JPH04362548A - 光ディスク原盤現像装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光ディスク原盤にレー
ザビームを照射するレーザ装置と、光ディスク原盤から
の回折光を受光する光検出器とを含んで構成される現像
進捗状況モニター手段が備えられた光ディスク原盤の現
像装置に係り、特に、レーザ装置より光ディスク原盤に
照射されるモニター用レーザビームの入射位置に関する
。

【０００２】

【従来の技術】光学式ビデオディスク、光学式オーディ
オディスク、コンピュータ用光ディスクメモリなどのい
わゆる光ディスクは、光ディスクに形成されるべきピッ
ト列や案内溝に対応する凹凸パターンが形成された光デ
ィスク原盤より複製される。光ディスク原盤は、研摩さ
れたガラス板の片面にフォトレジスト層を形成したもの
であって、光ディスクに形成されるべきピット列や案内
溝に対応するパターンをフォトレジスト層に露光した後
、その露光部分を現像処理によって取り除くことによっ
て、光ディスクに形成されるべきピット列や案内溝に対
応する凹凸パターンがフォトレジスト層に形成される。

【０００３】ピット列を構成する各ピットや案内溝の深
さおよび幅は、レーザ光による情報検出の精度に密接に
関連するから、光ディスク原盤のフォトレジスト層に形
成される凹凸パターンの深さおよび幅も、複製の際に生
じる寸法変化等を考慮して所定の寸法に形成されなくて
はならない。光ディスク原盤のフォトレジスト層に形成
される凹凸パターンの深さおよび幅は、現像液の濃度や
温度それに現像時間等によって変化するから、所望の寸
法の凹凸パターンを形成するためには、現像の進捗状況
をモニターし、所望の寸法の凹凸パターンが形成された
段階で現像を終了するようにすることが好ましい。

【０００４】従来より、例えば特公平２−４３２５８号
公報および特公平２−４３２５９号公報に記載されてい
るように、現像の進捗状況をモニターするモニター手段
として、光ディスク原盤にレーザビームを照射するレー
ザ装置と、光ディスク原盤からの回折光を受光する光検
出器とを含んで構成されるものが知られている。このモ
ニター手段は、光ディスク原盤を重力方向に対して所定
角度傾斜させて設定し、モニター用のレーザビームを所
定角度傾斜した方向からフォトレジスト層に入射し、そ
のレーザビーム入射位置を現像液が供給されるべき位置
より重力方向の高い位置に設定している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、光ディスク
原盤を重力方向に対して所定角度傾斜させた状態で回転
駆動すると、光ディスク原盤に対する重力の作用方向が
光ディスク原盤の周方向位置によって順次変動するため
、光ディスク原盤が振動しやすく、フォトレジスト層に
塗布された現像液膜が振動しやすくなる。このため、現
像液の膜厚が不均一になって回折光の強度が変動しやす
くなり、正確なモニターを行うことができないという不
都合を生じやすい。

【０００６】かように、上記した従来の現像装置は、モ
ニター用レーザビームの入射位置と光ディスク原盤上の
現像液の流れとの関係が全く考慮されておらず、正確な
現像状況のモニターを行なうことができない。

【０００７】本発明は、かかる従来技術の不備を解消す
るためになされたものであって、構造が簡単で、正確に
現像の進捗状況をモニターし得る光ディスク原盤の現像
装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記の目的を
達成するため、光ディスク原盤を回転駆動するターンテ
ーブルと、ターンテーブルに取付けられた光ディスク原
盤のフォトレジスト面に向けて現像液および純水を吐出
するノズルと、現像の進捗状況をモニターするモニター
手段とを備え、そのモニター手段が光ディスク原盤にレ
ーザビームを照射するレーザ装置と、光ディスク原盤か
らの回折光を受光する光検出器とを含んで構成される光
ディスク原盤現像装置において、前記ターンテーブルを
回転駆動しつつ前記ノズルより現像液を吐出したとき、
前記光ディスク原盤上の前記現像液の流れが層流となる
領域に、前記レーザ装置より前記光ディスク原盤に入射
されるレーザビームの入射位置を設定した。

【０００９】

【作用】モニター用のレーザビームの入射位置を現像液
の流れが層流となる領域に設定すると、凹凸パターンか
ら出る回折光が現像液の流れによって散乱されにくくな
るので、正確なモニターを行うことができる。

【００１０】

【実施例】図１は光ディスク原盤現像装置の平面図であ
り、図２は図１のＡＯＢ方向断面図である。これらの図
において、１は現像槽の外枠、２は現像槽の内枠、３は
外枠１の底面下方に取付けられたモータ、４は外枠１の
底面を貫通して先端部が内枠２内に突出されたモータの
主軸、５は主軸４の先端部に取付けられたターンテーブ
ル、６はターンテーブル５に着脱可能に取付けられた光
ディスク原盤、７は光ディスク原盤６の上面に形成され
たフォトレジスト層６ａと所定の間隔を隔ててその上方
に配置されたノズル、８はモニター用レーザビームの入
射位置を示している。

【００１１】ターンテーブル３は、図２に示すように、
光ディスク原盤取付部が水平方向に設定されており、フ
ォトレジスト層６ａを上向きにして、光ディスク原盤６
を水平に取付けられるようになっている。

【００１２】ノズル７は、光ディスク原盤６の半径より
も長い直棒状をなし、光ディスク原盤６と対向する部分
に複数個の吐出孔（図示せず）が開設されている。この
ノズル７の基端部は、外枠１と内枠２の間に回動可能に
取付けられており、現像液または純水の吐出時には、図
１に実線で示すように光ディスク原盤６の半径方向位置
まで回動され、非現像工程においては、図１に破線で示
すように光ディスク原盤６と対向しない位置まで回動さ
れて、ターンテーブル５への光ディスク原盤６の取付け
を容易にしている。ノズル７には、切換弁１７を介して
現像液供給管１８と純水供給管１９とが接続されており
、所定の現像を終了した後、切換弁１７を純水供給管１
９側に切り換えてノズル７より純水を吐出し、定着を行
う。

【００１３】前記ノズル７の寸法や現像液の導入方式、
吐出孔の配列や直径、それに現像液の吐出流量等は、現
像しようとする光ディスク原盤の直径等に応じて適宜変
更することができるが、以下に好ましい実施例を２例あ
げる。

【００１４】■現像しようとする光ディスク原盤の直径
が５インチである場合；ノズルの全長を１００ｍｍとし
、光ディスク原盤と対向する部分に６ｍｍピッチで１４
個の吐出孔を開設する。吐出孔は、ノズルの先端側に開
設されるものほど直径が小さく、ノズルの基端側に開設
されるものほど直径が大きくなるように開設され、ノズ
ル最先端部の吐出孔の直径を１．０ｍｍ、ノズル最基端
部の吐出孔の直径を２．０ｍｍとする。ノズルの内部を
長手方向に２つの部屋に分割し、ノズル先端部で連通す
る。すなわち、図２に示すように、ノズルの基端側から
ノズル内に導入された現像液または純水を一旦ノズルの
先端部まで送り、それから吐出孔が開設された部屋に導
入して吐出孔から噴射できるようにする。そして、最先
端部の吐出孔を光ディスク原盤の回転中心から半径１２
ｍｍの位置に、また前記最基端部の吐出孔を光ディスク
原盤の回転中心から半径９０ｍｍの位置に位置付け、ノ
ズルより毎分１．０リットルの現像液を吐出する。

【００１５】■現像しようとする光ディスク原盤の直径
が１２インチである場合；ノズルの全長を１００ｍｍと
し、光ディスク原盤と対向する部分に６ｍｍピッチで１
６個の吐出孔を開設する。吐出孔は、ノズルの先端側に
開設されるものほど直径が小さく、ノズルの基端側に開
設されるものほど直径が大きくなるように開設され、ノ
ズル最先端部の吐出孔の直径を１．１ｍｍ、ノズル最基
端部の吐出孔の直径を１．７ｍｍとする。ノズルの内部
を長手方向に２つの部屋に分割し、ノズル先端部で連通
する。すなわち、図２に示すように、ノズルの基端側か
らノズル内に導入された現像液または純水を一旦ノズル
の先端部まで送り、それから吐出孔が開設された部屋に
導入して吐出孔から噴射できるようにする。そして、最
先端部の吐出孔を光ディスク原盤の回転中心から半径６
０ｍｍの位置に、また前記最基端部の吐出孔を光ディス
ク原盤の回転中心から半径１５０ｍｍの位置に位置付け
、ノズルより毎分１．０リットルの現像液を吐出する。

【００１６】モニター用レーザビームの入射位置８は、
図１に示すように、ノズル７の設定位置とターンテーブ
ルの回転中心Ｏを通る光ディスク原盤６の直径線Ａ−Ａ
´を介してノズル７の設定位置よりも上流側の、ノズル
７の回動領域外に設定される。その理由は、光ディスク
原盤６を回転駆動してノズル７より現像液を吐出した場
合、図１に示すように、ノズル７の設定位置とターンテ
ーブルの回転中心Ｏを通る光ディスク原盤６の直径線Ａ
−Ａ´を介してノズル７の設定位置よりも下流側には、
現像液が渦巻状をなして流れる乱流領域２１が形成され
、その後の領域では、余剰の現像液が振り切られて現像
液の流れが層流になり、安定で信頼性の高いモニターを
行うことができることが実験により確認されているから
である。また、ノズル７との干渉を避けるため、ノズル
７の回動領域外に設定される。

【００１７】なお、モニター用レーザビームの入射位置
は、図１に示す層流領域２３のいずれにも設定すること
ができるが、乱流領域２１にあまり近い部分では、現像
液の膜厚が厚いために回折光が散乱等されやすく、正確
なモニターが難しい場合がある。また、ノズル７の回動
領域にあまり近い部分では、ノズル７からの液垂れによ
って誤差を生じ、正確なモニターが難しい場合がある。 かかる事情を考慮して、図１のＯ−Ｂ線上あたりにレー
ザビーム入射位置を設定することが特に好ましい。また
、図１に示すように、ノズル７の上流側に液跳ねによる
乱流領域２２が形成される場合には、この領域２２を避
けてレーザビーム入射位置を設定する。さらに、ノズル
７が前記のように回動しない現像装置については、ノズ
ル７の設定位置とターンテーブルの回転中心Ｏを通る光
ディスク原盤６の直径線Ａ−Ａ´を介してノズル７の設
定位置よりも上流側のいずれの部分にもレーザビーム９
の入射位置を設定することができる。

【００１８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
モニター用レーザビームの入射位置を現像液の流れの層
流領域に設定したので、凹凸パターンから出る回折光が
現像液の流れによって散乱されにくく、正確なモニター
を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る光ディスク原盤現像装置の一例を
示す平面図である。

【図２】図１のＡＯＢ方向断面図である。

【符号の説明】

５　　ターンテーブル ６　　光ディスク原盤 ６ａ　　フォトレジスト層 ７　　ノズル ８　　レーザビーム入射位置

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　光ディスク原盤を回転駆動するターン
   テーブルと、ターンテーブルに取付けられた光ディスク
   原盤のフォトレジスト面に向けて現像液および純水を吐
   出するノズルと、現像の進捗状況をモニターするモニタ
   ー手段とを備え、そのモニター手段が光ディスク原盤に
   レーザビームを照射するレーザ装置と、光ディスク原盤
   からの回折光を受光する光検出器とを含んで構成される
   光ディスク原盤現像装置において、前記ターンテーブル
   を回転駆動しつつ前記ノズルより現像液を吐出したとき
   、前記光ディスク原盤上の前記現像液の流れが層流とな
   る領域に、前記レーザ装置より前記光ディスク原盤に入
   射されるレーザビームの入射位置を設定したことを特徴
   とする光ディスク原盤現像装置。
2. 【請求項２】　　請求項１記載において、前記ターンテ
   ーブルを水平に設定すると共に、前記レーザ装置より前
   記光ディスク原盤に入射されるレーザビームの入射角度
   を垂直に設定したことを特徴とする光ディスク原盤現像
   装置。
3. 【請求項３】　　請求項１記載において、前記ノズルと
   して、前記光ディスク原盤の半径よりも長い棒状をなし
   、前記光ディスク原盤と対向する部分に複数個の吐出孔
   が開設されたものを用い、このノズルの基端部を前記光
   ディスク原盤の設定領域外に回動可能に取付けて、前記
   上流側より前記所定の設定位置まで前記ノズルの先端部
   を回動できるようになし、前記モニター用のレーザビー
   ムの入射位置を、前記ノズルの設定位置と前記ターンテ
   ーブルの回転中心を通る前記光ディスク原盤の直径線を
   介して前記ノズルの設定位置よりも上流側の、前記ノズ
   ルの回動領域外に設定したことを特徴とする光ディスク
   原盤現像装置。