JPH04358005A - 真空焼結炉 - Google Patents

真空焼結炉

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JPH04358005A
JPH04358005A JP13278491A JP13278491A JPH04358005A JP H04358005 A JPH04358005 A JP H04358005A JP 13278491 A JP13278491 A JP 13278491A JP 13278491 A JP13278491 A JP 13278491A JP H04358005 A JPH04358005 A JP H04358005A
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Japan
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gas
vessel
chamber
container
furnace
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JP13278491A
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Ippei Yamauchi
一平 山内
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Shimadzu Corp
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Shimadzu Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、脱ワックス工程と焼結
工程を一貫して行うことができるものであって、射出成
形品、サーメット、セラミック等の真空焼結に適した真
空焼結炉に関するものである。
【0002】
【従来の技術】処理物である粉末成形品は、その成形時
における成形性を確保する目的でワックスが混合される
。このため、焼結に先立ち、処理物から含有ワックス分
を十分に除去しておかなければならない。そこで従前は
、先ず低温加熱炉で炉内に配設した処理物を加熱してワ
ックスを蒸発除去し(脱ワックス)、次にその処理物を
高温加熱炉に入れて焼結するようにしていた。しかし、
これでは2種類の炉が必要となり、作業も全く別個のも
のになるため、コスト、生産性等に不具合が大きい。こ
のため、近時の焼結炉は、単一炉内で脱ワックス工程と
焼結工程とを連続して実施できるタイプのものが多用さ
れるようになってきた。
【0003】しかしながら、そのような炉構造では、脱
ワックス工程時に処理物から発生するワックス蒸気が炉
内に付着凝固し、引き続く焼結工程で再気化したワック
ス蒸気が処理物と接触し焼結品の品質等に悪影響を及ぼ
すという問題を生じる。
【0004】そこで、その対策として、グラファイト製
のタイトボックスを用いて炉内を外側の加熱室と内側の
処理室に区成し、脱ワックス時に処理室を相対的に低圧
とする差圧を生ぜしめることにより、加熱室側に導入し
たガスを処理室に流入させ、そのガスを処理室内の処理
物から発生するワックス蒸気とともにタイトボックスに
接続されているガス排出経路を通じて加熱室に触れずに
直接炉外に排出できるような手法が考えられた。このタ
イトボックスを用いた差圧ガスフロー方式により、処理
室に収容される処理物から脱ワックス工程時に発生する
ワックス蒸気を加熱室に漏出させることなく炉外に排出
することが可能になり、加熱室のワックス汚染問題を解
消できるようになった。
【0005】具体例な一例として、図4に実公昭63−
40798号公報に係る真空焼結炉を示す。チャンバ1
はその両端に蓋体1a、1aを設けて開閉自在に構成さ
れているとともに、その周壁の適宜位置に開口するガス
導入口2を有し、このガス導入口2はバルブ等を介して
図外のガス供給手段に接続されている。このチャンバ1
の内部には、図示されない支持部材によって支持された
タイトボックス4が配置され、該ボックス4内に射出成
形品などの処理物aを内側の処理室S2 に収容して脱
ワックス工程および焼結工程を実施できるようにしてい
る。このために、前記タイトボックス4の外側の加熱室
S1 にはヒータ6が配置され、さらにこれらを囲繞す
るようにして断熱壁7が設けられている。また、前記タ
イトボックス4はその下部一側に開口するガス排出経路
8を有し、バルブ等を介して直接図外の真空排気手段に
接続されている。前記タイトボックス4の両端部は扉5
、5によって開閉自在に閉塞させてあり、これらの扉5
は断熱材製の扉本体5aに内張り5bを張着して構成さ
れている。
【0006】しかして、前記タイトボックス4は、脱ワ
ックス工程時に炉壁面や断熱材などの加熱室S1 側が
ワックスで汚染されるのを防止するために、その閉状態
で加熱室S1 を処理室S2 と連通させる通気経路9
をタイトボックス4およびこれに取付けられた扉5の微
少隙間に形成している。すなわち、この通気経路9を介
してタイトボックス4の外側からガスを入れ内側からガ
スを排気することにより、加熱室S1 に対して処理室
S2 を相対的に低圧とする差圧を生ぜしめ、これによ
って処理室S2 のガスを加熱室S1 側に漏出させる
ことなく、該ボックス4内で射出成形品aから発生する
ワックス蒸気とともにガス排出経路8を通じて外部に直
接排出できるようになっている。10は前記ヒータ6に
給電するための電極である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところが、射出成形品
を扱う場合などは処理物aが小物であることが多く、多
段棚構造を有する容器等に処理物を多数収容してタイト
ボックス4内の処理室S2 に配設し処理に供している
のが通例である。また、処理物aがそれ程小さくない場
合にも、搬出入上の便宜から処理物aを容器に入れて処
理室に配設していることも少なくない。そして、このよ
うな容器を採用した際の不具合として、容器内を適正に
加熱することが出来ないという新たな不都合が顕在化し
てきた。具体的に説明すると、従来の加熱機構は、加熱
室に配置されているヒータにより処理室を輻射加熱し、
それに加えて、加熱室を通り処理室に導入されるガスを
予め加熱室で予熱しておくことにより処理室内を対流加
熱する構造になっている。ところが、容器を設けること
により、輻射加熱の効率が低下するとともに、加熱室S
1 側から処理室S2 側に差圧フローによって流入す
るガスの大半が容器の外壁に当たって跳ね返され容器内
の処理物等と有効に接触し得ないまま炉外に排出される
ようになり対流加熱の効率も低下する。これらの結果、
容器および処理物の加熱に時間を要するようになり、し
かも、そのような加熱を長時間続けても容器内の中央部
と周縁部との間に処理温度の偏在化を来たして処理ムラ
ができ易いという問題を抱えることになる。
【0008】本発明は、このような課題に着目してなさ
れたものであって、処理物を収容した容器がタイトボッ
クス内の処理室に配置される場合に、その容器全体を短
時間で均一加熱できるようにし、この種真空焼結炉にお
ける脱ワックス速度および品質を従来に比べて有効に向
上させることを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、かかる目的を
達成するために、次のような構成を採用したものである
【0010】すなわち、本発明の真空焼結炉は、炉内の
加熱室と処理室の仕切りにタイトボックスを用い、その
処理室に処理物を収容した容器を配設するようにした真
空焼結炉において、前記容器内に炉外からのガスを予熱
状態で直接導入するためのガス導入経路を接続したこと
を特徴とする。
【0011】
【作用】このような構成のものであると、炉外から導入
されたガスは先ずもってガス導入経路を通り容器内に導
入されることになり、この容器内を通過した後、処理室
のうち容器とタイトボックスの間の空間に差圧フローし
、この空間に開口するガス排出経路より直接炉外に排出
されることになる。一方、タイトボックスは本来加熱室
側から処理室側に差圧フローするガスを有しているので
、このガスも前述したガスと合流してタイトボックス内
周に開口するガス排出経路より炉外に直接排出されるこ
とになる。
【0012】しかして、このようないわば2段差圧式の
対流加熱構造を採用すると、容器はガス導入経路を通じ
て導入されるガスによる対流加熱で内部から直接加熱さ
れると同時に、そのガスが容器を出た際に加熱室側から
流入して来るガスとともに外部を加熱されることになる
。このため、容器は内外部に亘って略均一に加熱される
ことになり、容器内に収容される処理物を短時間でムラ
なく昇温させることが可能になる。
【0013】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1〜図3を参照
して説明する。
【0014】この真空焼結炉は、図4に示した従来炉と
略同等の内部構造を備えた上で、タイトボックス4の内
周に軸心方向に沿って千鳥状に往来しながら周回する予
熱パイプ20を引き回している。そして、該タイトボッ
クス4によって囲繞される処理室S2 に容器11を配
置し、その状態で、その予熱パイプ20を主体として構
成されるガス導入経路21を通じて炉外からのガスを予
熱状態で前記容器11内に直接導入できるようにしてい
る。
【0015】容器11は、底板12と、仕切板13、1
4と、カバー15、16、17とにより構成されるもの
で、タイトボックス4に支柱22を介して固設されてい
る一対の長板状の炉床23上に載置して使用に供される
。具体的に説明すると、仕切板13は面板部に多数のガ
ス吹出孔13aを有しており、底板12の中央部に一定
空隙下に対をなして立設されている。カバー15は底板
12の端縁に沿って前記仕切板13の両端を挾持する位
置に立設されている。仕切板14は、カバー15、15
間を等間隔に区画し得る位置ごとに前記仕切板13の各
面板部に垂直方向から装着されている。カバー16およ
びカバー17は、装着状態で前記底板12、仕切板13
、14並びカバー15とともに内部空間を囲繞し得るも
のである。なお、これらのカバー16、17が装着され
る前の段階では、仕切板14、14間並びに仕切板14
とカバー15の間に形成されている棚受部18に棚板1
9を装着できるようにしてあり、全ての棚受部18に棚
板19を装着したと仮定した場合に、各ガス吹出孔13
aを棚板19を避けて棚板19間の空間にそれぞれ適切
に開口させ得るように設定してある。また、それらのガ
ス吹出孔13aに対応してカバー16の面板部にも略同
数のガス逃げ孔16aが設けてある。
【0016】ガス導入経路21は、前記予熱パイプ20
を一構成要素とするほか、その予熱パイプ20の終端を
前記炉床23および前記底板12を介して前記一対の仕
切板13間の中空部に連通させるための適当な内部通路
24を有している。そして、炉外のガス供給手段等から
ガスを導入した場合に、そのガスを予熱パイプ20内を
引き回す間に加熱し、しかる後、内部通路24を介して
仕切板13間の中空部に至らしめ、ここよりガス吹出口
13aを介して左右の空間に高圧で噴出させることがで
きるようになっている。
【0017】なお、31はタイトボックス4の内外に差
圧を設けるためのガス流量形であり、32は容器11の
内外に差圧を設けるためのガス流量計である。そして、
脱ワックス進行時には、処理室S2 のうち容器11内
の圧力をP1 、容器11とタイトボックス4の間の圧
力をP2 とし、また加熱室S1 の圧力をP3 とし
た場合に、P1 =P3 >P2 が成立するようにそ
れらのガス流量形31、32を見ながら流量制御するよ
うにしている。33は容器11内に挿入された温度計で
ある。
【0018】このような構成のものであると、炉外から
導入されたガスは先ずもってガス導入経路21を通り容
器11内に導入されることになり、この容器11内を通
過した後、処理室S2 のうち容器11とタイトボック
ス4の間の空間に差圧フローし、この空間に開口するガ
ス排出経路8より直接炉外に排出されることになる。一
方、タイトボックス4は本来加熱室S1 側から処理室
S2 側に差圧フローするガスを有しているので、この
ガスも前述したガスと合流してタイトボックス4内周に
開口するガス排出経路8より炉外に直接排出されること
になる。
【0019】しかして、このようないわば2段差圧式の
対流加熱構造を採用すると、容器11はガス導入経路2
1を通じて導入されるガスによる対流加熱で内部から直
接加熱されると同時に、そのガスが容器11を出た際に
加熱室S1 側から流入して来るガスとともに外部を加
熱されることになる。このため、容器11は内外部に亘
って均一加熱されることになり、容器11内に収容され
る処理物を短時間でムラなく昇温させることが可能にな
る。特に、本実施例の構造は前記容器11内に棚板19
を挿入してもガスを吹出孔13aから逃げ孔16aに向
かって均一に流すことができるものであるため、各棚板
19上に多数の射出成形品等を並べて処理に供する場合
等に実益が大きい。
【0020】なお、処理物が比較的大きい場合には棚板
19を用いる必要がないのは勿論であり、仕切板18も
適宜取り外して使用することが可能である。また、前記
ガス吹出孔13aおよびガス逃げ孔16aの各径を下方
から上方に向かって漸次大きくなるように設定しておく
と、各棚における排気速度を均一化することができ、よ
り一層効果的となる。さらに、ガス導入経路は必ずしも
予熱パイプに沿って引き回す必要はなく、容器内にガス
を案内するための通路も構造的に限定されない。その他
、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能であ
る。
【0021】
【発明の効果】本発明の真空焼結炉は、以上のような構
成であるから、処理物を収容した容器がタイトボックス
内の処理室に配置された場合にその容器全体を短時間で
均一加熱することができ、その結果、脱ワックスにかか
る所要時間を短縮して生産性やコストパフォーマンスの
向上を果たし、品質の向上も果たすことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す横断面図。
【図2】同実施例の縦断面図。
【図3】同実施例で用いた容器の分解斜視図。
【図4】従来例を示す縦断面図。
【符号の説明】
S1 …加熱室 S2 …処理室 4…タイトボックス 11…容器 21…ガス導入経路

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】炉内の加熱室と処理室の仕切りにタイトボ
    ックスを用い、その処理室に処理物を収容した容器を配
    設するようにした真空焼結炉において、前記容器内に炉
    外からのガスを予熱状態で直接導入するためのガス導入
    経路を接続したことを特徴とする真空焼結炉。
JP3132784A 1991-06-04 1991-06-04 真空焼結炉 Expired - Lifetime JP2504345B2 (ja)

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