JPS63157939U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63157939U JPS63157939U JP5057487U JP5057487U JPS63157939U JP S63157939 U JPS63157939 U JP S63157939U JP 5057487 U JP5057487 U JP 5057487U JP 5057487 U JP5057487 U JP 5057487U JP S63157939 U JPS63157939 U JP S63157939U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- positioning device
- wafer positioning
- cassette stage
- move
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第1図は本考案に係るウエハ位置決め装置の一
部断面側面図、第2図A,B,Cは実施例の動作
を説明するための図、第3図a,bは従来のウエ
ハ位置決め装置を示す概略構成図、第4図はカセ
ツトの平面図、第5図はカセツトの一部を拡大し
て示す斜視図、第6図はカセツト内でのウエハの
状態を説明するためのカセツトの縦断側面図であ
る。 1……ウエハ、1a……フアセツト、2……カ
セツト、3……カセツト溝、5……回転ローラ、
11a……カセツトステージ。
部断面側面図、第2図A,B,Cは実施例の動作
を説明するための図、第3図a,bは従来のウエ
ハ位置決め装置を示す概略構成図、第4図はカセ
ツトの平面図、第5図はカセツトの一部を拡大し
て示す斜視図、第6図はカセツト内でのウエハの
状態を説明するためのカセツトの縦断側面図であ
る。 1……ウエハ、1a……フアセツト、2……カ
セツト、3……カセツト溝、5……回転ローラ、
11a……カセツトステージ。
Claims (1)
- カセツト内に収納したウエハを、カセツトステ
ージに設けた回転ローラによつてウエハのフアセ
ツト方向を揃えるウエハ位置決め装置において、
前記カセツトステージを傾動自在に設けると共に
、回転ローラを昇降自在かつ軸線方向に進退自在
に設けたことを特徴とするウエハ位置決め装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5057487U JPS63157939U (ja) | 1987-04-02 | 1987-04-02 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5057487U JPS63157939U (ja) | 1987-04-02 | 1987-04-02 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63157939U true JPS63157939U (ja) | 1988-10-17 |
Family
ID=30874061
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5057487U Pending JPS63157939U (ja) | 1987-04-02 | 1987-04-02 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63157939U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0723272U (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-25 | 九州コマツ電子株式会社 | 半導体ウェハの目視検査装置 |
-
1987
- 1987-04-02 JP JP5057487U patent/JPS63157939U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0723272U (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-25 | 九州コマツ電子株式会社 | 半導体ウェハの目視検査装置 |