JPH0170340U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0170340U JPH0170340U JP1987165975U JP16597587U JPH0170340U JP H0170340 U JPH0170340 U JP H0170340U JP 1987165975 U JP1987165975 U JP 1987165975U JP 16597587 U JP16597587 U JP 16597587U JP H0170340 U JPH0170340 U JP H0170340U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- wafer
- block
- pitch
- fixing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案の実施例の側面図、第２図本考
案の実施例の斜視図、第３図はキヤリアの斜視図
、第４図は従来の方式を示す側面図である。 １……固定台、２……ブロツク、３……リフタ
ーブロツク、４……キヤリア、５……ウエハー、
６……キヤリア、７……固定台、８……駆動系。
案の実施例の斜視図、第３図はキヤリアの斜視図
、第４図は従来の方式を示す側面図である。 １……固定台、２……ブロツク、３……リフタ
ーブロツク、４……キヤリア、５……ウエハー、
６……キヤリア、７……固定台、８……駆動系。
Claims (1)
- ウエハーを収納したキヤリアを固定する台にお
いて、キヤリア位置を規制する位置決めブロツク
とキヤリア内ウエハーピツチと等しいピツチのミ
ゾをもつたブロツクがキヤリア下側開口部に固定
されたことを特徴とするキヤリア内ウエハーリフ
ター付キヤリア固定台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987165975U JPH0170340U (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987165975U JPH0170340U (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0170340U true JPH0170340U (ja) | 1989-05-10 |
Family
ID=31452948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987165975U Pending JPH0170340U (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0170340U (ja) |
-
1987
- 1987-10-29 JP JP1987165975U patent/JPH0170340U/ja active Pending