JP2613578B2 - 光ディスクの現像装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光ディスクの現像装置で現像の進行度合をモ
ニタする装置に関する。

〔従来の技術〕

第４図は従来例による光ディスクの現像装置で、現像
モニタ方法を示す概念図である。

図においてガラス原盤１は記録されたフォトレジスト
面を上面にしてモータ14に取り付けられ、ほぼ水平状態
で回転している。ガラス原盤１の上面で近接した位置に
現像液を流出する現像液ノズル２があり、この現像液ノ
ズル２は揺動モータ４によって円弧を描くように移動す
る。He−Neレーザの光源15より発射した光ビーム20は、
反射鏡16によって光路を曲げられガラス原盤１の下面に
照射する。照射した光ビーム20はガラス原盤１を通過し
フォトレジスト面で回折し回折光として０次光21,1次光
22,−１次光23を生じる。これらの回折光は対応する受
光素子17,18,19によって検出し出力する。

以上の構成をもつ光ディスクの現像装置は、ガラス原
盤１の上面に記録されたフォトレジスト面に現像液を均
一に塗布し、現像を行う。このフォトレジスト面の現像
の進行に伴って現れてくるピット構造ち、フォトレジス
トに感光しない波長をもつHe−Neレーザの光りビーム20
を照射し、ピット構造を回折格子として作用させる。こ
のピット構造によって回折した１次光22を検出した受光
素子17の出力、または、−１次光23を検出した受光素子
19の出力と、０次光を検出した受光素子18の出力の比率
はピットの形成度合を示し、現像の進行状態をモニタす
ることができる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら従来方法では、ガラス原盤に記録された
ピットまたは溝による回折光の比率をモニタしているの
で、再生する場合に用いる光ピックアップによる反射光
の変化を検出するのと異なり、現像後の再生信号が所望
の値にならないことがある。また、現像液をガラス原盤
に滴下し、ガラス原盤を回転させている状態で回折光に
より現像の進行状態をモニタするため、モニタしている
部分の現像液が流動し、回折光のモニタ強度が安定せ
ず、正確に現像の進行状態を検出できなかった。また、
現像液が霧状となり回折光の光路を妨害し、回折光のモ
ニタ強度が安定せず、正確に現像の進行状態を検出でき
なかった。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明による光ディスクの現像装置は、現像中のガラ
ス原盤上に光ビームを集束照射し前記ガラス原盤からの
反射光量により現像の進行度合を検出する光ピックアッ
プと、該光ピックアップの前記光ビームの集束照射位置
の周囲に圧縮空気を吐出し空気膜を形成するエアノズル
とを具備することを特徴としたものである。また、本発
明による光ディスクの現像装置は、現像中のガラス原盤
上に光ビームを集束照射し前記ガラス原盤からの反射光
量により現像の進行度合を検出する光ピックアップと、
前記ガラス原盤に対して前記光ビームの集束照射位置が
進む方向の前方及び側面に圧縮空気を吐出して空気膜を
形成し前記集束照射位置の後方に開口部を有するエアノ
ズルとを具備することを特徴としたものである。

〔作用〕

そのためガラス原盤に近接させたエアノズルより圧縮
空気の空気流を吐出させることにより、エアノズルのガ
ラス原盤との間に空気膜を形成することができる。空気
膜によりエアノズルの内側（光ピックアップの周辺）へ
の現像液の進入を防止し、ガラス原盤上の現像液を部分
的に排除することができる。そして、ガラス原盤上に再
生時に用いられる光ピックアップと同様の光ピックアッ
プから出射された光ビームを集束照射し、そのガラス原
盤からの反射光により、記録面の現像状態を再生時と同
様にピットまたは溝からの反射光量として直接モニタで
きるため、現像後の再生信号を所望の値とすることがで
きる。

〔実施例〕

第１図に本発明の一実施例を示す現像装置の概略を第
２図に主要部の断面を示す。

現像方法は従来例と同様なため説明を省略する。

ガラス原盤１の上面に近接して設置されるエアノズル
ボディ５は、圧縮空気の圧力に耐えられる構造をもち、
中心部が中空の四角形を形成し、その中空部に光ピック
アップ６を設置している。またエアノズルボディ５の内
部は空気通路10があり、環状に形成している。そしてエ
アノズルボディ５の底面には空気通路10に対応した環状
の溝12があり、空気通路10と空気連絡孔11で継がってい
る。空気連絡孔11は環状の空気通路10に対し、略等分で
数本設けられている。溝12はいわゆる空気だまりでエア
ノズルボディ５の厚さより小さい幅を有し適度な深さを
形成している。そしてエアノズルは、エアノズルボディ
５の底面とガラス原盤１との間隔13で形成されている。

圧縮空気は、外部よりエアホース９を通じて空気通路
10に供給される。またエアノズルボディ５は、モータ８
と該モータ８の回転軸に連結した送りネジ７とによって
上下方向に可動する。

エアノズルボディ５の中空部に設置した光ピックアッ
プ６はフォーカス誤差検出器（図示せず）を有してい
る。光ピックアップ６は、ガラス原盤１に光ビームを集
束照射し、ガラス原盤１からの反射光をフォーカス誤差
検出器で検出することにより、フォーカス位置で信号を
検出することができる。また、フォーカス位置では、エ
アノズルボディ５の底面とガラス原盤１の上面との間隔
13は0.2mm以下に設定できるように調整されてエアノズ
ルを形成している。

現像液は現像液タンク（図示せず）より供給し、ノズ
ルアーム３を通って現像液ノズル２よりガラス原盤１に
吐出する。そして、前記ノズルアーム３は、揺動モータ
４によって左右に移動し、先端の現像液ノズル２は、ガ
ラス原盤１の上を円弧状の軌跡を描きながら現像液を吐
出する。

以上の構成において、モータ８を駆動し、エアノズル
ボディ５を上方に移動させ、フォトレジスト面に信号を
記録したガラス原盤１をターンテーブル（図示せず）に
設置する。そして、モータ８を駆動しエアノズルボディ
５をフォーカス位置まで降下させる。エアノズルボディ
５に具備している光ピックアップ６のフォーカス位置検
出器によってフォーカス位置を検出すると、その出力信
号によってモータ８を停止させる。また前記出力信号に
よって圧縮空気が供給を開始し、エアノズルボディ５の
底面とガラス原盤１の間に空気膜を形成する。空気膜
は、エアノズルボディ５から吐出され、光ピックアップ
６を囲むように形成されるため、エアノズルボディ５よ
り内側に現像液が侵入することがなく、ガラス原盤１の
回転数を変化させた場合でも、圧縮空気の吐出力や圧縮
空気を吐出する場所を変化させる必要がない。また、エ
アノズルボディ５から吐出された圧縮空気は、エアノズ
ルボディ５とガラス原盤１との間に空気膜を形成すると
共に、ガラス原盤１により反射され、エアノズルボディ
５の上方からの現像液等の侵入も防止する。すなわち、
エアノズルボディ５より吐出された圧縮空気は、ガラス
原盤１に反射してエアノズルボディ５の内側から外側に
向かって流出する。そのため、エアノズルボディ５の外
側で浮遊している霧状の現像液は、ガラス原盤により反
射された圧縮空気により押し出され、エアノズルボディ
５内に侵入することがない。

空気膜が形成されると、ガラス原盤１はモータ14によ
って回転する。また揺動モータ４も駆動してノズルアー
ム３が左右に動き、現像液ノズル２より現像液が吐出す
る。現像液ノズル２はガラス原盤１の上方で円弧を描き
ながら左右に移動し、現像液を均一に吐出する。しかし
空気膜が形成されたエアノズルボディ５の内部は、その
空気流によって現像液が侵入できず、現像液のない部分
ができる。

現像液が吐出されると、ガラス原盤１のフォトレジス
ト面は現像が始まり、光ピックアップ６に再生信号が出
力し始める。この光ピックアップの光の波長は780nmか
ら850nmでガラス原盤１のフォトレジストの感光する波
長350nmから500nmより長いため記録したフォトレジスト
面に影響を与えない。現像の進行とともに光ピックアッ
プの出力も増大し、出力レベルがモニタ最適出力レベル
に達すると、現像液の供給を停止する。現像液が停止す
ると、空気の供給も停止し、エアノズルボディ５がモー
タ８によって上昇し、現像が終了する。

次に応用例を第３図a,b,cに示す。

この応用例では、光ピックアップ６の対物レンズアク
チュエータ33の近傍に空気流の膜を形成させるものであ
る。つまり、ガラス原盤１が回転することにより、ガラ
ス原盤１に対して光ピックアップ６が進む方向に空気流
の膜を形成するものである。エアノズルボディ32は、光
ピックアップ６の前方（光ピックアップ６がガラス原盤
１に対して進む方向）及びその両側を囲むようにコの字
型に配置されている。つまり、光ピックアップ６の後方
（光ピックアップ６の進む方向に対して、光ピックアッ
プ６の後ろ側）にコの字型の開口部が位置するように配
置され、対物レンズアクチュエータ33の近傍で、アクチ
ュエータベーズ34に固定している。ノズルはエアノズル
ボディ32の底面に位置し、対物レンズアクチュエータ33
をコの字型に囲む連続したスリット35になっている。こ
のスリット35に導かれる空気通路は、その直前にスリッ
ト35に対応した空気だまり36と呼ばれる空室を有してい
る。そして空気だまり36へ数本の空気通路37が継ってい
て、この数本の空気通路37が１本の空気通路にまとまっ
て外部の圧縮空気を送る管に連結している。

外部より供給される圧縮空気は前記スリット35より吐
出し、対物レンズアクチュエータ33をコの字型に囲むよ
うに空気流による膜を形成する。コの字型のエアノズル
ボディ32は、ガラス原盤１に対して対物レンズアクチュ
エータ33が進む方向の前方及び両側面に空気膜を形成
し、対物レンズアクチュエータ33の後方には空気膜を形
成しない。しかし、ガラス原盤１が回転しているため、
現像液がエアノズルボディ32内の対物レンズアクチュエ
ータ33の部分にまで流れ込むことがない。そのため前述
の実施例のようにガラス原盤１とエアノズルボディ32の
底面の間隔を極端に狭くする必要がないので、モニタ検
出部を上下させる精密な送り機構を設けなくてもよい。

この応用例では、モニタ検出部の移動機構を光ピック
アップのフォーカス位置でガラス原盤１に平行移動する
機構とし、ガラス原盤１の外周より外側まで移動するよ
うにした。そのためガラス原盤１をターンテーブルに載
せやすくなり、作業性が良好になる。

なお、光ピックアップはフォーカス制御機構があるの
でモニタ検出部が上下方向に多少変化しても光ビームを
十分集束させることができる。エアノズルボディ32の形
状は前記のコの字型のほか、Ｕ字型や直線状にして対応
したスリット形状のノズルで空気膜を形成させてもよ
い。

〔発明の効果〕

本発明による現像装置を用いることにより、ガラス原
盤の現像状態をCDプレーヤ等の再生装置と同様の光ピッ
クアップで再生，確認できるので、正確な現像処理を行
うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す現像装置の概略図、第
２図は本発明の一実施例の要部を説明する断面図、第３
図acは本発明の応用例を示す概略図、第３図ｂは第３図
ａの要部断面図、第４図は従来例を示す概略図である。 １……ガラス原盤、２……現像液ノズル ５……エアノズルボディ、６……光ピックアップ

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】光ディスクの現像装置において、現像中の
   ガラス原盤上に光ビームを集束照射し前記ガラス原盤か
   らの反射光量により現像の進行度合を検出する光ピック
   アップと、該光ピックアップの前記光ビームの集束照射
   位置の周囲に圧縮空気を吐出し空気膜を形成するエアノ
   ズルとを具備することを特徴とする光ディスクの現像装
   置。
2. 【請求項２】光ディスクの現像装置において、現像中の
   ガラス原盤上に光ビームを集束照射し前記ガラス原盤か
   らの反射光量により現像の進行度合を検出する光ピック
   アップと、前記ガラス原盤に対して前記光ビームの集束
   照射位置が進む方向の前方及び側面に圧縮空気を吐出し
   て空気膜を形成し前記集束照射位置の後方に開口部を有
   するエアノズルとを具備することを特徴とする光ディス
   クの現像装置。