JPH0167553U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0167553U JPH0167553U JP16346387U JP16346387U JPH0167553U JP H0167553 U JPH0167553 U JP H0167553U JP 16346387 U JP16346387 U JP 16346387U JP 16346387 U JP16346387 U JP 16346387U JP H0167553 U JPH0167553 U JP H0167553U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- template
- aperture
- switching mechanism
- aperture hole
- marking pen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の第１の実施例を示す斜視図、
第２図は本考案の第２の実施例を示す斜視図であ
る。 １……上下駆動機構、２……マークペン、３…
…アパーチヤ孔、４……型板、５ａ，５ｂ……ア
パーチヤ孔切換機構、６……フオトマスク。
第２図は本考案の第２の実施例を示す斜視図であ
る。 １……上下駆動機構、２……マークペン、３…
…アパーチヤ孔、４……型板、５ａ，５ｂ……ア
パーチヤ孔切換機構、６……フオトマスク。
Claims (1)
- 欠陥の種別に応じて異なる形状の複数のアパー
チヤ孔をもつ型板と、該型板のアパーチヤ孔を介
してフオトマスクにマーキングを行うマークペン
と、前記型板のアパーチヤ孔を選択して前記マー
クペンに対応した位置に配置するアパーチヤ孔切
換機構とを有することを特徴とするフオトマスク
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16346387U JPH0167553U (ja) | 1987-10-26 | 1987-10-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16346387U JPH0167553U (ja) | 1987-10-26 | 1987-10-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0167553U true JPH0167553U (ja) | 1989-05-01 |
Family
ID=31448206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16346387U Pending JPH0167553U (ja) | 1987-10-26 | 1987-10-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0167553U (ja) |
-
1987
- 1987-10-26 JP JP16346387U patent/JPH0167553U/ja active Pending