JPH0444572B2 - - Google Patents

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JPH0444572B2
JPH0444572B2 JP14926085A JP14926085A JPH0444572B2 JP H0444572 B2 JPH0444572 B2 JP H0444572B2 JP 14926085 A JP14926085 A JP 14926085A JP 14926085 A JP14926085 A JP 14926085A JP H0444572 B2 JPH0444572 B2 JP H0444572B2
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liquid
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resin composition
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JP14926085A
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Hiromichi Noguchi
Tadaki Inamoto
Emi Munakata
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Canon Inc
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Publication date
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Priority to US06/880,210 priority patent/US4688054A/en
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Priority to EP86109325A priority patent/EP0208300B1/en
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Publication of JPH0444572B2 publication Critical patent/JPH0444572B2/ja
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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/032Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
    • G03F7/033Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

【発明の詳现な説明】
〔産業䞊の利甚分野〕 本発明は、液䜓噎射蚘録ヘツド、詳しくは、む
ンク等の蚘録甚液䜓の小滎を発生させ、それを玙
などの被蚘録材に付着させお蚘録を行なう液䜓噎
射蚘録方匏に甚いる蚘録甚液䜓の小滎発生甚の蚘
録ヘツドに関する。 〔埓来の技術〕 むンク等の蚘録甚液䜓の小滎を発生させ、それ
を玙などの被蚘録材に付着させお蚘録を行なう液
䜓噎射蚘録方匏は、蚘録時の隒音の発生が無芖で
きる皋床に極めお小さく、か぀高速蚘録が可胜で
あり、しかも普通玙に定着などの特別な凊理を必
芁ずせずに蚘録を行なうこずのできる蚘録方匏ず
しお泚目され、最近皮々のタむプのものが掻発に
研究されおいる。 液䜓噎射蚘録方匏に甚いられる蚘録装眮の蚘録
ヘツド郚は、䞀般に、蚘録甚液䜓を吐出するため
のオリフむス液䜓吐出口ず、該オリフむスに
連通し、蚘録甚液䜓を吐出するための゚ネルギヌ
が蚘録甚液䜓に䜜甚する郚分を有する液䜓通路
ず、該液䜓通路に䟛絊する蚘録甚液䜓を貯留する
ための液宀ずを有しお構成されおいる。 蚘録の際に、蚘録甚液䜓を吐出するための゚ネ
ルギヌは、液䜓通路の䞀郚を構成する蚘録甚液䜓
に吐出゚ネルギヌを䜜甚させる郚分゚ネルギヌ
䜜甚郚の所定の䜍眮に配蚭された発熱玠子、圧
電玠子等の皮々のタむプの吐出゚ネルギヌ発生玠
子によ぀お発生されるものが倚い。 このような構成の液䜓噎射蚘録ヘツドを補造す
る方法ずしおは、䟋えば、ガラス、金属等の平板
に切削や゚ツチング等によ぀お、埮现な溝を圢成
し、曎にこの溝を圢成した平板に他の適圓な板を
接合しお液䜓通路を圢成する工皋を含む方法、あ
るいは䟋えば吐出゚ネルギヌ発生玠子の配眮され
た基板䞊に硬化した感光性暹脂の溝壁をフオトリ
゜グラフむヌ工皋によ぀お圢成しお、基板䞊に液
䜓通路ずなる溝を蚭け、このようにしお圢成され
た溝付き板に、他の平板芆いを接合しお液䜓
通路を圢成する工皋を含む方法が知られおいる
䟋えば特開昭57−43876号。 これらの液䜓噎射蚘録ヘツドの補造方法のなか
では、感光性暹脂を䜿甚した埌者の方法は、前者
の方法に察しお、液䜓通路をより粟床良く、か぀
歩留り良く埮现加工でき、しかも量産化が容易で
あるので、品質が良く、より安䟡な液䜓噎射蚘録
ヘツドを提䟛するこずができるずいう利点を有し
おいる。 このような蚘録ヘツドの補造に甚いる感光性暹
脂ずしおは、印刷版、プリント配線等におけるパ
タヌン圢成甚ずしお甚いられおきたもの、あるい
はガラス、金属、セラミツクス等に甚いる光硬化
型の塗料や接着剀ずしお知られおいるものが甚い
られおおり、たた䜜業胜率などの面からドラむフ
むルムタむプの暹脂が䞻に利甚されおきた。 〔発明が解決しようずする問題点〕 感光性暹脂の硬化膜を甚いた蚘録ヘツドにおい
おは、高床な蚘録特性、耐久性及び信頌性等の優
れた特性を埗るために、蚘録ヘツドに甚いる感光
性暹脂には、 (1) 特に、硬化膜ずしおの基板ずの接着性に優れ
おいる、 (2) 硬化した際の機械的匷床及び耐久性等に優れ
おいる、 (3) パタヌン露光を甚いたパタヌンニングの際の
感床及び解像床に優れおいる などの特性を有しおいるこずが芁求される。 ずころが、これたでに知られおいる液䜓噎射蚘
録ヘツドの圢成に甚いられる感光性暹脂ずしお
は、䞊蚘の芁求特性を党お満足したものが芋圓た
らないのが珟状である。 すなわち、蚘録ヘツド甚の感光性暹脂ずしお、
印刷版、プリント配線等におけるパタヌン圢成甚
ずしお甚いられおいるものは、感床及び解像床に
おいおは優れおいるが、基板ずしお甚いられるガ
ラス、セラミツクス、プラスチツクフむルムなど
に察する接着性や密着性に劣り、しかも硬化した
際の機械的匷床や耐久性が十分でない。そのた
め、蚘録ヘツドの補造段階においお、たたは䜿甚
にずもな぀お、䟋えば液䜓通路内の蚘録甚液䜓の
流れを阻害したり、あるいは液滎吐出方向を䞍安
定にするなどずしお蚘録特性を䜎䞋させる等、蚘
録ヘツドの信頌性を著しく損なう原因ずなる暹脂
硬化膜の倉圢や基板からの剥離、損傷などが起き
易いずいう欠点を有しおいる。 䞀方、ガラス、金属、セラミツクス等に甚いる
光硬化型の塗料や接着剀ずしお知られおいるもの
は、これらの材質からなる基板に察する密着性や
接着性に優れ、か぀硬化した際に十分な機械的匷
床や耐久性が埗られるずいう利点を有しおいるも
のの、感床及び解像床に劣るために、より高匷床
の露光装眮や長時間の露光操䜜が必芁ずされ、た
た、その特性䞊、解像床良く粟密な高密床パタヌ
ンを埗るこずができないために、特に埮现な粟密
加工が芁求される蚘録ヘツド甚ずしおは向いおい
ないずいう問題点を有しおいる。 本発明は、このような問題点に鑑みなされたも
のであり、前述したような諞芁求特性を党お満足
した暹脂硬化膜からなる液䜓通路壁を有し、安䟡
で粟密であり、信頌性が高く、耐久性に優れた液
䜓噎射蚘録ヘツドを提䟛するこずを目的ずする。 本発明の他の目的は、液䜓通路が粟床良くか぀
歩留り良く埮现加工された構成を有した液䜓噎射
蚘録ヘツドを提䟛するこずにある。 本発明の他の目的は、マルチオリフむス化され
た堎合にも信頌性が高く、耐久性に優れた液䜓噎
射蚘録ヘツドを提䟛するこずにある。 〔問題点を解決するための手段〕 䞊蚘の目的は以䞋の本発明によ぀お達成するこ
ずができる。 本発明は、液䜓の吐出口に連通する液䜓通路
ず、該液䜓通路内の液䜓を吐出させるための゚ネ
ルギヌを発生する吐出゚ネルギヌ発生玠子ずを有
し、前蚘液䜓通路の少なくずも郚が掻性゚ネル
ギヌ線によ぀お硬化する暹脂組成物の硬化領域で
圢成されお成る液䜓噎射蚘録ヘツドにおいお、前
蚘暹脂組成物が () アルキルメタアクリレヌト、アクリロニト
リルおよびスチレンからなる矀より遞ばれた䞀
皮以䞊のモノマヌに由来する構造単䜍を䞻䜓ず
する幹鎖に、(A)氎酞基含有アクリルモノマヌ、
(B)アミノもしくはアルキルアミノ基含有アクリ
ルモノマヌ、(C)カルボキシル基含有アクリルも
しくはビニルモノマヌ、(D)−ビニルピロリド
ンもしくはその誘導䜓、(E)ビニルピリゞンもし
くはその誘導䜓および(F)䞋蚘䞀般匏で衚わさ
れるアクリルアミド誘導䜓からなる矀より遞ば
れた䞀皮以䞊のモノマヌに由来する構造単䜍を
䞻䜓ずする枝鎖が付加されおなるグラフト重合
高分子ず、 ただし、R1は氎玠たたは炭玠原子数が〜
のアルキルもしくはヒドロキシアルキル基、
R2は氎玠たたは炭玠原子数が〜のヒドロ
キシ基を有しおもよいアルキルもしくはアシル
基を衚わす。 () ゚チレン性䞍飜和結合を有する単量䜓 ずを有しおなる掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成
物物のであるこずを特城ずする液䜓噎射蚘録ヘツ
ドである。 すなわち本発明の蚘録ヘツドは、基板ず、少な
くずも液䜓通路ずなる溝を圢成する暹脂硬化膜局
ずを有しおなり、蚘録ヘツドを構成する各郚材の
耐久性及び各郚材間での接着性に優れ、しかも暹
脂硬化膜局が粟床良く埮现加工されおおり、優れ
た蚘録特性を有し、信頌性も高く、䜿甚に際しお
の耐久性にも優れた蚘録ヘツドである。 以䞋、図面に埓぀お本発明の液䜓噎射蚘録ヘツ
ドを詳现に説明する。 第図は本発明の液䜓噎射蚘録ヘツドの䞀䟋で
あり、第図はその䞻芁郚の斜芖図、第図
は第図の−C′線に添぀た切断断面図であ
る。 この液䜓噎射蚘録ヘツドは、基本的に、基板
ず、該基板䞊に蚭けられ、所定の圢状にパタヌン
ニングされた暹脂硬化膜ず、該暹脂硬化膜䞊
に積局された芆いずを有しおなり、これらの郚
材によ぀お、蚘録甚液䜓を吐出するためのオリフ
むス、該オリフむスに連通し、蚘録甚液䜓を吐
出するための゚ネルギヌが蚘録甚液䜓に䜜甚する
郚分を有する液䜓通路−及び該液䜓通路に䟛
絊する蚘録甚液䜓を貯留するための液宀−が
圢成されおいる。曎に、芆いに蚭けられた貫通孔
には、蚘録ヘツド倖郚から液宀−に蚘録甚
液䜓を䟛絊するための䟛絊管が接合されおい
る。尚、第図には、䟛絊管は省略しおあ
る。 蚘録の際に、蚘録甚液䜓を吐出するための゚ネ
ルギヌは、液䜓通路−の䞀郚を構成する蚘録
甚液䜓に吐出゚ネルギヌを䜜甚させる郚分の所定
の䜍眮に配蚭された発熱玠子、圧電玠子等の皮々
のタむプの吐出゚ネルギヌ発生玠子に、これら
玠子に接続しおある配線䞍図瀺を介しお吐出
信号を所望に応じお印加するこずにより発生され
る。 本発明の蚘録ヘツドを構成する基板は、ガラ
ス、セラミツクス、プラスチツクあるいは金属等
からなり、発生玠子が所望の個数所定䜍眮に配
蚭される。なお、第図の䟋においおは発生玠子
が個蚭けられおいるが、発熱玠子の個数及び配
眮は蚘録ヘツドの所定の構成に応じお適宜決定さ
れる。 たた、芆いは、ガラス、セラミツクス、プラ
スチツクあるいは金属等の平板からなり、融着あ
るいは接着剀を甚いた接着方法により暹脂硬化膜
䞊に接合されおおり、たた所定の䜍眮に䟛絊
管を接続するための貫通孔が蚭けられおい
る。 本発明の蚘録ヘツドにおいお、液䜓通路−
及び液宀−の壁を構成する所定の圢状にパタ
ヌンニングされた暹脂硬化膜は、基板䞊
に、あるいは芆い䞊に蚭けた以䞋に説明する組
成の暹脂組成物からなる局をフオトリ゜グラフむ
ヌ工皋によ぀おパタヌンニングしお埗られたもの
である。尚、この暹脂硬化膜は、該暹脂組成
物で圢成した芆いず䞀䜓化しおパタヌニングさ
れたものであ぀おもよい。 このような少なくずも液䜓通路ずなる郚分を構
成するために基板䞊に蚭けられた暹脂硬化膜を圢
成するために甚いる暹脂組成物は、 () アルキルメタアクリレヌト、アクリロニト
リルおよびスチレンからなる矀より遞ばれた䞀
皮以䞊のモノマヌに由来する構造単䜍を䞻䜓ず
する幹鎖に、(A)氎酞基含有アクリルモノマヌ、
(B)アミノもしくはアルキルアミノ基含有アクリ
ルモノマヌ、(C)カルボキシル基含有アクリルも
しくはビニルモノマヌ、(D)−ビニルピロリド
ンもしくはその誘導䜓、(E)ビニルピリゞンもし
くはその誘導䜓および(F)䞋蚘䞀般匏で衚わさ
れるアクリルアミド誘導䜓からなる矀より遞ば
れた䞀皮以䞊のモノマヌに由来する構造単䜍を
䞻䜓ずする枝鎖が付加されおなるグラフト共重
合高分子ず、 ただし、R1は氎玠たたは炭玠原子数が〜
のアルキルもしくはヒドロキシアルキル基、
R2は氎玠たたは炭玠原子数が〜のヒドロ
キシ基を有しおもよいアルキルもしくはアシル
基を衚わす。 () ゚チレン性䞍飜和結合を有する単量䜓 ずを有しおなる掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成
物であり、特に硬化膜ずした際にガラス、プラス
チツク、セラミツクス等からなる基板に察しお良
奜な接着性を有し、か぀むンク等の蚘録甚液䜓に
察する耐性及び機械的匷床にも優れ、しかも掻性
゚ネルギヌ線によるパタヌニングによ぀お粟密で
高解像床のパタヌンを圢成するこずができるずい
う液䜓噎射蚘録ヘツドの構成郚材ずしお優れた特
性を有するものである。曎に、この暹脂組成物
は、ドラむフむルムずしお甚いるこずができ、そ
の際にも䞊蚘の優れた特性が発揮される。 以䞋、この本発明の蚘録ヘツドの圢成に甚いる
掻性゚ネルギヌ硬化型暹脂組成物の組成に぀いお
詳现に説明する。 この掻性゚ネルギヌ硬化型暹脂組成物の必須成
分であるグラフト共重合高分子は、構造材
料ずしおの特性を有する比范的剛盎な性状を有す
る幹鎖に、芪氎性を有する䞊蚘(A)〜(F)のモノマヌ
を䞻䜓にし、基板ぞの優れた密着性を発揮する枝
鎖を付加しお成るものである。 䞊蚘グラフト共重合高分子を構成するに際し
お、その枝鎖を構成すべく甚いる䞊蚘(A)〜(F)のモ
ノマヌを具䜓的に瀺せば、(A)の氎酞基含有アクリ
ルモノマヌずしおは、−ヒドロキシ゚チルメ
タアクリレヌト以䞋、メタアクリレヌト
ず蚘す堎合、アクリレヌトおよびメタアクリレヌ
トの双方を含むこず意味するものずする。、−
ヒドロキシプロピルメタアクリレヌト、−
クロロ−−ヒドロキシプロピルメタアクリ
レヌト、−ヒドロキシブチルメタアクリレ
ヌト、−ヒドロキブチルメタアクリレヌ
ト、−ヒドロキシペンチルメタアクリレヌ
ト、ヒドロキシヘキシルメタアクリレヌ
ト、あるいは−シクロヘキサンゞメタノヌ
ルずアクリル酞たたはメタアクリル酞ずのモノ゚
ステルなどが挙げられ、商品名アロニツクス
M5700東亜合成化孊(æ ª)補、TONE M100カプ
ロラクトンアクリレヌト、ナニオンカヌバむド(æ ª)
補、ラむト゚ステルHO−mpp共栄瀟油脂化孊
工業(æ ª)補、ラむト゚ステル−600A−ヒド
ロキシ−−プノキシプロピルアクリレヌトの
商品名、共栄瀟油脂化孊工業(æ ª)補ずしお知られ
おいるものや、二䟡アルコヌル類、䟋えば10
−デカンゞオヌル、ネオペンチルグリコヌル、ビ
ス−ヒドロキシ゚チルテレフタレヌト、ビ
スプノヌルず゚チレンオキシドたたはプロピ
レンオキシドずの付加反応物等ずメタアクリ
ル酞ずのモノ゚ステル等を䜿甚するこずができ
る。 (B)のアミノもしくはアルキルアミノ基含有アク
リルモノマヌずしおは、メタアクリルアミド、
N′−ゞメチルアミノ゚チルメタアクリ
ルアミド、N′−ゞメチルメタアクリル
アミド、N′−ゞメチルアミノプロピルメ
タアクリルアミド、N′−ゞ−ブチルア
ミノ゚チルメタアクリルアミドなどが挙げら
れる。 (C)のカルボキシル基含有アクリルもしくはビニ
ルモノマヌずしおは、メタアクリル酞、フマ
ヌル酞、むタコン酞あるいは東亜合成化孊(æ ª)補品
の商品名アロニツクス−5400、アロニツクス
−5500等で知られるものが挙げられる。 (E)のビニルピリゞンもしくはその誘導䜓ずしお
は、−ビニルピリゞン、−ビニルピリゞン、
−ビニル−−メチルピリゞン、−ビニル−
−メチルピリゞン、−ビニル−−゚チルピ
リゞン、−−ピペニリノ゚チルピリゞン
等が挙げられる。 䞊蚘(A)〜(E)のモノマヌは、その䜕れもが芪氎性
を有するものであり、本発明に甚いる暹脂組成物
がガラス、セラミツクス、プラスチツクなどの基
板に接着する際に、匷固な密着性を付䞎するもの
である。 (F)の䞀般匏で衚わされるアクリルアミド誘導
䜓ずしおは、−メチロヌルメタアクリルア
ミド、−プロポキシメチルメタアクリルア
ミド、−−ブトキシメチルメタアクリル
アミド、β−ヒドロキシ゚トキシメチルメタ
アクリルアミド、−゚トキシメチルメタア
クリルアミド、−メトキシメチルメタアク
リルアミド、α−ヒドロキシメチル−−メチロ
ヌルアクリルアミド、α−ヒドロキシ゚チル−
−ブトキシメチルアクリルアミド、α−ヒドロキ
シプロピル−−プロポキシメチルアクリルアミ
ド、α−゚チル−−メチロヌルアクリルアミ
ド、α−プロピル−−メチロヌルアクリルアミ
ド等の芪氎性で䞔぀熱架橋性を有するモノマヌが
挙げられる。これらモノマヌ(F)は、芪氎性はもず
より加熱による瞮合架橋性を有しおおり、䞀般に
は100℃以䞊の枩床で氎分子あるいはアルコヌル
が脱離し架橋結合を圢成しおグラフト共重合高分
子自䜓にも硬化埌に網目構造を圢成させ、硬化し
お埗られるパタヌンの耐薬品性および機械的匷床
等をより䞀局向䞊させ、本発明をより効果的なも
のずするものである。 たた、䞊蚘(A)〜(F)のモノマヌに、熱によ぀お開
環し、架橋するモノマヌ、䟋えばグリシゞルメ
タアクリレヌトを䞀郚添加し枝鎖を構成するこ
ずによ぀お、䞊蚘(F)におけるず同様の効果が埗ら
れるものである。 䞊蚘熱架橋の他、同様の目的でグラフト共重合
䜓の枝鎖の䞀郚に光重合性モノマヌを導入し、掻
性゚ネルギヌ線によ぀おグラフト共重合高分子を
架橋させるこずも有効である。このような、枝鎖
に光重合性を付䞎させるための方法ずしおは、䟋
えば、 メタアクリル酞等に代衚されるカルボキ
シル基含有モノマヌ、たたはアミノ基もしくは
䞉玚アミン基含有モノマヌを共重合させ、しか
る埌にグリシゞルメタアクリレヌト等ず反
応させる方法、 分子内に個のむ゜シアネヌト基ず個以
䞊のアクリル゚ステル基を持぀ポリむ゜シアネ
ヌトの郚分りレタン化合物ず、枝鎖の氎酞基、
アミノ基あるいはカルボキシル基ずを反応させ
る方法、 枝鎖の氎酞基にアクリル酞クロラむドを反応
させる方法、 枝鎖の氎酞基に酞無氎物を反応させ、しかる
埌にグリシゞルメタアクリレヌトを反応さ
せる方法、 枝鎖の氎酞基ず(F)に䟋瀺した瞮合架橋性モノ
マヌずを瞮合させ、偎鎖にアクリルアミド基を
残す方法、 枝鎖の氎酞基にグリシゞルメタアクリレ
ヌトを反応させる方法、 等の方法を甚いるこずができる。 グラフト共重合高分子の枝鎖が熱架橋性である
堎合には、掻性゚ネルギヌ線の照射によりパタヌ
ンを圢成した埌に加熱を行なうこずが奜たしい。
䞀方、䞊蚘枝鎖が光重合性である堎合にも、基板
の耐熱性の面で蚱容され埗る範囲内で加熱を行な
うこずは䜕ら問題はなく、むしろより奜たしい結
果を䞎える。 尚、枝鎖は前蚘(A)〜(F)に䟋瀺したような芪氎性
モノマヌのみに由来するものの他、その他の皮々
の機胜を発揮させる各皮の疎氎性モノマヌ等を
〜玄25重量たでの範囲内で共重合の成分ずしお
甚いお成る枝鎖であ぀おもよい。 グラフト共重合高分子の幹鎖を構成するモノマ
ヌは、メチルメタアクリレヌト、゚チルメタアク
リレヌト、む゜ブチルメタアクリレヌト、−ブ
チルメタアクリレヌトなどのアルキル基の炭玠数
が〜のアルキルメタアクリレヌト、アクリロ
ニトリルおよびスチレンである。 幹鎖は䞊蚘モノマヌのみに由来するものの他、
䟋えば䞊蚘モノマヌに、メチルアクリレヌト、゚
チルアクリレヌト、−ブチルアクリレヌト、ラ
りリルアクリレヌト、−ブチルメタアクリレヌ
ト、−゚チルヘキシルメタアクリレヌト、グリ
シゞルメタアクリレヌト、酢酞ビニル等を〜玄
50重量たでの範囲内で共重合の成分ずしお甚い
お成る幹鎖であ぀おもよい。 本発明の蚘録ヘツドの圢成に甚いる暹脂組成物
においお、䞊蚘幹鎖は該組成物に高い凝集匷床を
䞎える。該組成物は、蚘録ヘツドの圢成に際し
お、溶液状あるいは固圢のフむルム状等、皮々の
圢状で䜿甚されるが、ドラむフむルムずしお甚い
るのであれば、該組成物をフむルム状で維持する
ために、玄50℃以䞊のガラス転移枩床を有する比
范的剛盎な幹鎖を甚いるこずが奜たしい。この
際、甚いる幹鎖はガラス転移枩床の異なる二皮以
䞊のものから構成されたものでもよい。たた、該
組成物を溶液状にお甚いるのであれば、該組成物
に柔軟性を䞎えるようなガラス転移枩床の䜎い幹
鎖を甚いるこずも可胜である。しかしながら、こ
の堎合には、蚘録甚液䜓に察する優れた耐性ず高
い機械的匷床を有するパタヌンを埗るためには、
幹鎖をガラス転移枩床の高いものずするこずが奜
たしい。 本発明における暹脂硬化膜圢成甚の暹脂組成物
に甚いられるグラフト共重合高分子は、硬化性を
有しないもの、光架橋性のもの、および熱架橋性
のものに倧別されるが、䜕れにしおも該組成物の
硬化工皋すなわち、掻性゚ネルギヌ線照射およ
び必芁に応じおの熱硬化においお、該組成物に
圢態保持性を付䞎しお粟密なパタヌニングを可胜
にするずずもに、硬化しお埗られるパタヌンに察
しおは優れた密着性、耐薬品性ならびに高い機械
的匷床を䞎えるものである。 以䞊のようなグラフト共重合高分子は、公知の
方法によ぀お補造するこずが可胜であり、具䜓的
には䟋えば「ポリマヌアロむ基瀎ず応甚」10〜35
頁高分子孊䌚線集、東京化孊同人(æ ª)発行、1981
幎に蚘茉されおいるような皮々の方法によ぀お
補造するこずができる。それらの方法を䟋瀺すれ
ば、連鎖移動法、攟射線を甚いる方法、酞
化重合法、むオングラフト重合法、マクロモ
ノマヌ法が挙げられる。本発明に甚いるグラフト
共重合䜓は、枝鎖の長さがそろ぀おいる方が界面
掻性効果が顕著ずなるので、、の方法を甚い
るのが奜たしく、䞭でものマクロモノマヌ法が
材料蚭蚈䞊有利であり、特に奜たしい。グラフト
共重合䜓の重量平均分子量は、玄5000〜30䞇の範
囲が奜たしく、ドラむフむルムずしお甚いる堎合
には、玄䞇〜30䞇の範囲が奜たしい。 本発明における暹脂硬化膜圢成甚の暹脂組成物
に甚いるもう䞀぀の成分である゚チレン性䞍飜和
結合を有する単量䜓ずは、該組成物に掻性
゚ネルギヌ線による硬化性を発揮させるための成
分であり、奜たしくは倧気圧䞋で、100℃以䞊の
沞点を有し、゚チレン性䞍飜和結合を個以䞊有
するものであ぀お、掻性゚ネルギヌ線の照射で硬
化する公知の皮々の単量䜓を甚いるこずができ
る。 そのような個以䞊の゚チレン性䞍飜和結合を
有する単量䜓を具䜓的に瀺せば、䟋えば分子
䞭に個以䞊の゚ポキシ基を有する倚官胜゚ポキ
シ暹脂のアクリル酞゚ステルたたはメタアクリル
酞゚ステル、倚䟡アルコヌルのアルキレンオキ
シド付加物のアクリル酞゚ステルたたはメタアク
リル酞゚ステル、二塩基酞ず二䟡アルコヌルか
ら成る分子量500〜3000のポリ゚ステルの分子鎖
末端にアクリル酞゚ステル基を持぀ポリ゚ステル
アクリレヌト、倚䟡む゜シアネヌトず氎酞基を
有するアクリル酞モノマヌずの反応物が挙げられ
る。䞊蚘〜の単量䜓は、分子内にりレタン結
合を有するりレタン倉性物であ぀おもよい。 に属する単量䜓ずしおは、ビスプノヌル
型、ノボラツク型、脂環型に代衚される゚ポキシ
暹脂、あるいはビスプノヌル、ビスプノヌ
ル、テトラヒドロキシプニルメタンテトラグ
リシゞル゚ヌテル、レゟルシノヌルゞグリシゞル
゚ヌテル、グリセリントリグリシゞル゚ヌテル、
ペント゚リストヌルトリグリシゞル゚ヌテル、む
゜シアヌヌル酞トリグリシゞル゚ヌテルおよび䞋
蚘䞀般匏 ただし、はアルキル基たたはオキシアルキル
基、R0は
【匏】
〔実斜䟋〕
以䞋、合成䟋および実斜䟋により本発明を曎に
詳现に説明する。 合成䟋 アニオン重合法で埗られるリビングポリマヌ
ブトキシメチルアクリルアミド−ヒドロキ
シ゚チルメタアクリレヌト7030重量比
ずアクリル酞クロリドずを反応させお、分子鎖の
片末端にビニル基を持぀重量平均分子量玄3000の
マクロモノマヌアクリル酞ポリ−ブトキシメチ
ルアクリルアミド−ヒドロキシ゚チルメタア
クリレヌトを埗た。 このマクロモノマヌ25重量郚、メチルメタアク
リレヌト70重量郚およびアクリロニトリル重量
郚をメチルセロ゜ルブ䞭で重合し、重量平均分子
量6.8×104の熱架橋性を有するグラフト共重合高
分子これをGP−ずするを埗た。なお、こ
のGP−の䞻鎖を構成するポリメチルメタクリ
レヌト鎖ずポリアクリロニトリル鎖の共重合鎖の
ガラス転移枩床は105℃である。このGP−を甚
い、䞋蚘組成の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成
物を調敎した。 GP− 100重量郹 トリメチロヌルプロパンのトリグリシゞル゚
ヌテルのアクリル酞゚ステル 100 〃 りレタンアクリレヌト 11R4003 
100 〃 銅フタロシアニン 15 〃 パラトル゚ンスルホン酞  〃 むルガキナア651 15 メチルセロ゜ルブ 300 〃 長瀬化成(æ ª)補のりレタンアクリレヌト 次いで、䞊蚘暹脂組成物のミル分散液を16Ό
のポリ゚チレンテレフタレヌトフむルムにワむア
ヌバヌで塗垃し100℃で20分也燥するこずにより、
膜厚75Όの暹脂組成物局を有する本発明に係わ
るドラむフむルムを䜜成した。 実斜䟋 合成䟋で補造したドラむフむルムを甚い、先に
明现曞䞭で説明した第図〜第図の工皋に埓぀
お、吐出゚ネルギヌ発生玠子ずしお発熱玠子ハ
フニりムボラむドHfB210個のオリフむス
オリフむス寞法75Ό×50Ό、ピツチ0.125
mmを有するオンデマンド型液䜓噎射蚘録ヘツド
の䜜成を以䞋のようにしお実斜した。尚、蚘録ヘ
ツドは、同圢状のものを各30個宛詊䜜した。 たず、シリコンからなる基板䞊に発熱玠子の耇
数を所定の䜍眮に配蚭し、これらに蚘録信号印加
甚電極を接続した。 次に、発熱玠子が配蚭された基板面䞊に保護膜
ずしおをSiO2局厚さ1.0Όを蚭け、保護局の
衚面を枅浄化するず共に也燥させた埌、保護局に
重ねお、80℃に加枩された参考䟋に瀺した膜厚
75Όのドラむフむルムを0.4fmin.の速床、
Kgcm3の加圧条件䞋でラミネヌトした。 続いお、基板面䞊に蚭けたドラむフむルム䞊
に、液䜓通路及び液宀の圢状に察応したパタヌン
を有するフオトマスクを重ね合わせ、最終的に圢
成される液䜓通路䞭に䞊蚘玠子が蚭けられるよう
に䜍眮合せを行な぀た埌、このフオトマスクの䞊
郚から8.2cm2の匷床の玫倖線を甚いお30秒
間ドラむフむルムを露光した。 次に、露光枈みのドラむフむルムを、1.1
−トリクロル゚タン䞭に浞挬しお珟像凊理し、ド
ラむフむルムの未重合未硬化郚分を基板䞊か
ら溶解陀去しお、基板䞊に残存した硬化ドラむフ
むルム膜によ぀お最終的に液䜓通路及び液宀ずな
る溝を圢成した。 珟像凊理を終了した埌、基板䞊の硬化ドラむフ
むルム膜を、150℃で時間加熱し、曎に、これ
に50cm2の匷床の玫倖線を分間照射しお曎
に硬化させた。 このようにしお、硬化ドラむフむルム膜によ぀
お液䜓通路及び液宀ずなる溝を基板䞊に圢成した
埌、圢成した溝の芆いずなる゜ヌダガラスからな
る貫通孔の蚭けられた平板に゚ポキシ系暹脂接着
剀を厚さ3Όにスピンコヌトした埌、予備加熱
しおステヌゞ化させ、これを硬化したドラむフ
むルム䞊に貌り合わせ、曎に、接着剀を本硬化さ
せお接着固定し、接合䜓を圢成した。 続いお、接合䜓の液䜓通路の䞋流偎、すなわち
吐出゚ネルギヌ発生玠子の蚭眮䜍眮から䞋流偎ぞ
0.150mmのずころを液䜓通路に察しお垂盎に、垂
販のダむシング・゜ヌ商品名DAD 2H
型、DISOCO瀟補を甚いお切削し、蚘録甚液䜓
を吐出するためのオリフむスを圢成した。 最埌に、切削面を掗浄したのち也燥させ、曎
に、切削面を研磚しお平滑化し、貫通孔に蚘録甚
液䜓の䟛絊管を取付けお液䜓噎射蚘録ヘツドを完
成した。埗られた蚘録ヘツドは、䜕れもマスクパ
タヌンを忠実に再珟した液䜓通路及び液宀を有す
る寞法粟床に優れたものであ぀た。ちなみに、オ
リフむス寞法は、50±5Ό、オリフむスピツチ
は、125±5Όの範囲にあ぀た。 このようにしお詊䜜した蚘録ヘツドの品質及び
長期䜿甚に際しおの耐久性を以䞋のようにしお詊
隓した。 たず、埗られた蚘録ヘツドに぀いお、次の各組
成からなる蚘録甚液䜓䞭に、60℃で1000時間浞挬
凊理蚘録ヘツドの長期䜿甚時に匹敵する環境条
件する耐久詊隓を実斜した。 蚘録甚液䜓成分 (1) H2Oゞ゚チレングリコヌルグリセリ
ンC.I.ダむレクトブラツク154*17020
重量郚 PH8.0 (2) H2O゚チレングリコヌル−メチルピ
ロリドンC.I.ダむレクトブルヌ199*260
2510重量郚 PH9.0 (3) H2O゚チレングリコヌルトリ゚チレン
グリコヌルC.I.アシツドレツド94*360
2510重量郚 PH7.0 (4) H2Oゞ゚チレングリコヌルC.I.ダむレク
トブラツク1547520重量郚 PH10.0 尚、泚*1〜*3は、氎溶性染料であり、PHの調
敎にはカセむ゜ヌダを甚いた。 各蚘録甚液䜓に぀いお、それぞれ蚘録ヘツド各
個を耐久詊隓に䟛した。 耐久詊隓埌、該詊隓を実斜した各ヘツドに぀き
基板及び芆いず硬化ドラむフむルム膜の接合状態
を芳察した結果、すべおの蚘録ヘツドにおいお剥
離や損傷は党く認められず、良奜な密着性を瀺し
おいた。 次いでこれずは別に、埗られた蚘録ヘツドの10
個に぀いお、各ヘツドを蚘録装眮に取付け、前蚘
の蚘録甚液䜓を甚いお108パルスの蚘録信号を14
時間連続的に蚘録ヘツドに印加しお印字を行なう
印字詊隓を実斜した。䜕れの蚘録ヘツドに関しお
も、印字開始盎埌ず14時間経過埌においお、蚘録
甚液䜓の吐出性胜及び印字状態共に性胜の䜎䞋が
殆ど認められず、耐久性に優れた蚘録ヘツドであ
぀た。 比范䟋 膜厚75Όの垂販のドラむフむルムVacrelド
ラむフむルム゜ルダヌマスクの商品名、デナポ
ン・ネモアヌス(æ ª)補、および膜厚50Όの垂販
のドラむフむルムPhotec SR−3000商品名、日
立化成工業(æ ª)補を甚いる以倖は実斜䟋ず同様に
しお、蚘録ヘツドを䜜成した。 これらの蚘録ヘツドに぀いお、実斜䟋ず同様の
耐久詊隓を実斜した。 耐久詊隓の経過䞭、ドラむフむルムずしお
Vacrelを甚いた堎合は、100時間で(2)および(4)の
蚘録甚液䜓で剥離が認められた。たた、300時間
で、(1)および(3)の蚘録甚液䜓で剥離が認められ
た。 䞀方、ドラむフむルムずしおPhotec SR−
3000を甚いた堎合は、(1)〜(4)の各蚘録甚液䜓で
300時間で剥離が認められた。 印字詊隓䟋 実斜䟋および比范䟋で䜜成したヘツド各々10
個ず぀に先に(4)ずしお挙げた組成の蚘録液を充
填し印字詊隓を行な぀た。次に、蚘録液が充填さ
れた状態の各ヘツドを枩床80℃、湿床90の条件
䞋で200時間保存埌、先に行な぀たのず同様の印
字詊隓を行な぀た。その結果、実斜䟋で埗られた
ヘツドでは10個のヘツドのいずれも保存の前埌で
良奜な印字が埗られたのに察し、比范䟋のヘツド
のいずれにおいおも印字䞍良が芳察された。これ
らの印字䞍良郚を顕埮鏡で芳察するず、文字を構
成する蚘録液滎の䜍眮のズレが芳察された。た
た、印字䞍良を起こした各ヘツドの吐出口付近を
芳察したずころ、その郚分におけるドラむフむル
ム硬化膜に剥離が芋られた。
【図面の簡単な説明】
第図〜第図は本発明の液䜓噎射蚘録ヘツド
ならびにその補造方法を説明するための暡匏図で
ある。 基板、吐出゚ネルギヌ発生玠子、
暹脂局、暹脂硬化膜、フオトマスク、
マスクパタヌン、−液宀、−
液䜓通路、芆い、貫通孔、オリフむ
ス、䟛絊管。

Claims (1)

  1. 【特蚱請求の範囲】  液䜓の吐出口に連通する液䜓通路ず、該液䜓
    通路内の液䜓を吐出させるための゚ネルギヌを発
    生する吐出゚ネルギヌ発生玠子ずを有し、前蚘液
    䜓通路の少なくずも郚が掻性゚ネルギヌ線によ
    ぀お硬化する暹脂組成物の硬化領域で圢成されお
    成る液䜓噎射蚘録ヘツドにおいお、前蚘暹脂組成
    物が () アルキルメタアクリレヌト、アクリロニト
    リルおよびスチレンからなる矀より遞ばれた䞀
    皮以䞊のモノマヌに由来する構造単䜍を䞻䜓ず
    する幹鎖に、(A)氎酞基含有アクリルモノマヌ、
    (B)アミノもしくはアルキルアミノ基含有アクリ
    ルモノマヌ、(C)カルボキシル基含有アクリルも
    しくはビニルモノマヌ、(D)−ビニルピロリド
    ンもしくはその誘導䜓、(E)ビニルピリゞンもし
    くはその誘導䜓および(F)䞋蚘䞀般匏で衚わさ
    れるアクリルアミド誘導䜓からなる矀より遞ば
    れた䞀皮以䞊のモノマヌに由来する構造単䜍を
    䞻䜓ずする枝鎖が付加されおなるグラフト共重
    合高分子ず、 ただし、R1は氎玠たたは炭玠原子数が〜
    のアルキル若しくはヒドロキシアルキル基、
    R2は氎玠たたは炭玠原子数が〜のヒドロ
    キシ基を有しおもよいアルキルもしくはアシル
    基を衚わす。 () ゚チレン性䞍飜和結合を有する単量䜓ずを
    有しおなるものであるこずを特城ずする液䜓噎
    射蚘録ヘツド。  前蚘掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物が前
    蚘のグラフト共重合高分子20〜80重量郚、
    および前蚘の゚チレン性䞍飜和結合を有す
    る単量䜓80〜20重量郚を含有するものである特蚱
    請求の範囲第項に蚘茉の液䜓噎射蚘録ヘツド。  前蚘掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物が前
    蚘のグラフト共重合高分子及び前蚘
    の゚チレン性䞍飜和結合を有する単量䜓の合蚈量
    100重量郚に察しお、0.1〜20重量の光重合開始
    剀を配合しお成るものである特蚱請求の範囲第
    項たたは第項に蚘茉の液䜓噎射蚘録ヘツド。  前蚘吐出゚ネルギヌ発生玠子が発熱玠子であ
    る特蚱請求の範囲第項、第項、たたは第
    項、に蚘茉の液䜓噎射蚘録ヘツド。
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