JPH04356713A - 狭トラック幅磁気記録ヘッド - Google Patents
狭トラック幅磁気記録ヘッドInfo
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- JPH04356713A JPH04356713A JP13097891A JP13097891A JPH04356713A JP H04356713 A JPH04356713 A JP H04356713A JP 13097891 A JP13097891 A JP 13097891A JP 13097891 A JP13097891 A JP 13097891A JP H04356713 A JPH04356713 A JP H04356713A
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- G11B5/59683—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for track following on disks for magnetoresistive heads
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録方式を利用し
た情報記憶装置に用いられる磁気ヘッドに関し、トラッ
ク幅の縮小化を可能にし、磁気媒体に高密度な磁気記録
をおこなうことができる磁気ヘッドに係る。
た情報記憶装置に用いられる磁気ヘッドに関し、トラッ
ク幅の縮小化を可能にし、磁気媒体に高密度な磁気記録
をおこなうことができる磁気ヘッドに係る。
【０００２】
【従来の技術】磁気記録において、高密度化、大容量化
を進めるためには、磁気ヘッドの狭トラック化は必須で
ある。また、記録媒体は高密度化、大容量化に対応する
ため高保磁力化が進み、このため磁気ヘッドには、狭ト
ラックでしかも媒体を磁化するのに十分な強度の磁界を
出せることが要求されている。
を進めるためには、磁気ヘッドの狭トラック化は必須で
ある。また、記録媒体は高密度化、大容量化に対応する
ため高保磁力化が進み、このため磁気ヘッドには、狭ト
ラックでしかも媒体を磁化するのに十分な強度の磁界を
出せることが要求されている。
【０００３】磁気ヘッドの狭トラック化の一つの手法と
して、スパッタ、イオンミリング等のプロセスでトラッ
ク幅を狭める方法がある。しかし、この方法によると、
磁極先端部分の磁路の断面積が小さくなり、この部分の
磁化が最も早く飽和するため、媒体を磁化するのに十分
な磁界強度を得ることができなくなる。この対策として
例えば、記録ビット方向に磁極の厚さを増加させ、磁極
先端部分の磁化飽和を緩和する方法がとられる。
して、スパッタ、イオンミリング等のプロセスでトラッ
ク幅を狭める方法がある。しかし、この方法によると、
磁極先端部分の磁路の断面積が小さくなり、この部分の
磁化が最も早く飽和するため、媒体を磁化するのに十分
な磁界強度を得ることができなくなる。この対策として
例えば、記録ビット方向に磁極の厚さを増加させ、磁極
先端部分の磁化飽和を緩和する方法がとられる。
【０００４】ウエハプロセス段階におけるトラックの加
工法としては、例えばＡｌ２Ｏ３膜をフッ化炭素系ガス
を用いてイオンビームエッチングする「特開昭６０−３
７１３０号」公報のように、アルミナマスク法でトラッ
ク幅加工する手法がとられている。また、磁極が厚くて
も、トラック幅の寸法精度が良く、高保磁力媒体を十分
に磁化できる磁気ヘッドとしては、例えば「特開昭６３
−２８１２０９号」公報のように、上部磁気コアを二つ
に分割するプロセスで形成する手法などが提案されてい
る。しかしこの手法を用いても現状では３〜５μｍのト
ラック幅加工が限界である。
工法としては、例えばＡｌ２Ｏ３膜をフッ化炭素系ガス
を用いてイオンビームエッチングする「特開昭６０−３
７１３０号」公報のように、アルミナマスク法でトラッ
ク幅加工する手法がとられている。また、磁極が厚くて
も、トラック幅の寸法精度が良く、高保磁力媒体を十分
に磁化できる磁気ヘッドとしては、例えば「特開昭６３
−２８１２０９号」公報のように、上部磁気コアを二つ
に分割するプロセスで形成する手法などが提案されてい
る。しかしこの手法を用いても現状では３〜５μｍのト
ラック幅加工が限界である。
【０００５】摺動面研磨後の加工によって磁極先端に段
差を設け、狭トラック化する方法としては、例えばキシ
ガミ等がＩＥＥＥ トランザクション オン マ
グネティクス２４巻 第６号 ｐｐ２８４１〜２８
４３ １１月 １９８８年（ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ
． Ｍａｇｎ．，ｖｏｌ．２４，Ｎｏ．６，Ｎｏｖ １
９８８）で述べている。ここではホトレジストをマスク
としイオンミリング法により磁極先端に段差を設けてい
る。
差を設け、狭トラック化する方法としては、例えばキシ
ガミ等がＩＥＥＥ トランザクション オン マ
グネティクス２４巻 第６号 ｐｐ２８４１〜２８
４３ １１月 １９８８年（ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ
． Ｍａｇｎ．，ｖｏｌ．２４，Ｎｏ．６，Ｎｏｖ １
９８８）で述べている。ここではホトレジストをマスク
としイオンミリング法により磁極先端に段差を設けてい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術で狭トラ
ック化を進める場合には、磁極先端部の磁路の断面積を
小さくすることが避けられず、高保磁力媒体を磁化する
のに十分な磁界強度を得ることができない。
ック化を進める場合には、磁極先端部の磁路の断面積を
小さくすることが避けられず、高保磁力媒体を磁化する
のに十分な磁界強度を得ることができない。
【０００７】図２は磁気回路を構成する従来の薄膜磁気
ヘッドの断面を説明するための図である。ここで、１は
上部磁極、２は下部磁極で、１、２ともに磁路を形成す
るための磁性膜であり、例えばＮｉ−Ｆｅ（パーマロイ
）等の高飽和磁束密度材料の単層または、Ａｌ２Ｏ３等
の絶縁層を挾んだ多層構造となっている。３はコイルで
あり、例えばＡｌ，Ｃｕ，Ｃｒ等からなる。このコイル
に電流を流すと、電流に対応した磁束が、１、２より構
成される磁気回路に流れる。磁路を通る磁束はこの磁極
の断面積の一番小さい個所４あたりで最初に飽和状態と
なり、それより多くの磁束はこの個所を通れないため、
記録のために磁極先端に発生する磁界強度もこれより強
くすることはできない。
ヘッドの断面を説明するための図である。ここで、１は
上部磁極、２は下部磁極で、１、２ともに磁路を形成す
るための磁性膜であり、例えばＮｉ−Ｆｅ（パーマロイ
）等の高飽和磁束密度材料の単層または、Ａｌ２Ｏ３等
の絶縁層を挾んだ多層構造となっている。３はコイルで
あり、例えばＡｌ，Ｃｕ，Ｃｒ等からなる。このコイル
に電流を流すと、電流に対応した磁束が、１、２より構
成される磁気回路に流れる。磁路を通る磁束はこの磁極
の断面積の一番小さい個所４あたりで最初に飽和状態と
なり、それより多くの磁束はこの個所を通れないため、
記録のために磁極先端に発生する磁界強度もこれより強
くすることはできない。
【０００８】図３は励磁電流と記録磁界強度のピーク値
との関係を示した例である。駆動周波数は１０ＭＨｚで
、測定は磁極先端から１μｍ離れた位置で行われた。 磁路が飽和してしまうため、電流を増加させてもそれに
比例した磁界強度のピーク値は得られない。そして、ト
ラック幅が小さい、即ち、磁極の断面積が小さい方が、
少ない電流値で飽和してしまう。
との関係を示した例である。駆動周波数は１０ＭＨｚで
、測定は磁極先端から１μｍ離れた位置で行われた。 磁路が飽和してしまうため、電流を増加させてもそれに
比例した磁界強度のピーク値は得られない。そして、ト
ラック幅が小さい、即ち、磁極の断面積が小さい方が、
少ない電流値で飽和してしまう。
【０００９】以上のように、端に寸法を小さくすること
で狭トラック化を行っただけでは、媒体を磁化するのに
十分な磁界強度が得られないという問題があった。
で狭トラック化を行っただけでは、媒体を磁化するのに
十分な磁界強度が得られないという問題があった。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の骨子は、媒体保
磁力以下の磁界を狭トラック磁極の脇、または周りから
発生させることにより、断面積縮小によって弱くなった
記録ビット方向磁界強度を強め、狭トラック部分の磁界
強度のみが媒体の保磁力以上になるようにすることであ
る。例えば以下の方法で、前述の発明を実施する。；■
磁極の片側または両側の磁極面を、必要なトラック幅相
当の部分のみを残して後退させる。即ち、脇部の媒体と
の摺動面からの距離を、狭トラック幅の磁極よりも長く
した磁極構成とする。■必要なトラック幅の磁極の片側
または両脇で、飽和磁束密度の小なる一つ以上の材料に
よってさらに磁極を構成する。■狭トラックの磁界を発
生する磁路の脇、または記録ビット方向側に、それを強
めるための磁界を発生するための別磁極を設ける。
磁力以下の磁界を狭トラック磁極の脇、または周りから
発生させることにより、断面積縮小によって弱くなった
記録ビット方向磁界強度を強め、狭トラック部分の磁界
強度のみが媒体の保磁力以上になるようにすることであ
る。例えば以下の方法で、前述の発明を実施する。；■
磁極の片側または両側の磁極面を、必要なトラック幅相
当の部分のみを残して後退させる。即ち、脇部の媒体と
の摺動面からの距離を、狭トラック幅の磁極よりも長く
した磁極構成とする。■必要なトラック幅の磁極の片側
または両脇で、飽和磁束密度の小なる一つ以上の材料に
よってさらに磁極を構成する。■狭トラックの磁界を発
生する磁路の脇、または記録ビット方向側に、それを強
めるための磁界を発生するための別磁極を設ける。
【００１１】
【作用】上記手段により、磁気ヘッドの記録ビット方向
の磁界強度分布は、強度が最大値をとる先端の狭トラッ
ク領域と、その脇または周りに広がった、弱い磁界強度
を持つ領域との組合せになる。よって、狭トラック化に
よって減少する磁界強度を、脇または周りから発生する
記録媒体保磁力以下の磁界によって増加させ、狭トラッ
ク領域のみに媒体の保磁力以上の磁界強度を持たせるこ
とができる。図１に上記手段によって実現されたトラッ
ク方向における記録磁界強度分布の例を示す。破線で示
されたトラック幅の狭い磁極のみの磁界分布が、脇また
は周りから発生する磁界によって強められており、その
部分だけが媒体保磁力以上になる。即ち、単にトラック
幅を狭くしただけでは達成されなかった高保磁力媒体へ
の記録を可能にする。
の磁界強度分布は、強度が最大値をとる先端の狭トラッ
ク領域と、その脇または周りに広がった、弱い磁界強度
を持つ領域との組合せになる。よって、狭トラック化に
よって減少する磁界強度を、脇または周りから発生する
記録媒体保磁力以下の磁界によって増加させ、狭トラッ
ク領域のみに媒体の保磁力以上の磁界強度を持たせるこ
とができる。図１に上記手段によって実現されたトラッ
ク方向における記録磁界強度分布の例を示す。破線で示
されたトラック幅の狭い磁極のみの磁界分布が、脇また
は周りから発生する磁界によって強められており、その
部分だけが媒体保磁力以上になる。即ち、単にトラック
幅を狭くしただけでは達成されなかった高保磁力媒体へ
の記録を可能にする。
【００１２】また、仮に磁界強度分布が非常に急峻で、
本願で述べるような脇または周りに広がった弱い磁界（
バックグランド磁界）の領域がない狭トラックヘッドが
実現できたとしても、以下に述べるような点から、本願
に示す磁界分布の方が有利である。これを図４を用いて
説明する。図４（ａ）のように記録方向磁界（これをｘ
方向とし、これに垂直なトラック幅方向をｙ方向とする
）が鋭いピークをもつ場合、磁力線の連続性から、ｘ方
向磁界強度に応じた鋭いピークをもつｙ方向の磁界が磁
極の端部に集中する。このｙ方向磁界の強度はｘ方向磁
界の裾野からピークまでの高さΔＨｘに比例する。この
ｙ方向磁界は記録トラックの境界部に集中し、その部分
の磁化状態が図４に示したように乱されるため、再生時
にノイズとなってしまう。一方、図４（ｂ）のような記
録方向（ｘ方向）磁界分布をもつ場合、Ｈｘ磁界は周辺
部のバックグランド磁界と中心部の狭トラック磁界が合
成され十分な強度が得られる。ところがトラック周辺部
のバックグランド磁界にはｙ方向成分がないため、ｙ方
向磁界強度はバックグランド磁界の強度とは無関係で、
バックグランドからピークまでの高さΔＨｘのみに依存
する。このΔＨｘが小さいため、トラック境界部に集中
するｙ方向磁界の強度は図４（ａ）より十分小さい。そ
のため、トラック境界部の記録状態を乱すことがなく、
再生時のノイズも非常に小さくなる。
本願で述べるような脇または周りに広がった弱い磁界（
バックグランド磁界）の領域がない狭トラックヘッドが
実現できたとしても、以下に述べるような点から、本願
に示す磁界分布の方が有利である。これを図４を用いて
説明する。図４（ａ）のように記録方向磁界（これをｘ
方向とし、これに垂直なトラック幅方向をｙ方向とする
）が鋭いピークをもつ場合、磁力線の連続性から、ｘ方
向磁界強度に応じた鋭いピークをもつｙ方向の磁界が磁
極の端部に集中する。このｙ方向磁界の強度はｘ方向磁
界の裾野からピークまでの高さΔＨｘに比例する。この
ｙ方向磁界は記録トラックの境界部に集中し、その部分
の磁化状態が図４に示したように乱されるため、再生時
にノイズとなってしまう。一方、図４（ｂ）のような記
録方向（ｘ方向）磁界分布をもつ場合、Ｈｘ磁界は周辺
部のバックグランド磁界と中心部の狭トラック磁界が合
成され十分な強度が得られる。ところがトラック周辺部
のバックグランド磁界にはｙ方向成分がないため、ｙ方
向磁界強度はバックグランド磁界の強度とは無関係で、
バックグランドからピークまでの高さΔＨｘのみに依存
する。このΔＨｘが小さいため、トラック境界部に集中
するｙ方向磁界の強度は図４（ａ）より十分小さい。そ
のため、トラック境界部の記録状態を乱すことがなく、
再生時のノイズも非常に小さくなる。
【００１３】
（第１の実施例）以下、本発明の実施例を図面を用いて
説明する。図５は本発明の実施例の磁気ヘッドの摺動面
から見た構造を示す。この実施例は、図６が示した薄膜
磁気ヘッドの摺動面のＡで示す部分を集束イオンビーム
で削り取ることで作製したものである。１は上部磁極、
２は下部磁極でこの面が摺動面になっている。５はスラ
イダ基板、６は磁極間のギャップである。
説明する。図５は本発明の実施例の磁気ヘッドの摺動面
から見た構造を示す。この実施例は、図６が示した薄膜
磁気ヘッドの摺動面のＡで示す部分を集束イオンビーム
で削り取ることで作製したものである。１は上部磁極、
２は下部磁極でこの面が摺動面になっている。５はスラ
イダ基板、６は磁極間のギャップである。
【００１４】この磁気ヘッドにおいて、媒体との摺動面
側から集束イオンビームを入射させ、必要な狭トラック
幅７の部分のみを残して、その両脇の部分をある深さだ
け削り、磁気ヘッドの先端に段差を設けたものである。 ここでは磁極先端の両脇を削ったものについて述べるが
、その構造は必ずしも対称構造をとる必要はない。
側から集束イオンビームを入射させ、必要な狭トラック
幅７の部分のみを残して、その両脇の部分をある深さだ
け削り、磁気ヘッドの先端に段差を設けたものである。 ここでは磁極先端の両脇を削ったものについて述べるが
、その構造は必ずしも対称構造をとる必要はない。
【００１５】図７に、この実施で得られる磁界分布の測
定例を示した。（ａ）は削る前のトラック方向について
調べた記録ビット方向磁界の分布で、（ｂ）は深さ１．
５μｍで削った場合の磁界分布である。測定はローレン
ツ・トモグラフィー法で行った。加工された磁気ヘッド
の発生する磁界分布は、その中心部に鋭いピークを持っ
たものとなり、ピーク値は加工前と同じで、その他の部
分は約２分の１になっている。このピークの幅は、ほぼ
、加工したトラック幅１μｍに狭められている。使用す
る媒体の保磁力は約１３００Ｏｅであるため、狭トラッ
ク幅での媒体への書き込みには影響を与えることはない
。この実施では、１．２μｍ以下の狭トラック幅記録が
実施できた。
定例を示した。（ａ）は削る前のトラック方向について
調べた記録ビット方向磁界の分布で、（ｂ）は深さ１．
５μｍで削った場合の磁界分布である。測定はローレン
ツ・トモグラフィー法で行った。加工された磁気ヘッド
の発生する磁界分布は、その中心部に鋭いピークを持っ
たものとなり、ピーク値は加工前と同じで、その他の部
分は約２分の１になっている。このピークの幅は、ほぼ
、加工したトラック幅１μｍに狭められている。使用す
る媒体の保磁力は約１３００Ｏｅであるため、狭トラッ
ク幅での媒体への書き込みには影響を与えることはない
。この実施では、１．２μｍ以下の狭トラック幅記録が
実施できた。
【００１６】この実施例では集束イオンビームを用いた
が、これを通常のホトリソプロセスで形成することも可
能である。即ち、ウェハプロセス中にスパッタ、イオン
ミリング等で磁極先端部に段差を作成した場合も上記の
実施例と同様の効果がある。
が、これを通常のホトリソプロセスで形成することも可
能である。即ち、ウェハプロセス中にスパッタ、イオン
ミリング等で磁極先端部に段差を作成した場合も上記の
実施例と同様の効果がある。
【００１７】また、削られる部分の磁極形状は、媒体摺
動面に対して平行である必要はなく、例えば、その面が
トラック方向や記録ビット方向に傾斜していてもよい。
動面に対して平行である必要はなく、例えば、その面が
トラック方向や記録ビット方向に傾斜していてもよい。
【００１８】磁極部先端の段差を無くし平坦にするため
、その深い方の部分に非磁性体を充填することは、磁気
ディスク装置として使う場合は有効である。他の例とし
て、磁気回路を構成する磁路材より飽和磁束密度の低い
磁路材で充填しても、同様の磁界強度分布が得ることが
できる。
、その深い方の部分に非磁性体を充填することは、磁気
ディスク装置として使う場合は有効である。他の例とし
て、磁気回路を構成する磁路材より飽和磁束密度の低い
磁路材で充填しても、同様の磁界強度分布が得ることが
できる。
【００１９】（第２の実施例）第１の実施例で述べたよ
うな構造の下部磁極近傍に磁気抵抗効果素子を設け、記
録再生分離ヘッドを作った。このヘッドの構造を図８（
ａ）に示す。磁気抵抗効果素子２１を磁性体のシールド
層２２で挾み、磁極の近傍に設けた。この時、狭トラッ
ク部分の磁界強度は媒体の保磁力以上とし、周辺部の磁
界強度は磁気抵抗効果素子２１の異方性磁界以上のもの
と、それ以下のものの２種類を製作した。磁界強度分布
はローレンツトモグラフィ法で確認した。両者のヘッド
の再生特性を比較したところ、周辺部の磁界強度が磁気
抵抗効果素子２１の異方性磁界以上のヘッドの方がノイ
ズの少ない再生波形が得られた。これは、周辺部の磁界
強度が磁気抵抗効果素子２１の異方性磁界以上のため、
記録時に磁極から発生する磁界によって磁気抵抗効果素
子２１の磁区が中心部から周辺部まで全体に同じ向きに
磁化され、磁壁ができないためであった。一方、周辺部
の磁界強度が磁気抵抗効果素子２１の異方性磁界以下の
ヘッドでは、狭トラック部分の強い磁界のみが磁気抵抗
効果素子２１の中心部のみにかかるため、中心部の磁化
の向きが周辺部と異なり磁壁が発生してしまう。このよ
うな磁壁が残留したまま再生を行ったたバルクハウゼン
ノイズが大きくなることが分かった。以上の結果から、
周辺部の磁界強度が磁気抵抗効果素子２１の異方性磁界
以上で媒体の保磁力以下であることが望ましいことが分
かった。
うな構造の下部磁極近傍に磁気抵抗効果素子を設け、記
録再生分離ヘッドを作った。このヘッドの構造を図８（
ａ）に示す。磁気抵抗効果素子２１を磁性体のシールド
層２２で挾み、磁極の近傍に設けた。この時、狭トラッ
ク部分の磁界強度は媒体の保磁力以上とし、周辺部の磁
界強度は磁気抵抗効果素子２１の異方性磁界以上のもの
と、それ以下のものの２種類を製作した。磁界強度分布
はローレンツトモグラフィ法で確認した。両者のヘッド
の再生特性を比較したところ、周辺部の磁界強度が磁気
抵抗効果素子２１の異方性磁界以上のヘッドの方がノイ
ズの少ない再生波形が得られた。これは、周辺部の磁界
強度が磁気抵抗効果素子２１の異方性磁界以上のため、
記録時に磁極から発生する磁界によって磁気抵抗効果素
子２１の磁区が中心部から周辺部まで全体に同じ向きに
磁化され、磁壁ができないためであった。一方、周辺部
の磁界強度が磁気抵抗効果素子２１の異方性磁界以下の
ヘッドでは、狭トラック部分の強い磁界のみが磁気抵抗
効果素子２１の中心部のみにかかるため、中心部の磁化
の向きが周辺部と異なり磁壁が発生してしまう。このよ
うな磁壁が残留したまま再生を行ったたバルクハウゼン
ノイズが大きくなることが分かった。以上の結果から、
周辺部の磁界強度が磁気抵抗効果素子２１の異方性磁界
以上で媒体の保磁力以下であることが望ましいことが分
かった。
【００２０】以上は磁気抵抗効果素子２１を磁極１、２
の近傍に設けた構造のヘッドについて述べたが、図８（
ｂ）のように磁極のギャップ中央に設けたヘッドでも全
く同様なことが言える。
の近傍に設けた構造のヘッドについて述べたが、図８（
ｂ）のように磁極のギャップ中央に設けたヘッドでも全
く同様なことが言える。
【００２１】（第３の実施例）上記第１の実施例の磁気
ヘッドと、以下に説明するような特性を持った磁気記録
媒体を組み合わせることで、狭トラック記録が可能な磁
気ディスク装置を実現した。
ヘッドと、以下に説明するような特性を持った磁気記録
媒体を組み合わせることで、狭トラック記録が可能な磁
気ディスク装置を実現した。
【００２２】上記第１の実施例の磁気ヘッドで媒体に記
録する場合、狭トラック磁界による媒体の残留磁化（こ
れをＭとする）に対し、周辺部の磁界による媒体の残留
磁化（これをｍとする）が１／２０以下であれば狭トラ
ック幅記録が可能である。これを満足するために必要な
磁気ヘッドの記録磁界の条件は媒体のヒステリシス特性
により決定される。これを図９に示す。この図でＭ，Ｍ
’は残留磁化、ｍ＝Ｍ／２０，ｍ’＝Ｍ’／２０である
。Ｈｓは媒体内の磁化を飽和させるのに必要な外部印加
磁界、Ｈｍは媒体をｍだけ磁化するのに必要な磁界、Ｈ
ｍ’は飽和している媒体に印加し、媒体をｍ’だけ磁化
させる外部印加磁界である。媒体がＡＣ消去されている
状態では、磁界が印加されると原点Ａから初期磁化曲線
に沿って磁化されていく。この時、磁気ヘッドの磁界は
狭トラック部分の磁界がＨｓ以上、周辺部の磁界がＨｍ
以下であれば、磁化Ｍで狭トラックの記録が可能である
。また、媒体がＤＣ消去されている場合はＢ点からスタ
ートし、逆方向に磁化されていく。その時、磁気ヘッド
が発生する狭トラック部分の磁界がＨｓ以上、周辺部の
磁界がＨｍ’以下であれば、ｍ’＜Ｍ’となり狭トラッ
ク幅記録が可能となる。このＨｓに対するＨｍ、Ｈｍ’
の比Ｈｍ／Ｈｓ、Ｈｍ’／Ｈｓが１に近いほど理想的な
媒体であり、その時磁気ヘッドの狭トラック部の磁界強
度は周辺部の磁界強度よりわずかでも大きければ良いこ
とになる。しかし通常の媒体はＨｍ／Ｈｓが１／３程度
のものが多い。狭トラック幅記録を行う場合、この値が
どの範囲にあれば良いかは磁気ヘッドの記録磁界分布の
狭トラック部の磁界強度と周辺部の磁界強度の大きさに
より限定される。
録する場合、狭トラック磁界による媒体の残留磁化（こ
れをＭとする）に対し、周辺部の磁界による媒体の残留
磁化（これをｍとする）が１／２０以下であれば狭トラ
ック幅記録が可能である。これを満足するために必要な
磁気ヘッドの記録磁界の条件は媒体のヒステリシス特性
により決定される。これを図９に示す。この図でＭ，Ｍ
’は残留磁化、ｍ＝Ｍ／２０，ｍ’＝Ｍ’／２０である
。Ｈｓは媒体内の磁化を飽和させるのに必要な外部印加
磁界、Ｈｍは媒体をｍだけ磁化するのに必要な磁界、Ｈ
ｍ’は飽和している媒体に印加し、媒体をｍ’だけ磁化
させる外部印加磁界である。媒体がＡＣ消去されている
状態では、磁界が印加されると原点Ａから初期磁化曲線
に沿って磁化されていく。この時、磁気ヘッドの磁界は
狭トラック部分の磁界がＨｓ以上、周辺部の磁界がＨｍ
以下であれば、磁化Ｍで狭トラックの記録が可能である
。また、媒体がＤＣ消去されている場合はＢ点からスタ
ートし、逆方向に磁化されていく。その時、磁気ヘッド
が発生する狭トラック部分の磁界がＨｓ以上、周辺部の
磁界がＨｍ’以下であれば、ｍ’＜Ｍ’となり狭トラッ
ク幅記録が可能となる。このＨｓに対するＨｍ、Ｈｍ’
の比Ｈｍ／Ｈｓ、Ｈｍ’／Ｈｓが１に近いほど理想的な
媒体であり、その時磁気ヘッドの狭トラック部の磁界強
度は周辺部の磁界強度よりわずかでも大きければ良いこ
とになる。しかし通常の媒体はＨｍ／Ｈｓが１／３程度
のものが多い。狭トラック幅記録を行う場合、この値が
どの範囲にあれば良いかは磁気ヘッドの記録磁界分布の
狭トラック部の磁界強度と周辺部の磁界強度の大きさに
より限定される。
【００２３】そこで、狭トラック部分の磁界強度と周辺
部の磁界強度をローレンツトモグラフィ法で測定した。 磁極材料は飽和磁束密度１Ｔのパーマロイで、トラック
幅は１μｍ、２μｍ、５μｍの三種類とし、それぞれ磁
極を削る深さを変化させて測定した。磁極の削り深さと
トラック幅の比が等しい場合にはピーク磁界強度と週変
部の磁界強度がほぼ等しかった。そこで図１０には、横
軸に削り深さをトラック幅で規格化した値をとり、その
時のピーク磁界強度と周辺部の磁界強度の比、およびピ
ーク磁界強度の関係を示す。この結果から、削り深さを
大きくすれば、ピーク磁界強度に対する周辺部の磁界強
度の比が小さくなる。そして、この比が１／５以下にな
るところで磁界強度が急激に減少し、媒体保磁力以下に
なってしまうことが分かった。従って、周辺部の磁界強
度を狭トラック部の磁界強度の１／５以上とし、図９に
示すヒステリシスループにおいてＨｍ／ＨｓまたはＨｍ
’／Ｈｓが１／５以上であるような磁気記録媒体と組み
合わせることで、狭トラック幅記録の可能な磁気ディス
ク装置を実現した。
部の磁界強度をローレンツトモグラフィ法で測定した。 磁極材料は飽和磁束密度１Ｔのパーマロイで、トラック
幅は１μｍ、２μｍ、５μｍの三種類とし、それぞれ磁
極を削る深さを変化させて測定した。磁極の削り深さと
トラック幅の比が等しい場合にはピーク磁界強度と週変
部の磁界強度がほぼ等しかった。そこで図１０には、横
軸に削り深さをトラック幅で規格化した値をとり、その
時のピーク磁界強度と周辺部の磁界強度の比、およびピ
ーク磁界強度の関係を示す。この結果から、削り深さを
大きくすれば、ピーク磁界強度に対する周辺部の磁界強
度の比が小さくなる。そして、この比が１／５以下にな
るところで磁界強度が急激に減少し、媒体保磁力以下に
なってしまうことが分かった。従って、周辺部の磁界強
度を狭トラック部の磁界強度の１／５以上とし、図９に
示すヒステリシスループにおいてＨｍ／ＨｓまたはＨｍ
’／Ｈｓが１／５以上であるような磁気記録媒体と組み
合わせることで、狭トラック幅記録の可能な磁気ディス
ク装置を実現した。
【００２４】（第４の実施例）第一の実施例で述べた狭
トラック幅磁気記録ヘッドにおいて、削り深さがある値
より大きくなると十分な磁界強度が得られなくなること
はすでに述べた。ここでは第３の実施例で述べた、Ｈｍ
／ＨｓまたはＨｍ’／Ｈｓが１／５以上である磁気記録
媒体と組み合わせた場合に、磁極を削る深さの最大値と
磁極の面積、磁極の飽和磁束密度の関係を調べた。その
結果を図１１に示す。横軸は摺動面に露出している磁極
の面積、縦軸は狭トラック幅記録が可能な場合の磁極を
削る深さの最大値である。磁極材料の飽和磁束密度は０
．５Ｔ，１Ｔ，１．５Ｔの三種類で行った。これにより
、磁極面積ｓ、磁極の飽和磁束密度Ｂｓと削り深さの最
大値ｄｍａｘはほぼ比例関係にあり次の数式が成り立つ
ことが分かった。
トラック幅磁気記録ヘッドにおいて、削り深さがある値
より大きくなると十分な磁界強度が得られなくなること
はすでに述べた。ここでは第３の実施例で述べた、Ｈｍ
／ＨｓまたはＨｍ’／Ｈｓが１／５以上である磁気記録
媒体と組み合わせた場合に、磁極を削る深さの最大値と
磁極の面積、磁極の飽和磁束密度の関係を調べた。その
結果を図１１に示す。横軸は摺動面に露出している磁極
の面積、縦軸は狭トラック幅記録が可能な場合の磁極を
削る深さの最大値である。磁極材料の飽和磁束密度は０
．５Ｔ，１Ｔ，１．５Ｔの三種類で行った。これにより
、磁極面積ｓ、磁極の飽和磁束密度Ｂｓと削り深さの最
大値ｄｍａｘはほぼ比例関係にあり次の数式が成り立つ
ことが分かった。
【００２５】ｄｍａｘ〔μｍ〕＝０．７〔１／（μｍ・
Ｔ）〕・ｓ〔μｍ２〕・Ｂｓ〔Ｔ〕 …〔数１〕この
関係を満たす磁気ヘッドを製作し、第３の実施例で述べ
た記録媒体と組み合わせることで狭トラック幅磁気記録
を実現した。
Ｔ）〕・ｓ〔μｍ２〕・Ｂｓ〔Ｔ〕 …〔数１〕この
関係を満たす磁気ヘッドを製作し、第３の実施例で述べ
た記録媒体と組み合わせることで狭トラック幅磁気記録
を実現した。
【００２６】（第５の実施例）磁極部先端の段差をなく
し、かつ第１の実施例で述べた磁界分布を得ることは、
第１の実施例で述べた段差の部分を充填する方法以外で
も達成できる。図１２は第２の実施例を示す図である。 ここでは、ヘッドを励磁するためのコイルを共有し、か
つ磁路が複数の磁性材料で構成される。８は強い磁界を
発生する飽和磁束密度の高い磁性材料、９は８より飽和
磁束密度の低い磁性材料である。
し、かつ第１の実施例で述べた磁界分布を得ることは、
第１の実施例で述べた段差の部分を充填する方法以外で
も達成できる。図１２は第２の実施例を示す図である。 ここでは、ヘッドを励磁するためのコイルを共有し、か
つ磁路が複数の磁性材料で構成される。８は強い磁界を
発生する飽和磁束密度の高い磁性材料、９は８より飽和
磁束密度の低い磁性材料である。
【００２７】この構造の磁気ヘッドは、例えばウエハプ
ロセスにおけるリフトオフ法を使って作成することがで
きる。初めにマスクを用いて両脇の磁極を形成させ、ホ
トレジストをその上に形成した後で、先に形成された磁
極間に狭トラック幅記録用の磁極を形成する。上部磁極
も下部磁極も同様に形成する。両端の磁性材料９を例え
ばパーマロイにし、中央の部分の磁性材料８を９よりも
飽和磁束密度の高い材料、例えばＦｅ−Ｓｉ系等の材料
を用いて作製する。この方法で作製した磁気ヘッドをロ
ーレンツ・トモグラフィー法で測定を行なったところ、
第１の実施例で述べた磁界強度分布と同様の結果が得ら
れ、その効果も同じであった。
ロセスにおけるリフトオフ法を使って作成することがで
きる。初めにマスクを用いて両脇の磁極を形成させ、ホ
トレジストをその上に形成した後で、先に形成された磁
極間に狭トラック幅記録用の磁極を形成する。上部磁極
も下部磁極も同様に形成する。両端の磁性材料９を例え
ばパーマロイにし、中央の部分の磁性材料８を９よりも
飽和磁束密度の高い材料、例えばＦｅ−Ｓｉ系等の材料
を用いて作製する。この方法で作製した磁気ヘッドをロ
ーレンツ・トモグラフィー法で測定を行なったところ、
第１の実施例で述べた磁界強度分布と同様の結果が得ら
れ、その効果も同じであった。
【００２８】また、励磁するためのコイルを共有せずに
、独立して持たせることも可能である。
、独立して持たせることも可能である。
【００２９】（第６の実施例）図１３は他の実施例の磁
極先端の構造を示す。１０、１１は狭トラック幅記録用
の磁極で例えばＦｅ−Ｓｉ系の材料を用い、１２、１３
はそれを強める磁界を発生させるための磁極で例えばパ
ーマロイを用いる。これは狭トラック幅記録用の磁極の
、記録ビット方向側にさらに幅の広い磁極を配置し、磁
路を形成している。狭トラック幅記録用の磁極１０、１
１は断面積が小さいため、この磁極から発生した磁界だ
けでは記録媒体を磁化するのには磁界強度が弱く、書き
込みはできない。また、幅の広い磁極１２、１３によっ
て発生する磁界は媒体の保磁力以下である。ところが、
両方の磁極を励磁すれば、磁極１２、１３から発生する
磁界によって狭トラック幅記録用磁極１０、１１から発
生する磁界は、その分布形状を保持したまま、強度だけ
が媒体の保磁力以上になる。よって、狭トラック幅での
媒体への書き込みができる。
極先端の構造を示す。１０、１１は狭トラック幅記録用
の磁極で例えばＦｅ−Ｓｉ系の材料を用い、１２、１３
はそれを強める磁界を発生させるための磁極で例えばパ
ーマロイを用いる。これは狭トラック幅記録用の磁極の
、記録ビット方向側にさらに幅の広い磁極を配置し、磁
路を形成している。狭トラック幅記録用の磁極１０、１
１は断面積が小さいため、この磁極から発生した磁界だ
けでは記録媒体を磁化するのには磁界強度が弱く、書き
込みはできない。また、幅の広い磁極１２、１３によっ
て発生する磁界は媒体の保磁力以下である。ところが、
両方の磁極を励磁すれば、磁極１２、１３から発生する
磁界によって狭トラック幅記録用磁極１０、１１から発
生する磁界は、その分布形状を保持したまま、強度だけ
が媒体の保磁力以上になる。よって、狭トラック幅での
媒体への書き込みができる。
【００３０】なお、幅の広い磁極の発生磁界が書き込み
の際に媒体に影響を与えなければ（媒体保磁力の３分の
２以下が望ましい）、磁極を形成する際に１０と１２、
１１と１３は接触させても良い。また、狭トラック幅記
録用の磁極１０、１１とこの発生磁界を強める働きをす
る磁極１２、１３は、励磁コイルを共有する必要も無く
、独立した励磁コイルを有していても良い。この場合、
両者の励磁電流を同一にする必要はなく、例えば、狭ト
ラックの磁極の発生磁界を強める働きをする磁極１２、
１３の励磁電流を、直流にしたり、必要なときにだけ励
磁しても良い。また、トレーリング側の磁極１２のない
構造とし、トレーリング側の磁界分布の勾配を急峻にし
ても良い。
の際に媒体に影響を与えなければ（媒体保磁力の３分の
２以下が望ましい）、磁極を形成する際に１０と１２、
１１と１３は接触させても良い。また、狭トラック幅記
録用の磁極１０、１１とこの発生磁界を強める働きをす
る磁極１２、１３は、励磁コイルを共有する必要も無く
、独立した励磁コイルを有していても良い。この場合、
両者の励磁電流を同一にする必要はなく、例えば、狭ト
ラックの磁極の発生磁界を強める働きをする磁極１２、
１３の励磁電流を、直流にしたり、必要なときにだけ励
磁しても良い。また、トレーリング側の磁極１２のない
構造とし、トレーリング側の磁界分布の勾配を急峻にし
ても良い。
【００３１】（第７の実施例）第一の実施例で述べたよ
うな構造の磁気ヘッドで再生を行う場合、摺動面に露出
した磁極部分は、媒体に近接しているために長波長から
短波長の記録信号までを検出することができる。一方、
周辺部の摺動面から掘り下げられた部分では、長波長の
信号であれば検出することが可能である。このことは、
再生出力Ｅｏｕｔのスペーシング依存性
Ｅｏｕｔ＝−５４．６ｄ／λ
〔ｄＢ〕 …〔数２〕で説明することが
できる。ここでλは記録波長、ｄは媒体から磁極までの
距離である。
うな構造の磁気ヘッドで再生を行う場合、摺動面に露出
した磁極部分は、媒体に近接しているために長波長から
短波長の記録信号までを検出することができる。一方、
周辺部の摺動面から掘り下げられた部分では、長波長の
信号であれば検出することが可能である。このことは、
再生出力Ｅｏｕｔのスペーシング依存性
Ｅｏｕｔ＝−５４．６ｄ／λ
〔ｄＢ〕 …〔数２〕で説明することが
できる。ここでλは記録波長、ｄは媒体から磁極までの
距離である。
【００３２】これを利用して、磁気ヘッドのトラッキン
グを行うディスク装置を実現できる。これを図１４によ
り説明する。
グを行うディスク装置を実現できる。これを図１４によ
り説明する。
【００３３】媒体３０上の情報を記録するトラック３１
の両側または片側に長波長のトラッキング信号を記録し
たサブトラック３２を設ける。この長波長の信号はディ
スクを初期化するときにあらかじめ書き込むようにする
。このディスクを、第一の実施例で述べたような、磁極
の周辺部を掘り下げた磁気ヘッド４０によって再生を行
うことで、磁気記録情報を検知するのと同時に長波長の
トラッキング信号も検出でき、これにより磁気ヘッドの
トラッキングが可能となる。
の両側または片側に長波長のトラッキング信号を記録し
たサブトラック３２を設ける。この長波長の信号はディ
スクを初期化するときにあらかじめ書き込むようにする
。このディスクを、第一の実施例で述べたような、磁極
の周辺部を掘り下げた磁気ヘッド４０によって再生を行
うことで、磁気記録情報を検知するのと同時に長波長の
トラッキング信号も検出でき、これにより磁気ヘッドの
トラッキングが可能となる。
【００３４】また、トラッキング信号を次のような方法
でディスクに書き込んでも良い。まず、トラック３１に
沿ってその両側または片側に一定波長に溝３３を掘る。 溝の間隔は、上記磁気ヘッド４０の周辺部磁極で検出可
能な程度の長波長の間隔とする。つぎに円周方向に媒体
３０を一方向に磁化する。これにより溝の部分から磁界
が空間に漏れ出るため、これをトラッキング信号とする
。
でディスクに書き込んでも良い。まず、トラック３１に
沿ってその両側または片側に一定波長に溝３３を掘る。 溝の間隔は、上記磁気ヘッド４０の周辺部磁極で検出可
能な程度の長波長の間隔とする。つぎに円周方向に媒体
３０を一方向に磁化する。これにより溝の部分から磁界
が空間に漏れ出るため、これをトラッキング信号とする
。
【００３５】
【発明の効果】記録を行う磁気ヘッドの発生する磁界強
度のピーク値を弱めることなく、磁気ヘッドの発生する
磁界分布の媒体への記録に係るトラック幅を小さくする
ことができる。したがって、本発明により、高保磁力の
磁気媒体に高密度な記録再生が可能となる狭トラック幅
の磁気ヘッドを提供することができる。
度のピーク値を弱めることなく、磁気ヘッドの発生する
磁界分布の媒体への記録に係るトラック幅を小さくする
ことができる。したがって、本発明により、高保磁力の
磁気媒体に高密度な記録再生が可能となる狭トラック幅
の磁気ヘッドを提供することができる。
【図１】本発明によるトラック幅方向断面における記録
磁界強度分布を示す図
磁界強度分布を示す図
【図２】磁気回路を構成する従来の薄膜磁気ヘッドの断
面構造を説明するための図
面構造を説明するための図
【図３】励磁電流と記録磁界強度のピーク値との関係を
示す図
示す図
【図４】ｙ方向磁界が減少することを説明する図
【図５
】本発明の実施例１の磁気ヘッドの構造を説明するため
の図
】本発明の実施例１の磁気ヘッドの構造を説明するため
の図
【図６】薄膜磁気ヘッドの摺動面の構造を説明するため
の図
の図
【図７】磁極をイオンビームで削らない場合と、削った
場合とにおけるそれぞれのトラック幅方向断面における
記録磁界強度分布を示す図
場合とにおけるそれぞれのトラック幅方向断面における
記録磁界強度分布を示す図
【図８】記録再生分離型ヘッドへの応用を示す図
【図９
】磁気記録媒体の特性を説明する図
】磁気記録媒体の特性を説明する図
【図１０】磁極の削
り深さと発生する磁界強度の関係を示す図
り深さと発生する磁界強度の関係を示す図
【図１１】磁極の面積と磁極の削り深さの関係を示す図
【図１２】本発明の実施例５の磁気ヘッドの断面図
【図
１３】本発明の実施例６の磁気ヘッドの磁極先端の構造
を説明するための図
１３】本発明の実施例６の磁気ヘッドの磁極先端の構造
を説明するための図
【図１４】本発明の実施例７を説明する図
１…上部磁極、２…下部磁極、３…コイル、４…断面積
の最小部分、５…スライダ基板、６…磁極間のギャップ
、７…狭トラック幅、８…強磁界を発生する磁性材料、
９…８より透磁率の低い磁性材料、１０…狭トラックの
磁界を発生する上部磁極、１１…狭トラックの磁界を発
生する下部磁極、１２…狭トラックの磁界の周りに磁界
を発生する上部磁極、１３…狭トラックの磁界の周りに
磁界を発生する下部磁極、２１…磁気抵抗効果素子、２
２…シールド、３０…磁気記録媒体、３１…情報を記録
するトラック、３２…トラッキング用サブトラック、４
０…狭トラック幅記録用磁気ヘッド。
の最小部分、５…スライダ基板、６…磁極間のギャップ
、７…狭トラック幅、８…強磁界を発生する磁性材料、
９…８より透磁率の低い磁性材料、１０…狭トラックの
磁界を発生する上部磁極、１１…狭トラックの磁界を発
生する下部磁極、１２…狭トラックの磁界の周りに磁界
を発生する上部磁極、１３…狭トラックの磁界の周りに
磁界を発生する下部磁極、２１…磁気抵抗効果素子、２
２…シールド、３０…磁気記録媒体、３１…情報を記録
するトラック、３２…トラッキング用サブトラック、４
０…狭トラック幅記録用磁気ヘッド。
Claims (15)
- 【請求項１】記録媒体への磁気情報の記録、あるいは記
録再生を行う磁気ヘッドの磁界強度分布が、記録に係る
狭いトラック幅の強度分布と、その脇または周りに広が
った強度分布との合成で構成され、記録媒体との摺動面
から記録再生時に媒体記録層裏面となる間隔だけ離れた
位置における記録ビット方向磁界強度の最大値が使用す
る媒体保磁力以上であり、かつその脇または周りに広が
る磁界強度は使用する媒体保磁力以下であることを特徴
とする磁気ヘッド。 - 【請求項２】記録媒体への磁気情報の記録、あるいは記
録再生を行う磁気ヘッドの記録ビット方向磁界の強度分
布が、トラック幅方向または記録ビット方向に変曲点を
３つ以上持ち、記録磁界強度が２段階以上変化すること
を特徴とする特許請求の範囲請求項１記載の磁気ヘッド
。 - 【請求項３】磁気情報の記録に誘導型素子を、再生に磁
気抵抗効果素子を用いた記録再生分離型の磁気ヘッドに
おいて、媒体への磁気情報の記録を行うための磁界強度
分布が、記録に係る狭いトラック幅の強度分布と、その
脇または周りに広がった強度分布との合成で構成され、
記録媒体との摺動面から記録再生時に媒体記録層裏面と
なる間隔だけ離れた位置における記録ビット方向磁界強
度の最大値が使用する媒体保磁力以上であり、かつその
脇または周りに広がる磁界強度は、使用する媒体保磁力
以下かつ上記磁気抵抗効果素子の異方性磁界以上である
ことを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項４】記録媒体への磁気情報の記録、あるいは記
録再生を行う磁気ヘッドの磁極先端が、媒体摺動面に露
出している狭トラックの磁界を発生するための磁極と、
その脇または周りで、かつ媒体摺動面から離れた位置に
形成される磁極とで構成されており、脇または周りの磁
極の発生する記録ビット方向磁界強度の最大値が、媒体
摺動面から記録再生時に媒体記録層裏面となる間隔だけ
離れた位置において、媒体保磁力以下になるように、脇
または周りの磁極の媒体摺動面からの距離を保つことを
特徴とする特許請求の範囲請求項１，２および請求項３
記載の磁気ヘッド。 - 【請求項５】上記媒体摺動面から離れた位置に形成され
る磁極を、摺動面研磨後に磁極を削ることで実施したこ
とを特徴とする特許請求の範囲請求項４記載の磁気ヘッ
ド。 - 【請求項６】上記媒体摺動面から離れた位置に形成され
る磁極の媒体摺動面からの距離の最大値が、媒体摺動面
に露出している狭トラックの磁界を発生する磁極の表面
積と磁極材料の飽和磁束密度の積により決められること
を特徴とする特許請求項４及び５に記載の磁気ヘッド。 - 【請求項７】特許請求項１，２，３，４，５及び６に記
載の磁気ヘッドと、媒体内の磁化を飽和させるのに必要
な外部磁界強度Ｈｓの１／５以上で、かつＨｓと同極性
の外部磁界Ｈｍを印加したときに残留する磁化ｍが、上
記外部磁界Ｈｓを印加したときの残留磁化Ｍと異なる方
向または１／２０以下であるような磁気記録媒体と組み
合わせたことを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項８】上記媒体摺動面から離れた位置に形成され
る磁極の媒体摺動面からの距離が、媒体摺動面に露出し
ている狭トラックの磁界を発生する磁極の表面積と磁極
材料の飽和磁束密度の積に定数０．７〔１／（μｍ・Ｔ
）〕を乗じた値よりも小さいことを特徴とする特許請求
項６に記載の磁気ヘッドと、特許請求項７に記載の磁気
記録媒体とを組み合わせたことを特徴とする特許請求項
７に記載の磁気ディスク装置。 - 【請求項９】磁極部先端に設けられた段差を比抵抗の高
い材料あるいは絶縁体、または磁気回路を構成する磁性
膜より飽和磁束密度の低い磁性体で充填し、充填後摺動
面を平坦に研磨したことを特徴とする特許請求の範囲請
求項１から請求項６記載の磁気ヘッド。 - 【請求項１０】記録媒体への磁気情報の記録、あるいは
記録再生を行う磁気ヘッドが、飽和磁束密度の異なった
複数の磁性材料で磁路が形成されていることを特徴とす
る特許請求の範囲請求項１から請求項２記載の磁気ヘッ
ド。 - 【請求項１１】記録媒体への磁気情報の記録、あるいは
記録再生を行う磁気ヘッドが、トラック幅方向に狭い磁
界を発生させる磁路と、この磁界を強める働きをする磁
界を発生させる磁路とを別々に有することを特徴とする
特許請求の範囲請求項１から請求項２記載の磁気ヘッド
。 - 【請求項１２】情報を記録するトラックの両側または片
側に、情報を記録するトラックの記録波長より長い波長
の信号を記録したトラッキング用のサブトラックを設け
た磁気記録媒体と、特許請求項１から６に記載の磁気ヘ
ッドとを組合せ、該磁気ヘッドが検出するサブトラック
からの長波長の磁気記録信号を該磁気ヘッドの該磁気記
録媒体に対するトラッキングに用いることを特徴とした
磁気ディスク装置。 - 【請求項１３】情報を記録するトラックの両側または片
側に、情報を記録するトラックの記録波長より長い周期
で溝を掘り、円周方向に一方向に磁化させた磁気記録媒
体と、特許請求項１から６に記載の磁気ヘッドとを組合
せ、該磁気ヘッドが検出するサブトラックからの長周期
の磁気記録信号を該磁気ヘッドの該磁気記録媒体に対す
るトラッキングに用いることを特徴とした磁気ディスク
装置。 - 【請求項１４】特許請求項１２または１３において、特
許請求項１から６に記載の磁気ヘッドの代りに、再生用
ヘッドの感度曲線がトラック幅方向に変曲点を３つ以上
持ち、再生感度が２段階以上変化することを特徴とする
記録再生分離型磁気ヘッドを用いたことを特徴とする磁
気ディスク装置。 - 【請求項１５】特許請求の範囲請求項１から請求項６お
よび、請求項９、１０、１１に記載の磁気ヘッドを用い
たことを特徴とする磁気ディスク装置、あるいは、磁気
テープ装置。
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