JPH0444576B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

〔産業上の利用分野〕 本発明は、液体噴射記録ヘツド、詳しくは、イ
ンク等の記録用液体の小滴を発生させ、それを紙
などの被記録材に付着させて記録を行なう液体噴
射記録方式に用いる記録用液体の小滴発生用の記
録ヘツドに関する。 〔従来の技術〕 インク等の記録用液体の小滴を発生させ、それ
を紙などの被記録材に付着させて記録を行なう液
体噴射記録方式は、記録時の騒音の発生が無視で
きる程度に極めて小さく、かつ高速記録が可能で
あり、しかも普通紙に定着などの特別な処理を必
要とせずに記録を行なうことのできる記録方式と
して注目され、最近種々のタイプのものが活発に
研究されている。 液体噴射記録方式に用いられる記録装置の記録
ヘツド部は、一般に、記録用液体を吐出するため
のオリフイス（液体吐出口）と、該オリフイスに
連通し、記録用液体を吐出するためのエネルギー
が記録用液体に作用する部分を有する液体通路
と、該液体通路に供給する記録用液体を貯留する
ための液室とを有して構成されている。 記録の際に、記録用液体を吐出するためのエネ
ルギーは、液体通路の一部を構成する記録用液体
に吐出エネルギーを作用させる部分（エネルギー
作用部）の所定の位置に配設された発熱素子、圧
電素子等の種々のタイプの吐出エネルギー発生素
子によつて発生されるものが多い。 このような構成の液体噴射記録ヘツドを製造す
る方法としては、例えば、ガラス、金属等の平板
に切削やエツチング等によつて、微細な溝を形成
し、更にこの溝を形成した平板に他の適当な板を
接合して液体通路を形成する工程を含む方法、あ
るいは例えば吐出エネルギー発生素子の配置され
た基板上に硬化した感光性樹脂の溝壁をフオトリ
ソグラフイー工程によつて形成して、基板上に液
体通路となる溝を設け、このようにして形成され
た溝付き板に、他の平板（覆い）を接合して液体
通路を形成する工程を含む方法が知られている
（例えば特開昭57−43876号）。 これらの液体噴射記録ヘツドの製造方法のなか
では、感光性樹脂を使用した後者の方法は、前者
の方法に対して、液体通路をより精度良く、かつ
歩留り良く微細加工でき、しかも量産化が容易で
あるので、品質が良く、より安価な液体噴射記録
ヘツドを提供することができるという利点を有し
ている。 このような記録ヘツドの製造に用いる感光性樹
脂としては、印刷版、プリント配線等におけるパ
ターン形成用として用いられてきたもの、あるい
はガラス、金属、セラミツクス等に用いる光硬化
型の塗料や接着剤として知られているものが用い
られており、また作業能率などの面からドライフ
イルムタイプの樹脂が主に利用されてきた。 〔発明が解決しようとする問題点〕 感光性樹脂の硬化膜を用いた記録ヘツドにおい
ては、高度な記録特性、耐久性及び信頼性等の優
れた特性を得るために、記録ヘツドに用いる感光
性樹脂には、 (1) 特に、硬化膜としての基板との接着性に優れ
ている、 (2) 硬化した際の機械的強度及び耐久性等に優れ
ている、 (3) パターン露光を用いたパターンニングの際の
感度及び解像度に優れている などの特性を有していることが要求される。 ところが、これまでに知られている液体噴射記
録ヘツドの形成に用いられる感光性樹脂として
は、上記の要求特性を全て満足したものが見当た
らないのが現状である。 すなわち、記録ヘツド用の感光性樹脂として、
印刷版、プリント配線等におけるパターン形成用
として用いられているものは、感度及び解像度に
おいては優れているが、基板として用いられるガ
ラス、セラミツクス、プラスチツクフイルムなど
に対する接着性や密着性に劣り、しかも硬化した
際の機械的強度や耐久性が十分でない。そのた
め、記録ヘツドの製造段階において、または使用
にともなつて、例えば液体通路内の記録用液体の
流れを阻害したり、あるいは液滴吐出方向を不安
定にするなどとして記録特性を低下させる等、記
録ヘツドの信頼性を著しく損なう原因となる樹脂
硬化膜の変形や基板からの剥離、損傷などが起き
易いという欠点を有している。 一方、ガラス、金属、セラミツクス等に用いる
光硬化型の塗料や接着剤として知られているもの
は、これらの材質からなる基板に対する密着性や
接着性に優れ、かつ硬化した際に十分な機械的強
度や耐久性が得られるという利点を有しているも
のの、感度及び解像度に劣るために、より高強度
の露光装置や長時間の露光操作が必要とされ、ま
た、その特性上、解像度良く精密な高密度パター
ンを得ることができないために、特に微細な精密
加工が要求される記録ヘツド用としては向いてい
ないという問題点を有している。 本発明は、このような問題点に鑑みなされたも
のであり、前述したような諸要求特性を全て満足
した樹脂硬化膜からなる液体通路壁を有し、安価
で精密であり、信頼性が高く、耐久性に優れた液
体噴射記録ヘツドを提供することを目的とする。 本発明の他の目的は、液体通路が精度良くかつ
歩留り良く微細加工された構成を有した液体噴射
記録ヘツドを提供することにある。 本発明の他の目的は、マルチオリフイス化され
た場合にも信頼性が高く、耐久性に優れた液体噴
射記録ヘツドを提供することにある。 〔問題点を解決するための手段〕 上記の目的は以下の本発明によつて達成するこ
とができる。 本発明は、液体の吐出口に連通する液体通路
と、該液体通路内の液体を吐出させるためのエネ
ルギーを発生する吐出エネルギー発生素子とを有
し、前記液体通路の少なくとも１部が活性エネル
ギー線によつて硬化する樹脂組成物の硬化領域で
形成されて成る液体噴射記録ヘツドにおいて、前
記樹脂組成物が () アルキルメタアクリレート、アクリロニト
リルおよびスチレンからなる群より選ばれた一
種以上のモノマーに由来する構造単位を主体と
する幹鎖に、(A)水酸基含有アクリルモノマー、
(B)アミノもしくはアルキルアミノ基含有アクリ
ルモノマー、(C)カルボキシル基含有アクリルも
しくはビニルモノマー、(D)Ｎ−ビニルピロリド
ンもしくはその誘導体、(E)ビニルピリジンもし
くはその誘導体および(F)下記一般式で表わさ
れるアクリルアミド誘導体からなる群より選ば
れた一種以上のモノマーに由来する構造単位を
主体とする枝鎖が付加されてなるグラフト共重
合高分子と、 （ただし、R¹は水素または炭素原子数が１〜
３のアルキルもしくはヒドロキシアルキル基、
R²は水素または炭素原子数が１〜４のヒドロ
キシ基を有してもよいアルキルもしくはアシル
基を表わす。） () エチレン性不飽和結合を有する単量体と、 () 分子内にエポキシ基を２個以上有する化合
物の少なくとも１種を含んでなるエポキシ樹脂
に存在するエポキシ基の一部を不飽和カルボン
酸によつてエステ化してなる樹脂 とを有してなるものであることを特徴とする液体
噴射記録ヘツドである。 すなわち本発明の記録ヘツドは、基板と、少な
くとも液体通路となる溝を形成する樹脂硬化膜層
とを有してなり、記録ヘツドを構成する各部材の
耐久性及び各部材間での接着性に優れ、しかも樹
脂硬化膜層が精度良く微細加工されており、優れ
た記録特性を有し、信頼性も高く、使用に際して
の耐久性にも優れた記録ヘツドである。 以下、図面に従つて本発明の液体噴射記録ヘツ
ドを詳細に説明する。 第１図は本発明の液体噴射記録ヘツドの一例で
あり、第１図ａはその主要部の斜視図、第１図ｂ
は第１図ａのＣ−C′線に添つたり切断断面図であ
る。 この液体噴射記録ヘツドは、基本的に、基板１
と、該基板上に設けられ、所定の形状にパターン
ニングされた樹脂硬化膜３Ｈと、該樹脂硬化膜上
に積層された覆い７とを有してなり、これらの部
材によつて、記録用液体を吐出するためのオリフ
イス９、該オリフイスに連通し、記録用液体を吐
出するためのエネルギーが記録用液体に作用する
部分を有する液体通路６−２及び該液体通路に供
給する記録用液体を貯留するための液室６−１が
形成されている。更に、覆いに設けられた貫通孔
８には、記録ヘツド外部から液室６−１に記録用
液体を供給するための供給管１０が接合されてい
る。尚、第１図ａには、供給管１０は省略してあ
る。 記録の際に、記録用液体を吐出するためのエネ
ルギーは、液体通路６−２の一部を構成する記録
用液体に吐出エネルギーを作用させる部分の所定
の位置に配設された発熱素子、圧電素子等の種々
のタイプの吐出エネルギー発生素子２に、これら
素子に接続してある配線（不図示）を介して吐出
信号を所望に応じて印加することにより発生され
る。 本発明の記録ヘツドを構成する基板１は、ガラ
ス、セラミツクス、プラスチツクあるいは金属等
からなり、発生素子２が所望の個数所定位置に配
設される。なお、第１図の例においては発生素子
が２個設けられているが、発熱素子の個数及び配
置は記録ヘツドの所定の構成に応じて適宣決定さ
れる。 また、覆い７は、ガラス、セラミツクス、プラ
スチツクあるいは金属等の平板からなり、融着あ
るいは接着剤を用いた接着方法により樹脂硬化膜
３Ｈ上に接合されており、また所定の位置に供給
管１０を接続するための貫通孔８が設けられてい
る。 本発明の記録ヘツドにおいて、液体通路６−２
及び液室６−１の壁を構成する所定の形状にパタ
ーンニングされた樹脂硬化膜３Ｈは、基板１上
に、または覆い７上に設けた以下に説明する組成
の樹脂組成物からなる層をフオトリソグラフイー
工程によつてパターンニングして得られたもので
ある。なお、該樹脂硬化膜３Ｈは、以下に説明す
る組成の樹脂組成物からなる覆いに一体化して、
パターンニングされタものであつても良い。 このような少なくとも液体通路となる部分を構
成するために基板上に設けられた樹脂硬化膜を形
成するために用いる樹脂組成物は、 () アルキルメタアクリレート、アクリロニト
リルおよびスチレンからなる群より選ばれた一
種以上のモノマーに由来する構造単位を主体と
する幹鎖に、(A)水酸基含有アクリルモノマー、
(B)アミノもしくはアルキルアミノ基含有アクリ
ルモノマー、(C)カルボキシル基含有アクリルも
しくはビニルモノマー、(D)Ｎ−ビニルピロリド
ンもしくはその誘導体、(E)ビニルピリジンもし
くはその誘導体および(F)下記一般式で表わさ
れるアクリルアミド誘導体からなる群より選ば
れた一種以上のモノマーに由来する構造単位を
主体とする枝鎖が付加されてなるグラフト重合
高分子と、 （ただし、R¹は水素または炭素原子数が１〜
３のアルキルもしくはヒドロキシアルキル基、
R²は水素または炭素原子数が１〜４のヒドロ
キシ基を有してもよいアルキルもしくはアシル
基を表わす。） () エチレン性不飽和結合を有する単量体と、 () 分子内にエポキシ基を２個以上有する化合
物の少なくとも１種を含んでなるエポキシ樹脂
に存在するエポキシ基の一部を不飽和カルボン
酸によつてエステル化してなる樹脂 とを有してなる活性エネルギー線硬化型樹脂組成
物であり、特に硬化膜とした際にガラス、プラス
チツク、セラミツクス等からなる基板に対して良
好な接着性を有し、かつインク等の記録用液体に
対する耐性及び機械的強度にも優れ、しかも活性
エネルギー線によるパターニングによつて精密で
高解像度のパターンを形成することができるとい
う液体噴射記録ヘツドの構成部材として優れた特
性を有するものである。更に、この樹脂組成物
は、ドライフイルムとして用いることができ、そ
の際にも上記の優れた特性が発揮される。 以下、この本発明の記録ヘツドの形成に用いる
活性エネルギー硬化型樹脂組成物の組成について
詳細に説明する。 この活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の必須
成分である（）グラフト共重合高分子は、構造
材料としての適性を有する比較的剛直な性状を有
する幹鎖に、親水性を有する上記(A)〜(F)のモノマ
ーを主体にし、基板への優れた密着性を発揮する
枝鎖を付加して成るものである。 上記グラフト共重合高分子を構成するに際し
て、その枝鎖を構成すべく用いる上記(A)〜(F)のモ
ノマーを具体的に示せば、(A)の水酸基含有アクリ
ルモノマーとしては、２−ヒドロキシエチル（メ
タ）アクリレート（以下、（メタ）アクリレート
と記す場合、アクリレートおよびメタアクリレー
トの双方を含むこと意味するものとする。）、２−
ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−
クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリ
レート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレ
ート、３−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレー
ト、５−ヒドロキシペンチル（メタ）アクリレー
ト、６−ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレー
ト、あるいは１，４−シクロヘキサンジメタノー
ルとアクリル酸またはメタアクリル酸とのモノエ
ステルなどが挙げられ、商品名アロニツクス
M5700（東亜合成化学(株)製）、TONE M100（カプ
ロラクトンアクリレート、ユニオンカーバイド(株)
製）、ライトエステルHO−mpp（共栄社油脂化学
工業(株)製）、ライトエステルＭ−600A（２−ヒド
ロキシ−３−フエノキシプロピルアクリレートの
商品名、共栄社油脂化学工業(株)製）として知られ
ているものや、二価アルコール類、例えば１，10
−デカンジオール、ネオペンチルグリコール、ビ
ス（２−ヒドロキシエチル）テレフタレート、ビ
スフエノールＡとエチレンオキシドまたはプロピ
レオキシドとの付加反応物等と（メタ）アクリル
酸とのモノエステル等を使用することができる。 (B)のアミノもしくはアルキルアミノ基含有アク
リルモノマーとしては、（メタ）アクリルアミド、
N′，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクル
アミド、N′，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルア
ミド、N′，Ｎ−ジメチルアミノプロピル（メタ）
アクリルアミド、N′，Ｎ−ジｔ−ブチルアミノ
エチル（メタ）アクリルアミドなどが挙げられ
る。 (C)のカルボキシル基含有アクリルもしくはビニ
ルモノマーとしては、（メタ）アクリル酸、フマ
ール酸、イタコン酸あるいは東亜合成化学(株)製品
の商品名アロニツクスＭ−5400、アロニツクスＭ
−5500等で知られるものが挙げられる。 (E)のビニルピリジンもしくはその誘導体として
は、２−ビニルピリジン、４−ビニルピリジン、
２−ビニル−６−メチルピリジン、４−ビニル−
１−メチルピリジン、２−ビニル−５−エチルピ
リジン、４−（４−ピペニリノエチル）ピリジン
等が挙げられる。 上記(A)〜(E)のモノマーは、その何れもが親水性
を有するものであり、本発明に用いる該組成物が
ガラス、セラミツクス、プラスチツクなどの基板
に接着する際に、強固な密着性を付与するもので
ある。 (F)の一般式で表わされるアクリルアミド誘導
体としては、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルア
ミド、Ｎ−プロポキシメチル（メタ）アクリルア
ミド、Ｎ−ｎ−ブトキシメチル（メタ）アクリル
アミド、β−ヒドロキシエトキシメチル（メタ）
アクリルアミド、Ｎ−エトキシメチル（メタ）ア
クリルアミド、Ｎ−メトキシメチル（メタ）アク
リルアミド、α−ヒドロキシ−Ｎ−メチロールア
クリルアミド、α−ヒドロキシエチル−Ｎ−ブト
キシメチルアクリルアミド、α−ヒドロキシプロ
ピル−Ｎ−プロポキシメチルアクリルアミド、α
−エチル−Ｎ−メチロールアクリルアミド、α−
プロピル−Ｎ−メチロールアクリルアミド等の親
水性で且つ熱架橋性を有するモノマーが挙げられ
る。これらモノマー(F)は、親水性はもとより加熱
による縮合架橋性を有しており、一般には100℃
以上の温度で水分子あるいはアルコールが脱離し
架橋結合を形成してグラフト共重合高分子自体に
も硬化後に網目構造を形成させ、硬化して得られ
るパターンの耐薬品および機械的強度等をより一
層向上させ、本発明をより効果的なものとするも
のである。 また、上記(A)〜(F)のモノマーに、熱によつて開
環し、架橋するモノマー、例えばグリシジル（メ
タ）アクリレートを一部添加し枝鎖を構成するこ
とによつて、上記(F)におけると同様の効果が得ら
れるものである。 上記熱架橋の他、同様の目的で本発明における
樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物に含まれるグラフ
ト共重合体の枝鎖の一部に光重合性モノマーを導
入し、活性エネルギー線によつてグラフト共重合
高分子を架橋させることも有効である。このよう
な、枝鎖に光重合性を付与させるための方法とし
ては、例えば、 （メタ）アクリル酸等に代表されるカルボキ
シル基含有モノマー、またはアミノ基もしくは
三級アミノ基含有モノマーを共重合させ、しか
る後にグリシジル（メタ）アクリレート等と反
応させる方法、 １分子内に１個のイソシアネート基と１個以
上のアクリルエステル基を持つポリイソシアネ
ートの部分ウレタン化合物と、枝鎖の水酸基、
アミノ基あるいはカルボキシル基とを反応させ
る方法、 枝鎖の水酸基にアクリル酸クロライドを反応
させる方法、 枝鎖の水酸基に酸無水物を反応させ、しかる
後にグリシジル（メタ）アクリレートを反応さ
せる方法、 枝鎖の水酸基と(F)に例示した縮合架橋性モノ
マーとを縮合させ、側鎖にアクリルアミド基を
残す方法、 枝鎖の水酸基にグリシジル（メタ）アクリレ
ートを反応させる方法、 等の方法を用いることができる。 グラフト共重合高分子の枝鎖が熱架橋性である
場合には、活性エネルギー線の照射によりパター
ンを形成した後に加熱を行なうことが好ましい。
一方、上記枝鎖が光重合性である場合にも、支持
体の耐熱性の面で許容され得る範囲内で加熱を行
なうことは何ら問題はなく、むしろより好ましい
結果を与える。 尚、枝鎖は前記(A)〜(F)に例示したような親水性
モノマーのみに由来するものの他、その他の種々
の機能を発揮させる各種の疏水性モノマー等を０
〜約25重量％までの範囲内で共重合の成分として
用いて成る枝鎖であつてもよい。 グラフト共重合高分子の幹鎖を構成するモノマ
ーは、メチルメタアクリレート、エチルメタアク
リレート、イソブチルメタアクリレート、ｔ−ブ
チルメタアクリレートなどのアルキル基の炭素数
が１〜４のアルキルメタアクリレート、アクリロ
ニトリルおよびスチレンである。 幹鎖は上記モノマーのみに由来するものの他、
例えば上記モノマーに、メチルアクリレート、エ
チルアクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、ラ
ウリルアクリレート、ｎ−ブチルメタアクリレー
ト、２−エチルヘキシルメタアクリレート、グリ
シジルメタアクリレート、酢酸ビニル等を０〜約
50重量％までの範囲内で共重合の成分として用い
て成る幹鎖であつてもよい。 本発明の記録ヘツドの形成に用いるこの樹脂組
成物において、上記幹鎖は該組成物に高い凝集強
度を与える。該組成物は、記録ヘツドの形成に際
して溶液状あるいは固形のフイルム状等、使用目
的に応じた種々の形状で提供されるが、該組成物
をフイルム状で維持するために、約50℃以上のガ
ラス転移温度を有する比較的剛直な幹鎖を用いる
ことが好ましい。この際、用いる幹鎖はガラス転
移温度の異なる二種以上のものから構成されたも
のでもよい。また、該組成物を溶液状にて用いる
のであれば、該組成物に柔軟性を与えるようなガ
ラス転移温度の低い幹鎖を用いることも可能であ
る。しかしながら、この場合には、優れた耐薬品
性と高い機械的強度を有するパターンを得るため
には、幹鎖をガラス転移温度の高いものとするこ
とが好ましい。 本発明における樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物
に用いられるグラフト共重合高分子は、硬化性を
有しないもの、光重合性のもの、および熱架橋性
のものに大別されるが、何れにしても本発明に用
いる組成物の硬化工程（すなわち、活性エネルギ
ー線照射および必要に応じての熱硬化）におい
て、該組成物に形態保持性を付与して精密なパタ
ーニングを可能にするとともに、硬化して得られ
るパターンに対しては優れた密着性、耐薬品性な
らびに高い機械的強度を与えるものである。 以上のようなグラフト共重合高分子は、公知の
方法によつて製造することが可能であり、具体的
には例えば「ポリマーアロイ基礎と応用」10〜35
頁（高分子学会編集、東京化学同人(株)発行、1981
年）に記載されているような種々の方法によつて
製造することができる。それらの方法を例示すれ
ば、連鎖移動法、放射線を用いる方法、酸
化重合法、イオングラフト重合法、マクロモ
ノマー法が挙げられる。本発明に記録ヘツドの形
成に用いる樹脂組成物に含まれるグラフト共重合
体は、枝鎖の長さがそろつている方が界面活性効
果が顕著となるので、、の方法を用いるのが
好ましく、中でものマクロモノモー法が材料設
計上有利であり、特に好ましい。グラフト共重合
体の重量平均分子量は、約5000〜30万の範囲が好
ましく、ドライフイルムとして用いる場合には、
約３万〜30万の範囲が好ましい。 本発明における樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物
に用いるエチレン性不飽和結合を有する単量体
（）とは、後に説明する樹脂成分（）ととも
に、本発明に用いる樹脂硬化膜形成用の樹脂組成
物に活性エネルギー線による硬化性を発揮させ、
とりわけこれに活性エネルギー線に対する優れた
感度を付与するための成分であり、好ましくは大
気圧下で、100℃以上の沸点を有し、エチレン性
不飽和結合を２個以上有するものであつて、活性
エネルギー線の照射で硬化する公知の種々の単量
体を用いることができる。 そのような２個以上のエチレン性不飽和結合を
有する単量体を具体的に示せば、例えば１分子
中に２個以上のエポキシ基を有する多官能エポキ
シ樹脂のアクリル酸エステルまたはメタアクリル
酸エステル、多価アルコールのアルキレンオキ
シド付加物のアクリル酸エステルまたはメタアク
リル酸エステル、二塩基酸と二価アルコールか
ら成る分子量500〜3000のポリエステルの分子鎖
末端にアクリル酸エステル基を持つポリエステル
アクリレート、多価イソシアネートと水酸基を
有するアクリル酸モノマーとの反応物が挙げられ
る。上記〜の単量体は、分子内にウレタン結
合を有するウレタン変性物であつてもよい。 に属する単量体としては、後述する該樹脂組
成物の（）の樹脂成分（ハーフエステル化エポ
キシ樹脂）の生成に用いられる多官能エポキシ樹
脂のアクリル酸またはメタアクリル酸エステルな
どが挙げられる。 に属する単量体としては、エチレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコー
ル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、１，６ヘキサンジオ
ール（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコ
ールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリストー
ルトリ（メタ）アクリレートなどが挙げられ、商
品名KAYARAD HX−220、HX−620、Ｄ−
310、Ｄ−320、Ｄ−330、DPHA、Ｒ−604、
DPCA−20、DPCA−30、DPCA−60、DPCA−
120（以上、日本化薬(株)製）、商品名NKエステル
BPE−200、BPE−500、BPE−1300、Ａ−BPE
−４（以上、新中村化学(株)製）等で知られるもの
を使用できる。 に属する単量体としては、商品名アロニツク
スＭ−6100、Ｍ−6200、Ｍ−6250、Ｍ−6300、Ｍ
−6400、Ｍ−7100、Ｍ−8030、Ｍ−8060、Ｍ−
8100（以上、東亜合成化学(株)製）などが挙げられ
る。ｂに属し、ポリエステルのウレタン結合含有
するものとしては、商品名アロニツクスＭ−
1100、アロニツクスＭ−1200（以上、東亜合成化
学(株)製）等として知られるものが挙げられる。 に属する単量体としては、トリレンジイソシ
アナート、イソホロンジイソシアナート、ヘキサ
メチレンジイソシアナート、トリメチルヘキサメ
チレンジイソシアナート、リジンジイソシアナー
ト、ジフエニルメタンジイソシアナートなどのポ
リイソシアナートと水酸基含有アクリルモノマー
との反応物が挙げられ、商品名スミジユールＮ
（ヘキサメチレンジイソシアナートのビユレツト
誘導体）、スミジユールＬ（トリレンジイソシアナ
ートのトリメチロールプロパン変性体）（以上、
住友バイエルウレタン(株)製）等で知られるポリイ
ソシアナート化合物に水酸基含有の（メタ）アク
リル酸エステルを付加した反応物などを使用でき
る。ここで言う水酸基含有アクリルモノマーとし
ては（メタ）アクリル酸エステルが代表的なもの
で、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシ
エチルメタアクリレート、ヒドロキシプロピルア
クリレートが好ましい。また、本明細書中のグラ
フト共重合高分子の枝鎖に用いられるものとして
挙げた水酸基含有の他のアクリルモノマーも使用
することができる。 上記したような２個以上のエチレン性不飽和結
合を有する単量体の他、これ等と共に例えば以下
に列挙するようなエチレン性不飽和結合を１個だ
け有する単量体も用いることができる。そのよう
な１個のエチレン性不飽和結合を有する単量体を
例示すれば、例えばアクリル酸、メタアクリル酸
などのカルボキシル基含有不飽和モノマー；グリ
シジルアクリレート、グリシジルメタアクリレー
トなどのグリシジル基含有不飽和モノマー；ヒド
ロキシエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメ
タアクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレー
ト、ヒドロキシプロピルメタアクリレート等のア
クリル酸またはメタクリル酸のC₂〜C₈ヒドロキ
シアルキルエステル；ポリエチレングリコールモ
ノアクリレート、ポリエチレングリコールモノメ
タアクリレート、ポリプロピレングリコールモノ
アクリレート、ポリプロピレングリコールモノメ
タアクリレート等のアクリル酸またはメタクリル
酸とポリエチレングリコールまたはポリプロピレ
ングリコールとのモノエステル；アクリル酸メチ
ル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、ア
クリル酸イソプロピル、アクリル酸ブチル、アク
リル酸ヘキシル、アクリル酸オクチル、アクリル
酸ラウリル、アクリル酸シクロヘキシル、メタク
リル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル
酸プロピル、メタクリル酸イソプロピル、メタク
リル酸ブチル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリ
ル酸オクチル、メタクリル酸ラウリル、メタクリ
ル酸シクロヘキシル等のアクリル酸またはメタク
リル酸のC₁〜C₁₂アルキルまたはシクロアルキル
エステル；その他のモノマーとしては、例えばス
チレン、ビニルトルエン、メチルスチレン、酢酸
ビニル、塩化ビニル、ビニルイソブチルエーテ
ル、アクリロニトリル、アクリルアミド、メタク
リルアミド、アルキルグリシジルエーテルのアク
リル酸またはメタクリル酸付加物、ビニルピロリ
ドン、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）
アクリレート、ε−カプロラクトン変性ヒドロキ
シアルキル（メタ）アクリレート、テトラヒドロ
フルフリルアクリレート、フエノキシエチルアク
リレートなど；が挙げられる。 何れにしても、上記エチレン性不飽和結合を有
する単量体を使用することにより、本発明の記録
ヘツドの形成に用いる該樹脂組成物に活性エネル
ギー線に対する高感度で十分な硬化性が付与され
る。 本発明において樹脂硬化膜形成用として用いる
該樹脂組成物に含まれる１分子内にエポキシ基を
２個以上含む化合物の１種以上からなるエポキシ
樹脂に存在するエポキシ基の一部を、不飽和カル
ボン酸によつてエステル化して得られる樹脂成分
（）（以後、ハーフエステル化エポキシ樹脂と略
称する）は、該樹脂硬化膜形成用樹脂組成物に前
述したエチレン性不飽和結合を有する単量体
（）とともに活性エネルギー線による硬化性を
発揮させ、これに加えて、該樹脂組成物をガラ
ス、プラスチツクス、セラミツクス等からなる各
種支持体上に液体状で塗布してからこれ硬化させ
て硬化膜として形成した際の、あるいドライフイ
ルムの形で各種支持体上に接着して用いた際の該
樹脂組成物からる硬化膜に、より良好な支持体と
の密着性、耐水性、耐薬品性、寸法安定性等を付
与するための成分である。 このハーフエステルエポキシ樹脂（）は、エ
ポキシ樹脂に、所定量の不飽和カルボン酸を、付
加触媒及び重合禁止剤の共存下で、溶媒の存在下
若しくは不存在下において、80〜120℃の温度条
件によつて反応させて、エポキシ樹脂に存在する
エキシ基の一部をカルボン酸でエステル化（ハー
フエステル化）するなどの方法によつて得ること
ができる。 ハーフエステル化エポキシ樹脂（）の形成に
用いることのできる１分子内にエポキシ基を２個
以上含む化合物の１種以上を含んでなるエポキシ
樹脂としては、ビスフエノールＡ型、ノボラツク
型、脂環型に代表されるエポキシ樹脂、あるい
は、ビスフエノールＳ、ビスフエノールＦ、テト
ラヒドロキシフエニルメタテトラグリシジルエー
テル、レゾルシノールジグリシジルエーテル、グ
リセリントリグリシジルエーテル、ペンタエリス
トリールトグリシジルエーテル、イソシアヌール
酸トリグリシジルエーテルおよび下記一般式 （ただし、Ｒはアルキル基またはオキシアルキル
基、R₀は

【式】

〔発明の効果〕

本発明の液体噴射記録ヘツドは、該ヘツドの構
成部材である活性エネルギー線硬化型樹脂組成物
として、該組成物に必須成分として含有されるエ
チレン性不飽和結合を有する単量体とハーフエス
テル化エポキシ樹脂とによつて主に付与されたパ
ターン形成材料としての活性エネルギー線に対す
る非常に優れた感度と解像度を有するものを用い
たものであり、該活性エネルギー線硬化型樹脂組
成物を用いることによつて、寸法精度が優れた液
体噴射記録ヘツドを歩留り良く得ることが可能に
なつた。 また、本発明に用いる樹脂硬化膜形成用の活性
エネルギー線硬化型樹脂組成物は、必須成分とし
てのグラフト共重合高分子とハーフエステル化エ
ポキシ樹脂の有するエポキシ樹脂としての特性が
有効に活されており、すなわち、主に、グラフト
共重合高分子によつて付与される優れた支持体と
の密着性及び機械的強度に加えて、主に、ハーフ
エステル化エポキシ樹脂によつて付与される優れ
た耐薬品性及び寸法安定性とを有しており、該組
成物を用いることによつて長期の耐久性を有する
記録ヘツドを得ることも可能になつた。 更に、硬化性を有するグラフト共重合高分子を
用いた活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を使用
した場合には、上記密着性、機械的強度あるいは
耐薬品性が特に優れた液体噴射記録ヘツドを得る
ことが可能である。 〔実施例〕 以下、合成例および実施例により本発明を更に
詳細に説明する。 合成例 １ アニオン重合法で得られるリビングポリマー
（２−ヒドロキシエチルメタアクリレート／ブチ
ルアクリレート（＝80／20重量比））とｐ−ビニ
ルベンジルクロリドとを反応させて、分子鎖の片
末端にビニル基を持つ重量平均分子量約1800のマ
クロモノマー（ｐ−ビニルベンジルポリー２−ヒ
ドロキシエチルメタアクリレート／ブチルアクリ
レート）を得た。このマクロモノマー30重量部と
メチルメタアクリレート70重量部をメチルセロソ
ルブ中で溶液重合し、重量平均分子量7.0×10⁴の
熱可塑性のグラフト共重合高分子（これをGP−
１とする）を得た。なおこのGP−１の主鎖を構
成するポリメチルメタクリレート鎖のガラス転移
温度は100℃である。 エピクロン1050（ビスフエノール型エポキシ樹
脂、エポキシ当量450〜500、大日本インキ化学工
業(株)の製品）250ｇをフラスコに入れ、70℃で溶
解し、0.5ｇのハイドロキノン（熱重合禁止剤）
と、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド
３ｇを加え、混合した。これにアクリル酸20ｇを
撹拌しながら30分かけて滴下し反応させた。滴下
が終了した後さらに80℃で４時間撹拌を続け反応
を終了させた。この反応においてエポキシ基のモ
ル数とアクリル酸のモル数は、10：５になるよう
に設定した。以上の操作によつてエピクロン1050
の部分アクリル酸エステル化物（これをHE−１
と称す）を得た。 上記のGP−１とHE−１を用い下記組成の活性
エネルギー線硬化型樹脂組成物を得た。 GP−１（グラフト共重合高分子） 100重量部 HE−１（エポキシ部分エステル） 100 〃 ネオペンチルグリコールジアクリレート60 〃 ベンゾフエノン 12 〃 ミヒラーのケトン ６ 〃 クリスタルバイオレツト １ 〃 メチルエチルケトン／トルエン（１／１混合物）
300 〃 上記の組成物を、16μｍのポリエチレンテレフ
タレートフイルム（ルミラーＴタイプ）にバーコ
ーターで乾燥後の厚さが75μｍとなるように塗布
し、これを100℃の熱風オープン中で10分間乾燥
することにより、膜厚75μｍの活性エネルギー線
硬化型樹脂組成物層を有するドライフイルムを作
成し、以後の本発明の液体噴射記録ヘツドの形成
に用いた。 合成例 ２ ネオペンチルグリコールジアクリレート60重量
部のかわりに２，２−ビス［４−（アクリロキシ
ジエトキシ）フエニル］プロパンを60重量部用い
た他は、合成例１と同様にして膜厚75μｍの活性
エネルギー線硬化型樹脂層を有するドライフイル
ムを作成し、以後の本発明の液体噴射記録ヘツド
の形成に用いた。 合成例 ３ ネオペンチルグリコールジアクリレート60重量
部のかわりにトリメチロールプロパントリアクリ
レートを60重量部用いた他は、合成例１と同様に
して膜厚75μｍの活性エネルギー線硬化型樹脂組
成物層を有するドライフイルムを作成し、以後の
本発明の液体噴射記録ヘツドの形成に用いた。 合成例 ４ ネオペンチルグリコールジアクリレート60重量
部のかわりにアロニツクスＭ−8030＊１を60重量
部用いた他は、合成例１と同様にして膜厚75μｍ
の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物層を有する
ドライフイルムを作成し、以後の本発明の液体噴
射記録ヘツドの形成に用いた。 ＊１：東亜合成化学(株)のポリエステルアクリレー
トの商品名 合成例 ５ アニオン重合法で得られるリビングポリマー
（Ｎ−メチロールメタクリルアミド／２−ヒドロ
キシエチルメタアクリレート（＝30／70重量比））
とｐ−ビニルベンジルクロリドとを反応させて、
分子鎖の片末端にビニル基を持つ重量平均分子量
約1500のマクロモノマー（ｐ−ビニルベンジルポ
リ−Ｎ−メチロールメタアクリルアミド／２−ヒ
ドロキシエチルメタアクリレート）を得た。 この分子量約1500のマクロモノマー30重量部と
メチルメタアクリレート70重量部をメチルセロソ
ルブ中で溶液重合し、重量平均分子量7.7×10⁴で
熱加橋性を有するグラフト共重合高分子（これを
GP−２とする）を得た。なおこのGP−２の主鎖
を構成するポリメチルメタクリレート鎖のガラス
転移温度は100℃である。 また合成例１と同様の方法を用い、エピクロン
Ｎ−665（ノボラツク型エポキシ樹脂、エポキシ当
量200〜230、大日本インキ化学工業(株)製）250ｇ
を用い、エポキシ基のモル数／アクリル酸のモル
数＝10／５となるように、アクリル酸を反応させ
た。これによりエピクロンＮ−665の部分アクリ
ル酸エステル化物（これをHE−２と称す）を得
た。 上記の熱架橋性を有するグラフト共重合高分子
GP−２と部分アクリル酸エステル化物HE−２と
を用い下記組成の活性エネルギー線硬化型樹脂組
成物を調整した。 GP−２（グラフト共重合高分子） 100重量部 HE−２（エポキシ部分エステル） 80 〃 ネオペンチルグリコールジアクリレート60 〃 ウレタンアクリレート＊２ 60 〃 ベンゾフエノン 12 〃 ミヒラーのケトン ６ 〃 クリスタルバイオレツト １ 〃 パラトルエンスルホン酸 ３ 〃 メチルエチルケトン／トルエン（１／１混合物）
400 〃 ＊２：PPG＃400とイソホロンジイソシアネート
と２−ヒドロキシエチルアクリレートをPPG
＃400のOH基のモル数：イソホロンジイアネ
ートのOH基のモル数：２−ヒドロキシエチル
アクリレートのモル数＝２：４：２で反応させ
て得られるウレタンアクリレート 次に、上記の組成物の16μｍのポリエチレンテ
レフタレートフイルム（ルミラーＴタイプ）にバ
ーコーターで乾燥後の厚さが75μｍとなるように
塗布し、膜厚75μｍの活性エネルギー線硬化型樹
脂組成物層を有するドライフイルムを作成し、以
後の本発明の液体噴射記録ヘツドの形成に用い
た。 合成例 ６ ネオペンチルグリコールジアクリレート60重量
部のかわりに２，２−ビス［４−（アクリロキシ
ジプロポキシ）フエニル］プロパンを60重量部用
いた他は、合成例５と同様にして膜厚75μｍの活
性エネルギー線硬化型樹脂組成物層を有するドラ
イフイルムを形成し、以後の本発明の液体噴射記
録ヘツドを形成に用いた。 実施例 １ 合成例１で製造したドライフイルムを用い、先
に明細書中に説明した第１図〜第６図の工程に従
つて、吐出エネルギー発生素子として発熱素子
［ハフニウムボライド（HfB₂）］10個のオリフイ
ス（オリフイス寸法；75μｍ×50μｍ、ピツチ
0.125mm）を有するオンデマンド型液体噴射記録
ヘツドの作成を以下のようにして実施した。尚、
記録ヘツドは、同形状のものを各30個宛試作し
た。 まず、シリコンからなる基板上に発熱素子の複
数を所定の位置に配設し、これらに記録信号印加
用電極を接続した。 次に、発熱素子が配設された基板面上に保護膜
としてのSiO₂層（厚さ1.0μｍ）を設け、保護層の
表面を清浄化すると共に乾燥させた後、保護層に
重ねて、105℃に加温された合成例１に示した膜
厚75μｍのドライフイルムを、ロール温度105℃、
１ｍ／minの速度、１Kg／cm²の加圧条件下でラミ
ネータHRL−24（商品名、デユポン(株)製）を用い
て、ラミネートした。なお、この状態で、基板上
にラミネートされた活性エネルギー線硬化型樹脂
組成物からなる層上にはポリエチレンテレフタレ
ートフイルムが積層されている。 続いて、基板面上に設けたドライフイルム上
に、液体通路及び液室の形状に対応したパターン
を有するフオトマスクを重ね合わせ、最終滴に形
成される液体通路中に上記素子が設けられるよう
に位置合せを行なつた後、このフオトマスクの上
部から365nｍ近傍の紫外線エネルギーが12ｍ
Ｗ／cm²であるような平行性の高い焼き付け光源を
用いて45秒間ドライフイルムを露光した。 次に、露光済みのドライフイルム上にあるポリ
エチレンテレフタレートフイルムを基板上から剥
がしてから、露光済みのドライフイルムを、１，
１，１−トリクロルエタン中に浸漬して現像処理
し、ドライフイルムの未重合（未硬化）部分を基
板上から溶解除去して、基板上に残存した硬化ド
ライフイルム膜によつて最終的に液体通路及び液
室となる溝を形成した。 現像処理を終了した後、365nｍ近傍の紫外線
エネルギーが80ｍＷ／cm²であるような高圧水銀灯
を用いて基板上の硬化ドライフイルム膜のポスト
キユアを行ない、更にこれを120℃で30分間加熱
し十分に硬化させた。 このようにして、硬化ドライフイルム膜によつ
て液体通路及び液室となる溝を基板上に形成した
後、形成した溝の覆いとなるソーダガラスからな
る貫通孔の設けられた平板にエポキシ系樹脂接着
剤を厚さ3μｍにスピンコートした後、予備加熱
してＢステージ化させ、これを硬化したドライフ
イルム上に貼り合わせ、更に、接着剤を本硬化さ
せて接着固定し、接合体を形成した。 続いて、接合体の液体通路の下流側、すなわち
吐出エネルギー発生素子の設置位置から下流側へ
0.150mmのところを液体通路に対して垂直に、市
販のダイシング・ソー（商品名；DAD2H／６
型、DISCO社製）を用いて切削し、記録用液体
を吐出するためのオリフイスを形成した。 最後に、切削面を洗浄したのち乾燥させ、更
に、切削面を研磨して平滑化し、貫通孔に記録用
液体の供給管を取付けて液体噴射記録ヘツドを完
成した。得られた記録ヘツドは、何れもマスクパ
ターンを忠実に再現した液体通路及び液室を有す
る寸法精度に優れたものであつた。ちなみに、オ
リフイス寸法は、50±5μｍ、オリフイスピツチ
は、125±5μｍの範囲にあつた。 このようにして試作した記録ヘツドの品質及び
長期使用に際して耐久性を以下のようにして試験
した。 まず、得られた記録ヘツドについて、次の各組
成からなる記録用液体中に、60℃で1000時間浸漬
処理（記録ヘツドの長期使用時に匹敵する環境条
件）する耐久試験を実施した。 記録用液体成分 (1) H₂O／ポリエチレングリコール＃400／グリ
セリン／C.I.フードブラツク2^*1 （＝70／15／５／５重量部）PH＝8.0 (2) H₂O／エチレングリコール／ジエチレング
リコール／ポリエチレングリコール＃400／１，
３−ジメチル−２−イミダゾリジノン／C.I.フ
ードブラツク2^*1 （＝55／５／20／10／５／５重量）PH9.0 (3) H₂O／ジエチレングリコール／ポリエチレ
ングリコール＃300／プロピレグリコール／C.
I.ダイレクトブルー86^*2 （＝6215／15／５／３重量）PH7.0 (4) H₂O／ジエチレングリコール／ポリエチレ
ングリコール＃300／スルホラン／C.I.ダイレ
クトブルー86^*2 （＝60／15／10／10／５重量）PH＝10.0 尚、（注）^*1〜^*2は、水溶性染料であり、PHの調
整には、カセイソーダを用いた。 耐久試験後、該試験を実施した各ヘツドにつき
基板及び覆いと硬化ドライフイルム膜の接合状態
を観察した結果、すべての記録ヘツドにおいて剥
離や損傷は全く認められず、良好な密着性を示し
ていた。 次いでこれとは別に、得られた記録ヘツドの10
個について、各ヘツドを記録装置に取付け、前記
の記録用液体を用いて10⁸パルスの記録信号を14
時間連続的に記録ヘツドに印加して印字を行なう
印字試験を実施した。何れの記録ヘツドに関して
も、印字開始直後と14時間経過後において、記録
用液体の吐出性能及び印字状態共に性能の低下が
殆ど認められず、耐久性に優れた記録ヘツドであ
つた。 実施例 ２〜６ 合成例２〜６で製造したドライフイルムを個々
に用いる以外は実施例１と同様にして液体噴射記
録ヘツドの作成を実施した。 更に作成した記録ヘツドのそれぞれに実施例１
と同様の耐久試験及び印字試験を行なつた。 耐久試験後、該試験を実施した各ヘツドにつき
基板及び覆いと硬化ドライフイルム膜の接合状態
を観察した結果、すべての記録ヘツドにおいて剥
離や損傷は全く認められず、良好な密着性を示し
ていた。 また、印字試験においても、何れの記録ヘツド
に関しても、印字開始直後と14時間経過後に、記
録用液体の吐出性能及び印字状態共に性能の低下
は殆ど認められず、何れの記録ヘツドも耐久性に
優れたものであつた。 比較例 膜厚75μｍの市販のドライフイルムVacrel（ド
ライフイルムソルダーマスクの商品名、デイポン
ド・ネモアース(株)製）、および膜厚50μｍの市販
のドライフイルムPhotec SR−3000（商品名、日
立化成工業(株)製）を用いる以外は、実施例１と同
様にして記録ヘツドを作成した。 これらの記録ヘツドについて、実施例１と同様
の耐久性試験を実施した。 耐久性試験の経過中、ドライフイルムとして
Vacrelを用いた場合は、100時間で(2)および(4)の
記録用液体で剥離が認められた。また、300時間
で、(1)および(3)の記録用液体で剥離が認められ
た。 一方、ドライフイルムとしてPhotec SR−
3000を用いた場合は、(1)〜(4)の各記録用液体で
300時間が剥離が認められた。 印字試験例 実施例１〜６および比較例で作成したヘツド
（各々10個ずつ）に先に(4)として挙げた組成の記
録液を充填し印字試験を行なつた。次に、記録液
が充填された状態の各ヘツドを温度80℃、湿度90
％の条件下で200時間保存後、先に行なつたのと
同様の印字試験を行なつた。その結果、実施例で
得られたヘツドのいずれも保存の前後で良好な印
字が得られたのに対し、比較例のヘツドのいずれ
においても印字不良が観察された。これらの印字
不良部を顕微鏡で観察すると、文字を構成する記
録液滴の位置のズレが観察された。また、印字不
良を起こした各ヘツドの吐出口付近を観察したと
ころ、その部分におけるドライフイルム硬化膜に
剥離が見られた。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第６図は本発明の液体噴射記録ヘツド
ならびにその製造方法を説明すための模式図であ
る。 １：基板、２：吐出エネルギー発生素子、３：
樹脂層：３Ｈ：樹脂硬化膜、４：フオトマスク、
４Ｐ：マスクパターン、６−１：液室、６−２：
液体通路、７：覆い、８：貫通孔、９：オリフイ
ス、１０：供給管。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 液体の吐出口に連通する液体通路と、該液体
   通路内の液体を吐出させるためのエネルギーを発
   生する吐出エネルギー発生素子とを有し、前記液
   体通路の少なくとも一部が活性エネルギー線によ
   つて硬化する樹脂組成物の硬化領域で形成されて
   成る液体噴射記録ヘツドにおいて、前記樹脂組成
   物が () アルキルメタアクリレート、アクリロニト
   リルおよびスチレンからなる群より選ばれた一
   種以上のモノマーに由来する構造単位を主体と
   する幹鎖に、(A)水酸基含有アクリルモノマー、
   (B)アミノもしくはアルキルアミノ基含有アクリ
   ルモノマー、(C)カルボキシル基含有アクリルも
   しくはビニルモノマー、(D)Ｎ−ビニルピロリド
   ンもしくはその誘導体、(E)ビニルピリジンもし
   くはその誘導体および(F)下記一般式で表わさ
   れるアクリルアミド誘導体からなる群より選ば
   れた一種以上のモノマーに由来する構造単位を
   主体とする枝鎖が付加されてなるグラフト重合
   高分子と、 （ただし、R¹は水素または炭素原子数が１〜
   ３のアルキルもしくはヒドロキシアルキル基、
   R²は水素または炭素原子数が１〜４のヒドロ
   キシ基を有してもよいアルキルもしくはアシル
   基を表わす。） () エチレン性不飽和結合を有する単量体と、 () 分子内にエポキシ基を２個以上有する化合
   物の少なくとも１種を含んでなるエポキシ樹脂
   に存在するエポキシ基の一部を不飽和カルボン
   酸によつてエステル化してなる樹脂 とを有してなるものであることを特徴とする液体
   噴射記録ヘツド。 ２ 前記活性エネルギー線によつて硬化する樹脂
   組成物が、前記（）のグラフト共重合高分子20
   〜80重量部と、前記（）のエチレン性不飽和結
   合を有する単量体と前記（）の樹脂との合計80
   〜20重量部とを含有するものである特許請求の範
   囲第１項に記載の液体噴射記録ヘツド。 ３ 前記活性エネルギー線によつて硬化する樹脂
   組成物中での前記（）のエチレン性不飽和結合
   を有する単量体と前記（）の樹脂の含有比が、
   30：70〜70：30である特許請求の範囲第１項また
   は第２項に記載の液体噴射記録ヘツド。 ４ 前記活性エネルギー線によつて硬化する樹脂
   組成物が、前記（）のグラフト共重合高分子、
   前記（）のエチレン性不飽和結合を有する単量
   体及び前記（）の樹脂の合計量100重量部に対
   して、0.1〜20重量％の活性エネルギー線の作用
   により賦活化し得るラジカル重合開始剤を配合し
   て成るものである特許請求の範囲第１項〜第３項
   のいずれかに記載の液体噴射記録ヘツド。 ５ 前記活性エネルギー線によつて硬化する樹脂
   組成物が、前記（）のグラフト共重合高分子、
   前記（）のエチレン性不飽和結合を有する単量
   体及び前記（）の樹脂の合計量100重量部に対
   して、0.2〜15重量％の周期率表第ａ族若しく
   は等ａ族に属する元素を含む光感知性を有する
   芳香族オニウム塩化合物を配合して成るものであ
   る特許請求の範囲第１項〜第４項のいずれかに記
   載の液体噴射記録ヘツド。 ６ 前記吐出エネルギー発生素子が、発熱素子で
   ある特許請求の範囲第１項〜第５項のいずれかに
   記載の液体噴射記録ヘツド。