JPH0436243U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0436243U JPH0436243U JP7761090U JP7761090U JPH0436243U JP H0436243 U JPH0436243 U JP H0436243U JP 7761090 U JP7761090 U JP 7761090U JP 7761090 U JP7761090 U JP 7761090U JP H0436243 U JPH0436243 U JP H0436243U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafers
- carrier
- stores
- outer peripheral
- compressed air
- Prior art date
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- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 239000012050 conventional carrier Substances 0.000 description 1
Description
第１図は、この考案の一実施例を示す半導体ウ
エーハ用キヤリアの斜視図、第２図は、回転ロー
ラの外形図、第３図、第４図は、オリフラを揃え
る動作状態を示す断面図、第５図は、従来の半導
体ウエーハ用キヤリアの斜視図である。 １……スリツト、２……ストツパ、３……側板
、４……側板（突起付）、５……丸棒、６……回
転ローラ、６ａ……ローラ本体、７……回転具、
８……ボール、９……ボールストツパ、１０……
半導体ウエーハ、１１……オリフラ。
エーハ用キヤリアの斜視図、第２図は、回転ロー
ラの外形図、第３図、第４図は、オリフラを揃え
る動作状態を示す断面図、第５図は、従来の半導
体ウエーハ用キヤリアの斜視図である。 １……スリツト、２……ストツパ、３……側板
、４……側板（突起付）、５……丸棒、６……回
転ローラ、６ａ……ローラ本体、７……回転具、
８……ボール、９……ボールストツパ、１０……
半導体ウエーハ、１１……オリフラ。
Claims (1)
- 半導体ウエーハを複数枚収納するキヤリアにお
いて、キヤリアのウエーハ外周縁挿入スリツト近
傍下部に圧縮空気により回転するローラを設けた
ことを特徴とする半導体ウエーハ用キヤリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7761090U JPH0436243U (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7761090U JPH0436243U (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0436243U true JPH0436243U (ja) | 1992-03-26 |
Family
ID=31620157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7761090U Pending JPH0436243U (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0436243U (ja) |
-
1990
- 1990-07-20 JP JP7761090U patent/JPH0436243U/ja active Pending