JPS63110038U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63110038U JPS63110038U JP198387U JP198387U JPS63110038U JP S63110038 U JPS63110038 U JP S63110038U JP 198387 U JP198387 U JP 198387U JP 198387 U JP198387 U JP 198387U JP S63110038 U JPS63110038 U JP S63110038U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- small piece
- stage
- positioning
- die bonder
- positioning device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 2
Description
第１図は本考案の一実施例を示す斜視図、第２
図は第１図中のステージの要部断面図、第３図は
従来装置を示す斜視図である。 図中、１はチツプ、２は位置決め爪、３はステ
ージ、４は真空穴である。なお図中、同一符号は
同一、又は相当部分を示す。
図は第１図中のステージの要部断面図、第３図は
従来装置を示す斜視図である。 図中、１はチツプ、２は位置決め爪、３はステ
ージ、４は真空穴である。なお図中、同一符号は
同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 小片を吸着移送する前に予めステージ上に小片
を位置決めするダイボンダの小片位置決め装置に
おいて、小片をＸ方向とＹ方向で位置決めする爪
、及び位置決め位置に設けられ、小片を真空吸着
する真空穴を有したステージを備えたことを特徴
とするダイボンダの小片の位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP198387U JPS63110038U (ja) | 1987-01-09 | 1987-01-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP198387U JPS63110038U (ja) | 1987-01-09 | 1987-01-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63110038U true JPS63110038U (ja) | 1988-07-15 |
Family
ID=30780396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP198387U Pending JPS63110038U (ja) | 1987-01-09 | 1987-01-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63110038U (ja) |
-
1987
- 1987-01-09 JP JP198387U patent/JPS63110038U/ja active Pending