JPH0448524A - 真空スイッチ

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(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は真空スイッチに関し、特に高電圧時の切替に使
用する真空スイッチに関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の真空スイッチは、高電圧時に切替を行う
ため、スイッチ内を１０−フトー°ル以下の真空度に保
っていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の真空スイッチは、真空度を１０−７トー
ル以下に保つ必要があるが、真空スイッチ製造後、非破
壊で真空度を測定する方法がなかったため、切替接点の
耐電圧試験で真空度の良否判定を行っていた。従って、
気密不良により生ずる微少なリークがあっても発見でき
ないという欠点がある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の真空スイッチは、入出力端子と、この入出力端
子を導通あるいは不導通にするための可動部及び電磁石
とで構成される真空リレーにおいて、該真空リレー内の
耐電圧のかかる部分の最小間隔より狭い間隔で対向した
耐電圧測定用の対向電極を備えている。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の構造を示す断面図である。

真空リレーの真空度を保つガラス管１の内部に設けた入
出力端子２と、この入出力端子２をオン・オフする可動
部３と、この可動部３を駆動する電磁石４とによって真
空リレーを楕成し、更に本実施例では耐電圧測定用の対
向電極５を設けている。

即ち、真空リレー内で対向電極５が狭い間隔ｇで対向し
ており、真空リレー内の真空度に対応した、対向電極５間の耐電
圧特性をあらかじめ測定しておく、これにより対向電極
５間の耐電圧値によって真空度を逆算し、真空リレー内
の真空度に変化がないか否かを確認することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、真空リレー内に狭い間隔
で対向した電極を付加し、電極の耐電圧試験を行うこと
により、事前に測定しである耐電圧対真空度のデータよ
り、非破壊で、真空リレーの真空度を推定できる効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の構造を示す断面図である。１・・・ガラス管、２・・・入出力端子、３・・・可動
部、４・・・電磁石、５・・・耐電圧測定用対向電極。

【特許請求の範囲】

入出力端子と、この入出力端子を導通あるいは不導通に
するための可動部及び電磁石とで構成される真空リレー
において、該真空リレー内の耐電圧のかかる部分の最小
間隔より狭い間隔で対向した耐電圧測定用の対向電極を
備えることを特徴とする真空スイッチ。