JPH043686A - イメージセンサ用テスタ - Google Patents

イメージセンサ用テスタ

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JPH043686A
JPH043686A JP2104603A JP10460390A JPH043686A JP H043686 A JPH043686 A JP H043686A JP 2104603 A JP2104603 A JP 2104603A JP 10460390 A JP10460390 A JP 10460390A JP H043686 A JPH043686 A JP H043686A
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JP
Japan
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image sensor
sample
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image
hold circuit
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JP2104603A
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Hiroyuki Aoki
青木 博幸
Shinsuke Seki
信介 関
Yasuo Sugioka
杉岡 靖夫
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Advantest Corp
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Advantest Corp
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  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明はテレビカメラ等に用いられるイメージセンサ
を試験するイメージセンサ用テスタに関する。
「従来の技術」 第3図にイメージセンサ用テスタの概略の構成を示す。
図中100はテスタ本体、200は被試験イメ−ジセン
サ、300はこの被試験イメージセンサ200をテスタ
本体100に電気的に接続するDUTボードを示す。
テスタ本体100は被試験イメージセンサ200に走査
駆動信号DSを与える信号源110と、被試験イメージ
センサ200から出力された画像信号を取込んで被試験
イメージセンサ200の良否を判定する判定装置120
とによって構成される。
信号fillOにはタイミングジェネレータ111と、
このタイミングジェネレータ110から与えられるタイ
ミング信号に従って所定のパターン信号を生成するパタ
ーン発生器112と、このパターン発生器112から出
力されるパターンデータに従って実際の走査駆動波形を
生成する波形発生器113と、パターン発生器112か
ら波形発生器群113に与えるパターンデータのタイミ
ングを調整する可変遅延素子群114と、DUTボード
300に設けられているクランプ回路304及びサンプ
ルホールド回路305にそれぞれ与えルストローブバル
スSPのタイミングを調整する可変遅延素子群115と
によって構成される。
DUTボード300は駆動回路群301と、DUTソケ
ット302と、バッファ増幅器303と、クランプ回路
304、サンプルホールド回路305、バッファ増幅器
306とによって構成される。
クランプ回路304は被試験イメージセンサ200の暗
電流による信号成分を除去するために設けられており、
暗電流成分が除去された画像信号をサンプルホールド回
路305でサンプルホールドし、そのサンプルホールド
出力をバッファ増幅器306を通じてテスタ本体100
の判定装置120に入力する。
判定装置120は増幅器121と、AD変換器122と
、画像処理装置123とによって構成される。
被試験イメージセンサ200の試験は次の如くして行な
われる。
DUTボード300に設けられたDUTソケット302
に被試験イメージセンサ200を装着し、被試験イメー
ジセンサ200に均一な例えば白色光を与え、この状態
で信号′a110から被試験イメージセンサ200の各
端子に走査駆動信号DSを与える。
走査駆動信号DSが与えられることによって被試験イメ
ージセンサ200は線走査と面走査を繰返し、画像信号
を出力する。
この画像信号をバッファ増幅器303を通じてクランプ
回路304に入力し、例えば垂直ブランキング区間にお
いて所定レベルにクランプし、被試験イメージセンサ2
00の暗電流成分を除去する。
暗it流成分が除去された画像信号はサンプルホールド
回l1s305で各画素のタイミングでサンプルホール
ドされ、そのサンプルホールド値を判定装置120に入
力する。
判定装置120では線順次に入力される画像信号のサン
プルホールド値を順次AD変換し、そのAD変換した画
像データを画像処理装置123に入力し、各画素位置に
画素データを書込む。
画像処理装置123は各画素間の画像データの値の差等
を求め、輝度のムラ等を検出し、そのムラが成る範囲内
に収まれば良、範囲から外れると不良と判定し、被試験
イメージセンサ200の良否を判定する。
上述したイメージセンサ用テスタにおいて、駆動回路群
301から被試験イメージセンサ200に与える走査駆
動信号相互間の位相が所定の関係となるように調整する
必要がある。
つまり各駆動回路には遅延時間にバラツキを有するため
、そのバラツキを揃えるために可変遅延素子群114が
設けられ、この可変遅延素子群114の各可変遅延素子
の遅延時間を調整して各駆動回路の遅延時間が一致する
ように調整する必要がある。
従来は良品として判定した標準となるイメージセンサを
用意し、このイメージセンサをDUTソケット302に
装着し、この標準となるイメージセンサに走査駆動信号
DSを与え、このイメージセンサから出力される画像信
号をDUTボード300の出力側に接続したオシロスコ
ープ400で観測し、この波形が正常な波形となるよう
に可変遅延素子群114の遅延時間を調整している。
「発明が解決しようとする課題」 被試験イメージセンサ200の撮像出力信号(白色画像
信号)が正規の波形となるように走査駆動信号の相互の
位相を調整することはむずかしい。また正確な調整は困
難である。
この発明の目的は簡単に然も正確に走査駆動信号の位相
を正規の位相となるように調整することができる機能を
具備したイメージセンサ用テスタを提供しようとするも
のである。
「課題を解決するための手段」 この発明では被試験イメージセンサを装着するDUTソ
ケットに複数の走査駆動信号を与える複数の駆動回路と
、 DUTソケットの被試験イメージセンサの出力端子に接
触した端子から出力される画像信号を所定の周期でサン
プルホールドするサンプルホールド回路と、 このサンプルホールド回路の各サンプルホールド値をA
D変換するAD変換器と、 このAD変換でAD変換した画像信号を取込んで画像処
理し、被試験イメージセンサの良否を判定する画像処理
装置とを具備して構成されるイメージセンサ用テスタに
おいて、 調整的にDUTソケットにマルチプレクサを装着し、こ
のマルチプレクサによってDUTソケットに与えられる
走査駆動信号を順次選択して取出し、この取出した走査
駆動信号をサンプルホールド回路に与え走査駆動信号の
立上り及び立下りのタイミングをサンプルホールド回路
でとらえ、このサンプルホールド回路でとらえた走査駆
動信号の立上り及び立下りのタイミングから走査駆動信
号の遅延時間差を遅延時間測定手段によって測定し、こ
の測定結果に応じて駆動回路の遅延時間差がゼロになる
ように可変遅延素子の遅延時間を調整する。
このように構成することにより、被試験イメージセンサ
に与えられる走査駆動信号の位相を合致させることがで
き、その調整は容易に行なうことができる。
然も各走査駆動信号の立上り及び立下りのタイミングを
とらえてその遅延時間差つまり位相差を測定して各駆動
回路に設けて可変遅延時間を調整して走査駆動信号の位
相差をゼロの状態となるように調整するから、各走査駆
動信号のタイミングを正確に合致させることができる。
「実施例」 第1図にこの発明の一実施例を示す。第1図において、
100はテスタ本体、200は被試験イメージセンサ、
300はDUTボードを示す点は従来の技術の説明と同
じである。
この発明においては調整時にDUTソケット302にマ
ルチプレクサ500を装着する。このマルチプレクサ5
00は被試験イメージセンサ200と同一の端子の配列
を有し、DUTソケット302に装着できる形状とする
マルチプレクサ500はDUTソケットの走査駆動信号
が与えられる端子を入力端子とし、出力端子は被試験イ
メージセンサ200の画像出力端子と同一の端子に選定
する。
このようにDUTソケット302にマルチプレクサ50
0を装着することによって駆動回路群301から与えら
れる走査駆動信号の何れが一つを選択して出力端子に取
出すことができる。
よって各走査駆動信号を選択してサンプルホールド回路
305に与えることができる。
尚この例ではクランプ回路304の前と後に切替スイッ
チ307A、307Bを設け、調整時はこの切替スイッ
チ307A、307Bを接点Aに倒し、これによりクラ
ンプ回路304を除去し、マルチプレクサ500によっ
て選択した走査駆動をサンプルホールド回路305に直
接入力できるように構成している。
第2図に走査駆動信号DSとサンプリングパルスSPの
タイミングの一例を示す、走査駆動信号の立上り及び立
下りの中央を基準タイミングに採り、この基準タイミン
グにサンプリングパルスSPを与える。
従って走査駆動信号DSが第2図に実線で示すように立
上り及び立下りの中央が基準タイミング1、.12に存
在する場合は第2図Cに示すようにサンプリング回路3
05から出力されるサンプルホールド値はEoに固定さ
れ、変化しない。
これに対し、第2図Aに点線F又はDで示すように走査
駆動信号の遅延時間に進み、遅れが有る場合はサンプル
ホールド回路305のサンプルホールド値はサンプリン
グパルスSPが供給される毎に変化する。
よってこのサンプリング値をバンファ増幅器306と増
幅器121で増幅し、AD変換器122でAD変換し、
遅延誤差測定手段124に供給する。
遅延誤差測定手段124は第3図で説明した画像処理装
置123をそのまま流用することができる。
つまり画像処理装置123はコンピュータによって構成
される。
このコンピュータを画像処理の外にAD変換された信号
の値の変化を調べる装置として動作させることによって
走査駆動信号の遅延時間が基準値に合致しているか否か
を測定することができる。
「発明の効果」 以上説明したように、この発明によればDUTソケット
302にマルチプレクサ500を装着し、このマルチプ
レクサ500によってDUTソケット302に与えられ
る走査駆動信号DSを選択し、この選択した走査駆動信
号をサンプルホールド回路305で立上り及び立下りの
中央をサンプリングし、そのサンプルホールド値が変動
するとき遅延誤差を持つと判定することができる。
よってこの変動が最小となるように可変遅延素子群11
4の対応ある素子を調整することにより走査駆動信号D
Sの位相を各駆動回路毎に合致させることができる。
この調整は容易に行なうことができ、然も調整後の各駆
動信号の位相は正確に合致する。
従ってこの発明によれば調整が容易で精度の高い調整を
行なうことができ、その効果は実用に供して頗る大であ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を示すブロック図、第2図
はこの発明の詳細な説明するための波形図、第3図は従
来の技術を説明するためのブロック図である。 100:テスタ本体、124:遅延誤差測定装置、20
0:被試験イメージセンサ、300:DUTボード、3
01:駆動回路群、302:DUTソケット、305:
サンプルホールド回路、500:マルチプレクサ。 オ 2 図 S 特許出願人 株式会社アトパンテスト

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)A、被試験イメージセンサを装着するDUTソケ
    ットに複数の走査駆動信号を与える複数の駆動回路と、 上記DUTソケットの被試験イメージセンサの出力端子
    に接触した端子から出力される画像信号を所定の周期で
    サンプルホールドするサンプルホールド回路と、 このサンプルホールド回路の各サンプルホールド値をA
    D変換するAD変換器と、 このAD変換器でAD変換した画像信号を取込んで画像
    処理し、上記被試験イメージセンサの良否を判定する画
    像処理装置と、 によって構成されるイメージセンサ用テスタにおいて、 B、調整時に上記DUTソケットに装着され上記複数の
    駆動回路から与えられる走査駆動信号を順次選択し、被
    試験イメージセンサの出力端子に接触する端子にその選
    択した走査駆動信号を出力するマルチプレクサと、 C、このマルチプレクサで選択した走査駆動信号の立上
    り及び立下のタイミングを上記サンプルホールド回路で
    とらえて上記複数の駆動回路の位相差を求める位相誤差
    測定手段と、 D、この位相誤差測定手段で測定した位相誤差がゼロに
    なるように各駆動回路の位相を調整する可変遅延素子と
    、 を設けて成るイメージセンサ用テスタ。
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