faltungen ebene Reflektorflächen vorhanden und dessen zwischen den Reflektoren gelegenen Strahlengangabschnitte räumlich angeordnet sind, nach Patent.... (Patentanmeldung P 37 16 873.8), dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlengangabschnitte (16) schraubenlinienartig gewunden angeordnet sind.

2. Laser nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß er mindestens drei Reflektorflächen (14) hat, von denen mindestens eine den Strahlengang (13) mindestens zweimal faltet, und daß mindestens ein Re­ flektor (z.B. 15′) einen Strahlengangabschnitt (16′) im Windungssinn ablenkend gekippt angeordnet ist.

3. Laser nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß seine Reflektoren (15) insgesamt vier, die aneinanderstoßenden Strahlengangabschnitte (16, 16′) rechtwinkelig zueinander ausrichtende Reflektorflächen (14) aufweisen.

4. Laser nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß vier Planspiegel oder zwei retroreflektiv wirkende Dach­ kantspiegel als Reflektoren (15) vorhanden sind.

5. Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß im Inneren des gewundenen Strahlengangs (13) eine mit Planflächen (17) versehene zylindrische Elektrode (18) vorhanden ist, und daß außerhalb des Strahlengangs (13) vor jeder Planfläche (17) eine parallele Plattenelektrode (19) vorgesehen ist.

6. Laser nach Anspruch 5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Reflektorflächen (14) gegenüber den Ecken (20) der Innenelektrode (18) in den Schnitt­ bereichen (21) der Ebenen der Plattenelektroden (19) angeordnet sind.

7. Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß er zwischen den Elektroden (18, 19) strahlengangparallele Gasströmungen (22) mit Eintritten (23) in den Eckbereichen gegenüber der Innenelektrode (18) und Austritten (24) mittig in ihren Planflächen (17) aufweist.

8. Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß in die Innenelektrode (18) ein an eine Gasumwälzeinrichtung angeschlossener Gaskühler (25) eingebaut ist.

9. Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Reflektoren (25) und/oder die Elektroden (18, 19) in ein rohrförmiges Gehäuse (26, 27, 28) eingebaut sind.

10. Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Resonator­ spiegel (11, 12) einen Strahlengangabschnitt (16′′) zwischen sich einschließend, aufeinander ausgerichtet sind.