JPH04358804A - セラミック基板の製造方法 - Google Patents
セラミック基板の製造方法Info
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- JPH04358804A JPH04358804A JP3134047A JP13404791A JPH04358804A JP H04358804 A JPH04358804 A JP H04358804A JP 3134047 A JP3134047 A JP 3134047A JP 13404791 A JP13404791 A JP 13404791A JP H04358804 A JPH04358804 A JP H04358804A
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 8
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 9
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 26
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 abstract 2
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 abstract 2
- 102100027340 Slit homolog 2 protein Human genes 0.000 description 5
- 101710133576 Slit homolog 2 protein Proteins 0.000 description 5
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Press-Shaping Or Shaping Using Conveyers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミック基板(特に
チップ抵抗器用のセラミック基板)の製造方法に関する
。
チップ抵抗器用のセラミック基板)の製造方法に関する
。
【0002】
【従来の技術】従来、セラミック基板、特にチップ抵抗
器用のセラミック基板は、一般に図4に示すように製造
する。まず、所定サイズのセラミック基板を得るのに必
要な幅及び肉厚に成形したアルミナ(酸化アルミニウム
)からなるグリーンシートW〔図2(a)参照〕を、巻
取ローラ10に巻き取っておく。この巻取ローラ10か
ら送りローラ11を介してプレス金型20にシートWを
送り込む。プレス金型20は、規定の格子状ブレード(
図示せず)を有する上パンチ21と、上パンチ21に対
応する形状の下パンチ22とを備える。このプレス金型
20を用いたプレス加工によって、図2(b)に示すよ
うに、グリーンシートWに規定の格子状スリット2を形
成すると同時に、規定寸法の個別シート1を打抜く。 更に、打抜いた個別シート1を焼成することでセラミッ
ク基板を得る〔図2(c)参照〕。
器用のセラミック基板は、一般に図4に示すように製造
する。まず、所定サイズのセラミック基板を得るのに必
要な幅及び肉厚に成形したアルミナ(酸化アルミニウム
)からなるグリーンシートW〔図2(a)参照〕を、巻
取ローラ10に巻き取っておく。この巻取ローラ10か
ら送りローラ11を介してプレス金型20にシートWを
送り込む。プレス金型20は、規定の格子状ブレード(
図示せず)を有する上パンチ21と、上パンチ21に対
応する形状の下パンチ22とを備える。このプレス金型
20を用いたプレス加工によって、図2(b)に示すよ
うに、グリーンシートWに規定の格子状スリット2を形
成すると同時に、規定寸法の個別シート1を打抜く。 更に、打抜いた個別シート1を焼成することでセラミッ
ク基板を得る〔図2(c)参照〕。
【0003】プレス加工で形成したスリット2は、図3
にその拡大断面を示すように、上パンチ21のブレード
を打込むことによってできる刃形状の打込み部2aと、
ブレードを打込む時に発生するクラック部2bとで構成
される。
にその拡大断面を示すように、上パンチ21のブレード
を打込むことによってできる刃形状の打込み部2aと、
ブレードを打込む時に発生するクラック部2bとで構成
される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、プレス金型
20でプレス加工するに連れてブレードが漸次摩耗し、
ブレード摩耗の進行に伴いスリット2のクラック部2b
が生起しなくなる。クラック部2bはスリット2の構成
部分として重要であるため、ブレードが摩耗寿命に達す
ると、ブレードを研摩しなければならない。アルミナか
らなるグリーンシートWはかなり硬いため、通常は約8
万ショット(1ショットは1回のプレス加工動作)でブ
レードの摩耗寿命となり、相当に低いショット数でブレ
ードを研摩する必要がある。このため、従来の製造方法
では、ブレードの研摩費用が嵩む分だけセラミック基板
の製造コストが高くなり、セラミック基板の生産性も低
下するという問題がある。
20でプレス加工するに連れてブレードが漸次摩耗し、
ブレード摩耗の進行に伴いスリット2のクラック部2b
が生起しなくなる。クラック部2bはスリット2の構成
部分として重要であるため、ブレードが摩耗寿命に達す
ると、ブレードを研摩しなければならない。アルミナか
らなるグリーンシートWはかなり硬いため、通常は約8
万ショット(1ショットは1回のプレス加工動作)でブ
レードの摩耗寿命となり、相当に低いショット数でブレ
ードを研摩する必要がある。このため、従来の製造方法
では、ブレードの研摩費用が嵩む分だけセラミック基板
の製造コストが高くなり、セラミック基板の生産性も低
下するという問題がある。
【0005】従って、本発明の目的は、プレス金型の上
パンチに設けてあるブレードの摩耗寿命を延長すること
ができるセラミック基板の製造方法を提供することにあ
る。
パンチに設けてあるブレードの摩耗寿命を延長すること
ができるセラミック基板の製造方法を提供することにあ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明のセラミック基板の製造方法では、従来の製
造方法においてプレス加工前にグリーンシートを加熱す
ること、及び/又はプレス加工時にプレス金型を加熱す
ることを特徴とする。本発明の製造方法では、前記構成
から、態様■:プレス加工前にグリーンシートを加熱す
る、態様■:プレス加工時にプレス金型を加熱する、態
様■:態様■と■を併用する、の3つの態様がある。態
様■によれば、アルミナからなる硬いグリーンシートを
柔軟にしてからプレス加工に供するので、プレス加工時
に上パンチのブレードに加わる負担が軽くなり、ブレー
ドの摩耗寿命が長くなる。又、態様■によれば、グリー
ンシートの硬さに変化はないが、プレス金型の加熱によ
って上パンチのブレードが温まっているので、態様■と
同様にプレス加工時のブレードの負担が軽減し、ブレー
ドが延命になる。更に、態様■は態様■と■を組合せる
ため、ブレードが受ける負担が態様■又は■のみの場合
よりも一層減少し、ブレードの寿命延長が顕著になる。
に、本発明のセラミック基板の製造方法では、従来の製
造方法においてプレス加工前にグリーンシートを加熱す
ること、及び/又はプレス加工時にプレス金型を加熱す
ることを特徴とする。本発明の製造方法では、前記構成
から、態様■:プレス加工前にグリーンシートを加熱す
る、態様■:プレス加工時にプレス金型を加熱する、態
様■:態様■と■を併用する、の3つの態様がある。態
様■によれば、アルミナからなる硬いグリーンシートを
柔軟にしてからプレス加工に供するので、プレス加工時
に上パンチのブレードに加わる負担が軽くなり、ブレー
ドの摩耗寿命が長くなる。又、態様■によれば、グリー
ンシートの硬さに変化はないが、プレス金型の加熱によ
って上パンチのブレードが温まっているので、態様■と
同様にプレス加工時のブレードの負担が軽減し、ブレー
ドが延命になる。更に、態様■は態様■と■を組合せる
ため、ブレードが受ける負担が態様■又は■のみの場合
よりも一層減少し、ブレードの寿命延長が顕著になる。
【0007】本発明において、グリーンシートを加熱す
る温度は35〜45℃程度が好ましく、最適には約40
℃である。この程度の温度範囲であれば、シートを十分
に柔らかくすることができる上に、シートの特性に悪影
響を及ぼす心配がない。シートの加熱手段としては、以
下の実施例に述べる発熱源を有する加熱槽が例示される
。
る温度は35〜45℃程度が好ましく、最適には約40
℃である。この程度の温度範囲であれば、シートを十分
に柔らかくすることができる上に、シートの特性に悪影
響を及ぼす心配がない。シートの加熱手段としては、以
下の実施例に述べる発熱源を有する加熱槽が例示される
。
【0008】プレス金型の加熱温度も、グリーンシート
とほぼ同じで、35〜45℃程度が好ましく、好適には
約40℃である。プレス金型の加熱によって、特に上パ
ンチのブレードを上記温度範囲に温めることが重要であ
る。プレス金型の加熱手段としては、以下の実施例に示
す棒状ヒータをプレス金型のダイセットに埋め込んだり
すればよい。
とほぼ同じで、35〜45℃程度が好ましく、好適には
約40℃である。プレス金型の加熱によって、特に上パ
ンチのブレードを上記温度範囲に温めることが重要であ
る。プレス金型の加熱手段としては、以下の実施例に示
す棒状ヒータをプレス金型のダイセットに埋め込んだり
すればよい。
【0009】
【実施例】以下、本発明のセラミック基板の製造方法を
実施例に基づいて説明する。図1はその一実施例を示す
。この実施例は、前記態様■、即ちグリーンシートとプ
レス金型を加熱するものである。所定サイズのセラミッ
ク基板を得るのに要する幅及び肉厚に成形したアルミナ
からなるグリーンシートWを巻取ローラ10に一旦巻き
取っておく。この巻取ローラ10を、グリーンシートW
を加熱する手段としての加熱槽30内に配置する。加熱
槽30内には発熱源31を設けてあり、発熱源31から
温風が吹き出し、加熱槽30内の空気を温める。この加
熱によってシートWを柔軟にする。又、加熱槽30内に
は、巻取ローラ10から送られてくるシートWを加熱槽
の外部に送り出すための送りローラ11を配してある。
実施例に基づいて説明する。図1はその一実施例を示す
。この実施例は、前記態様■、即ちグリーンシートとプ
レス金型を加熱するものである。所定サイズのセラミッ
ク基板を得るのに要する幅及び肉厚に成形したアルミナ
からなるグリーンシートWを巻取ローラ10に一旦巻き
取っておく。この巻取ローラ10を、グリーンシートW
を加熱する手段としての加熱槽30内に配置する。加熱
槽30内には発熱源31を設けてあり、発熱源31から
温風が吹き出し、加熱槽30内の空気を温める。この加
熱によってシートWを柔軟にする。又、加熱槽30内に
は、巻取ローラ10から送られてくるシートWを加熱槽
の外部に送り出すための送りローラ11を配してある。
【0010】加熱槽30の横にはプレス金型20を設置
してあり、加熱槽30を出たグリーンシートWにプレス
金型20によってプレス加工を施す。プレス金型20は
、規定の格子状ブレード(図示せず)を有する上パンチ
21と、上パンチ21に対応する形状の下パンチ22と
を備える。更に、プレス金型20を加熱する手段として
、上下のダイセット23、24にそれぞれ棒状ヒータ2
5、26を埋設してあり、棒状ヒータ25、26は適当
な電源40に接続する。
してあり、加熱槽30を出たグリーンシートWにプレス
金型20によってプレス加工を施す。プレス金型20は
、規定の格子状ブレード(図示せず)を有する上パンチ
21と、上パンチ21に対応する形状の下パンチ22と
を備える。更に、プレス金型20を加熱する手段として
、上下のダイセット23、24にそれぞれ棒状ヒータ2
5、26を埋設してあり、棒状ヒータ25、26は適当
な電源40に接続する。
【0011】このように構成した装置を用いるセラミッ
ク基板の製造は、まず巻取ローラ10に巻き取られてい
るグリーンシートW〔図2(a)参照〕を、加熱槽30
内の比較的高温の空気で約40℃に間接的に温める。温
められて柔らかくなったシートWを、送りローラ11を
介して加熱槽30の外部に送り出す。次に、グリーンシ
ートWが冷却しないうちに、シートWをプレス金型20
にセットし、プレス加工を行う。プレス金型20では、
棒状ヒータ25、26に通電して上下のダイセット23
、24を加熱し、更に熱を上パンチ(ブレードを含む)
21と下パンチ22に伝導し、上下のパンチ21、22
を約40℃に温めておく。この温まったプレス金型20
を用いるプレス加工により、図3の如きスリット2をシ
ートWに形成すると同時に、個別シート1を打抜く〔図
2(b)参照〕。前述したようにスリット2は、上パン
チ21のブレード自身による打込み部2aと、ブレード
の打込み時に生ずるクラック部2bとで構成される。
ク基板の製造は、まず巻取ローラ10に巻き取られてい
るグリーンシートW〔図2(a)参照〕を、加熱槽30
内の比較的高温の空気で約40℃に間接的に温める。温
められて柔らかくなったシートWを、送りローラ11を
介して加熱槽30の外部に送り出す。次に、グリーンシ
ートWが冷却しないうちに、シートWをプレス金型20
にセットし、プレス加工を行う。プレス金型20では、
棒状ヒータ25、26に通電して上下のダイセット23
、24を加熱し、更に熱を上パンチ(ブレードを含む)
21と下パンチ22に伝導し、上下のパンチ21、22
を約40℃に温めておく。この温まったプレス金型20
を用いるプレス加工により、図3の如きスリット2をシ
ートWに形成すると同時に、個別シート1を打抜く〔図
2(b)参照〕。前述したようにスリット2は、上パン
チ21のブレード自身による打込み部2aと、ブレード
の打込み時に生ずるクラック部2bとで構成される。
【0012】そして、個別シート1を約1500℃で焼
成することにより〔図2(c)参照〕、スリット2を縦
横に形成したセラミック基板を得る。上記実施例では、
プレス加工時に、グリーンシートWが柔軟であり、しか
も上パンチ(ブレードを含む)21と下パンチ22が温
かいため、スリット2の形成及び個別シート1の打抜き
を容易に行え、ブレードが受ける負担が相当軽減する。 従って、ブレードの摩耗寿命が延びるため、ブレードの
研摩費用を削減できるだけでなく、セラミック基板の生
産性を高めることができる。
成することにより〔図2(c)参照〕、スリット2を縦
横に形成したセラミック基板を得る。上記実施例では、
プレス加工時に、グリーンシートWが柔軟であり、しか
も上パンチ(ブレードを含む)21と下パンチ22が温
かいため、スリット2の形成及び個別シート1の打抜き
を容易に行え、ブレードが受ける負担が相当軽減する。 従って、ブレードの摩耗寿命が延びるため、ブレードの
研摩費用を削減できるだけでなく、セラミック基板の生
産性を高めることができる。
【0013】上記態様■(態様■と■の併用)における
ブレードの摩耗寿命は、具体的数値で示すと、従来は高
々8万ショットであるが、その約10倍(約80万ショ
ット)まで延びる。なお、態様■(グリーンシートWの
加熱)では約5倍(約40万ショット)、態様■(プレ
ス金型20の加熱)では約4倍(約30万ショット)に
なる。
ブレードの摩耗寿命は、具体的数値で示すと、従来は高
々8万ショットであるが、その約10倍(約80万ショ
ット)まで延びる。なお、態様■(グリーンシートWの
加熱)では約5倍(約40万ショット)、態様■(プレ
ス金型20の加熱)では約4倍(約30万ショット)に
なる。
【0014】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のセラミッ
ク基板の製造方法は、従来の製造方法においてプレス加
工前にグリーンシートを加熱すること、及び/又はプレ
ス加工時にプレス金型を加熱することから、下記の効果
を奏する。 (1)プレス金型の上パンチに設けてあるブレードの摩
耗寿命が大幅に延びる。例えば前記態様■の場合、従来
の約10倍(約80万ショット)になる。 (2)(1)により、ブレードの研摩費用が低減する。 前記態様■の場合、従来の約1/10になる。 (3)(1)により、セラミック基板の生産性が高まる
。前記態様■の場合、従来の約2倍になる。
ク基板の製造方法は、従来の製造方法においてプレス加
工前にグリーンシートを加熱すること、及び/又はプレ
ス加工時にプレス金型を加熱することから、下記の効果
を奏する。 (1)プレス金型の上パンチに設けてあるブレードの摩
耗寿命が大幅に延びる。例えば前記態様■の場合、従来
の約10倍(約80万ショット)になる。 (2)(1)により、ブレードの研摩費用が低減する。 前記態様■の場合、従来の約1/10になる。 (3)(1)により、セラミック基板の生産性が高まる
。前記態様■の場合、従来の約2倍になる。
【図1】本発明の製造方法の一例を示す図である。
【図2】本発明の製造方法(従来の製造方法も同様)の
各工程(成形、プレス加工、焼成)におけるグリーンシ
ートの状態を示す説明図である。
各工程(成形、プレス加工、焼成)におけるグリーンシ
ートの状態を示す説明図である。
【図3】プレス金型を用いるプレス加工によってグリー
ンシートに形成されるスリットの形状を示す拡大断面図
である。
ンシートに形成されるスリットの形状を示す拡大断面図
である。
【図4】従来の製造方法を示す図である。
W グリーンシート1
個別シート 2 スリット 20 プレス金型 25、26 棒状ヒータ 30 加熱槽 31 発熱源
個別シート 2 スリット 20 プレス金型 25、26 棒状ヒータ 30 加熱槽 31 発熱源
Claims (1)
- 【請求項1】アルミナからなるグリーンシートを成形し
、プレス金型でプレス加工してグリーンシートにスリッ
トを形成すると共に所定サイズの個別シートに打抜き、
打抜いた個別シートを焼成することによりセラミック基
板を製造する方法において、プレス加工前にグリーンシ
ートを加熱すること、及び/又はプレス加工時にプレス
金型を加熱することを特徴とするセラミック基板の製造
方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3134047A JP2985369B2 (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | セラミック基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3134047A JP2985369B2 (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | セラミック基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04358804A true JPH04358804A (ja) | 1992-12-11 |
JP2985369B2 JP2985369B2 (ja) | 1999-11-29 |
Family
ID=15119124
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3134047A Expired - Fee Related JP2985369B2 (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | セラミック基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2985369B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002057013A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-22 | Rohm Co Ltd | チップ型抵抗器の製造方法 |
CN104441207A (zh) * | 2014-11-28 | 2015-03-25 | 电子科技大学 | 一种基于轧膜工艺的nfc磁性基板成型制备方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5096609A (ja) * | 1973-12-27 | 1975-07-31 | ||
JPS5996609A (ja) * | 1982-11-25 | 1984-06-04 | 住友電気工業株式会社 | Nb↓3Sn超電導線の製造方法 |
-
1991
- 1991-06-05 JP JP3134047A patent/JP2985369B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5096609A (ja) * | 1973-12-27 | 1975-07-31 | ||
JPS5996609A (ja) * | 1982-11-25 | 1984-06-04 | 住友電気工業株式会社 | Nb↓3Sn超電導線の製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002057013A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-22 | Rohm Co Ltd | チップ型抵抗器の製造方法 |
JP4703824B2 (ja) * | 2000-08-10 | 2011-06-15 | ローム株式会社 | チップ型抵抗器の製造方法 |
CN104441207A (zh) * | 2014-11-28 | 2015-03-25 | 电子科技大学 | 一种基于轧膜工艺的nfc磁性基板成型制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2985369B2 (ja) | 1999-11-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |