JPH0373450U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0373450U JPH0373450U JP13577689U JP13577689U JPH0373450U JP H0373450 U JPH0373450 U JP H0373450U JP 13577689 U JP13577689 U JP 13577689U JP 13577689 U JP13577689 U JP 13577689U JP H0373450 U JPH0373450 U JP H0373450U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- silicon wafer
- contact
- vacuum suction
- suction plate
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Description
第1図a,bは本考案の第1の実施例の平面図
及びA−A′線断面図、第2図a,bは本考案の
第2の実施例の平面図及びB−B′線断面図であ
る。 1……ハンドリング棒、2……スイツチ、3…
…ウエーハ吸着板、4……真空チユーブ、5……
挿入ストツパ、6……スライド式挿入ストツパ、
7……ウエーハ。
及びA−A′線断面図、第2図a,bは本考案の
第2の実施例の平面図及びB−B′線断面図であ
る。 1……ハンドリング棒、2……スイツチ、3…
…ウエーハ吸着板、4……真空チユーブ、5……
挿入ストツパ、6……スライド式挿入ストツパ、
7……ウエーハ。
Claims (1)
- 半導体の材料であるシリコンウエーハをハンド
リングするためのウエーハ吸着板を有する真空吸
着チヤツクにおいて、前記シリコンウエーハの外
周に当接し、前記ウエーハ吸着板の前記シリコン
ウエーハとの接触位置決めを行う挿入ストツパを
設けたことを特徴とする真空吸着チヤツク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13577689U JPH0373450U (ja) | 1989-11-21 | 1989-11-21 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13577689U JPH0373450U (ja) | 1989-11-21 | 1989-11-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0373450U true JPH0373450U (ja) | 1991-07-24 |
Family
ID=31683021
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13577689U Pending JPH0373450U (ja) | 1989-11-21 | 1989-11-21 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0373450U (ja) |
-
1989
- 1989-11-21 JP JP13577689U patent/JPH0373450U/ja active Pending