JPH044751U - - Google Patents
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- JPH044751U JPH044751U JP4394190U JP4394190U JPH044751U JP H044751 U JPH044751 U JP H044751U JP 4394190 U JP4394190 U JP 4394190U JP 4394190 U JP4394190 U JP 4394190U JP H044751 U JPH044751 U JP H044751U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- marking
- defective
- measuring
- characteristic
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 14
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体製造装置の正面図
、第２図は不良マークが付された半導体ペレツト
を含む半導体ウエーハの平面図、第３図は本考案
の変形例の装置を示す正面図、第４図は変形例の
装置によつて不良マークが付された半導体ペレツ
トを含む半導体ウエーハの平面図である。第５図
は従来の半導体製造装置の正面図、第６図は従来
の不良マークが付された半導体ペレツトを含む半
導体ウエーハの平面図である。 ２……半導体ウエーハ、３……半導体ペレツト
、４……特性測定装置、１４……マーキング装置
、１７……不良マーク。
、第２図は不良マークが付された半導体ペレツト
を含む半導体ウエーハの平面図、第３図は本考案
の変形例の装置を示す正面図、第４図は変形例の
装置によつて不良マークが付された半導体ペレツ
トを含む半導体ウエーハの平面図である。第５図
は従来の半導体製造装置の正面図、第６図は従来
の不良マークが付された半導体ペレツトを含む半
導体ウエーハの平面図である。 ２……半導体ウエーハ、３……半導体ペレツト
、４……特性測定装置、１４……マーキング装置
、１７……不良マーク。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエーハに多数個形成された半導体ペレ
ツトの特性測定装置と、 前記特性測定装置の検出した特性不良の内容に
応じて、形態の異なる不良マークを、不良半導体
ペレツトに付するマーキング装置とを具備したこ
とを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4394190U JPH044751U (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4394190U JPH044751U (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH044751U true JPH044751U (ja) | 1992-01-16 |
Family
ID=31556791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4394190U Pending JPH044751U (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH044751U (ja) |
-
1990
- 1990-04-23 JP JP4394190U patent/JPH044751U/ja active Pending
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