JPH0449547A - 金属積層膜の製造方法 - Google Patents
金属積層膜の製造方法Info
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- JPH0449547A JPH0449547A JP15903590A JP15903590A JPH0449547A JP H0449547 A JPH0449547 A JP H0449547A JP 15903590 A JP15903590 A JP 15903590A JP 15903590 A JP15903590 A JP 15903590A JP H0449547 A JPH0449547 A JP H0449547A
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Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は電子計算機等の記録装置などに用いられる光磁
気記録媒体の製造方法に関するものである。
気記録媒体の製造方法に関するものである。
従来の技術
光磁気記録媒体の記録は記録膜をレーザー光などでキュ
リー点近傍まで局所加熱して磁化を消滅させ、外部から
磁界を付与して、その部分を磁化反転させることにより
行（＼ 再生は記録膜からのレーザー反射光のカー効果
による偏光面の回転を検出することにより行う。現在、
より高密度で高転送速度な媒体を目指して開発が進んで
いる。その中で、高Ｓ／Ｎ、オーバーライド、再生減磁
防止を目的として、互いに磁気交換結合している２種類
以上の磁性膜から構成される記録膜を使用している光磁
気記録媒体がある。
リー点近傍まで局所加熱して磁化を消滅させ、外部から
磁界を付与して、その部分を磁化反転させることにより
行（＼ 再生は記録膜からのレーザー反射光のカー効果
による偏光面の回転を検出することにより行う。現在、
より高密度で高転送速度な媒体を目指して開発が進んで
いる。その中で、高Ｓ／Ｎ、オーバーライド、再生減磁
防止を目的として、互いに磁気交換結合している２種類
以上の磁性膜から構成される記録膜を使用している光磁
気記録媒体がある。
発明が解決しようとする課題
ところで、この光磁気記録媒体を作製するにはスパッタ
リングで成膜する場合でも蒸着法で成膜する場合でもそ
れぞれの磁性膜に応じてスパッタリングターゲットある
いは蒸着源を必要とし しかも磁気交換結合させるため
にはすべての磁性膜を同一槽内で成膜しなければならな
賎 よってこの光磁気記録媒体を作製する成膜装置はす
べての磁性膜を成膜するためのスパッタリングターゲッ
トあるいは蒸着源を含む必要があり、成膜装置が犬がか
りで高価格になるという課題を有していた本発明は前記
課題に鑑へ 成膜装置が簡便で低価格な光磁気記録媒体
の製造方法を提供するものである。
リングで成膜する場合でも蒸着法で成膜する場合でもそ
れぞれの磁性膜に応じてスパッタリングターゲットある
いは蒸着源を必要とし しかも磁気交換結合させるため
にはすべての磁性膜を同一槽内で成膜しなければならな
賎 よってこの光磁気記録媒体を作製する成膜装置はす
べての磁性膜を成膜するためのスパッタリングターゲッ
トあるいは蒸着源を含む必要があり、成膜装置が犬がか
りで高価格になるという課題を有していた本発明は前記
課題に鑑へ 成膜装置が簡便で低価格な光磁気記録媒体
の製造方法を提供するものである。
課題を解決するための手段
前記課題を解決するために本発明の光磁気記録媒体の製
造方法はターゲットを１個しか使用しないスパッタリン
グである。
造方法はターゲットを１個しか使用しないスパッタリン
グである。
作用
前記のスパッタリングは単一ターゲットを用いてスパッ
タリングパワーあるいはスパッタリング圧力を変えるだ
けでスパッタリングされた膜の組成比を変えるようにす
る。
タリングパワーあるいはスパッタリング圧力を変えるだ
けでスパッタリングされた膜の組成比を変えるようにす
る。
実施例
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
すも 第１図は本発明の製造方法を用いて作製する光磁
気記録媒体の構成図であ、％ １１は基板 １２、１
５は保護風 １３は記録［１４は記録補助膜である。本
実施例の光磁気記録媒体は再生ビーム光の照射により媒
体の温度が上昇するためへ 保磁力が減少して不安定に
なり、既に記録されている部分の磁化が不規則に反転し
て再生信号が減少するという課題を解決するもので記録
膜が互いに磁気交換結合している組成の異なる２種類の
磁性風 記録膜１３、記録補助膜１４から構成されてい
る。それぞれの組成は記録膜１３はＴｂ２２．５Ｆｅｅ
＊、ｓＣｏ＊、＠、記録補助膜１４はＴｂａｓｓＦｅｅ
ｓ、５ｃＯｏ、ｓで膜厚はそれぞれ１００ＯＡである。
すも 第１図は本発明の製造方法を用いて作製する光磁
気記録媒体の構成図であ、％ １１は基板 １２、１
５は保護風 １３は記録［１４は記録補助膜である。本
実施例の光磁気記録媒体は再生ビーム光の照射により媒
体の温度が上昇するためへ 保磁力が減少して不安定に
なり、既に記録されている部分の磁化が不規則に反転し
て再生信号が減少するという課題を解決するもので記録
膜が互いに磁気交換結合している組成の異なる２種類の
磁性風 記録膜１３、記録補助膜１４から構成されてい
る。それぞれの組成は記録膜１３はＴｂ２２．５Ｆｅｅ
＊、ｓＣｏ＊、＠、記録補助膜１４はＴｂａｓｓＦｅｅ
ｓ、５ｃＯｏ、ｓで膜厚はそれぞれ１００ＯＡである。
保護膜１２、１５はＺｎ５ｅＳｉＯ２でその膜厚は８２
０Ａである。記録膜１３、記録補助膜１４の磁気特性を
それぞれ第２図（ａ）（ｂ）に示す。第２図かられかる
ように記録膜１３は再生時には媒体の温度は１３０℃程
度になるがこれにともない保磁力が減少し磁化反転が起
こり易い状態になるが記録補助Ｍ１４は再生時の媒体の
温度上昇では保磁力は増加する傾向にあり、磁化反転は
起こりに＜ Ｌ％ 記録する際には記録膜１３と記録
補助膜１４は互いの副格子磁化が一方向に揃った状態で
記録され室温においても記録膜と記録補助膜は磁気交換
結合したままで互いの副格子磁化が同一方向に向いた状
態となる。よって再生レーザー光照射により媒体の温度
が上昇するが前記のように記録膜１３は保磁力が減少し
既に記録されている部分の磁化反転が起こり昌い状態
となも しかし 記録補助膜１４と磁気交換結合してい
るため磁化反転は妨げられるので記録部分の状態は安定
に保たれも 本媒体を作製する方法はアルゴンガスイオ
ンの低気圧放電を使うマグネトロンスパッタリング法で
あ４スパツタリングにおいてはスパッタリングパワーを
変えると組成の異なる膜を成膜することが出来も この
現象を利用して前記の光磁気記録媒体を作製する。スパ
ッタリング圧力４ｘｌＯ−’ＴｏｒｒでＴｂ２１Ｆｅマ
・Ｃｏｏ組成のスパッタリングターゲットを使用した場
合、スパッタリングパワー５００Ｗでスパッタリングす
ると前記の記録膜１３の組成の膜が得られ スパッタリ
ングパワー１５０Ｗでスパッタリングすると前記の記録
補助膜１４の組成の膜が得られる。予めＺｎ５ｅＳｉＯ
ｐを保護膜１２としてマグネトロンスパッタ法で成膜し
たポリカーボネイトディスクを基板として使し＼ スパ
ッタリング圧力は４Ｘ１０−”Ｔｏｒｒでまずスパッタ
リングパワー５００Ｗで記録膜１３を成膜し 次にスパ
ッタリングパワー１５０Ｗで記録補助膜１４を成膜すム
その上に保護［１５を保護膜１２と同様に成膜すム 発明の効果 本発明の光磁気記録媒体の製造方法によれば単一のスパ
ッタリングターゲットを用いて、数種類の互いに磁気交
換結合する磁性膜を記録膜とする光磁気記録媒体を作製
することができ、製造装置が簡便で低価格にすることが
できる。
０Ａである。記録膜１３、記録補助膜１４の磁気特性を
それぞれ第２図（ａ）（ｂ）に示す。第２図かられかる
ように記録膜１３は再生時には媒体の温度は１３０℃程
度になるがこれにともない保磁力が減少し磁化反転が起
こり易い状態になるが記録補助Ｍ１４は再生時の媒体の
温度上昇では保磁力は増加する傾向にあり、磁化反転は
起こりに＜ Ｌ％ 記録する際には記録膜１３と記録
補助膜１４は互いの副格子磁化が一方向に揃った状態で
記録され室温においても記録膜と記録補助膜は磁気交換
結合したままで互いの副格子磁化が同一方向に向いた状
態となる。よって再生レーザー光照射により媒体の温度
が上昇するが前記のように記録膜１３は保磁力が減少し
既に記録されている部分の磁化反転が起こり昌い状態
となも しかし 記録補助膜１４と磁気交換結合してい
るため磁化反転は妨げられるので記録部分の状態は安定
に保たれも 本媒体を作製する方法はアルゴンガスイオ
ンの低気圧放電を使うマグネトロンスパッタリング法で
あ４スパツタリングにおいてはスパッタリングパワーを
変えると組成の異なる膜を成膜することが出来も この
現象を利用して前記の光磁気記録媒体を作製する。スパ
ッタリング圧力４ｘｌＯ−’ＴｏｒｒでＴｂ２１Ｆｅマ
・Ｃｏｏ組成のスパッタリングターゲットを使用した場
合、スパッタリングパワー５００Ｗでスパッタリングす
ると前記の記録膜１３の組成の膜が得られ スパッタリ
ングパワー１５０Ｗでスパッタリングすると前記の記録
補助膜１４の組成の膜が得られる。予めＺｎ５ｅＳｉＯ
ｐを保護膜１２としてマグネトロンスパッタ法で成膜し
たポリカーボネイトディスクを基板として使し＼ スパ
ッタリング圧力は４Ｘ１０−”Ｔｏｒｒでまずスパッタ
リングパワー５００Ｗで記録膜１３を成膜し 次にスパ
ッタリングパワー１５０Ｗで記録補助膜１４を成膜すム
その上に保護［１５を保護膜１２と同様に成膜すム 発明の効果 本発明の光磁気記録媒体の製造方法によれば単一のスパ
ッタリングターゲットを用いて、数種類の互いに磁気交
換結合する磁性膜を記録膜とする光磁気記録媒体を作製
することができ、製造装置が簡便で低価格にすることが
できる。
第１図は本発明の光磁気記録媒体の製造方法を使用する
光磁気記録媒体の構造医 第２図は記録膜の磁気特性図
である 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか１名Ｉｆ・・一
基板 ／Ｚ、 １５ °°° イラ【 調１ 唖１３−記
鋒Ｒｔ １４− 紀（翫 樟和 １ｌｌｊ 記鯨暎 記錘樟”ＲＪ頃 じ０）
光磁気記録媒体の構造医 第２図は記録膜の磁気特性図
である 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか１名Ｉｆ・・一
基板 ／Ｚ、 １５ °°° イラ【 調１ 唖１３−記
鋒Ｒｔ １４− 紀（翫 樟和 １ｌｌｊ 記鯨暎 記錘樟”ＲＪ頃 じ０）
Claims (2)
- （１） スパッタリング法において単一のスパッタリン
グターゲットを用いてスパッタリングパワーを変えて制
御することにより組成比の異なる２種類以上の金属膜を
形成することを特徴とする金属積層膜の製造方法。 - （２） 金属積層膜が光磁気記録膜である特許請求の範
囲第１項記載の金属積層膜の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15903590A JPH0449547A (ja) | 1990-06-18 | 1990-06-18 | 金属積層膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15903590A JPH0449547A (ja) | 1990-06-18 | 1990-06-18 | 金属積層膜の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0449547A true JPH0449547A (ja) | 1992-02-18 |
Family
ID=15684829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15903590A Pending JPH0449547A (ja) | 1990-06-18 | 1990-06-18 | 金属積層膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0449547A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10204924B2 (en) * | 2016-01-12 | 2019-02-12 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Thin film transistor, manufacturing method thereof, display substrate and display device |
-
1990
- 1990-06-18 JP JP15903590A patent/JPH0449547A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10204924B2 (en) * | 2016-01-12 | 2019-02-12 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Thin film transistor, manufacturing method thereof, display substrate and display device |
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