JPH0436340B2 - - Google Patents
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- JPH0436340B2 JPH0436340B2 JP58106528A JP10652883A JPH0436340B2 JP H0436340 B2 JPH0436340 B2 JP H0436340B2 JP 58106528 A JP58106528 A JP 58106528A JP 10652883 A JP10652883 A JP 10652883A JP H0436340 B2 JPH0436340 B2 JP H0436340B2
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- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 42
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 42
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 37
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 14
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 14
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 3
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 claims 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims 1
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 10
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 10
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 7
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 6
- RAHZWNYVWXNFOC-UHFFFAOYSA-N Sulphur dioxide Chemical compound O=S=O RAHZWNYVWXNFOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- -1 oxygen ion Chemical class 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002926 oxygen Chemical class 0.000 description 2
- 229910002077 partially stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000567 combustion gas Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 229910002078 fully stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- PXXKQOPKNFECSZ-UHFFFAOYSA-N platinum rhodium Chemical compound [Rh].[Pt] PXXKQOPKNFECSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229910002076 stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4073—Composition or fabrication of the solid electrolyte
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- Electrochemistry (AREA)
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Description
本発明は酸素センサおよび酸素センサの製造方
法に関するものである。 酸素センサは高温度の燃焼ガスなどにおける酸
素分圧の測定燃焼制御あるいは不完全燃焼の検知
に多く使用されている。該酸素センサは使用時に
おいて検出部は高温にさらされるが、リード線の
取り出し部分はリード線との接続を容易にするた
め、異常熱起電力などを発生させないようにする
ために常に常温に近い温度となるように設定され
ている。 このために使用時において酸素センサにおける
温度勾配は大きくなりさらに断続燃焼に使用する
場合には急激な熱衝撃を受けさらに燃料中に含ま
れる硫黄分のために白金などの電極は腐食され劣
化を生ずる欠点があり、酸素センサにおいては耐
熱衝撃性と共に耐蝕性が要求される。通常酸素セ
ンサは酸化ジルコニウム磁器（以下ジルコニア磁
器という）の表面に直接、あるいは機械的または
化学的に粗化した表面にメツキ法、蒸着法ャ、印
刷などにより白金、白金ロジウムなどの皮膜を固
着し電極を形成して作られる。そしてこのジルコ
ニア磁器はY2O3を３〜５モル％（5.4〜8.8重量
％）含む部分安定化ジルコニア磁器とY2O3を７
〜10モル％（12.1〜17.0重量％）含む完全安定化
ジルコニア磁器とに分けられ用途に応じて使用さ
れる。 上記の中で部分安定化ジルコニア磁器は初期の
熱衝撃特性は良好であるが、ガス炎を使用した１
万サイクルなどの長期サイクル試験では変質破損
し長期間使用できない欠点がある。これに対し完
全安定化ジルコニア磁器は上記のような変質はし
ないが耐熱衝撃性に劣り、使用範囲が制限される
不都合がある。 さらに上記磁器上に形成される電極はガスによ
り早期に腐食されるため通常電極表面を無機質酸
化物で保護するようにしているが、この場合にも
腐食が多少遅れる程度で結局電極は無機質酸化物
と共に脱落してしまい効果はあまり期待できな
い。上記のように現在の酸素センサの性能は長期
間断続的に使用されるような一般熱器具に対して
はなお不十分である。 そこで本発明者らは上記欠点のない酸素センサ
および酸素センサの製造方法の解決を目的に色々
検討を加えた結果、ジルコニア磁器としては
ZrO2に酸化ジルコニウム結晶が完全に安定化す
るための下限の量であるY2O3を均一に分散させ
さらにこれらにAl2O3とSiO2との適当量を添加
し、焼結温度より低い温度で熱処理しまず仮焼結
成形体を作りこれに白金などの電極材を塗付した
後にこの仮焼結成形体の焼結と同時に電極材を焼
付けることにより酸素イオン伝導率、熱衝撃性、
高温安定性に優れた酸素センサが得られることを
見出し本発明を完成するに至つた。 本発明の目的は酸素イオン伝導率、熱衝撃性、
高温安定性に優れた酸素センサおよび酸素センサ
の製造方法を提供することにある。 本発明は、ジルコニア磁器の内外表面に電極を
形成してなる酸素センサにおいて、ZrO287.5〜
91.0重量％、Y2O38.5〜12.3重量％、SiO20.5重量
％以下およびAl2O30.2〜1.0重量％を含有し、か
つ常温における結晶相が立方晶結晶を95重量％以
上含有したジルコニア磁器の焼結と同時に電極を
焼付けてなる酸素センサおよびZrO2〜87.5〜91.0
重量％、Y2O38.5〜12.3重量％、SIO20.5重量％お
よびAl2O30.2〜1.0重量％を含有し、かつ常温に
おける結晶相が立方晶結晶を95重量％以上含有し
た粒体を袋管状、円筒状、または板状に加圧成形
し、該成形体を焼結温度以下の温度で熱処理して
形成した仮焼結成形体の内外表面に高融点金属を
主成分とする電極材を塗付し、次いで仮焼結成形
体をさらに高温に加熱し焼結すると同時に電極材
を焼付けて電極を形成する酸素センサの製造方法
に関する。 本発明で使用する原料は市販されている酸化物
粉体で良く、特別な化学処理等は加えなくても良
い。またY2O3を混合する場合は湿式ボールミル
混合が適しており、混合物は乾燥後1300℃以上で
かつ焼結温度以下の温度で熱処理することが好ま
しい。成形体の仮焼結温度は成形体の焼結温度以
下の温度で熱処理することが必要であり、焼結温
度を越える温度で熱処理すると本発明の目的の酸
素センサを得るることができない。焼成条件につ
いては特に制限はないが、空気中または中性雰囲
気中で1500〜1700℃の温度で焼成することが好ま
しい。 本発明のジルコニア磁器はZrO287.5〜91.0重量
％、Y2O38.5〜12.3重量％、SiO20.5重量％以下お
よびAl2O30.2〜1.0重量％を含有し、かつ常温に
おける結晶相が立方晶結晶を95％以上含有するこ
とが必要であり、ZrO2が87.5重量％未満の場合、
Y2O3が12.3重量％を越える場合は機械的強度が
低下し、単に急速加熱しただけで破壊する欠点が
生じ、ZrO2が91.0重量％を越える場合、Y2O3が
8.5重量％未満の場合は単斜晶酸化ジルコニウム
結晶が多くなりすぎヒートサイクル試験で強度の
低下する量が多くなる。Al2O3が0.2重量％未満の
場合は焼結温度が1700℃以上になり焼成コストが
高くなり、Al2O3が1.0重量％を越えるとイオン伝
導率が低下する。また原料中に不純物として含ま
れるSiO2は合計で0.5重量％を越えると同様にイ
オン伝導率が低下する。 必要な出力を得るには電極面積を広くしなけれ
ばならず電極材である白金などの使用量が急増す
るためコスト高となる欠点があり、また立方晶結
晶が95重量％未満の場合は例えば常温〜800℃の
加熱を繰返すと機械的強度が急激に低下するので
好ましくない。 本発明では常温における結晶相は立方晶結晶を
95重量％以上含有すればよいが100重量％であれ
ば信頼性がさらに向上するのでさらに好ましい。 また使用する電極材は従来のものと同様に白金
あるいは白金とロジウムまたはこれらにZrO2粉
を添加した粉末が好ましく、これらの粉末をペー
スト状として一部を仮焼結体の表面から孔部内に
食い込ませ接着力を向上せしめることが好まし
い。さらに電極材の塗付方法についてはスクリー
ン印刷、筆塗り、浸漬法、吹き付け法などで行な
われる。 なお電極の表面にムライト、スピネル、酸化ジ
ルコニウムなどの無機質を溶射し皮膜を形成する
とさらに腐食の遅延をはかることができ好まし
い。 以下本発明の実施例を第１表により比較例とと
もに説明する。 ZrO2粉末（第１希元素化学工業製、商品名EP
グレード）とY2O3粉末（信越化学工業製、純度
99.9％）とを、第１表に示す割合に秤量し、ZrO2
製玉石とゴム内張りのボールミル容器を使用して
24時間湿式混合した。この混合物を乾燥後1350℃
で２時間熱処理しさらにこの処理粉末を前記と同
様に湿式混合、乾燥、熱処理を繰返し（第１表中
に混合、熱処理回数として記載してある）Y2O3
を分散したZrO3粉末を得た。次にこの粉末に
Al2O3（昭和軽金属製、商品名A1−160）および
SiO2（試薬一級を粉砕し平均粒径1.0μｍに調整し
たものを第１表に示す割合で添加し、さらにポリ
ビニルアルコール５％水溶液を２重量部加えて24
時間湿式混合後スプレードライヤーで乾燥造粒し
た。 次にこの造粒粉をラバープレスにより1.5ト
ン／cm2の圧力で加圧し内径４mm、外径６mm、長さ
50mmの袋管を成形した。この袋管を1100℃で仮焼
結成後白金ペースト（徳力化学製、商品名
＃8103）を袋管の内外面に塗付し、その後第１表
に示す各温度で焼成した。このようにして得た酸
素センサを第１図に示すような温度変化を繰返す
試験装置（図示せず）内に設置し10000サイクル
加熱試験を行なつた。該加熱試験前後の酸素セン
サの強度を第１表に示す。なお強度（初期強度お
よび10000サイクル後強度）は酸素センサの根本
を固定し、酸素センサの先端部から５mm（根本か
ら45mm）の部分を加圧していき酸素センサが破損
したときの位置と加圧力とから求めた。またSO2
ガスを1000ppm添加したN2ガスを流した試験装
置（図示せず）に本発明の酸素センサと従来のセ
ンサを設置し10000時間まで内部抵抗の変化を測
定した結果を第２図に示す。図中１は本発明によ
つて得られた酸素センサ（第１表中の試＃１のも
の、２は焼結したジルコニア磁器に白金ペースト
を塗布焼付けた従来の酸素センサ、３は焼結した
ジルコニア磁器に白金を蒸着した従来の酸素セン
サである。 第１表の結果から明らかなように試＃１，２，
３，４，および５の酸素センサは10000サイクル
の加熱試験後強度の低下は少ないが、試＃６，
７，８，９，10，11，12，13，14および15の酸素
センサにおいては強度の低下がいちじるしい。そ
してこれらの酸素センサはジルコニア磁器組成、
立方晶ZrO3の含有率などが本発明の範囲から外
れている。
法に関するものである。 酸素センサは高温度の燃焼ガスなどにおける酸
素分圧の測定燃焼制御あるいは不完全燃焼の検知
に多く使用されている。該酸素センサは使用時に
おいて検出部は高温にさらされるが、リード線の
取り出し部分はリード線との接続を容易にするた
め、異常熱起電力などを発生させないようにする
ために常に常温に近い温度となるように設定され
ている。 このために使用時において酸素センサにおける
温度勾配は大きくなりさらに断続燃焼に使用する
場合には急激な熱衝撃を受けさらに燃料中に含ま
れる硫黄分のために白金などの電極は腐食され劣
化を生ずる欠点があり、酸素センサにおいては耐
熱衝撃性と共に耐蝕性が要求される。通常酸素セ
ンサは酸化ジルコニウム磁器（以下ジルコニア磁
器という）の表面に直接、あるいは機械的または
化学的に粗化した表面にメツキ法、蒸着法ャ、印
刷などにより白金、白金ロジウムなどの皮膜を固
着し電極を形成して作られる。そしてこのジルコ
ニア磁器はY2O3を３〜５モル％（5.4〜8.8重量
％）含む部分安定化ジルコニア磁器とY2O3を７
〜10モル％（12.1〜17.0重量％）含む完全安定化
ジルコニア磁器とに分けられ用途に応じて使用さ
れる。 上記の中で部分安定化ジルコニア磁器は初期の
熱衝撃特性は良好であるが、ガス炎を使用した１
万サイクルなどの長期サイクル試験では変質破損
し長期間使用できない欠点がある。これに対し完
全安定化ジルコニア磁器は上記のような変質はし
ないが耐熱衝撃性に劣り、使用範囲が制限される
不都合がある。 さらに上記磁器上に形成される電極はガスによ
り早期に腐食されるため通常電極表面を無機質酸
化物で保護するようにしているが、この場合にも
腐食が多少遅れる程度で結局電極は無機質酸化物
と共に脱落してしまい効果はあまり期待できな
い。上記のように現在の酸素センサの性能は長期
間断続的に使用されるような一般熱器具に対して
はなお不十分である。 そこで本発明者らは上記欠点のない酸素センサ
および酸素センサの製造方法の解決を目的に色々
検討を加えた結果、ジルコニア磁器としては
ZrO2に酸化ジルコニウム結晶が完全に安定化す
るための下限の量であるY2O3を均一に分散させ
さらにこれらにAl2O3とSiO2との適当量を添加
し、焼結温度より低い温度で熱処理しまず仮焼結
成形体を作りこれに白金などの電極材を塗付した
後にこの仮焼結成形体の焼結と同時に電極材を焼
付けることにより酸素イオン伝導率、熱衝撃性、
高温安定性に優れた酸素センサが得られることを
見出し本発明を完成するに至つた。 本発明の目的は酸素イオン伝導率、熱衝撃性、
高温安定性に優れた酸素センサおよび酸素センサ
の製造方法を提供することにある。 本発明は、ジルコニア磁器の内外表面に電極を
形成してなる酸素センサにおいて、ZrO287.5〜
91.0重量％、Y2O38.5〜12.3重量％、SiO20.5重量
％以下およびAl2O30.2〜1.0重量％を含有し、か
つ常温における結晶相が立方晶結晶を95重量％以
上含有したジルコニア磁器の焼結と同時に電極を
焼付けてなる酸素センサおよびZrO2〜87.5〜91.0
重量％、Y2O38.5〜12.3重量％、SIO20.5重量％お
よびAl2O30.2〜1.0重量％を含有し、かつ常温に
おける結晶相が立方晶結晶を95重量％以上含有し
た粒体を袋管状、円筒状、または板状に加圧成形
し、該成形体を焼結温度以下の温度で熱処理して
形成した仮焼結成形体の内外表面に高融点金属を
主成分とする電極材を塗付し、次いで仮焼結成形
体をさらに高温に加熱し焼結すると同時に電極材
を焼付けて電極を形成する酸素センサの製造方法
に関する。 本発明で使用する原料は市販されている酸化物
粉体で良く、特別な化学処理等は加えなくても良
い。またY2O3を混合する場合は湿式ボールミル
混合が適しており、混合物は乾燥後1300℃以上で
かつ焼結温度以下の温度で熱処理することが好ま
しい。成形体の仮焼結温度は成形体の焼結温度以
下の温度で熱処理することが必要であり、焼結温
度を越える温度で熱処理すると本発明の目的の酸
素センサを得るることができない。焼成条件につ
いては特に制限はないが、空気中または中性雰囲
気中で1500〜1700℃の温度で焼成することが好ま
しい。 本発明のジルコニア磁器はZrO287.5〜91.0重量
％、Y2O38.5〜12.3重量％、SiO20.5重量％以下お
よびAl2O30.2〜1.0重量％を含有し、かつ常温に
おける結晶相が立方晶結晶を95％以上含有するこ
とが必要であり、ZrO2が87.5重量％未満の場合、
Y2O3が12.3重量％を越える場合は機械的強度が
低下し、単に急速加熱しただけで破壊する欠点が
生じ、ZrO2が91.0重量％を越える場合、Y2O3が
8.5重量％未満の場合は単斜晶酸化ジルコニウム
結晶が多くなりすぎヒートサイクル試験で強度の
低下する量が多くなる。Al2O3が0.2重量％未満の
場合は焼結温度が1700℃以上になり焼成コストが
高くなり、Al2O3が1.0重量％を越えるとイオン伝
導率が低下する。また原料中に不純物として含ま
れるSiO2は合計で0.5重量％を越えると同様にイ
オン伝導率が低下する。 必要な出力を得るには電極面積を広くしなけれ
ばならず電極材である白金などの使用量が急増す
るためコスト高となる欠点があり、また立方晶結
晶が95重量％未満の場合は例えば常温〜800℃の
加熱を繰返すと機械的強度が急激に低下するので
好ましくない。 本発明では常温における結晶相は立方晶結晶を
95重量％以上含有すればよいが100重量％であれ
ば信頼性がさらに向上するのでさらに好ましい。 また使用する電極材は従来のものと同様に白金
あるいは白金とロジウムまたはこれらにZrO2粉
を添加した粉末が好ましく、これらの粉末をペー
スト状として一部を仮焼結体の表面から孔部内に
食い込ませ接着力を向上せしめることが好まし
い。さらに電極材の塗付方法についてはスクリー
ン印刷、筆塗り、浸漬法、吹き付け法などで行な
われる。 なお電極の表面にムライト、スピネル、酸化ジ
ルコニウムなどの無機質を溶射し皮膜を形成する
とさらに腐食の遅延をはかることができ好まし
い。 以下本発明の実施例を第１表により比較例とと
もに説明する。 ZrO2粉末（第１希元素化学工業製、商品名EP
グレード）とY2O3粉末（信越化学工業製、純度
99.9％）とを、第１表に示す割合に秤量し、ZrO2
製玉石とゴム内張りのボールミル容器を使用して
24時間湿式混合した。この混合物を乾燥後1350℃
で２時間熱処理しさらにこの処理粉末を前記と同
様に湿式混合、乾燥、熱処理を繰返し（第１表中
に混合、熱処理回数として記載してある）Y2O3
を分散したZrO3粉末を得た。次にこの粉末に
Al2O3（昭和軽金属製、商品名A1−160）および
SiO2（試薬一級を粉砕し平均粒径1.0μｍに調整し
たものを第１表に示す割合で添加し、さらにポリ
ビニルアルコール５％水溶液を２重量部加えて24
時間湿式混合後スプレードライヤーで乾燥造粒し
た。 次にこの造粒粉をラバープレスにより1.5ト
ン／cm2の圧力で加圧し内径４mm、外径６mm、長さ
50mmの袋管を成形した。この袋管を1100℃で仮焼
結成後白金ペースト（徳力化学製、商品名
＃8103）を袋管の内外面に塗付し、その後第１表
に示す各温度で焼成した。このようにして得た酸
素センサを第１図に示すような温度変化を繰返す
試験装置（図示せず）内に設置し10000サイクル
加熱試験を行なつた。該加熱試験前後の酸素セン
サの強度を第１表に示す。なお強度（初期強度お
よび10000サイクル後強度）は酸素センサの根本
を固定し、酸素センサの先端部から５mm（根本か
ら45mm）の部分を加圧していき酸素センサが破損
したときの位置と加圧力とから求めた。またSO2
ガスを1000ppm添加したN2ガスを流した試験装
置（図示せず）に本発明の酸素センサと従来のセ
ンサを設置し10000時間まで内部抵抗の変化を測
定した結果を第２図に示す。図中１は本発明によ
つて得られた酸素センサ（第１表中の試＃１のも
の、２は焼結したジルコニア磁器に白金ペースト
を塗布焼付けた従来の酸素センサ、３は焼結した
ジルコニア磁器に白金を蒸着した従来の酸素セン
サである。 第１表の結果から明らかなように試＃１，２，
３，４，および５の酸素センサは10000サイクル
の加熱試験後強度の低下は少ないが、試＃６，
７，８，９，10，11，12，13，14および15の酸素
センサにおいては強度の低下がいちじるしい。そ
してこれらの酸素センサはジルコニア磁器組成、
立方晶ZrO3の含有率などが本発明の範囲から外
れている。
【表】
【表】
＊印は比較例を示す。
また第２図の内部抵抗の変化に示されるように
本発明の方法で電極を焼付けた酸素センサ(1)の場
合は、従来の方法により電極をつけた酸素センサ
の場合(2)および(3)よりも亜硫酸ガスに対し腐食さ
れにくいことが明らかであるる。これは仮焼成で
まだ多孔質状態にある成形体に電極材ペーストを
塗布したため電極材の一部は磁器内部に入り込み
一部が網目状に成形体の表面をおおうため焼付に
より接着力の強い電極が形成されるとともに、亜
硫酸ガスのような腐食性ガスに対しても腐食され
にくくさらに腐食されても電極材が磁器中に入り
込んでいるため丈夫で脱落がないためである。 本発明によれ、高酸素イオン伝導率、高熱衝撃
性、高温安定性を有する酸素センサを得ることが
できる。したがつてこの酸素センサは長期間断続
的に使用される一般熱器具に利用範囲を拡大する
ことができその効果は極めて大である。
また第２図の内部抵抗の変化に示されるように
本発明の方法で電極を焼付けた酸素センサ(1)の場
合は、従来の方法により電極をつけた酸素センサ
の場合(2)および(3)よりも亜硫酸ガスに対し腐食さ
れにくいことが明らかであるる。これは仮焼成で
まだ多孔質状態にある成形体に電極材ペーストを
塗布したため電極材の一部は磁器内部に入り込み
一部が網目状に成形体の表面をおおうため焼付に
より接着力の強い電極が形成されるとともに、亜
硫酸ガスのような腐食性ガスに対しても腐食され
にくくさらに腐食されても電極材が磁器中に入り
込んでいるため丈夫で脱落がないためである。 本発明によれ、高酸素イオン伝導率、高熱衝撃
性、高温安定性を有する酸素センサを得ることが
できる。したがつてこの酸素センサは長期間断続
的に使用される一般熱器具に利用範囲を拡大する
ことができその効果は極めて大である。
第１図は加熱試験装置において１サイクルにお
ける時間と温度との関係を示すグラフおよび第２
図は亜硫酸ガスを含む窒素ガス中における酸素セ
ンサの処理時間と内部抵抗との関係を示すグラフ
である。
ける時間と温度との関係を示すグラフおよび第２
図は亜硫酸ガスを含む窒素ガス中における酸素セ
ンサの処理時間と内部抵抗との関係を示すグラフ
である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 酸化ジルコニウム磁器の内外表面に電極を形
成してなる酸素センサにおいて、ZrO287.5〜91.0
重量％、Y2O38.5〜12.3重量％、SiO20.5重量％以
下およびAl2O30.2〜1.0重量％を含有し、かつ常
温における結晶相が立方晶結晶を95重量％以上含
有した酸化ジルコニウム磁器の焼結と同時に電極
を焼付けてなる酸素センサ。 ２ ZrO287.5〜91.0重量％、Y2O38.5〜12.3重量
％、SiO20.5重量％以下およびAl2O30.2〜1.0重量
％を含有し、かつ常温における結晶相が立方晶結
晶を95重量％以上含有した粒体を袋管状、円筒状
または板状に加圧成形し、該成形体を焼結温度以
下の温度で熱処理して形成した仮焼結成形体の内
外表面に高融点金属を主成分とする電極材を塗付
し、次いで仮焼結成形体をさらに高温に加熱し焼
結すと同時に電極材を焼付けて電極を形成するこ
とを特徴とする酸素センサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58106528A JPS59231442A (ja) | 1983-06-14 | 1983-06-14 | 酸素センサおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58106528A JPS59231442A (ja) | 1983-06-14 | 1983-06-14 | 酸素センサおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59231442A JPS59231442A (ja) | 1984-12-26 |
| JPH0436340B2 true JPH0436340B2 (ja) | 1992-06-15 |
Family
ID=14435890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58106528A Granted JPS59231442A (ja) | 1983-06-14 | 1983-06-14 | 酸素センサおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59231442A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5571648B2 (ja) * | 2011-12-12 | 2014-08-13 | 株式会社日本触媒 | ジルコニアシート |
| CN109574660B (zh) * | 2019-01-21 | 2022-01-21 | 东莞信柏结构陶瓷股份有限公司 | 陶瓷粉、陶瓷发热体及其制备方法与其在电子烟中的应用 |
| CN110436921B (zh) * | 2019-08-16 | 2022-03-15 | Oppo广东移动通信有限公司 | 陶瓷制品及其制备方法和电子设备 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56111455A (en) * | 1980-02-07 | 1981-09-03 | Nippon Denso Co Ltd | Solid electrolyte body for oxygen sensor |
| JPS5821157A (ja) * | 1981-07-29 | 1983-02-07 | Hitachi Chem Co Ltd | セラミツクセンサ−の製造法 |
| JPS5827049A (ja) * | 1981-08-12 | 1983-02-17 | Mitsubishi Electric Corp | 酸素ガス濃淡電池素体の製造方法 |
-
1983
- 1983-06-14 JP JP58106528A patent/JPS59231442A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56111455A (en) * | 1980-02-07 | 1981-09-03 | Nippon Denso Co Ltd | Solid electrolyte body for oxygen sensor |
| JPS5821157A (ja) * | 1981-07-29 | 1983-02-07 | Hitachi Chem Co Ltd | セラミツクセンサ−の製造法 |
| JPS5827049A (ja) * | 1981-08-12 | 1983-02-17 | Mitsubishi Electric Corp | 酸素ガス濃淡電池素体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59231442A (ja) | 1984-12-26 |
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