JPH04372A

JPH04372A - 切削工具の保持装置

Info

Publication number: JPH04372A
Application number: JP9770290A
Authority: JP
Inventors: Kazunori Hayashi; 和範林; Kenji Sugiyama; 賢司杉山
Original assignee: Nippon Steel Corp
Current assignee: Nippon Steel Corp
Priority date: 1990-04-16
Filing date: 1990-04-16
Publication date: 1992-01-06

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］イオン注入、またはイオン注入および真空蒸着の併用に
より、すくい面の中心に貫通穴をもつ切削工具に耐摩耗
性に優れた表面を形成するための工具の保持装置に関す
るものである。

［従来の技術］従来技術としては、特開平１−１８０９６８号公報に示
されているような保持装置かある。この方式の試料保持
装置として一例を第４図に示す。ここで同図（ａ）は正
面図、同図（ｂ）は側面図を示す。試料保持装置】３は
、試料を取り付ける試料保持板１５該保持板の中心を通
る軸Ａを回転軸として試料保持板１５を回転させる回転
装置】６および被処理物取り付は面の中央Ｂを中心に角
度Ｃたけ傾斜するための傾斜揺動装置１７より構成され
ている。この試料保持板Ｉ５に被処理工具１８を保持す
る場合、第５図（ａ）に示すように貫通穴を通してネジ
１９なとて固定するか、または第５図（ｂ）に示すよう
に帯状の治具２０を用いて固定する等の方法がとられて
いる。ここで試料の処理は、上記のような方法で被処理
工具１８を試料保持装置１３に取り付け、イオン注入、
またはイオン注入および真空蒸着を併用することにより
処理を行う。このとき、試料保持板Ｉ５をＡ軸を中心と
して回転させ、Ｂ軸を中心とする傾斜揺動を組み合わせ
ることにより、試料保持板１５に接している面を除いて
、工具表面に成膜を行うものであった。

［発明か解決しようとする課題］従来技術の保持装置を用いた処理では、試料保持板の回
転および傾斜揺動機構を用いることにより、試料保持板
に接する面を除いては、均一な処理か可能である。しか
し、試料保持板に接する面については、イオンビームも
蒸着蒸気も到達しないため、表面か改質されない。その
ため、工具全面を処理するためには一旦試料を試料保持
装置から取り外し、被処理面に処理を行うために取り付
けなおす必要があった。すなわち、処理室の真空を破っ
て一度大気圧に戻さなければならないために処理能率か
落ちる。そこで本発明は、上記の問題点を解決する試料
保持装置を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］上記の問題点を解決するために、本発明の要旨は、切削
工具の貫通穴を通るように試料を保持する試料保持軸と
、該試料保持軸を回転させる試料軸回転機構と、前記試
料保持軸および該試料軸回転機構を同一平面上に複数支
持する台座と、該台座の中心でその法線方向を軸として
該台座を回転させる台座回転機構と、前記試料保持軸を
含む面内に傾斜軸をもち前記台座を傾斜駆動させる傾斜
駆動機構を備えることを特徴とする工具の保持装置にあ
る。

［作用コ工具の貫通穴を通るように保持回転軸に工具を保持する
ことにより、被処理面か試料保持装置に接することなく
工具が保持てき、該保持回転軸に取り付けた被処理工具
を該軸中心の回転をさせ、かつ、該軸に対し直交する回
転軸を中心とした回転をさせ、かつ軸全体を傾斜揺動す
るように駆動させることによって、工具を取り付は直す
ことなく全面に均一なイオン注入、またはイオン注入お
よび真空蒸着の併用を行うことで、処理を行う。

［実施例］以下に本発明の一実施例の試料保持装置について、添付
図面に基づいて説明する。第１図（ａ）は試料保持部１
０の平面図、同図（ｂ）はＩ−１’断面図を示し、第２
図は試料保持部を設けた試料保持装置１１の概略図であ
る。本実施例では、９個の試料を同時に処理する例を示
している。

第１図において、試料保持回転軸１は、真空モーター２
が連結され、軸中心の回転かてきるようになっている。

このとき第１図（ａ）に示したように一個のモーターを
用い、ギア１２とベルト１３を介して３本の軸を回転さ
せるようにしてもよいし、また３本の軸にそれぞれにモ
ーターを取り付けて回転させてもよい。ここて試料の温
度上昇を避ける必要かある時は、試料保持回転軸１に冷
却材を循環させればよい。また、軸外面にはストッパー
３が取り付けられるようになっており、こねて工具を支
持するために、処理中に工具がずれたりすることなく、
軸と共に回転てきる。また、モーターカバー４は、イオ
ンビームがモーター２に照射されないように設けられて
おり、ケースを水冷することて温度上昇を避けることが
できる。試料の取り付けおよび取り外しは、カップリン
タ５の部分で試料保持回転軸１を取り外して行う。この
ときストッパー３も、試料と共に取り外せるようになっ
ている。試料保持回転軸１は、台座６に取り付けられた
軸受け７に支持されており、また真空モーター２もこの
台座６に取り付けられている。

第２図は、試料保持部１０を設置した試料保持装置１１
を示し、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は側面図を示
す。試料保持部１０は、台座６の面の中心においてＡ軸
を中心軸として回転するように回転装置８が接続されて
いる。さらにこの台座６および回転装置８全体が工具取
り付は面の中心点Ｂを中心として傾斜揺動するように傾
斜揺動装置９か取り付けられている。

第３図（ａ）　（ｂ）および（ｃ）は、この試料保持装
置１１を用いて、イオン注入および真空蒸着の併用によ
って工具を処理する様子を示す（簡単のために試料保持
部のみを示す）。第３図において、実線矢印はイオンビ
ームの照射方向を示し、点線矢印は蒸着方向を示す。同
図（ａ）の配置において、試料保持回転軸１を回転させ
、さらに台座６を回転させることにより被処理工具１８
の逃げ面に均にイオンビーム照射および蒸着を行うこと
が出来る。しかし、この配置では、すくい面に対してイ
オン注入は行われるか、蒸着されないため、傾斜揺動装
置９によって台座６を傾斜させていき、第３図（ｂ）の
配置を経由して同図（Ｃ）の配置にする。この傾斜駆動
過程によりすくい面にも充分蒸着が行われる。すなわち
、試料保持回転軸１の回転および台座６の回転、さらに
上記の傾斜駆動を連続的に往復させることにより工具の
すへての逃げ面およびすくい面に均一な処理を行うこと
ができる。

以上述へたように、本発明によれば、中心に貫通穴をも
つ複数の超硬工具に対し均一な処理を行える試料保持装
置を提供てきる。

［発明の効果］本発明によれば、すくい面の中心に貫通穴をもつ切削工
具を複数−度に保持てき、均一な処理を行うことかてき
るため、従来に比へ処理効率を高めることかてきる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は、本発明の試料保持部の一実施例を説明
する平面図て同図（ｂ）はＩ−Ｉ’の断面図、第２図（
ａ）は試料保持装置を説明する正面図で同図（ｂ）は側
面図を示す。第３図は、本発明の試料保持装置を用いた
処理の説明図て実線矢印はイオンビーム照射方向を、ま
た点線矢印は蒸着方向を示す。第４図（ａ）は、従来の
試料保持装置を説明する正面図で同図（ｂ）は側面図を
示し、第５図は、従来の試料保持装置における試料の取
り付は法を示す説明図である。１・・・試料保持回転軸、２・・・真空モーター、６・
・・台座、８・・・台座回転装置、９・・・台座傾斜揺
動装置、１０・・・試料保持部、】１・・・試料保持装
置、１８・・・被処理工具。

Claims

【特許請求の範囲】

１．イオン注入、またはイオン注入および真空蒸着の併
用によって、すくい面の中心に貫通穴をもつ切削工具に
耐摩耗性に優れた表面を形成するための装置において、
工具の貫通穴を通るように試料を保持する試料保持軸と
、該試料保持軸を回転させる試料軸回転機構と、前記試
料保持軸および該試料軸回転機構を同一平面上に複数支
持する台座と、該台座の中心でその法線方向を軸として
該台座を回転させる台座回転機構と、前記試料保持軸を
含む面内に傾斜軸をもち前記台座を傾斜駆動させる傾斜
駆動機構を備えた切削工具の保持装置。