JPH0441927B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、複数のピンをもつ電子部品の如き
物品を適宜に照明し、物品からの反射光をしかる
べき方法にて集光し、信号処理手段によりピンが
曲がつている（ピン曲がりとも云う。）か否かを
判別して良否検査を行なう検査装置に関する。

〔従来の技術〕

最近の電子部品製造技術の進歩に伴い、プリン
ト基板に電子部品を表面実装する手法が広く用い
られている。中でも第６図に示すようなピングリ
ツドアレイ型のLSI１０は、高密度実装を実現す
る上で画期的な形状を有するものである。なお、
同図イはピングリツドアレイ型LSIの正面図、ロ
は同じく側面図、ハは同じく裏面図である。

ところで、このようなピングリツドアレイ型の
LSI１０を実装する場合、その前提として該LSI
の外観は所定の規準を満足するものでなければな
らない。殊に、LSIパツケージに植えつけられて
いる多数のピン１１が該パツケージの面に対し垂
直の状態にあり曲がつていないという条件は、正
しく実装する上で非常に重要である。

第７図は、このようなピン曲がりの検査を行な
うために出願人が先に提案した検査装置（特願昭
60−235301号；単に提案済装置ともいう。）を示
す概念図である。

すなわち、LSI１０は保持手段１５により吸着
保持されており、矢印で示すようにLSIパツケー
ジの正方形面が一定平面内に存在するような形
で、１回転回転することができる。その平面と平
行な方向に、照明手段１から入射光６がLSI１０
のピンの側部に当たるように投光される。集光手
段２（こゝでは、例えばテレビカメラ）は入射光
６の方向に対し、一定の角度αをなす反射光７を
集光するように配置されている。集光手段２で得
られた信号は、信号処理手段３により処理され、
ピンの曲がりの有無が判別される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところが、この提案済装置ではLSI１０を機械
的に１回転させる必要があるため、機構が複雑と
なるばかりでなく、１回転させるだけの判別時間
を最低限必要とするので、高速処理の点でも問題
があつた。

したがつて、この発明はより簡単な構成で、し
かも高速な良否判別が可能な検査装置を提供する
ことを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

被検査対象物を照明する照明手段と、対象物か
らの反射光を受光する受光（集光）手段と、受光
した反射光からピン曲がりの有無を判別する判別
手段（信号処理手段）とを設ける。

〔作用〕

提案済装置では照明手段および集光手段が各１
つであつたため、被検査対象物をあらゆる角度か
ら検査するのに、該対象物を１回転させなければ
ならなかつた。これに対し、この発明では、ピン
が垂直に設けられている平面に平行な第１の面内
におけるあらゆる角度（一周360°分）からピンの
側面を照明することができるように配置された照
明手段と、同様にピンが垂直に設けられている平
面に平行な第２の面内におけるあらゆる角度にお
いて各ピンからの反射光を受光することができる
ように配置されて受光手段とを用い、受光手段が
配置される第２の面は、ピン群の何れかのピンが
許容角度以上曲がつていた場合、該ピンからの反
射光を受光できる位置に設定することにより、回
転機構を不要ならしめ、一瞬にして該対象物にか
んする情報を得ようとするものである。要する
に、従来１か所だけにあつた照明・集光手段を、
該対象物の周囲すべてにすき間なく配置したもの
と云うことができる。

〔発明の実施例〕

第１図はこの発明の実施例を示す概要図であ
る。

こゝでは照明手段１、集光手段２はいずれもリ
ング状に構成されており、第２図で模式的に示す
ように、その内周１周にわたつてすき間なく光フ
アイバー５の端Ａが配置されている。光フアイバ
ー５の他方の端Ｂは一束にまとめられ、照明手段
１は光源４に接続され、集光手段２は信号処理手
段３に接続されている。従つて、端Ｂに光源４を
設置した場合、端Ａはあらゆる角度（１周360°
分）から投光することができる照明系となる。ま
た、端Ｂに信号処理手段３を設置した場合、端Ａ
においてあらゆる角度からの光が集められ、それ
をひとまとめにした端Ｂにおいて、信号処理手段
３に光信号を伝達することができる。こうして、
互いに同じような形式の光フアイバー系が照明手
段１にも集光手段２にも適用されている。

第３図に照明手段１と集光手段２の断面図を示
す。照明手段１では光フアイバー５が水平に配置
されており、図のように水平に置かれたLSI１０
のピン１１に対し、入射光６が水平に投光され
る。一方、集光手段２では、光フアイバー５が水
平に対し所定の角度αをなすように配置されてお
り、入射光６のピン１１における反射光のうち、
仰角がαとなる反射光７が集光手段２の光フアイ
バー５に達する。

仰角がαとなる反射光７が生ずる過程の詳細を
第４図に示す。こゝで、ピン１１はその鉛直軸ｖ
から角度ψだけ曲がつているものとして、このピ
ンの側部１１ａに接する平面ｐを考える。接平面
ｐは、鉛直軸ｖから角度θだけ入射光６の方向に
沿つて傾いている。ピンの側部１１ａは円柱状で
あるから第５図に示すように、入射光６に対し仰
角2θをなす反射光７が得られる。この2θが第３図
の集光手段２の光フアイバー５の配置角度αに等
しければ、この反射光７は集光手段２により集光
されることになる。ところで、第４図からψθ
である。よつて、上述のα＝2θという条件から、
ψα/2であればこのような接平面ｐは必ず存在
する。このｐの鉛直軸ｖからの傾き方向と一致す
る方向をなす入射光６は、あらゆる角度から投光
可能な照明手段１（第１図ないし第３図）を用い
ているので、必ず存在する。

こうして、ピン１１の曲り角度ψがα/2以上で
あれば、集光手段２に達する反射光７がピン１１
の曲がりを示す情報として得られる。従つて、こ
れを光フアイバー５経由で第１図の信号処理手段
３に伝達し、得られた光信号のレベルが所定の基
準値（理論的にはゼロレベル）を越えればピン曲
がり不良、さもなければ良品であるという簡単な
信号処理を施すことにより、LSI１０の良否判別
を行なうことができる。この種の処理は、光電変
換素子とアナログ比較器等を用いれば高速かつ容
易に実施することができるが、テレビカメラを備
えた汎用画像処理装置を適用することもできる。

なお、以上では照明手段および集光手段に光フ
アイバーを用いるようにしたが、微小な発、受光
素子を複数個用いてリング状に形成することによ
つても上記と同等の機能を持たせることができ
る。

〔発明の効果〕

この発明によれば、あらゆる角度から投光する
ことができる照明手段と、あらゆる角度において
受光することができる集光手段とを用いたので何
らの移動機構も必要とせず、また信号処理手段と
しても簡単なものを用いることができ、従つて電
子部品の良否判別を高速かつ簡便に実施できる利
点がもたらされるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例を示す概要図、第２
図は第１図の光フアイバー系を示す模式図、第３
図は第１図における照明手段と集光手段との関係
を示す断面図、第４図は第１図における入射光と
反射光との関係を説明するための説明図、第５図
は第４図における特別な場合を示す側面図、第６
図はピングリツドアレイ型LSIを示す構造図、第
７図は提案済装置を示す概念図である。 符号説明、１……照明手段、２……集光手段、
３……信号処理手段、４……光源、５……光フア
イバー、６……入射光、７……反射光、１０……
LSI、１１……ピン、１１ａ……ピンの側部、１
５……保持手段。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 平面上にほぼ垂直に複数の円柱形状ピンが設
   けられた物品のピン曲がりを検査する検査装置で
   あつて、 前記平面に平行な第１の面内におけるあらゆる
   角度から前記ピンの側面を照明することができる
   ように配置された照明手段と、 前記平面に平行な第２の面内におけるあらゆる
   角度において前記各ピンからの反射光を受光する
   ことができるように配置された受光手段と、 該受光手段から所定レベル以上の反射光が受光
   されるか否かによりピン曲がりの有無を判別する
   判別手段とを備え、 前記受光手段が配置される第２の面は、前記ピ
   ン群の何れかのピンが許容角度以上曲がつていた
   場合、該ピンからの反射光を受光できる位置に設
   定したことを特徴とする複数ピンをもつ物品のピ
   ン曲がり検査装置。