JPH0435848A - 被処理物の処理管理方法及び処理管理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はＩＣカード等の記憶媒体を用いて製品の生産の
為の処理を行う処理装置の管理方法及びその管理装置に
関する。

〔従来の技術〕

例えば半導体装置の製造工程におけるウェハプロセスで
は、同一品種のウェハが複数枚カセットに収納され、こ
のカセット、つまりロフト単位で各処理装置に搬送され
てウェハに対する処理が行われる。このような生産形態
にあっては、各ロフト毎に正確に工程順序等を把握する
必要がある。

通常はロフト毎にロフト番号及び工程名等を記載した伝
票等を用意し、これをロフトを構成する上記カセ７）に
添付しておく。作業者はこの伝票によってロフトを認識
し、ある工程の処理が終了すると、その旨を記入し、伝
票に記載されている次工程の処理装置へ搬送する。

また、近年では伝票の代わりにＩＣカードを利用するこ
とも行われている。ＩＣカードを用いた場合は、ロフト
の工程順序の予定が途中で変更されても記憶内容を書き
換えるだけで容易に対処でき、またＩＣカードの読取装
置から必要なデータをコンピュータ等に送信することで
、進捗状況等を迅速かつ正確に求めることができる等、
優れた点を有している。

ところで、ＩＣカードを用いて生産管理を行う場合の手
順としては、まず、処理装置にカセットが到着すると、
作業者はこのカセットに装着されたＩＣカードに表示さ
れている工程名、装置名、ロット番号等を読取り、ここ
で処理されるロフトか、否か確認した後、所定の処理装
置に投入し、処理が完了すると、ＩＣカードにその旨を
書込んで、次工程の処理装置へカセットを搬送する。

但し、ウェットエツチング工程、ドライエソチング工程
、又はメタライズ工程等の処理工程では、ＩＣカードを
カセットから取外して処理完了まで保管する必要がある
。このような工程では工程間の汚染防止の為に専用の処
理用カセットを有しているのが通例であり、処理前に搬
送用から処理用のカセットにウェハを移し替え、処理完
了後、再び搬送用カセットに移し替えている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、各処理装置は、上述の如くウェハをカセット
単位で処理するのを各処理装置毎に個別に行う形態を採
っている。この為、ある処理工程で、同一機能を有する
処理装置を複数台導入して各処理装置夫々で並行処理を
行う場合には、各処理装置毎にＩＣカードの着脱及び読
み書き等の作業を行う必要があり、大変煩わしいという
問題がある。そして同時に処理されるロフトの数が多く
なる程、取外されているＩＣカードの枚数も多（なる結
果、作業者によるＩＣカードの認識ミスが生じ易くなり
、処理が終了したロフトに対して異なるロフトのＩＣカ
ードを添付してしまった場合は、以降の処理が適切に行
われずに不良品を発生するという問題もある。

本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、被処
理物の処理に関する情報を記憶しているＩＣカード等の
記憶媒体を被処理物と対応付けて一括して保管する手段
を設けることにより、複数台の処理装置をモジュールと
して構成してＦ＾（ファクトリ−オートメーション）化
することが可能な被処理物の処理管理方法及び装置の提
供を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る被処理物の処理管理方法は、被処理物の処
理に関するデータを予め把握しておき、まず、このデー
タと処理前の被処理物の記憶媒体に記憶してあるデータ
とを照合して被処理物を確認し、前記記憶媒体を各被処
理物が収納された容器から取外し、被処理物の処理中、
前記各記憶媒体を被処理物と対応付けて保管する一方、
被処理物が移されて空になった容器を複数保管しておく
。

そして、処理後の被処理物を処理用の容器から保管して
あった容器に移し替える一方、この容器に被処理物に対
応付けて保管してあった前記記憶媒体を選出して装着し
、前記データと照合して被処理物を確認し、施した処理
についてのデータを書込むものである。

また、本発明に係る被処理物の処理管理装置は、まず、
被処理物が収納された容器から記憶媒体を取外す取外し
手段と、被処理物の処理中、前記取外し手段にて取外さ
れた複数の前記記憶媒体を被処理物と対応付けて保管す
る記憶媒体管理手段と、被処理物を処理用の容器に移し
替える第１の容器交換手段と、被処理物が処理用の容器
に移されて空になった容器を複数保管する容器保管手段
とを備えている。そして処理後の被処理物に対して、前
記処理用の容器から前記容器保管手段に保管してあった
容器に移し替える第２の容器交換手段と、該第２の容器
交換手段にて容器に移された被処理物に対応付けて保管
してある前記記憶媒体を記憶媒体管理手段より選出して
前記容器に装着する装着手段とを備え、更に被処理物の
処理に関するデータを記憶、管理している処理データ管
理手段を備え、前記記憶媒体の前記取外し手段による取
外し及び装着手段による装着に際して、各記憶媒体の処
理に関するデータと、前記処理データ管理手段のデータ
とを照合して被処理物を確認し、施した処理についての
データを書込むようにしたものである。

〔作用〕

本発明に係る被処理物の処理管理方法にあっては、被処
理物の処理に関するデータが予め把握されており、まず
、このデータと処理前の被処理物の記憶媒体に記憶して
あるデータとが照合されて被処理物が確認され、記憶媒
体が取外される。取外された各記憶媒体は被処理物の処
理中、被処理物と対応付けて保管される。そして処理用
の容器に被処理物が移されて空になった複数の容器も処
理の間、保管される。処理が終了すると、被処理物は処
理用の容器から保管してあった容器に移し替えられ、こ
の容器に被処理物に対応付けて保管してあった記憶媒体
が選出されて装着される。そしてこの記憶媒体のデータ
と前記データとが照合されて被処理物が確認され、施し
た処理についてのデータが書込まれる。

また本発明に係る被処理物の処理管理装置にあっては、
まず、取外し手段が処理前の被処理物が収納された容器
から記憶媒体を取外すと、この記憶媒体は記憶媒体管理
手段によって被処理物と対応付けて保管される。そして
被処理物は第１の容器交換手段により、処理用の容器に
移し替えられた後、処理装置にて所要の処理が行われ、
空になった容器は容器保管手段にて保管される。処理が
終了すると、第２の容器交換手段が被処理物を処理用の
容器から容器保管手段に保管してあった容器に移し替え
る。そうすると装着手段は、被処理物に対応付けて保管
してある記憶媒体を、前記記憶媒体管理手段から選出し
て容器に装着する。

また、処理データ管理手段は被処理物の処理に関するデ
ータを記憶、管理しており、前記記憶媒体の前記取外し
手段による取外し及び装着手段による装着に際して、記
憶媒体に記憶してあるデータと、処理データ管理手段の
データとが照合されて被処理物が確認され、記憶媒体に
施した処理についてのデータが書込まれる。

〔発明の実施例〕

以下、本発明を半導体装置を製造する際のウェハプロセ
スの処理設備に適用する場合の実施例について図面に基
づき具体的に説明する。第１図は本発明装置の模式的平
面図、第２図はその制御系の構成を示すブロック図であ
る。本構成は各処理工程を同一機能を有する処理装置を
複数台集めて各々モジュール化したものであり、第１図
はそのうちの１つのモジュールを示し、工程間、即ちモ
ジュール間の被処理物の搬送はモジュール間搬送装置４
にて行うようになしてある。被処理物であるウェハは図
示しない前記容器たる搬送用カセットに複数枚収納され
てロフトを構成し、カセット単位で各モジュール間を搬
送される。第１図中の夫々の矢符の実線はウェハの、破
線は搬送用カセットの、また白抜矢符はＩＣカードの夫
々の流れを示してある。

図中１はＩＣカードを保管する前記記憶媒体管理手段た
るＩＣカード管理装置である。図示しないＩＣカードは
各カセットの側面等に着脱自在に装着してあり、ロフト
番号、品種等に関する口・ノドの構成内容、工程計画等
のロフト固有の処理に関するデータが予め記憶してある
。ＩＣＣカード管理装置外、モジュール間搬送装置４の
側方に設けられ、これの搬送方向上流側から順に、ＩＣ
カードを搬送用カセットから取外す入口部１ａ、取外し
たＩＣカードを保管するＩＣカード保管部１ｂ及び処理
が終了したロフトの搬送用カセットに該当するＩＣカー
ドを装着する出口部ＩＣを備える。入口部１ａは当該モ
ジュールに搬送されてきたロットのＩＣカードからデー
タを読取る読取り部１１、ＩＣカードを取外す為のマニ
ピュレータ等を用いてなる取外し部１２を備えており（
共に第２図参照）、ロフトの処理内容をＩＣカードから
読取り、確認した後、ＩＣカードを取外す。ＩＣカード
保管部１ｂは取外したＩＣカードをロフトと対応付けて
複数保管し、各ＩＣカードの保管位夏を記憶するもので
ある。また出口部ＩＣは、同様にマニピュレータ等を用
いてなるＩＣカードの装着部１３、ＩＣカードに対する
データの読取り及び書込みを行う読取り書込み部１４を
備えており（共に第２図参照）　、ＩＣカードをＩＣカ
ード保管部１ｂから選出して搬送用カセットに装着した
後、ＩＣカードとロフトとを照合し、当該モジュールに
おいて施した処ｆｌについてのデータをＩＣカードに書
込む。

ここで入口部１ａ及び出口部ＩＣは夫々独立して制御さ
れるようになっており、ＩＣカードのデータ読取り及び
取外し等の作業と、ＩＣカードの装着及びデータ書込み
等の作業とを同時に処理することが可能である。

図中Ａ１〜Ａｎは同一機能を有し、複数の被処理物に対
して並行処理が可能な処理装置であり、夫々ウェハの投
入口側及び排出口側を前記ＩＣカード管理装置における
入口部１ａ及び出口部ＩＣと同方向に向けて並列に配設
してある。各処理装置Ａ１〜Ａｎのウェハの投入口側に
は、ＩＣカード管理装置１の入口部１ａを始端として連
なるモジュール内搬送装置２ａが配設してある。このモ
ジュール内搬送装置２ａは、入口部１ａにてＩＣカード
が取外されたロット、即ちウェハが収納された搬送用カ
セ７）を、適宜の処理装置の投入口まで搬送する。各処
理装置Ａ１〜Ａｎは、夫々専用の処理用カセット（図示
せず）を有しており、投入口に搬送された搬送用カセッ
トに収納されたウェハをカセット交換部１５　（第２図
参照）にて処理用カセットに移し替えて処理装置内に投
入する。つまり、各処理装置の投入口には前記第１の容
器交換手段たるカセ・７ト交換部１５が備えである。

ＩＣＣカード管理装置外ら最も離れた処理袋ｑ　Ａ　ｎ
の側方には搬送用カセット洗浄装置３が同じく並列に設
けである。前記モジュール内搬送装置２ａの搬送終端部
はこの搬送用力セント洗浄装置３に位置させてあり、ウ
ェハが抜きとられて空になった搬送用カセットが搬送用
カセット洗浄装置３まで搬送されて洗浄される。本実施
例においては、この搬送用カセット洗浄装置３が前記容
器保管手段に相当する。

これらの搬送用カセット洗浄装置３及び処理装置Ａ１〜
Ａｎの排出口側には、搬送方向を前記モジュール内搬送
装置２ａと逆にしたモジュール内搬送装置２ｂが設けで
ある。即ち、始端部を搬送用カセ・ノド洗浄装置３とし
、終端部をＩＣカード管理装置１の出口部ＩＣとして配
設してある。各処理装置へ１〜＾ｎの排出口では、処理
用カセットに収納されて処理が終了したウェハが、搬送
用カセット洗浄装置３から搬送されてくる洗浄済みの搬
送用カセフトに再び移し替えられてＩＣカード管理装置
１の出口部１ｃへ搬送される。つまり、各処理装置の排
出口には前記第２の容器交換手段たるカセット交換部１
６（第２図参照）が備えである。

以上のように１つのモジュールを構成するＩＣカード管
理装置１．モジュール内搬送装置２ａ、２ｂ　。

処理装置Ａ１〜Ａｎ及び搬送用カセット洗浄装置３は、
第２図に示すように一括して生産管理部５にて制御され
るようになしてある。前記処理データ管理手段たる生産
管理部５は各モジュールＭで処理される全てのロットの
情報を管理しており、この情報に基づいて各モジュール
Ｍにおける処理前のロットの確認、照合がなされ、処理
後のロットを次工程のモジュールまで搬送する指示をモ
ジュール間搬送装置４に与える。

次に以上の如く構成された本発明装置によろウェハの処
理手順について第３図に示すフローチャートに基づいて
説明する。

まず、生産管理部１は、自身の情報に基づいてロフト（
搬送用カセント＋ウエノｓ＋Ｉｃカード）をモジュール
間搬送装置４にて所要のモジュールへ搬送する（ステッ
プＩ）。

モジュールにロフトが到着すると、ＩＣカード管理装置
１は入口部１ａにて搬送用カセ・７トに装着されたＩＣ
カードからデータを読取る。そしてこのデータと生産管
理部７に記憶してあるデータとを照合し、当該モジュー
ルで処理されるロフトか、否かを確認する（ステップ２
）。

ここで異なる場合は、データを確認し直す等、必要な処
置を施し、適合が確認された口・ノドに対しては、その
搬送用カセットからＩＣカードを取外す（ステップ３）
。取外されたＩＣカードは、ウェハの処理が終了するま
でＩＣカード保管部１ｂがロットと対応付けて保管する
（ステップ４）。

一方、ＩＣカードが取外された搬送用カセフトと、これ
に収納されたウェハは、モジュール内搬送装置２ａが入
口部１ａがら空いている処理装置、又は全て稼働中であ
れば最も早（投入できる処理装置の投入口へ搬送する（
ステップ５）。この処理装置の選択は、モジュール内の
処理装置の稼働状況を把握している生産管理部５が行い
、モジュール内搬送装置２ａに指令を与える。

処理装置の投入口に搬送用カセフトと共にウェハか到着
すると、処理装置はウエノ１を搬送用カセットから処理
用カセットに移し替える（ステップ６）。

そしてウェハは処理用カセットに収納された状態で処理
装置に投入され、処理装置が所要の処理を行う（ステッ
プ７）。

一方、ウェハが抜かれた搬送用カセットは、モジュール
内搬送装置２ａが搬送用カセット洗浄装置３まで搬送し
、洗浄する（ステップ８）。

モジュール内搬送装置２ｂは洗浄された搬送用カセット
を、生産管理部５の指令により処理が終了した処理装置
の排出口まで搬送し、当該処理装置において排出口から
排出された処理用カセツトに収納されたウェハを、洗浄
済みの搬送用カセ・ノドに移し替える（ステップ９）。

ここでウェハは処理前に収納してあった搬送用カセ７）
を指定して移し戻す必要はなく、洗浄が終了した順に搬
送用カセフトを使用していけば良い。これにより、常に
洗浄済みの搬送用カセットに処理済みのウェハを収納で
きるので、歩留りの向上が図れる。

そして、搬送用カセットに収納された処理済みのウェハ
をモジュール内搬送装置２ｂにてＩＣカート管理装置１
の出口部ＩＣへ搬送する（ステ、プ１０）。

生産管理部５はウェハの処理終了、即ち各ロットの処理
の終了を処理装置を通して認識しており、この情報に基
づいてＩＣカード管理装置１では該当するＩＣカードを
ＩＣカード保管部ＩＣから選出する（ステップ１１）。

そして、出口部１ｃにおいて、ＩＣカード管理装置１は
選出したＩＣカードを処理済みのウェハが収納された搬
送用カセフトに装着しくステップ１２）、生産管理部５
に記憶してあるデータとＩＣカードのデータとを照合し
てロフトとＩＣカードとが合致しているか確認し、施し
た処理についてのデータを書込む（ステップ１３）。

以上の手順によりモジュール内の処理が終了し、ウェハ
の加工処理が終了したロフトを、生産管理部５の情報に
基づいて次工程のモジュールへモジュール間搬送装置４
にて搬送する（ステップ１４）。

なお、本実施例においては、記憶媒体としてＩＣカード
を用いたが、これに限定されるものでなく、例えばカー
トリッジに収納されたフロンピーディスク状のものでも
使用可能である。

〔発明の効果〕

以上の如く本発明に係る被処理物の処理管理方法及び装
置においては、複数の記憶媒体を被処理物と対応付けて
保管する記憶媒体管理手段を備えることにより、複数台
の処理装置を１つのモジュールとして管理できるので、
作業者を全く介在させることのない、処理設備のＦＡ（
ヒを実現できる。

そして被処理物が収納された容器に処理の前後で着脱さ
れる記憶媒体は、処理中被処理物に対応付けて保管され
ているので、処理後の着は間違いが確実に防止され、不
良品の発生を防止できる等、本発明は優れた効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る被処理物の処理管理装置の模式的
平面図、第２図は制御系の構成を示すブロック図、第３
図は制御手順を示すフローチャートである。 １・・・ＩＣカード管理装置　１ａ・・・入口部　１ｂ
・・・ｒｃカード保管部　１ｃ・・・出口部　２ａ、２
ｂ・・・モジュール内搬送装置　３・・・搬送用カセッ
ト洗浄装置　４・・・モジュール間搬送装置　５・・・
生産管理部　１１・・・読取り部　１２・・・取外し部
　１３・・・装着部　１４・・・読取り書込み部　１５
．１６・・・カセット交換部　Ａ１〜Ａｎ・・・処理装
置 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被処理物が収納された複数の容器夫々に着脱自在
   に設けてあり、被処理物の処理に関するデータを記憶し
   ている記憶媒体を前記各容器から取外し、処理用の容器
   に移し替えた被処理物夫々に対して複数の処理装置にて
   所要の処理を並行して行う為の被処理物の処理管理方法
   であって、 被処理物の処理に関するデータを予め把握 しておき、このデータと処理前の被処理物の前記記憶媒
   体に記憶してあるデータとを照合して被処理物を確認し
   、前記記憶媒体を各被処理物が収納された容器から取外
   し、被処理物の処理中、前記各記憶媒体を被処理物と対
   応付けて保管する一方、被処理物が移されて空になった
   容器を複数保管しておき、処理後の被処理物を前記処理
   用の容器から保管してあった容器に移し替える一方、被
   処理物に対応付けて保管してあった前記記憶媒体を選出
   して前記容器に装着し、前記データと照合して被処理物
   を確認し、施した処理についてのデータを書込むこと を特徴とする被処理物の処理管理方法。
2. （２）被処理物が収納された複数の容器夫々に着脱自在
   に設けてあり、被処理物の処理に関するデータを記憶し
   ている記憶媒体を前記各容器から取外し、処理用の容器
   に移し替えた被処理物夫々に対して複数の処理装置にて
   所要の処理を並行して行う為の被処理物の処理管理装置
   であって、 処理前の被処理物が収納された容器から前 記記憶媒体を取外す取外し手段と、 被処理物の処理中、前記取外し手段にて取 外された複数の前記記憶媒体を被処理物と対応付けて保
   管する記憶媒体管理手段と、 処理前の被処理物を処理用の容器に移し替 える第１の容器交換手段と、 該第１の容器交換手段にて被処理物が移さ れて空になった容器を複数保管する容器保管手段と、 処理後の被処理物を前記処理用の容器から 前記容器保管手段に保管してあった容器に移し替える第
   ２の容器交換手段と、 該第２の容器交換手段にて容器に移された 被処理物に対応付けて保管してある前記記憶媒体を前記
   記憶媒体管理手段から選出して前記容器に装着する装着
   手段と、 被処理物の処理に関するデータを記憶、管 理している処理データ管理手段と、 前記記憶媒体の前記取外し手段による取外 し及び装着手段による装着に際して、前記各記憶媒体の
   前記データと前記処理データ管理手段のデータとを照合
   して被処理物を確認し、施した処理についてのデータを
   書込む手段とを具備することを特徴とする被処理物の処 理管理装置。